CN109003928B - 一种硅片承载装置 - Google Patents

一种硅片承载装置 Download PDF

Info

Publication number
CN109003928B
CN109003928B CN201810807278.8A CN201810807278A CN109003928B CN 109003928 B CN109003928 B CN 109003928B CN 201810807278 A CN201810807278 A CN 201810807278A CN 109003928 B CN109003928 B CN 109003928B
Authority
CN
China
Prior art keywords
silicon wafer
groove
water flow
front baffle
bottom plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201810807278.8A
Other languages
English (en)
Other versions
CN109003928A (zh
Inventor
牟恒
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JIANGSU DER SENSOR HOLDINGS Ltd.
Original Assignee
Jiangsu Deerke Measurement And Control Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jiangsu Deerke Measurement And Control Technology Co ltd filed Critical Jiangsu Deerke Measurement And Control Technology Co ltd
Priority to CN201810807278.8A priority Critical patent/CN109003928B/zh
Publication of CN109003928A publication Critical patent/CN109003928A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN109003928B publication Critical patent/CN109003928B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/67313—Horizontal boat type carrier whereby the substrates are vertically supported, e.g. comprising rod-shaped elements

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)

Abstract

本申请公开了一种硅片承载装置，涉及硅片加工制造领域，包括一放置架，该放置架具有：一前挡板，该前挡板外侧设置有一把手；一后挡板，该后挡板与前挡板相对设置；一底板，该底板设置在前挡板和后挡板之间，底板一端与前挡板连接，另一端与后档板连接；立柱，该立柱的数量大于等于二，立柱分为两排相对地固定在底板上，且具有：凹槽，该凹槽竖直设置在立柱内侧，凹槽内侧壁上设置有：顶块一，该顶块一由弹性体材料制成。本申请通过在凹槽之中设置顶块，解决了现有技术中硅片放置架不稳定的问题。

