JPH0936215A - キャリアケース - Google Patents
キャリアケースInfo
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- JPH0936215A JPH0936215A JP18126195A JP18126195A JPH0936215A JP H0936215 A JPH0936215 A JP H0936215A JP 18126195 A JP18126195 A JP 18126195A JP 18126195 A JP18126195 A JP 18126195A JP H0936215 A JPH0936215 A JP H0936215A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 搬送時の振動等による板状物品の破損を防止
する。 【解決手段】 規定枚数の板状物品Ｗを収納可能な収納
凹部１２を有するケース本体１１と、その収納凹部１２
の相対向するケース側壁部１３に設けられるとともに、
板状物品Ｗの周縁部に係合可能な係合溝１５が形成され
た物品支持部１４とを備えたキャリアケース１０であっ
て、収納凹部１２内で板状物品Ｗと接触状態に保持され
る物品支持部１４をゴム状弾性体で構成した。
する。 【解決手段】 規定枚数の板状物品Ｗを収納可能な収納
凹部１２を有するケース本体１１と、その収納凹部１２
の相対向するケース側壁部１３に設けられるとともに、
板状物品Ｗの周縁部に係合可能な係合溝１５が形成され
た物品支持部１４とを備えたキャリアケース１０であっ
て、収納凹部１２内で板状物品Ｗと接触状態に保持され
る物品支持部１４をゴム状弾性体で構成した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、規定枚数の板状物
品（例えば、半導体ウエハやレーザディスク等）を収納
可能なキャリアケースに関するものである。
品（例えば、半導体ウエハやレーザディスク等）を収納
可能なキャリアケースに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、板状物品として例えば半導体ウエ
ハを取り扱うウエハ処理工程では、工程間でのウエハ搬
送用として、複数枚のウエハを収納可能なキャリアケー
スが用いられる。この種のキャリアケースは、そのケー
ス本体に規定枚数（通常は２５枚）のウエハを収納可能
な収納凹部を有し、この収納凹部の相対向するケース側
壁部に物品支持部が設けられている。物品支持部には板
状物品であるウエハの周縁部に係合可能な係合溝が形成
されており、この係合溝にウエハを係合することにより
収納凹部内でのウエハの姿勢が保持されるようになって
いる。
ハを取り扱うウエハ処理工程では、工程間でのウエハ搬
送用として、複数枚のウエハを収納可能なキャリアケー
スが用いられる。この種のキャリアケースは、そのケー
ス本体に規定枚数（通常は２５枚）のウエハを収納可能
な収納凹部を有し、この収納凹部の相対向するケース側
壁部に物品支持部が設けられている。物品支持部には板
状物品であるウエハの周縁部に係合可能な係合溝が形成
されており、この係合溝にウエハを係合することにより
収納凹部内でのウエハの姿勢が保持されるようになって
いる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来のキ
ャリアケースにおいては、ウエハとの接触部分となる物
品支持部がケース本体と同様の硬質材料によって構成さ
れていたため、搬送時の振動によってウエハに欠けや割
れ等の破損が生じるという問題があった。また工場間で
の輸送時には、ケース本体の開口部分を蓋体で閉塞し、
この蓋体に設けた物品押え部によってウエハを弾性的に
押圧保持する方式も採用されているが、実際にウエハと
接触する物品支持部が硬質であるために、輸送時の振動
によっても上記同様にウエハに破損が生じるという問題
があった。
ャリアケースにおいては、ウエハとの接触部分となる物
