CN117068752B - 一种硅片翻转输送系统及其工作方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及输送技术领域，具体涉及一种硅片翻转输送系统及其工作方法。本发明提供了一种硅片翻转输送系统，包括：固定架、升降架、翻转部和若干定位震动件，固定架呈框架结构，升降架可升降的设置在固定架内，且升降架与定位震动件联动；翻转部固定在升降架上方，翻转部的活动端适于周向转动；若干定位震动件等间距固定在翻转部的活动端，其中；翻转部驱动定位震动件同步翻转，以使吸附件朝向硅片；升降架驱动硅片竖直向上移动，升降架上端适于插入定位震动件内，以校正翻转部的活动端；升降架与定位震动件分离，定位震动件适于震动吸附件，以使破碎的硅片能够自吸附件上脱离。

Description

一种硅片翻转输送系统及其工作方法

技术领域

本发明涉及输送技术领域，具体涉及一种硅片翻转输送系统及其工作方法。

背景技术

硅片载板驱动硅片水平移动至翻转系统上，翻转系统适于负压吸附硅片，并能够对硅片进行180度翻转；以便于对硅片的另一面进行加工处理；但是，现有的翻转系统，在翻转的过程中，容易出现翻转后，翻转系统无法达到水平。而且，硅片在硅片载板上运输时，会出现破碎；负压设备在吸附硅片时，也会将破碎的硅片同时吸附走，这样增加了后端的工作难度。因此，研发一种硅片翻转输送系统及其工作方法是很有必要的。

发明内容

本发明的目的是提供一种硅片翻转输送系统。

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种硅片翻转输送系统，包括：

固定架、升降架、翻转部和若干定位震动件，所述固定架呈框架结构，所述升降架可升降的设置在所述固定架内，且所述升降架与所述定位震动件联动；

所述翻转部固定在所述升降架上方，所述翻转部的活动端适于周向转动；

若干所述定位震动件等间距固定在所述翻转部的活动端，其中；

翻转部驱动所述定位震动件同步翻转，以使吸附件朝向硅片；

升降架驱动硅片竖直向上移动，所述升降架上端适于插入所述定位震动件内，以校正所述翻转部的活动端；

升降架与定位震动件分离，所述定位震动件适于震动所述吸附件，以使破碎的硅片能够自吸附件上脱离。

作为优选，所述翻转部包括：驱动电机、传动轴、两定位板、若干支撑板和若干吸附件，所述驱动电机水平固定在所述固定架上，所述传动轴可转动的设置在所述固定架的上，所述传动轴与所述驱动电机传动连接；