Description

一种硅片承载装置
技术领域
本申请涉及硅片加工技术领域，特别涉及到一种硅片承载装置。
背景技术
在硅片的生产过程中，具有切割、清洗、镀镍、光刻等多个工序，在硅片切割完毕之后，需要一个承载装置用于放置硅片，并将硅片转移至下一道工序进行进一步的加工，故该硅片承载装置需要满足便于移动、稳定性高的要求。
如在公开号为CN104282602A的中国发明专利中，公开了一种“硅片放置架”，其通过在两块竖直相对设置的板块之间设置若干竖直凹槽，并在该竖直凹槽的下端设置与硅片边缘形状相应的向内的圆弧，使硅片能够固定在竖直凹槽中，再通过设置在放置架本体上端的提手进行硅片的搬运。但是，在上述技术方案中，要实现硅片顺利放置在竖直凹槽中，该竖直凹槽的宽度要略宽于硅片，导致竖直凹槽与硅片之间存在空隙，使硅片不能稳定放置在竖直凹槽中，若在硅片搬运过程中或加工过程中产生较大的震荡，竖直凹槽会对硅片造成损害，或是硅片直接从竖直凹槽中滑出，影响硅片的加工效率。
发明内容
本申请的目的是提供一种硅片承载装置，解决现有技术中硅片放置架不稳定的问题，保证硅片在搬运和清洗过程中的稳定性。
为实现上述目的，本申请实施例采用以下技术方案：一种硅片承载装置，包括一放置架，该放置架具有：一前挡板，该前挡板外侧设置有一把手；一后挡板，该后挡板与前挡板相对设置；一底板，该底板设置在前挡板和后挡板之间，底板一端与前挡板连接，另一端与后档板连接；立柱，该立柱的数量大于等于二，立柱分为两排相对地固定在底板上，且具有：凹槽，该凹槽竖直设置在立柱内侧，凹槽内侧壁上设置有：顶块一，该顶块一由弹性体材料制成。
在上述技术方案中，本申请实施例通过在凹槽之中设置顶块，解决了现有技术中硅片放置架不稳定的问题。在本实施例中，顶块有橡胶等柔软的弹性体材料制成，将硅片插入凹槽中时，硅片挤压顶块向下插入，而顶块将压力反作用于硅片，使顶块与硅片紧密接触，能够实现完全固定硅片。
进一步地，根据本申请实施例，立柱底部具有底座，凹槽从立柱的顶端延伸至该底座，凹槽在底座处为弧形。通过在立柱底部设置底座并在底座上设置弧形凹槽，使凹槽整体的形状与硅片的侧边轮廓保持一致，能够更好地通过凹槽夹紧硅片，实现完全固定硅片。
进一步地，根据本申请实施例，凹槽内侧底部设置有水流孔一。通过该水流孔一，可以将水流导入凹槽内，使本放置架能够直接装载硅片进行超声波水洗，并对硅片的边缘区域(包裹在凹槽内)进行清洗。
进一步地，根据本申请实施例，凹槽内侧底部还设置有水流槽一，该水流槽一设置在水流孔一之间。水流槽一设置在凹槽的底部，能够对水流进行导流，从而对硅片的侧边进行清洗。
进一步地，根据本申请实施例，立柱上端设置有横杆，该横杆一端与前挡板连接，另一端与后挡板连接。通过该横杆，能够加强立柱的支撑能力，是本放置架更加稳定。
进一步地，根据本申请实施例，横杆内侧设置有缺口，该缺口与所述凹槽一一对应。通过该缺口，使硅片能够从缺口处插入凹槽，增加本放置架的便利程度。
进一步地，根据本申请实施例，横杆上设置有卡扣，该卡扣通过铰接件与横杆连接，铰接件与横杆同向设置。该卡扣能够绕横杆翻转，当硅片插入至凹槽之中时，可以将卡扣翻转至硅片上方，并将硅片的上边缘卡入卡扣中，进一步固定硅片，提高硅片放置的稳定性。
进一步地，根据本申请实施例，卡扣内侧壁上设置有顶块二、水流孔二和水流槽二。顶块二、水流孔二和水流槽二与顶块一、水流孔一和水流槽一的作用一致。
进一步地，根据本申请实施例，硅片承载装置还包括一箱体，该箱体一端具有开口，另一端安装有万向轮。通过设置该箱体，是本放置装置具有了存放功能，更加方便使用。
进一步地，根据本申请实施例，箱体上设置有通风口，该通风口上设置有过滤网。通过该通风口，能够保持本放置装置中的硅片的干燥，延长硅片的存放时间。
在上述技术方案中，本申请通过在凹槽之中设置的顶块一挤压硅片并与硅片紧密贴合，将硅片完全固定并具有一定的防护效果，保证在硅片的转移和清洗过程之中产生较大震荡时，凹槽不会对硅片造成损害。其次，通过水流孔一及水流槽一与顶块一之间的配合，能在硅片清洗工序中实现对硅片边缘部分及侧边的清洗，提高了清洗的效率。再次，本实施例通过在横杆上设置卡扣，对硅片进行进一步地固定，也能够防止硅片从凹槽中滑出。最后，本实施例通过设置箱体，同时解决的硅片的存放问题，使本实施例所述的硅片承载装置具有了存放功能，实用性强。
附图说明
下面结合附图和实施例对本申请进一步说明。
图1是本申请中一种硅片承载装置的结构示意图。
图2是图1中的A处放大图。
图3是图2中的B处放大图。
图4是本申请中的箱体的结构示意图。
附图中
1、前挡板 11、把手 2、后挡板
3、底板 4、立柱 41、底座
42、凹槽 421、顶块一 422、水流孔一
423、水流槽一 5、横杆 51、缺口
52、卡扣 521、顶块二 522、水流孔二
523、水流槽二 53、铰接件 6、箱体