品支持部がケース本体と同様の硬質材料によって構成さ
れていたため、搬送時の振動によってウエハに欠けや割
れ等の破損が生じるという問題があった。また工場間で
の輸送時には、ケース本体の開口部分を蓋体で閉塞し、
この蓋体に設けた物品押え部によってウエハを弾性的に
押圧保持する方式も採用されているが、実際にウエハと
接触する物品支持部が硬質であるために、輸送時の振動
によっても上記同様にウエハに破損が生じるという問題
があった。
【０００４】そこで輸送時の物品保護のために、クッシ
ョン材を間に挟んでタッパー容器に一枚ずつウエハを積
み重ねる、いわゆるタッパーコインスタック方式も採用
されているが、この方式では工場搬出、搬入時にキャリ
アケースからタッパー容器へ、又はタッパー容器からキ
ャリアケースへのウエハの詰め替えが必要になるため余
計な工数がかかるという別の問題があった。
ョン材を間に挟んでタッパー容器に一枚ずつウエハを積
み重ねる、いわゆるタッパーコインスタック方式も採用
されているが、この方式では工場搬出、搬入時にキャリ
アケースからタッパー容器へ、又はタッパー容器からキ
ャリアケースへのウエハの詰め替えが必要になるため余
計な工数がかかるという別の問題があった。
【０００５】本発明は、上記問題を解決するためになさ
れたもので、その目的は、工程間搬送時や工場間輸送時
における板状物品の破損を防止することができるキャリ
アケースを提供することにある。
れたもので、その目的は、工程間搬送時や工場間輸送時
における板状物品の破損を防止することができるキャリ
アケースを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明で
は、規定枚数の板状物品を収納可能な収納凹部を有する
ケース本体と、その収納凹部の相対向するケース側壁部
に設けられるとともに、板状物品の周縁部に係合可能な
係合溝が形成された物品支持部とを備えたキャリアケー
スにおいて、物品支持部がゴム状弾性体によって構成さ
れたものとなっている。
は、規定枚数の板状物品を収納可能な収納凹部を有する
ケース本体と、その収納凹部の相対向するケース側壁部
に設けられるとともに、板状物品の周縁部に係合可能な
係合溝が形成された物品支持部とを備えたキャリアケー
スにおいて、物品支持部がゴム状弾性体によって構成さ
れたものとなっている。
【０００７】したがって請求項１記載の発明では、工程
間搬送時の振動によって板状物品に加わる衝撃がウエハ
支持部の弾性変形によって緩和されるようになる。
間搬送時の振動によって板状物品に加わる衝撃がウエハ
支持部の弾性変形によって緩和されるようになる。
【０００８】請求項２記載の発明では、請求項１記載の
キャリアケースにおいて、ウエハ支持部がキャリア本体
の物品整列方向において規定収納枚数分だけ分割した状
態で設けられた構成となっている。
キャリアケースにおいて、ウエハ支持部がキャリア本体
の物品整列方向において規定収納枚数分だけ分割した状
態で設けられた構成となっている。
【０００９】したがって請求項２記載の発明では、工程
間搬送時の振動によって板状物品に加わる衝撃が、個々
に分割された物品支持部の弾性変形によって個別に緩和
されるようになる。
間搬送時の振動によって板状物品に加わる衝撃が、個々
に分割された物品支持部の弾性変形によって個別に緩和
されるようになる。
【００１０】請求項３記載の発明では、請求項２記載の
キャリアケースにおいて、ケース本体の開口部分を閉塞
するための蓋体と、物品整列方向において規定収納枚数
分だけ分割した状態で蓋体に設けられ、ケース本体の収
納凹部に収納された板状物品を物品支持部とともに弾性
的に支持する物品押え部とを具備した構成となってい
る。
キャリアケースにおいて、ケース本体の開口部分を閉塞
するための蓋体と、物品整列方向において規定収納枚数
分だけ分割した状態で蓋体に設けられ、ケース本体の収
納凹部に収納された板状物品を物品支持部とともに弾性
的に支持する物品押え部とを具備した構成となってい
る。
