JPH06101515B2 - 半導体ウェーハの輸送用容器 - Google Patents
半導体ウェーハの輸送用容器Info
- Publication number
- JPH06101515B2 JPH06101515B2 JP9327291A JP9327291A JPH06101515B2 JP H06101515 B2 JPH06101515 B2 JP H06101515B2 JP 9327291 A JP9327291 A JP 9327291A JP 9327291 A JP9327291 A JP 9327291A JP H06101515 B2 JPH06101515 B2 JP H06101515B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- case lid
- support piece
- thin
- case
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体ウェーハの損
壊、汚染を防止し、安全に輸送するための樹脂製ウェー
ハケースの改良に係り、ケース蓋裏面に装着されてウェ
ーハのエッジ部に接線方向に当接する際に先端部がＵ字
型溝の底に当接するピン 部を有する薄肉支持片からな
るウェーハ押え治具により、各ピン部がウェーハ収納枠
Ｕ字型溝をガイドとして侵入して確実にウェーハの外周
部を押さえ、収納したウェーハの回転及び振動を防止
し、輸送時の汚染を低減した半導体ウェーハの輸送用容
器に関する。
壊、汚染を防止し、安全に輸送するための樹脂製ウェー
ハケースの改良に係り、ケース蓋裏面に装着されてウェ
ーハのエッジ部に接線方向に当接する際に先端部がＵ字
型溝の底に当接するピン 部を有する薄肉支持片からな
るウェーハ押え治具により、各ピン部がウェーハ収納枠
Ｕ字型溝をガイドとして侵入して確実にウェーハの外周
部を押さえ、収納したウェーハの回転及び振動を防止
し、輸送時の汚染を低減した半導体ウェーハの輸送用容
器に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年のあらゆる技術分野におけるエレク
トニクス化が進み、半導体ウェーハの需要が著しく増加
している。従って、ウェーハを大量に輸送することにな
り、輸送にあたっては、高価なウェーハの損壊及び汚染
を防止することが最重要となっている。
トニクス化が進み、半導体ウェーハの需要が著しく増加
している。従って、ウェーハを大量に輸送することにな
り、輸送にあたっては、高価なウェーハの損壊及び汚染
を防止することが最重要となっている。
【０００３】従来の輸送用ウェーハケースは、特開昭６
２−３３４３６号、特公平２−３９８６７号等に開示さ
れる如く、樹脂製のウェーハ収納枠、該枠を収めるケー
ス本体、ケース蓋、ウェーハ押え治具から構成されてい
る。
２−３３４３６号、特公平２−３９８６７号等に開示さ
れる如く、樹脂製のウェーハ収納枠、該枠を収めるケー
ス本体、ケース蓋、ウェーハ押え治具から構成されてい
る。
【０００４】ケース本体に、内部に複数のウェーハを個
別に直立支持するためのＵ字型溝を多数配設たウェーハ
収納枠が収めてあり、またケース本体の周縁部は強度を
持たせるべく大きく折り曲げられ、周縁上端面にケース
蓋が当接して密着するように嵌合用の溝または凸条を周
設してあり、また、短辺側両サイドの周縁部にケース蓋
を固定するための凹部が形成してある。
別に直立支持するためのＵ字型溝を多数配設たウェーハ
収納枠が収めてあり、またケース本体の周縁部は強度を
持たせるべく大きく折り曲げられ、周縁上端面にケース
蓋が当接して密着するように嵌合用の溝または凸条を周
設してあり、また、短辺側両サイドの周縁部にケース蓋
を固定するための凹部が形成してある。
【０００５】ケース蓋は、その内周縁部に前記本体の周
縁上端面に嵌合する凸条または溝を周設してあり、収納
本体との固定は、前述の如く短辺側両サイドについての
み、収納本体側の凹部に嵌合する凸部が備えられてい