61、开口 62、万向轮 63、通风口
631、过滤网
具体实施方式
为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
如图1所示，本实施例公开了一种硅片承载装置，具体为一放置架，包括一前挡板1和一后挡板2，该前挡板1和后挡板2为竖直对立设置，在前挡板1外侧还固定安装有把手11，通过该把手11能够将整个放置架提起。在前挡板1和后挡板2之间，设置有一底板3，该底板3固定在前挡板1和后挡板2的下端，其一端与前挡板1固定连接，另一端与后挡板2固定连接，构成本放置架的框架。在底板3两侧边上，分别固定安装有一排若干个立柱4，该立柱4均匀分布在前挡板1和后挡板1之间，且两排立柱4一一对应，相对设置。立柱4下端具有向内延伸的底座41，通过该底座41能够增加立柱的支撑强度。在立柱4内侧，竖直设置有凹槽42，用于安装硅片，使硅片能够放置在两个相对的立柱4之间。该凹槽42从立柱4顶端延伸至底座41，在底座41处该凹槽42为弧形形状，与一般硅片的形状相配，使硅片能够完包覆在凹槽42中。
具体地，如图2所示，在凹槽42内壁上，设置有多个顶块一421，在本实施例中，该顶块一421采用橡胶等柔软的弹性体材料制造成方形，也可以为其他具体的形状。由于顶块一421具有弹性，两侧顶块一421之间的距离可以相对略小于等于硅片的宽度，在将硅片插入凹槽42之中时，硅片能够挤压顶块一421而向下插入，顶块一421将压力反作用于硅片且与硅片紧密贴合，将硅片完全固定在凹槽42内。与现有的硅片放置架相比，本实施例通过在凹槽42中设置顶块一421而更能够稳定地装载硅片。
此外，如图2-3所示，在凹槽42内侧底部，还设置有水流孔一422和水流槽一423，使硅片在放入本放置架后，可以直接进行超声波水洗。其中，水流孔一422为通孔，具有多个，能够将水流导入至凹槽42内，而水流槽一423设置在各个水流孔一422之间，能够对水流进行导流，增强水流的流通能力。通过水流孔一422和水流槽一423，水流能够流到硅片的边缘及侧边处。其次，在本实施例中，顶块一421与硅片的接触面积较小，能够对硅片进行充分的清洗，而在现有的硅片放置架一般需要将硅片的大部分边缘地区完全包覆，无法实现充分的清洗。
其次，如图1、3所示，在本实施例中，在两侧立柱4上端设置有横杆5，该横杆5一端固定在前挡板1上，另一端固定在后挡板2上，且与立柱4固定连接。在横杆5内侧边上，设置有多个缺口51，该缺口51与凹槽42的位置一一对应，使硅片能够在缺口51处插入凹槽42。此外，缺口51外侧，设置有卡扣52，该卡扣52通过铰接件53连接在横杆5上，铰接件53与横杆5同向设置，使卡扣52能够绕横杆5翻转，当硅片插入至凹槽42之中时，可以将卡扣52翻转至硅片上方，并将硅片的上边缘卡入卡扣52中，进一步固定硅片，提高硅片放置的稳定性。具体地，卡扣52内壁同样也设置有顶块二521、水流孔二522及水流槽二523，顶块二521、水流孔二522及水流槽二523的作用与顶块一421、水流孔一422及水流槽一423一致，顶块二521挤压硅片并与硅片紧密贴合，将硅片完全固定，水流孔二522为通孔，能够将水流导入至卡扣52内，而水流槽二523设置在水流孔二522之间，能够对水流进行导流，增强水流的流通能力。
最后，如图4所示，在本实施例中，还包括有一箱体6，用于存放硅片。箱体6一端设置有开口61，通过该开口61能够将上述放置架放入箱体6之中，其中开口61的大小与后挡板2的大小相适应，而前挡板1的大于开口61，使前挡板1能够被挡在箱体6外而漏出把手11，方便取放该放置架。在箱体6的另一端固定安装有四个万向轮62，将放置架安装在箱体6之中后，能够将整个承载装置立起来，更加便于移动。此外，在箱体6的侧壁上设置有通风口63，该通风口63上附着有过滤网631，通过该通风口63能够使硅片进行通风干燥，并通过过滤网631过滤空气杂质。
综上所述，本实施例公开了一种硅片承载装置，通过在凹槽42之中设置的顶块一421挤压硅片并与硅片紧密贴合，将硅片完全固定并具有一定的防护效果，保证在硅片的转移和清洗过程之中产生较大震荡时，凹槽42不会对硅片造成损害。其次，通过水流孔一422及水流槽一423与顶块一421之间的配合，能在硅片清洗工序中实现对硅片边缘部分及侧边的清洗，提高了清洗的效率。再次，本实施例通过在横杆5上设置卡扣52，对硅片进行进一步地固定。也能够防止硅片从凹槽42中滑出。最后，本实施例通过设置箱体6，同时解决的硅片的存放问题，使本实施例所述的硅片承载装置具有了存放功能，实用性强。
尽管上面对本申请说明性的具体实施方式进行了描述，以便于本技术领域的技术人员能够理解本申请，但是本申请不仅限于具体实施方式的范围，对本技术领域的普通技术人员而言，只要各种变化只要在所附的权利要求限定和确定的本申请精神和范围内，一切利用本申请构思的申请创造均在保护之列。