【００１１】したがって請求項３記載の発明では、ケー
ス本体の収納凹部に収納された板状物品が、個々に分割
された物品支持部と物品押え部とによってそれぞれ独立
したかたちで弾性的に且つフローティング状態で支持さ
れるようになる。そのため、物品輸送時の振動によって
板状物品に加わる衝撃は、各々の物品収納位置で分割さ
れたウエハ支持部とウエハ押え部とにより個別に緩和さ
れるようになる。
ス本体の収納凹部に収納された板状物品が、個々に分割
された物品支持部と物品押え部とによってそれぞれ独立
したかたちで弾性的に且つフローティング状態で支持さ
れるようになる。そのため、物品輸送時の振動によって
板状物品に加わる衝撃は、各々の物品収納位置で分割さ
れたウエハ支持部とウエハ押え部とにより個別に緩和さ
れるようになる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、例えば半導体ウエハ用のキ
ャリアケースに適用した場合の本発明の実施形態につ
き、図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、本発明に
係わるキャリアケースは半導体ウエハ用に限定されるこ
となく、他の板状物品（レーザディスク等）を収納対象
としたキャリアケースにも広く適用できるものである。
ャリアケースに適用した場合の本発明の実施形態につ
き、図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、本発明に
係わるキャリアケースは半導体ウエハ用に限定されるこ
となく、他の板状物品（レーザディスク等）を収納対象
としたキャリアケースにも広く適用できるものである。
【００１３】図１は本発明に係わるキャリアケースの一
実施形態を説明する図であり、図中（ａ）はその正面
図、（ｂ）はそのＡ−Ａ断面図である。図１に示すキャ
リアケース１０においては、筐体構造をなすケース本体
１１に規定枚数（通常は２５枚）のウエハ（板状物品）
Ｗを収納可能な収納凹部１２が設けられている。ケース
本体１１の開口部分は収納凹部１２へのウエハＷの抜き
挿しが自在となるよう、ウエハ直径よりも幅広に形成さ
れ、その底部側に近づくにしたがって徐々に幅狭に形成
されている。
実施形態を説明する図であり、図中（ａ）はその正面
図、（ｂ）はそのＡ−Ａ断面図である。図１に示すキャ
リアケース１０においては、筐体構造をなすケース本体
１１に規定枚数（通常は２５枚）のウエハ（板状物品）
Ｗを収納可能な収納凹部１２が設けられている。ケース
本体１１の開口部分は収納凹部１２へのウエハＷの抜き
挿しが自在となるよう、ウエハ直径よりも幅広に形成さ
れ、その底部側に近づくにしたがって徐々に幅狭に形成
されている。
【００１４】また、収納凹部１２の相対向するケース側
壁部１３には、それぞれ物品支持部１４が設けられてい
る。各々の物品支持部１４には、収納凹部１２内でのウ
エハ収納ピッチに対応したかたちで、ウエハＷの周縁部
に係合可能な係合溝１５が複数段に亘って形成されてお
り、それぞれに対向した左右の係合溝１５に対して１枚
ずつウエハＷが係合されるようになっている。
壁部１３には、それぞれ物品支持部１４が設けられてい
る。各々の物品支持部１４には、収納凹部１２内でのウ
エハ収納ピッチに対応したかたちで、ウエハＷの周縁部
に係合可能な係合溝１５が複数段に亘って形成されてお
り、それぞれに対向した左右の係合溝１５に対して１枚
ずつウエハＷが係合されるようになっている。
【００１５】ここで図１に示す実施形態の特徴とすると
ころは、収納凹部１２の相対向するケース側壁部１３に
設けられた物品支持部１４が、例えばシリコーンゴム、
ポリエチレン及びポリプロピレン等からなるゴム状弾性
体によって構成された点にある。
ころは、収納凹部１２の相対向するケース側壁部１３に
設けられた物品支持部１４が、例えばシリコーンゴム、
ポリエチレン及びポリプロピレン等からなるゴム状弾性
体によって構成された点にある。
【００１６】上記構成からなるキャリアケース１０にウ