る。
縁上端面に嵌合する凸条または溝を周設してあり、収納
本体との固定は、前述の如く短辺側両サイドについての
み、収納本体側の凹部に嵌合する凸部が備えられてい
る。
【０００６】ウェーハ押え治具は、所謂中蓋であり、収
納本体に支持されてウェーハの振動防止及びウェーハへ
の外力を分散させ、損壊防止の機能を有しており、その
ため治具の内面中央にウェーハの上エッジ部に当接する
２条の薄肉支持片が設けられ、さらに、直立するウェー
ハ両肩部に当接し、これを確実に支持するために先端を
Ｖ形あるいはＵ形に切り込まれた弾性支持片が多数配列
してある。
納本体に支持されてウェーハの振動防止及びウェーハへ
の外力を分散させ、損壊防止の機能を有しており、その
ため治具の内面中央にウェーハの上エッジ部に当接する
２条の薄肉支持片が設けられ、さらに、直立するウェー
ハ両肩部に当接し、これを確実に支持するために先端を
Ｖ形あるいはＵ形に切り込まれた弾性支持片が多数配列
してある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】特に、輸送用ウェーハ
ケースに収納したウェーハは、例えば振動等でケース内
の各部に当たることでも汚染されるため、できるだけ接
触面積を少なくしかつ動かないにように保持する必要が
ある。
ケースに収納したウェーハは、例えば振動等でケース内
の各部に当たることでも汚染されるため、できるだけ接
触面積を少なくしかつ動かないにように保持する必要が
ある。
【０００８】上述した従来のウェーハケースにおいて、
ウェーハ押え治具はいずれもケース蓋裏面に所要方向に
植設する如く設けた樹脂製支持片の弾力性を利用して、
ウェーハ収納枠の各溝内に収納されているウェーハに当
接してこれが回転あるいは振動するのを防止する。
ウェーハ押え治具はいずれもケース蓋裏面に所要方向に
植設する如く設けた樹脂製支持片の弾力性を利用して、
ウェーハ収納枠の各溝内に収納されているウェーハに当
接してこれが回転あるいは振動するのを防止する。
【０００９】ウェーハ押え治具は上述の如く、ウェーハ
を確実に支持するために先端にＶ形またはＵ形に切り込
みを入れた薄肉支持片、あるいはさらにこれらを分割し
てＵ形溝の支持片を多数配列した櫛歯状弾性片を用いて
いる。しかし、従来のウェーハ押え治具は樹脂製支持片
の弾力性を利用しているが、その保持力、衝撃緩和力は
決して満足すべきものでなかった。
を確実に支持するために先端にＶ形またはＵ形に切り込
みを入れた薄肉支持片、あるいはさらにこれらを分割し
てＵ形溝の支持片を多数配列した櫛歯状弾性片を用いて
いる。しかし、従来のウェーハ押え治具は樹脂製支持片
の弾力性を利用しているが、その保持力、衝撃緩和力は
決して満足すべきものでなかった。
【００１０】また、ケース蓋を被せて閉める際に、ケー
ス本体とケース蓋との位置決めが正確に行われないとウ
ェーハ押え治具がウェーハの外周部を押さえることがで
きない恐れがある。
ス本体とケース蓋との位置決めが正確に行われないとウ
ェーハ押え治具がウェーハの外周部を押さえることがで
きない恐れがある。
【００１１】この発明は、かかる輸送用ウェーハケース
のウェーハ押え治具を改良して、ケース蓋の装着時に容
易にかつ確実にウェーハ押え治具がウェーハの外周部を
押さえることができ、収納ウェーハの保持力を高めかつ
すぐれた衝撃緩和力を発揮する半導体ウェーハの輸送用
容器の提供を目的としている。
のウェーハ押え治具を改良して、ケース蓋の装着時に容
易にかつ確実にウェーハ押え治具がウェーハの外周部を
押さえることができ、収納ウェーハの保持力を高めかつ
すぐれた衝撃緩和力を発揮する半導体ウェーハの輸送用
容器の提供を目的としている。
【００１２】
【課題を解決するための手段】この発明は、複数のウェ
ーハをＵ字型溝にて個別に直立支持可能なウェーハ収納
枠、該枠を収めるケース本体と、ケース蓋及び該蓋に装
着するウェーハ押え治具から構成される樹脂製の半導体
ウェーハの輸送用容器において、ケース蓋裏面の中央部