两定位板对称套定在所述传动轴外壁，所述定位震动件的两端分别垂直固定在两所述定位板内壁；

若干所述支撑板等间距固定在所述定位震动件上方，且所述支撑板与所述定位板互相平行；

若干所述吸附件矩等间距固定在所述支撑板下端，且所述吸附件设置在所述定位震动件侧壁。

作为优选，所述升降架上端等间距固定有若干推块，一个推块对应一个定位震动件，所述推块适于插入所述定位震动件内。

作为优选，所述定位震动件包括：定位块、调节板和弹簧，所述定位块内部中空，所述调节板可滑动的设置在所述定位块内；

所述定位块下端沿长度方向开设有一定位槽，所述推块适于插入所述定位槽；

所述弹簧的两端分别固定在所述调节板和所述定位块内壁上；其中，

推块插入定位槽内时，推块适于挤压所述调节板，使其向吸附件方向移动。

作为优选，所述调节板的两侧至定位块的内壁均设有间隙。

作为优选，所述定位块靠近所述吸附件的一侧开设有若干通孔；

所述定位块内设置有若干气管，一个气管对应一个吸附件，且所述气管适于穿过所述通孔向吸附件延伸；其中，

调节板向吸附件方向移动时，调节板适于推动气管向外移动。

作为优选，所述调节板下端设置有一斜坡，推块与斜坡相抵后，推块适于推动所述调节板向所述吸附件方向移动。

作为优选，所述调节板靠近所述弹簧的一侧固定有若干延长柱，所述延长柱适于撞击所述定位块内壁。

作为优选，所述吸附件包括：固定柱和吸附板，所述固定柱垂直固定在所述吸附板上，所述固定柱固定在所述支撑板上；

所述吸附板上开设有若干负压孔，所述负压孔与所述气管连通。

作为优选，所述升降架上还设置有一水平输送带，所述水平输送带适于驱动硅片水平移动。

作为优选，所述固定架上还固定有一竖直移动副，所述竖直移动副适于驱动所述升降架竖直上下移动。

另一方面，本发明还提供了一种硅片翻转输送系统的工作方法，升降架竖直向下移动，至与传输带齐平后，传输带上的硅片载板适于向升降架上水平移动，升降架上的水平输送带驱动硅片载板水平移动，至硅片载板完全移动至升降架上；

所述驱动电机驱动所述传动轴周向转动，以使所述吸附板朝向硅片载板；

所述竖直移动副驱动所述升降架竖直向上移动，至所述推块插入所述定位槽内，所述推块适于校正所述定位块，使其保持水平，以使每个吸附件均能够与硅片接触；

所述推块适于推动所述调节板，以使所述调节板向吸附件方向移动；

所述调节板适于推动所述气管向外移动，以防止吸附件负压吸附硅片时，气管与吸附件的连接处出现弯折现象；

吸附件吸附硅片后，升降架向下移动，推块自定位块内脱离，所述弹簧适于拉动所述调节板复位移动，调节板在复位移动的过程中，所述延长柱适于撞击所述定位块，定位块被撞击后适于震动所述吸附件，以使吸附件下端吸附的破碎的硅片能够脱落。

本发明的有益效果是，本发明的一种硅片翻转输送系统，通过定位震动件的设置，在升降架向上移动时，推块与定位震动件互相配合，能够保证翻转部的活动端翻转后保持水平状态，以使每个吸附件均能够与硅片接触；而当推块与定位震动件脱离后，定位震动件又能够震动吸附件，以使吸附件下端吸附的破碎的硅片能够被震动脱离，提高了工作效率。

本发明的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。

为使本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明的一种硅片翻转输送系统的优选实施例的立体图；

图2是本发明的翻转部的立体图；

图3是本发明的定位震动件的立体图；

图4是本发明的调节板和延长柱的立体图；

图5是本发明的吸附件的立体图；

图6是本发明的升降架的立体图。

图中：

1、固定架；11、竖直移动副；

2、升降架；20、推块；21、水平输送带；

3、翻转部；31、驱动电机；32、传动轴；33、定位板；34、支撑板；35、吸附件；351、固定柱；352、吸附板；353、负压孔；36、气管；

4、定位震动件；41、定位块；42、调节板；43、弹簧；44、定位槽；45、延长柱。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例一，如图1至图6所示，本发明提供了一种硅片翻转输送系统，包括：固定架1、升降架2、翻转部3和若干定位震动件4，所述固定架1呈框架结构，所述升降架2可升降的设置在所述固定架1内，且所述升降架2与所述定位震动件4联动；所述升降架2适于承载硅片和硅片载板，并所述升降架2能够驱动硅片竖直向上移动，以使所述翻转板的吸附件35能够负压吸附硅片；同时，在升降架2向上移动时，推块20能够插入所述定位震动件4内，推块20能够起到校正定位震动件4，以使所述翻转部3的活动端呈现水平状态，使得每个吸附件35均能够与硅片抵接，并将硅片自硅片载板上负压吸走。所述翻转部3固定在所述升降架2上方，所述翻转部3的活动端适于周向转动；若干所述定位震动件4等间距固定在所述翻转部3的活动端，其中；翻转部3驱动所述定位震动件4同步翻转，以使吸附件35朝向硅片；升降架2竖直向上移动时，所述吸附件35能够负压吸附硅片；升降架2驱动硅片竖直向上移动，所述升降架2上端的推块20适于插入所述定位震动件4内，以校正所述翻转部3的活动端；推块20能够使得所述翻转部3的活动端保持水平，以使每个吸附件35均能够与硅片抵接，并负压吸附硅片。升降架2与定位震动件4分离，所述定位震动件4适于震动所述吸附件35，以使破碎的硅片能够自吸附件35上脱离。当升降架2向下移复位后，所述翻转部3的活动端反向转动，以使硅片位于翻转部3的上方，通过这样的方式，实现了翻转硅片，同时，在翻转后，对翻转部3的活动端进行定位，以使翻转部3的活动端保持水平。而在吸附件35负压吸附硅片后，推块20自定位块41内脱离，还实现了震动定位块41的效果，使得破碎的硅片能够自吸附件35上脱离；提高了工作效率。