エハＷを収納する場合は、ケース本体１１の開口部分を
介して収納凹部１２にウエハＷを挿入する。その際、ウ
エハＷの周縁部を物品支持部１４の係合溝１５に係合
し、そのまま物品支持部１４にてウエハＷを支持する。
この状態ではケース本体１１に収納されたウエハＷが、
ゴム状弾性体からなる物品支持部１４によって支持され
るため、工程間搬送時の振動によってウエハＷに加わる
衝撃が物品支持部１４の弾性変形により緩和されるよう
になる。したがって、工程間搬送時の振動があってもウ
エハＷは殆どダメージを受けることがなく、これによっ
て搬送時におけるウエハＷの破損（欠け、割れ等）を確
実に防止することができる。
エハＷを収納する場合は、ケース本体１１の開口部分を
介して収納凹部１２にウエハＷを挿入する。その際、ウ
エハＷの周縁部を物品支持部１４の係合溝１５に係合
し、そのまま物品支持部１４にてウエハＷを支持する。
この状態ではケース本体１１に収納されたウエハＷが、
ゴム状弾性体からなる物品支持部１４によって支持され
るため、工程間搬送時の振動によってウエハＷに加わる
衝撃が物品支持部１４の弾性変形により緩和されるよう
になる。したがって、工程間搬送時の振動があってもウ
エハＷは殆どダメージを受けることがなく、これによっ
て搬送時におけるウエハＷの破損（欠け、割れ等）を確
実に防止することができる。
【００１７】図２は本発明に係わるキャリアケースの他
の実施形態を説明する正面図である。また、図３（ａ）
は図２のＢ−Ｂ断面図で、同図（ｂ）は図２のＣ−Ｃ矢
視図である。さらに、図４は図２に示すキャリアケース
の側面概略図で、図５はその平面概略図である。
の実施形態を説明する正面図である。また、図３（ａ）
は図２のＢ−Ｂ断面図で、同図（ｂ）は図２のＣ−Ｃ矢
視図である。さらに、図４は図２に示すキャリアケース
の側面概略図で、図５はその平面概略図である。
【００１８】図示したキャリアケース２０においては、
ケース本体となる内側ケース２１に収納凹部２２が設け
られ、この収納凹部２２に規定枚数のウエハ（板状物
品）Ｗを収納し得る構造となっている。収納凹部２２の
相対向するケース側壁部２３には、先の実施形態と同様
にゴム状弾性体からなる物品支持部２４が設けられてい
る。この物品支持部２４は、図４及び図５に示すよう
に、内側ケース２１の物品整列方向Ｘにおいて規定収納
枚数分だけ分割した状態で設けられている。例えば、内
側ケース２１の収納凹部２１に２５枚のウエハＷを収納
し得る構造であれば、２５枚分のウエハＷに対応して物
品支持部２４も２５個に分割して設けられている。
ケース本体となる内側ケース２１に収納凹部２２が設け
られ、この収納凹部２２に規定枚数のウエハ（板状物
品）Ｗを収納し得る構造となっている。収納凹部２２の
相対向するケース側壁部２３には、先の実施形態と同様
にゴム状弾性体からなる物品支持部２４が設けられてい
る。この物品支持部２４は、図４及び図５に示すよう
に、内側ケース２１の物品整列方向Ｘにおいて規定収納
枚数分だけ分割した状態で設けられている。例えば、内
側ケース２１の収納凹部２１に２５枚のウエハＷを収納
し得る構造であれば、２５枚分のウエハＷに対応して物
品支持部２４も２５個に分割して設けられている。
【００１９】こうして分割された個々の物品支持部２４
は、ケース側壁部２３からウエハ収納中心Ｐに向けて延
出した軸片２５と、この軸片２５の先端からウエハ外周
形状に倣って二股状に分かれた支持片２６とから形成さ
れている。また、二股に分かれた各々の支持片２６に
は、ウエハＷの周縁部に係合可能な係合溝２７が形成さ
れている。
は、ケース側壁部２３からウエハ収納中心Ｐに向けて延
出した軸片２５と、この軸片２５の先端からウエハ外周
形状に倣って二股状に分かれた支持片２６とから形成さ
れている。また、二股に分かれた各々の支持片２６に
は、ウエハＷの周縁部に係合可能な係合溝２７が形成さ
れている。
【００２０】さらに、収納凹部２２の相対向するケース
側壁部２３には、上記物品支持部２４のほぼ真上に位置