に２条の先端に切り込みを入れた薄肉狭幅支持片を設
け、さらにその外側にも各々薄肉広幅支持片を設け、広
幅支持片が所要長さのスリットで多数の短冊状に分割さ
れ、先端部が各Ｕ字型溝の側面の底に当接するピン部と
なり、その内側にウェーハのエッジ部が当接する凹部を
設けたことを特徴とする半導体ウェーハの輸送用容器で
ある。
ーハをＵ字型溝にて個別に直立支持可能なウェーハ収納
枠、該枠を収めるケース本体と、ケース蓋及び該蓋に装
着するウェーハ押え治具から構成される樹脂製の半導体
ウェーハの輸送用容器において、ケース蓋裏面の中央部
に２条の先端に切り込みを入れた薄肉狭幅支持片を設
け、さらにその外側にも各々薄肉広幅支持片を設け、広
幅支持片が所要長さのスリットで多数の短冊状に分割さ
れ、先端部が各Ｕ字型溝の側面の底に当接するピン部と
なり、その内側にウェーハのエッジ部が当接する凹部を
設けたことを特徴とする半導体ウェーハの輸送用容器で
ある。
【００１３】
【作用】この発明による半導体ウェーハの輸送用容器
は、ウェーハ押え治具に２種類の各２条の薄肉支持片を
用いたことを特徴とし、特にケース蓋裏面に装着されて
直立する各ウェーハの両肩部のエッジ部に接線方向に当
接する際に先端部がＵ字型溝の側面の底に当接するピン
部を有する薄肉支持片を用いたことにより、樹脂製支持
片の弾力性を利用したウェーハの保持力並びに衝撃緩和
力が大きく向上し、輸送時の損壊および汚染を防止でき
る。
は、ウェーハ押え治具に２種類の各２条の薄肉支持片を
用いたことを特徴とし、特にケース蓋裏面に装着されて
直立する各ウェーハの両肩部のエッジ部に接線方向に当
接する際に先端部がＵ字型溝の側面の底に当接するピン
部を有する薄肉支持片を用いたことにより、樹脂製支持
片の弾力性を利用したウェーハの保持力並びに衝撃緩和
力が大きく向上し、輸送時の損壊および汚染を防止でき
る。
【００１４】この発明の薄肉広幅支持片はケース蓋の閉
め初めから既に該支持片の各ピン部がウェーハ収納枠Ｕ
字型溝に侵入しているため、Ｕ字型溝がガイドとなって
確実にウェーハの外周部を押さえることができる。
め初めから既に該支持片の各ピン部がウェーハ収納枠Ｕ
字型溝に侵入しているため、Ｕ字型溝がガイドとなって
確実にウェーハの外周部を押さえることができる。
【００１５】この発明において、ケース蓋裏面の中央部
に設ける２条の薄肉狭幅支持片は、ウェーハ収納枠にウ
ェーハのオリエンテーションフラット（以下ＯＦとい
う）部分を上にして収納した際に、該ＯＦ部に当接する
もので、先端にＶ形またはＵ形に切り込みを入れてエッ
ジ部に当接可能な薄肉板であればいずれの構成でも適用
できる。
に設ける２条の薄肉狭幅支持片は、ウェーハ収納枠にウ
ェーハのオリエンテーションフラット（以下ＯＦとい
う）部分を上にして収納した際に、該ＯＦ部に当接する
もので、先端にＶ形またはＵ形に切り込みを入れてエッ
ジ部に当接可能な薄肉板であればいずれの構成でも適用
できる。
【００１６】この発明において、各ウェーハの両肩部の
エッジ部に接線方向に当接する薄肉広幅支持片は、ケー
ス蓋裏面の上記２条の薄肉狭幅支持片の外側に設けられ
るが、スリットで多数の短冊状に分割されてウェーハの
両肩部のエッジ部に接線方向に当接する際に先端部がＵ
字型溝の側面の底に当接し、換言すればケース蓋裏面と
Ｕ字型溝の側面の底間に架け渡すことにより、ウェーハ
の両肩部への最適の押圧力を容易に設定できるため、ウ
ェーハ及びケースの寸法に応じて支持片のケース蓋裏面
への埋め込み位置、先端ピン部の当接位置、支持片厚み
や断面形状などを適宜選定できる。
エッジ部に接線方向に当接する薄肉広幅支持片は、ケー
ス蓋裏面の上記２条の薄肉狭幅支持片の外側に設けられ
るが、スリットで多数の短冊状に分割されてウェーハの
両肩部のエッジ部に接線方向に当接する際に先端部がＵ
字型溝の側面の底に当接し、換言すればケース蓋裏面と
Ｕ字型溝の側面の底間に架け渡すことにより、ウェーハ
の両肩部への最適の押圧力を容易に設定できるため、ウ