参考附图2，所述翻转部3包括：驱动电机31、传动轴32、两定位板33、若干支撑板34和若干吸附件35，所述驱动电机31水平固定在所述固定架1上，所述传动轴32可转动的设置在所述升降架2的上方，所述传动轴32与所述驱动电机31传动连接；所述传动轴32设置在所述升降架2的上方；驱动电机31驱动所述传动轴32周向转动时，所述传动轴32适于带动若干吸附件35和所述定位震动件4同步翻转；两定位板33对称套定在所述传动轴32外壁，所述定位震动件4的两端分别垂直固定在两所述定位板33内壁；所述定位板33适于限位所述定位震动件4。若干所述支撑板34等间距固定在所述定位震动件4上方，且所述支撑板34与所述定位板33互相平行；若干所述吸附件35矩等间距固定在所述支撑板34下端，且所述吸附件35设置在所述定位震动件4侧壁。驱动电机31适于驱动所述传动轴32周向转动，传动轴32适于驱动所述定位板33同步周向转动，以使所述定位震动件4和吸附件35能够同步转动，以实现负压吸附硅片并将硅片翻转180°的效果。

参考附图5，所述升降架2上端等间距固定有若干推块20，一个推块20对应一个定位震动件4，所述推块20适于插入所述定位震动件4内。所述升降架2上还设置有一水平输送带21，所述水平输送带21适于驱动硅片水平移动。硅片和硅片载板自传输带移动向升降架2时，所述水平输送带21适于驱动硅片载板水平移动，以使硅片载板能够整体位移至升降架2上方。所述固定架1上还固定有一竖直移动副11，所述竖直移动副11适于驱动所述升降架2竖直上下移动。竖直移动副11驱动升降架2竖直向上移动，以使所述推块20能够插入所述定位块41内，推块20与调节板42抵接，以使所述调节板42向外滑动，并调节板42能够推动气管36向外滑动。推块20与定位震动件4的配合，能够起到调整各定位块41，使其保证水平，使得各个吸附件35能够同步与硅片抵接。

参考图3和图4，所述定位震动件4包括：定位块41、调节板42和弹簧43，所述定位块41内部中空，所述定位块41呈矩形，所述定位块41的两端分别固定在两所述定位板33侧壁；所述调节板42可滑动的设置在所述定位块41内；所述调节板42沿所述定位块41的长度方向延伸，所述定位块41下端沿长度方向开设有一定位槽44，所述推块20适于插入所述定位槽44；所述弹簧43的两端分别固定在所述调节板42和所述定位块41内壁上；其中，初始状态时，弹簧43适于推动所述调节板42，以使所述调节板42能够密封所述定位槽44；所述调节板42下端设置有一斜坡，推块20与斜坡相抵后，推块20适于推动所述调节板42向所述吸附件35方向移动。所述斜坡设置在所述定位槽44的上方；推块20插入定位槽44内时，推块20适于挤压所述调节板42，使其向吸附件35方向移动。

为了便于存放气管36，所述调节板42的两侧至定位块41的内壁均设有间隙。所述定位块41靠近所述吸附件35的一侧开设有若干通孔；所述定位块41内设置有若干气管36，一个气管36对应一个吸附件35，且所述气管36适于穿过所述通孔向吸附件35延伸；其中，调节板42向吸附件35方向移动时，调节板42适于推动气管36向外移动。调节板42推动气管36向外移动后，增加了定位块41外部气管36的长度，在吸附件35负压吸附硅片时，避免了由于气管36收缩而发生位移，导致的气管36与吸附件35相交处出现气管36弯折的情况发生。