して物品挿入ガイド２８が設けられている。この物品挿
入ガイド２８の先端部にはガイド溝２９が形成されてお
り、このガイド溝２９が上記物品整列方向Ｘにおいて物
品支持部２４の係合溝２７と位置的に一致した状態で配
置されている。
側壁部２３には、上記物品支持部２４のほぼ真上に位置
して物品挿入ガイド２８が設けられている。この物品挿
入ガイド２８の先端部にはガイド溝２９が形成されてお
り、このガイド溝２９が上記物品整列方向Ｘにおいて物
品支持部２４の係合溝２７と位置的に一致した状態で配
置されている。
【００２１】加えて、内側ケース２１は物品輸送用の外
側ケース３０に収容されている。この外側ケース３０の
上端部にはクランプ部材３１によって蓋体３２が装着さ
れており、この蓋体３２によってケース本体である内側
ケース２１の開口部分が閉塞されている。これにより、
規定枚数のウエハＷを収納してなる内側ケース２１は、
外側ケース３０と蓋体３２とによって完全に遮蔽される
ため、外部からケース内への塵埃等の侵入が阻止されて
ウエハＷの汚染が回避される。また蓋体３２には、図４
に示すように、内側ケース２１の物品整列方向Ｘにおい
て規定収納枚数分だけ分割した状態で物品押え部３３が
設けられている。この物品押え部３３は上記物品支持部
２４と同様の形態をなすもので、収納凹部２２に収納さ
れたウエハＷを物品支持部２４とともに弾性的に支持す
る。
側ケース３０に収容されている。この外側ケース３０の
上端部にはクランプ部材３１によって蓋体３２が装着さ
れており、この蓋体３２によってケース本体である内側
ケース２１の開口部分が閉塞されている。これにより、
規定枚数のウエハＷを収納してなる内側ケース２１は、
外側ケース３０と蓋体３２とによって完全に遮蔽される
ため、外部からケース内への塵埃等の侵入が阻止されて
ウエハＷの汚染が回避される。また蓋体３２には、図４
に示すように、内側ケース２１の物品整列方向Ｘにおい
て規定収納枚数分だけ分割した状態で物品押え部３３が
設けられている。この物品押え部３３は上記物品支持部
２４と同様の形態をなすもので、収納凹部２２に収納さ
れたウエハＷを物品支持部２４とともに弾性的に支持す
る。
【００２２】上記構成からなるキャリアケース２０にウ
エハＷを収納する場合は、内側ケース２１に設けた物品
挿入ガイド２８のガイド溝２９にウエハＷの周縁部を係
合しつつ、収納凹部２２にウエハＷを挿入していき、さ
らに挿入途中で物品支持部２４の係合溝２７にウエハＷ
の周縁部を係合し、そのまま物品支持部２４にてウエハ
Ｗを支持する。
エハＷを収納する場合は、内側ケース２１に設けた物品
挿入ガイド２８のガイド溝２９にウエハＷの周縁部を係
合しつつ、収納凹部２２にウエハＷを挿入していき、さ
らに挿入途中で物品支持部２４の係合溝２７にウエハＷ
の周縁部を係合し、そのまま物品支持部２４にてウエハ
Ｗを支持する。
【００２３】その後、規定枚数のウエハＷを収納し終え
たら、物品輸送のために内側ケース２４を外側ケース３
０の中に入れ、外側ケース３０の上端部にクランプ部材
３１にて蓋体３２を装着する。これにより、内側ケース
２１の開口部分が閉塞されるとともに、収納凹部２２に
収納されたウエハＷの上縁部に物品押え部３３が係合し
た状態となる。
たら、物品輸送のために内側ケース２４を外側ケース３
０の中に入れ、外側ケース３０の上端部にクランプ部材
３１にて蓋体３２を装着する。これにより、内側ケース
２１の開口部分が閉塞されるとともに、収納凹部２２に
収納されたウエハＷの上縁部に物品押え部３３が係合し
た状態となる。
【００２４】この状態では内側ケース２１に収納された
ウエハＷが、ゴム状弾性体からなる物品支持部２４によ
って支持されるとともに、蓋体３２に設けた物品押え部
３３により上方から押え込まれるため、収納凹部２２内
でのウエハＷの動きが規制される。さらに本実施形態で
は、内側ケース２１の物品整列方向Ｘにおいて物品支持
部２４と物品押え部３３とが物品収納枚数分だけ分割し
た状態で設けられていることから、個々のウエハＷの支