ェーハ及びケースの寸法に応じて支持片のケース蓋裏面
への埋め込み位置、先端ピン部の当接位置、支持片厚み
や断面形状などを適宜選定できる。
【００１７】
【実施例】この発明による半導体ウェーハの輸送用容器
は、複数のウェーハ３０をＵ字型溝３にて個別に直立支
持可能なウェーハ収納枠２を収めたケース本体１と、ケ
ース本体１の上部開口に嵌合するケース蓋１０、及び該
蓋に装着するウェーハ押え治具とからなる。何れの部材
も所要の低発塵性、低ガス放散性の公知の合成樹脂から
なり、射出一体成形、もしくは異材質の組立て成形など
の公知の樹脂成形法にて製造される。
は、複数のウェーハ３０をＵ字型溝３にて個別に直立支
持可能なウェーハ収納枠２を収めたケース本体１と、ケ
ース本体１の上部開口に嵌合するケース蓋１０、及び該
蓋に装着するウェーハ押え治具とからなる。何れの部材
も所要の低発塵性、低ガス放散性の公知の合成樹脂から
なり、射出一体成形、もしくは異材質の組立て成形など
の公知の樹脂成形法にて製造される。
【００１８】ケース本体１は、内部に複数のウェーハを
個別に直立支持するためのＵ字型溝３を多数配設したウ
ェーハ収納枠２を収めてあり、大きく折り曲げ形成した
高剛性の上面周縁部４には、その上端面に後述のケース
蓋１０の周縁部１１が当接して密着するように、嵌合用
の溝部を周設してあり、所要の軟質材からなるパッキン
１２を配設してある。また、ケース本体１の上面周縁部
４には、ケース蓋１０のロック用翼状部材１３が嵌まり
込むように、周縁部４の短辺側及び長辺側の４つの外側
面の各中央下端部に、切欠部５が形成してあり、かつ翼
状部材１３の孔部に嵌合する突起６を設けてある。
個別に直立支持するためのＵ字型溝３を多数配設したウ
ェーハ収納枠２を収めてあり、大きく折り曲げ形成した
高剛性の上面周縁部４には、その上端面に後述のケース
蓋１０の周縁部１１が当接して密着するように、嵌合用
の溝部を周設してあり、所要の軟質材からなるパッキン
１２を配設してある。また、ケース本体１の上面周縁部
４には、ケース蓋１０のロック用翼状部材１３が嵌まり
込むように、周縁部４の短辺側及び長辺側の４つの外側
面の各中央下端部に、切欠部５が形成してあり、かつ翼
状部材１３の孔部に嵌合する突起６を設けてある。
【００１９】ケース蓋１０は、その内周縁部に前記ケー
ス本体１の上面周縁部４端面に嵌合する溝部を周設して
あり、短辺側及び長辺側の４つの外周部に翼状部材１３
が設けてある。
ス本体１の上面周縁部４端面に嵌合する溝部を周設して
あり、短辺側及び長辺側の４つの外周部に翼状部材１３
が設けてある。
【００２０】ウェーハ押え治具は、ここではケース蓋１
０の内裏面部に嵌入組立てする構成からなり、矩形状治
具枠２０の中央部に、収納したウェーハ３０の上ＯＦエ
ッジ部に当接するように肉厚方向のＶ形あるいはＵ形溝
を多数設けた２条の薄肉狭幅支持片２１，２２が設けて
ある。
０の内裏面部に嵌入組立てする構成からなり、矩形状治
具枠２０の中央部に、収納したウェーハ３０の上ＯＦエ
ッジ部に当接するように肉厚方向のＶ形あるいはＵ形溝
を多数設けた２条の薄肉狭幅支持片２１，２２が設けて
ある。
【００２１】薄肉広幅支持片２３，２４は、ケース蓋１
０裏面の上記２条の薄肉狭幅支持片２１，２２の外側に
設けてあり、断面略Ｌ型の薄肉片は所要長さのスリット
で多数の短冊状に分割され、ウェーハ３０の両肩部エッ
ジ部に接線方向に当接する際に先端部が各Ｕ字型溝３の
側面の底に当接するピン部２３ａ，２４ａとなり、その
内側にウェーハ３０のエッジ部が当接する凹部を設けて
ある。
０裏面の上記２条の薄肉狭幅支持片２１，２２の外側に
設けてあり、断面略Ｌ型の薄肉片は所要長さのスリット
で多数の短冊状に分割され、ウェーハ３０の両肩部エッ
ジ部に接線方向に当接する際に先端部が各Ｕ字型溝３の
側面の底に当接するピン部２３ａ，２４ａとなり、その
内側にウェーハ３０のエッジ部が当接する凹部を設けて
ある。
【００２２】複数枚のウェーハ３０がウェーハ収納枠２