参考附图4，为了震动破碎的硅片，所述调节板42靠近所述弹簧43的一侧固定有若干延长柱45，所述延长柱45适于撞击所述定位块41内壁。推块20插入所述定位槽44内，并推动所述调节板42向吸附件35方向移动时，所述调节板42适于带动所述延长柱45，使得所述延长柱45向远离所述定位块41的内壁方向移动。当推块20自定位块41内脱离后，所述弹簧43适于拉动所述调节板42，使其向远离所述吸附件35的方向移动，调节板42推动所述延长柱45，以使所述延长柱45能够撞击定位块41内壁，定位块41被撞击震动，能够带动吸附件35同步震动，通过震动的方式，能够使得吸附件35下端破碎的硅片能够自吸附板352下端脱落。

参考附图5，所述吸附件35包括：固定柱351和吸附板352，所述固定柱351垂直固定在所述吸附板352上，所述固定柱351固定在所述支撑板34上；所述吸附板352上开设有若干负压孔353，所述负压孔353与所述气管36连通。硅片与吸附板352抵接时，负压孔353适于将硅片吸附在吸附板352上。

实施例二，本实施例在实施例一的基础上，还提供了一种硅片翻转输送系统的工作方法，包括如实施例一所述的一种硅片翻转输送系统，具体结构与实施例一相同，此处不再赘述，具体的一种硅片翻转输送系统的工作方法如下：

升降架2竖直向下移动，至与传输带齐平后，传输带上的硅片载板适于向升降架2上水平移动，升降架2上的水平输送带21驱动硅片载板水平移动，至硅片载板完全移动至升降架2上；

所述驱动电机31驱动所述传动轴32周向转动，以使所述吸附板352朝向硅片载板；

所述竖直移动副11驱动所述升降架2竖直向上移动，至所述推块20插入所述定位槽44内，所述推块20适于校正所述定位块41，使其保持水平，以使每个吸附件35均能够与硅片接触；

所述推块20适于推动所述调节板42，以使所述调节板42向吸附件35方向移动；

所述调节板42适于推动所述气管36向外移动，以防止吸附件35负压吸附硅片时，气管36与吸附件35的连接处出现弯折现象；

吸附件35吸附硅片后，升降架2向下移动，推块20自定位块41内脱离，所述弹簧43适于拉动所述调节板42复位移动，调节板42在复位移动的过程中，所述延长柱45适于撞击所述定位块41，定位块41被撞击后适于震动所述吸附件35，以使吸附件35下端吸附的破碎的硅片能够脱落。

本申请中选用的各个器件（未说明具体结构的部件）均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。并且，本申请所涉及的软件程序均为现有技术，本申请不涉及对软件程序作出任何改进。

在本发明实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本申请所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的系统、装置和方法，可以通过其它的方式实现。以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，例如，所述单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，又例如，多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些通信接口，装置或单元的间接耦合或通信连接，可以是电性，机械或其它的形式。

所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。

另外，在本发明各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。

以上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (11)

1.一种硅片翻转输送系统，其特征在于，包括：

固定架（1）、升降架（2）、翻转部（3）和若干定位震动件（4），所述固定架（1）呈框架结构，所述升降架（2）可升降的设置在所述固定架（1）内，且所述升降架（2）与所述定位震动件（4）联动；

所述翻转部（3）固定在所述升降架（2）上方，所述翻转部（3）的活动端适于周向转动；

若干所述定位震动件（4）等间距固定在所述翻转部（3）的活动端，其中；

翻转部（3）驱动所述定位震动件（4）同步翻转，以使吸附件（35）朝向硅片；

升降架（2）驱动硅片竖直向上移动，所述升降架（2）上端适于插入所述定位震动件（4）内，以校正所述翻转部（3）的活动端；

升降架（2）与定位震动件（4）分离，所述定位震动件（4）适于震动所述吸附件（35），以使破碎的硅片能够自吸附件（35）上脱离；

所述翻转部（3）包括：驱动电机（31）、传动轴（32）、两定位板（33）、若干支撑板（34）和若干吸附件（35），所述驱动电机（31）水平固定在所述固定架（1）上，所述传动轴（32）可转动的设置在所述固定架（1）上，所述传动轴（32）与所述驱动电机（31）传动连接；