Claims (6)

1. 一种硅片承载装置，包括一放置架，所述放置架具有：一前挡板，所述前挡板外侧设置有一把手；一后挡板，所述后挡板与所述前挡板相对设置；一底板，所述底板设置在所述前挡板和所述后挡板之间，所述底板一端与所述前挡板连接，另一端与所述后挡板连接；立柱，所述立柱的数量大于等于二，所述立柱分为两排相对地固定在所述底板上，且具有：凹槽，所述凹槽竖直设置在所述立柱内侧，所述凹槽内侧壁上设置有：顶块一，所述顶块一由弹性体材料制成；
所述立柱上端设置有横杆，所述横杆一端与所述前挡板连接，另一端与所述后挡板连接；
所述横杆内侧设置有缺口，所述缺口与所述凹槽一一对应；
所述横杆上设置有卡扣，所述卡扣通过铰接件与所述横杆连接，所述铰接件与所述横杆同向设置；
所述卡扣内侧壁上设置有顶块二、水流孔二和水流槽二。
2.根据权利要求1所述的一种硅片承载装置，其中，所述立柱底部具有底座，所述凹槽从所述立柱的顶端延伸至所述底座，所述凹槽在所述底座处为弧形。
3.根据权利要求1所述的一种硅片承载装置，其中，所述凹槽内侧底部设置有水流孔一。
4.根据权利要求1所述的一种硅片承载装置，其中，所述凹槽内侧底部还设置有水流槽一，所述水流槽一设置在所述水流孔一之间。
5.根据权利要求1所述的一种硅片承载装置，其中，所述硅片承载装置还包括一箱体，所述箱体一端具有开口，另一端安装有万向轮。
6.根据权利要求5所述的一种硅片承载装置，其中，所述箱体上设置有通风口，所述通风口上设置有过滤网。
CN201810807278.8A 2018-07-21 2018-07-21 一种硅片承载装置 Active CN109003928B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810807278.8A CN109003928B (zh) 2018-07-21 2018-07-21 一种硅片承载装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810807278.8A CN109003928B (zh) 2018-07-21 2018-07-21 一种硅片承载装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN109003928A CN109003928A (zh) 2018-12-14
CN109003928B true CN109003928B (zh) 2021-03-09

Family

ID=64597614

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201810807278.8A Active CN109003928B (zh) 2018-07-21 2018-07-21 一种硅片承载装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN109003928B (zh)

Citations (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0322547A (ja) * 1989-06-20 1991-01-30 Fujitsu Ltd 基板ホルダ
JPH04303941A (ja) * 1991-03-29 1992-10-27 Kyushu Electron Metal Co Ltd 半導体ウェーハの輸送用容器
JPH0936215A (ja) * 1995-07-18 1997-02-07 Sony Corp キャリアケース
CN1232289A (zh) * 1997-10-20 1999-10-20 氟器皿有限公司 最小接触的晶片载架
US20050006266A1 (en) * 2003-07-08 2005-01-13 Hoya Corporation Container for housing a mask blank, method of housing a mask blank, and mask blank package
CN1622308A (zh) * 2004-12-17 2005-06-01 北京市塑料研究所 硅片承载器
US20060205213A1 (en) * 2002-06-27 2006-09-14 Hitachi Kokusai Electric Inc., Substrate treating apparatus and method for manufacturing semiconductor device
CN101667551A (zh) * 2008-09-03 2010-03-10 上海华虹Nec电子有限公司 硅片承载舟及其制造方法
CN202384375U (zh) * 2011-11-10 2012-08-15 北京市塑料研究所 带有金属框架的组装式大容量硅片花篮
CN104282602A (zh) * 2013-07-08 2015-01-14 中国振华集团永光电子有限公司 硅片放置架
CN204668284U (zh) * 2015-06-09 2015-09-23 宁波科论太阳能有限公司 单晶硅片盒
KR20150137810A (ko) * 2014-05-30 2015-12-09 황동석 기판 홀더용 지그
US20160172222A1 (en) * 2013-12-28 2016-06-16 Intel Corporation Methods and devices for securing and transporting singulated die in high volume manufacturing
CN205680666U (zh) * 2016-06-20 2016-11-09 陈燕琛 一种可调节硅片承载装置
CN205789904U (zh) * 2016-06-02 2016-12-07 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 一种用于硅片制绒的花篮
CN206422053U (zh) * 2016-12-30 2017-08-18 内蒙古中环光伏材料有限公司 一种用于盛放硅片的盒子
CN107534006A (zh) * 2015-03-13 2018-01-02 恩特格里斯公司 用于膜架传送机的改进型弹簧垫