に収納されてケース本体１内に収められてケース蓋１０
が載置されるが、ケース本体１とケース蓋１０の周縁部
４，１１同士の凹凸嵌合と、翼状部材１３の孔部と切欠
部５内の突起６との嵌合によるロックにて周縁部４，１
１の全面にわたって均一かつ安定した気密性が保持で
き、ウェーハ３０への外気的汚染が大幅に低減する。
に収納されてケース本体１内に収められてケース蓋１０
が載置されるが、ケース本体１とケース蓋１０の周縁部
４，１１同士の凹凸嵌合と、翼状部材１３の孔部と切欠
部５内の突起６との嵌合によるロックにて周縁部４，１
１の全面にわたって均一かつ安定した気密性が保持で
き、ウェーハ３０への外気的汚染が大幅に低減する。
【００２３】ケース蓋１０内裏面に組み込まれたウェー
ハ押え治具、すなわち、各ウェーハ３０を個別に薄肉狭
幅支持片２１，２２でＯＦ部を上部からケース本体１底
方向へ押さえることができ、また薄肉広幅支持片２３，
２４はその先端部ピン部２３ａ，２４ａがＵ字型溝３の
側面の底に当接し、ウェーハ３０の両肩部を斜め方向か
らから押えて確実に支持するために、上下左右振動によ
るウェーハのぐらつきを完全に防止でき、輸送時のケー
ス内のウェーハの振動が無くなり、ウェーハへのパーテ
ィクル付着を大幅に低減できる。
ハ押え治具、すなわち、各ウェーハ３０を個別に薄肉狭
幅支持片２１，２２でＯＦ部を上部からケース本体１底
方向へ押さえることができ、また薄肉広幅支持片２３，
２４はその先端部ピン部２３ａ，２４ａがＵ字型溝３の
側面の底に当接し、ウェーハ３０の両肩部を斜め方向か
らから押えて確実に支持するために、上下左右振動によ
るウェーハのぐらつきを完全に防止でき、輸送時のケー
ス内のウェーハの振動が無くなり、ウェーハへのパーテ
ィクル付着を大幅に低減できる。
【００２４】
【発明の効果】この発明による半導体ウェーハの輸送用
容器は、スリットで多数の短冊状に分割され、先端部が
各Ｕ字型溝の側面の底に当接するピン部となり、その内
側にウェーハのエッジ部が当接する凹部を設けた薄肉広
幅支持片を用いたことにより、弾性体をケース蓋裏面と
Ｕ字型溝の側面の底間に架け渡すことができ、最適の押
圧力でウェーハの両肩部に当接支持でき、かつこの押圧
力が容器に与えられた振動でも変動せず、輸送中のウェ
ーハを完全に保持することができ、ウェーハの振動が無
くなりパーティクル付着を大幅に低減できる。
容器は、スリットで多数の短冊状に分割され、先端部が
各Ｕ字型溝の側面の底に当接するピン部となり、その内
側にウェーハのエッジ部が当接する凹部を設けた薄肉広
幅支持片を用いたことにより、弾性体をケース蓋裏面と
Ｕ字型溝の側面の底間に架け渡すことができ、最適の押
圧力でウェーハの両肩部に当接支持でき、かつこの押圧
力が容器に与えられた振動でも変動せず、輸送中のウェ
ーハを完全に保持することができ、ウェーハの振動が無
くなりパーティクル付着を大幅に低減できる。
【００２５】また、この発明の薄肉広幅支持片はケース
蓋の閉め初めから既に該支持片の各ピン部がウェーハ収
納枠Ｕ字型溝に侵入しているため、Ｕ字型溝がガイドと
なって確実にウェーハの外周部を押さえることができる
利点がある。
蓋の閉め初めから既に該支持片の各ピン部がウェーハ収
納枠Ｕ字型溝に侵入しているため、Ｕ字型溝がガイドと
なって確実にウェーハの外周部を押さえることができる
利点がある。
【図１】この発明による半導体ウェーハの輸送用容器の
縦断斜視説明図である。
縦断斜視説明図である。
【図２】この発明による半導体ウェーハの輸送用容器の
縦断正面説明図である。
縦断正面説明図である。
【図３】この発明による半導体ウェーハの輸送用容器の
一部縦断側面説明図である。
一部縦断側面説明図である。
１ ケース本体 ２ ウェーハ収納枠 ３ Ｕ字型溝 ４ 周縁部 ５ 切欠部 ６ 突起 １０ ケース蓋 １１ 周縁部 １２ パッキン １３ 翼状部材 ２０ 治具枠 ２１，２２ 薄肉狭幅支持片 ２３ 薄肉広幅支持片 ２３ａ，２４ａ ピン部 ３０ ウェーハ
Claims (1)