持形態が、各々分割された物品支持部２４や物品押え部
３３の弾性変形により任意の方向に揺動できる、いわゆ
るフローティング支持の状態となる。
ウエハＷが、ゴム状弾性体からなる物品支持部２４によ
って支持されるとともに、蓋体３２に設けた物品押え部
３３により上方から押え込まれるため、収納凹部２２内
でのウエハＷの動きが規制される。さらに本実施形態で
は、内側ケース２１の物品整列方向Ｘにおいて物品支持
部２４と物品押え部３３とが物品収納枚数分だけ分割し
た状態で設けられていることから、個々のウエハＷの支
持形態が、各々分割された物品支持部２４や物品押え部
３３の弾性変形により任意の方向に揺動できる、いわゆ
るフローティング支持の状態となる。
【００２５】したがって物品輸送時に振動を受けても、
各々のウエハ収納位置ごとに、振動の加わる大きさや方
向に追従したかたちで、物品支持部２４と物品押え部３
３とがウエハＷの周縁部に接触しつつ弾性変形し、これ
によってウエハＷに加わる衝撃が緩和されるため、工場
間での輸送中に万一落下事故等が起こっても、ウエハＷ
の破損を確実に防止することができる。また、ウエハ処
理工程においては、内側ケース２１の形態で工程間搬送
や各種処理装置へのウエハ供給を行うことができるた
め、従来例で述べたタッパーコインスタック方式のよう
にウエハ詰め替えのための余計な工数もかからない。
各々のウエハ収納位置ごとに、振動の加わる大きさや方
向に追従したかたちで、物品支持部２４と物品押え部３
３とがウエハＷの周縁部に接触しつつ弾性変形し、これ
によってウエハＷに加わる衝撃が緩和されるため、工場
間での輸送中に万一落下事故等が起こっても、ウエハＷ
の破損を確実に防止することができる。また、ウエハ処
理工程においては、内側ケース２１の形態で工程間搬送
や各種処理装置へのウエハ供給を行うことができるた
め、従来例で述べたタッパーコインスタック方式のよう
にウエハ詰め替えのための余計な工数もかからない。
【００２６】なお、図１に示した実施形態では、工程間
での物品搬送についてのみ説明したが、このキャリアケ
ース１０にて工場間での物品輸送を行う場合において
は、ケース本体１１の開口部分を図示せぬ蓋体で閉塞す
るとともに、その蓋体に設けた物品押え部で物品支持部
１４とともにウエハＷを支持するようにしても、輸送中
の振動による衝撃がゴム状弾性体からなる物品支持部１
４によって緩和されるため、ウエハＷの破損を効果的に
防止することができる。
での物品搬送についてのみ説明したが、このキャリアケ
ース１０にて工場間での物品輸送を行う場合において
は、ケース本体１１の開口部分を図示せぬ蓋体で閉塞す
るとともに、その蓋体に設けた物品押え部で物品支持部
１４とともにウエハＷを支持するようにしても、輸送中
の振動による衝撃がゴム状弾性体からなる物品支持部１
４によって緩和されるため、ウエハＷの破損を効果的に
防止することができる。
【００２７】また、図２に示した実施形態では、工場間
での物品輸送についてのみ説明したが、蓋体３２を外し
て外側ケース３０から内側ケース２１を取り出し、内側
ケース２１単体で工程間搬送を行う場合においても、ウ
エハＷを支持する物品支持部２４がゴム状弾性体で構成
され、しかもこの物品支持部２４が物品整列方向Ｘにお
いて規定枚数分だけ分割した状態でケース側壁部２３に
設けられていることから、工程間搬送時にウエハＷに加
わる衝撃を個別に緩和し、ウエハＷの破損を確実に防止
することができる。
での物品輸送についてのみ説明したが、蓋体３２を外し
て外側ケース３０から内側ケース２１を取り出し、内側
ケース２１単体で工程間搬送を行う場合においても、ウ
エハＷを支持する物品支持部２４がゴム状弾性体で構成
され、しかもこの物品支持部２４が物品整列方向Ｘにお
いて規定枚数分だけ分割した状態でケース側壁部２３に
設けられていることから、工程間搬送時にウエハＷに加
わる衝撃を個別に緩和し、ウエハＷの破損を確実に防止
することができる。
【００２８】
【発明の効果】以上、説明したように本発明のキャリア