Patent Citations (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0322547A (ja) * 1989-06-20 1991-01-30 Fujitsu Ltd 基板ホルダ
JPH04303941A (ja) * 1991-03-29 1992-10-27 Kyushu Electron Metal Co Ltd 半導体ウェーハの輸送用容器
JPH0936215A (ja) * 1995-07-18 1997-02-07 Sony Corp キャリアケース
CN1232289A (zh) * 1997-10-20 1999-10-20 氟器皿有限公司 最小接触的晶片载架
CN1165963C (zh) * 1997-10-20 2004-09-08 氟器皿有限公司 最小接触的晶片载架
US20060205213A1 (en) * 2002-06-27 2006-09-14 Hitachi Kokusai Electric Inc., Substrate treating apparatus and method for manufacturing semiconductor device
US20050006266A1 (en) * 2003-07-08 2005-01-13 Hoya Corporation Container for housing a mask blank, method of housing a mask blank, and mask blank package
CN1622308A (zh) * 2004-12-17 2005-06-01 北京市塑料研究所 硅片承载器
CN101667551A (zh) * 2008-09-03 2010-03-10 上海华虹Nec电子有限公司 硅片承载舟及其制造方法
CN202384375U (zh) * 2011-11-10 2012-08-15 北京市塑料研究所 带有金属框架的组装式大容量硅片花篮
CN104282602A (zh) * 2013-07-08 2015-01-14 中国振华集团永光电子有限公司 硅片放置架
US20160172222A1 (en) * 2013-12-28 2016-06-16 Intel Corporation Methods and devices for securing and transporting singulated die in high volume manufacturing
KR20150137810A (ko) * 2014-05-30 2015-12-09 황동석 기판 홀더용 지그
CN107534006A (zh) * 2015-03-13 2018-01-02 恩特格里斯公司 用于膜架传送机的改进型弹簧垫
CN204668284U (zh) * 2015-06-09 2015-09-23 宁波科论太阳能有限公司 单晶硅片盒
CN205789904U (zh) * 2016-06-02 2016-12-07 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 一种用于硅片制绒的花篮
CN205680666U (zh) * 2016-06-20 2016-11-09 陈燕琛 一种可调节硅片承载装置
CN206422053U (zh) * 2016-12-30 2017-08-18 内蒙古中环光伏材料有限公司 一种用于盛放硅片的盒子

Also Published As

Publication number Publication date
CN109003928A (zh) 2018-12-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN208028187U (zh) 一种具备防破坏效果的锂电池
CN109003928B (zh) 一种硅片承载装置
CN210805720U (zh) 一种半导体晶圆湿法清洗治具
CN209193069U (zh) 一种玻璃片清洗中转篮具
CN206480608U (zh) 硅片花篮
CN209861998U (zh) 一种水产品转运用转运箱
CN213113093U (zh) 一种微晶玻璃用钢化承放结构
CN217585261U (zh) 一种加速电池烘烤干燥的夹具
CN207811938U (zh) 一种用于类单晶籽晶清洗用的花篮
CN219750014U (zh) 可伸缩快拆式车篮网盖
CN213905324U (zh) 一种石英舟
CN218827622U (zh) 一种方型铝壳锂电池托盘
CN209822607U (zh) 一种晶舟
CN216980515U (zh) 一种用于smb组装的晶元摆放装置
CN204857690U (zh) 一种硅片载片篮
CN220934035U (zh) 一种太阳能电池硅片扩散用石英舟托
CN213424952U (zh) 一种清洗用硅片花篮
CN215755189U (zh) 一种门环线堆垛下料机构
CN207062428U (zh) 石英舟
CN213150740U (zh) 一种适用于各种尺寸硅片的干花篮装置
CN217655867U (zh) 一种硅片承载装置
CN216563047U (zh) 一种太阳能电池片用承载花篮
CN220963264U (zh) 一种花篮治具
CN221041059U (zh) 一种兼容多尺寸硅片承载的花篮
CN218840627U (zh) 一种仓储物流移动搬运货架

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
TR01 Transfer of patent right
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20210401

Address after: 210000 Zhongguancun Software Park, 7 Yingcui Road, Jiangjun Avenue, Jiangning Development Zone, Nanjing City, Jiangsu Province

Patentee after: JIANGSU DER SENSOR HOLDINGS Ltd.

Address before: 215600 2 / F, building a, kechuangyuan, 36 Huada Road, Zhangjiagang Free Trade Zone, Suzhou City, Jiangsu Province (Delco)

Patentee before: JIANGSU DEERKE MEASUREMENT AND CONTROL TECHNOLOGY Co.,Ltd.