两定位板（33）对称套定在所述传动轴（32）外壁，所述定位震动件（4）的两端分别垂直固定在两所述定位板（33）内壁；

若干所述支撑板（34）等间距固定在所述定位震动件（4）上方，且所述支撑板（34）与所述定位板（33）互相平行；

若干所述吸附件（35）等间距固定在所述支撑板（34）下端，且所述吸附件（35）设置在所述定位震动件（4）侧壁。

2.如权利要求1所述的一种硅片翻转输送系统，其特征在于，

所述升降架（2）上端等间距固定有若干推块（20），一个推块（20）对应一个定位震动件（4），所述推块（20）适于插入所述定位震动件（4）内。

3.如权利要求2所述的一种硅片翻转输送系统，其特征在于，

所述定位震动件（4）包括：定位块（41）、调节板（42）和弹簧（43），所述定位块（41）内部中空，所述调节板（42）可滑动的设置在所述定位块（41）内；

所述定位块（41）下端沿长度方向开设有一定位槽（44），所述推块（20）适于插入所述定位槽（44）；

所述弹簧（43）的两端分别固定在所述调节板（42）和所述定位块（41）内壁上；其中，

推块（20）插入定位槽（44）内时，推块（20）适于挤压所述调节板（42），使其向吸附件（35）方向移动。

4.如权利要求3所述的一种硅片翻转输送系统，其特征在于，

所述调节板（42）的两侧至定位块（41）的内壁均设有间隙。

5.如权利要求4所述的一种硅片翻转输送系统，其特征在于，

所述定位块（41）靠近所述吸附件（35）的一侧开设有若干通孔；

所述定位块（41）内设置有若干气管（36），一个气管（36）对应一个吸附件（35），且所述气管（36）适于穿过所述通孔向吸附件（35）延伸；其中，

调节板（42）向吸附件（35）方向移动时，调节板（42）适于推动气管（36）向外移动。

6.如权利要求5所述的一种硅片翻转输送系统，其特征在于，

所述调节板（42）下端设置有一斜坡，推块（20）与斜坡相抵后，推块（20）适于推动所述调节板（42）向所述吸附件（35）方向移动。

7.如权利要求6所述的一种硅片翻转输送系统，其特征在于，

所述调节板（42）靠近所述弹簧（43）的一侧固定有若干延长柱（45），所述延长柱（45）适于撞击所述定位块（41）内壁。

8.如权利要求7所述的一种硅片翻转输送系统，其特征在于，

所述吸附件（35）包括：固定柱（351）和吸附板（352），所述固定柱（351）垂直固定在所述吸附板（352）上，所述固定柱（351）固定在所述支撑板（34）上；

所述吸附板（352）上开设有若干负压孔（353），所述负压孔（353）与所述气管（36）连通。

9.如权利要求8所述的一种硅片翻转输送系统，其特征在于，

所述升降架（2）上还设置有一水平输送带（21），所述水平输送带（21）适于驱动硅片水平移动。

10.如权利要求9所述的一种硅片翻转输送系统，其特征在于，

所述固定架（1）上还固定有一竖直移动副（11），所述竖直移动副（11）适于驱动所述升降架（2）竖直上下移动。

11.一种硅片翻转输送系统的工作方法，其特征在于，如权利要求10所述的一种硅片翻转输送系统，

升降架（2）竖直向下移动，至与传输带齐平后，传输带上的硅片载板适于向升降架（2）上水平移动，升降架（2）上的水平输送带（21）驱动硅片载板水平移动，至硅片载板完全移动至升降架（2）上；

所述驱动电机（31）驱动所述传动轴（32）周向转动，以使所述吸附板（352）朝向硅片载板；

所述竖直移动副（11）驱动所述升降架（2）竖直向上移动，至所述推块（20）插入所述定位槽（44）内，所述推块（20）适于校正所述定位块（41），使其保持水平，以使每个吸附件（35）均能够与硅片接触；

所述推块（20）适于推动所述调节板（42），以使所述调节板（42）向吸附件（35）方向移动；

所述调节板（42）适于推动所述气管（36）向外移动，以防止吸附件（35）负压吸附硅片时，气管（36）与吸附件（35）的连接处出现弯折现象；

吸附件（35）吸附硅片后，升降架（2）向下移动，推块（20）自定位块（41）内脱离，所述弹簧（43）适于拉动所述调节板（42）复位移动，调节板（42）在复位移动的过程中，所述延长柱（45）适于撞击所述定位块（41），定位块（41）被撞击后适于震动所述吸附件（35），以使吸附件（35）下端吸附的破碎的硅片能够脱落。