- 【請求項１】 複数のウェーハをＵ字型溝にて個別に直
立支持可能なウェーハ収納枠、該枠を収めるケース本体
と、ケース蓋及び該蓋に装着するウェーハ押え治具から
構成される樹脂製の半導体ウェーハの輸送用容器におい
て、ケース蓋裏面の中央部に２条の先端に切り込みを入
れた薄肉狭幅支持片を設け、さらにその外側にも各々薄
肉広幅支持片を設け、広幅支持片が所要長さのスリット
で多数の短冊状に分割され、先端部が各Ｕ字型溝の側面
の底に当接するピン部となり、その内側にウェーハのエ
ッジ部が当接する凹部を設けたことを特徴とする半導体
ウェーハの輸送用容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9327291A JPH06101515B2 (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | 半導体ウェーハの輸送用容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9327291A JPH06101515B2 (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | 半導体ウェーハの輸送用容器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04303941A JPH04303941A (ja) | 1992-10-27 |
| JPH06101515B2 true JPH06101515B2 (ja) | 1994-12-12 |
Family
ID=14077816
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9327291A Expired - Lifetime JPH06101515B2 (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | 半導体ウェーハの輸送用容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06101515B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2586364Y2 (ja) * | 1992-12-28 | 1998-12-02 | 住友シチックス株式会社 | 輸送用ウェーハケース |
| US6474474B2 (en) | 1998-02-06 | 2002-11-05 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | Sheet support container |
| WO1999039994A1 (en) * | 1998-02-06 | 1999-08-12 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | Sheet support container |
| JP2000289795A (ja) | 1999-04-06 | 2000-10-17 | Kakizaki Mamufacuturing Co Ltd | 薄板収納・輸送容器 |
| JP5087145B2 (ja) * | 2008-11-25 | 2012-11-28 | ミライアル株式会社 | ウエハ収納容器 |
| CN109003928B (zh) * | 2018-07-21 | 2021-03-09 | 江苏德尔科测控技术有限公司 | 一种硅片承载装置 |
-
1991
- 1991-03-29 JP JP9327291A patent/JPH06101515B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04303941A (ja) | 1992-10-27 |
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