ケースによれば、ケース本体の収納凹部にて板状物品に
接触する物品支持部をゴム状弾性体で構成することによ
り、工程間搬送時の振動によって板状物品に加わる衝撃
が物品支持部の弾性変形によって緩和されるため、工程
間搬送時における板状物品の破損を防止することができ
る。
ケースによれば、ケース本体の収納凹部にて板状物品に
接触する物品支持部をゴム状弾性体で構成することによ
り、工程間搬送時の振動によって板状物品に加わる衝撃
が物品支持部の弾性変形によって緩和されるため、工程
間搬送時における板状物品の破損を防止することができ
る。
【００２９】また、ゴム状弾性体からなる物品支持部を
ケース本体の物品整列方向において規定収納枚数分だけ
分割した状態で設けるとともに、これに対応してケース
本体の開口部分を閉塞する蓋体に対しても上記同様の分
割状態で物品押え部を設け、収納凹部に収納された板状
物品を物品支持部と物品押え部とによって弾性的に支持
するようにすれば、収納凹部内での板状物品の支持形態
がフローティング支持の状態となるため、振動等に対す
る衝撃緩和効果が格段に向上する。したがって、工場間
輸送時に万一、落下事故等が発生しても板状物品の破損
を確実に防止することができる。さらに、板状物品をケ
ース本体に収納した形態で、工程間搬送や各種処理装置
への部品供給が可能であるため、部品搬出、搬入時にお
ける板状物品の詰め替え作業も一切不要となる。
ケース本体の物品整列方向において規定収納枚数分だけ
分割した状態で設けるとともに、これに対応してケース
本体の開口部分を閉塞する蓋体に対しても上記同様の分
割状態で物品押え部を設け、収納凹部に収納された板状
物品を物品支持部と物品押え部とによって弾性的に支持
するようにすれば、収納凹部内での板状物品の支持形態
がフローティング支持の状態となるため、振動等に対す
る衝撃緩和効果が格段に向上する。したがって、工場間
輸送時に万一、落下事故等が発生しても板状物品の破損
を確実に防止することができる。さらに、板状物品をケ
ース本体に収納した形態で、工程間搬送や各種処理装置
への部品供給が可能であるため、部品搬出、搬入時にお
ける板状物品の詰め替え作業も一切不要となる。
【図１】本発明に係わるキャリアケースの一実施形態を
説明する図である。
説明する図である。
【図２】本発明に係わるキャリアケースの他の実施形態
を説明する正面図である。
を説明する正面図である。
【図３】図２の要部拡大図である。
【図４】本発明の他の実施形態の側面概略図である。
【図５】本発明の他の実施形態の平面概略図である。
１０ キャリアケース １１ ケース本体 １２ 収納凹部 １３ ケース側壁部 １４ 物品支持部 １５ 係合溝 ２０ キャリアケース ２１ 内側ケース（ケース本体） ２２ 収納凹部 ２３ ケース側壁部 ２４ 物品支持部 ２７ 係合溝 ３２ 蓋体 ３３ 物品押え部 Ｗ ウエハ（板状物品） Ｘ 物品整列方向
Claims (3)
- 【請求項１】 規定枚数の板状物品を収納可能な収納凹
部を有するケース本体と、 前記収納凹部の相対向するケース側壁部に設けられると
ともに、前記板状物品の周縁部に係合可能な係合溝が形
成された物品支持部とを備えたキャリアケースにおい
て、 前記物品支持部がゴム状弾性体によって構成されている
ことを特徴とするキャリアケース。 - 【請求項２】 前記物品支持部は、前記ケース本体の物
品整列方向において規定収納枚数分だけ分割した状態で
設けられていることを特徴とする請求項１記載のキャリ
アケース。 - 【請求項３】 前記ケース本体の開口部分を閉塞するた
めの蓋体と、 前記物品整列方向において規定収納枚数分だけ分割した
状態で前記蓋体に設けられ、前記収納凹部に収納された
板状物品を前記物品支持部とともに弾性的に支持する物
品押え部とを具備したことを特徴とする請求項２記載の
キャリアケース。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18126195A JPH0936215A (ja) | 1995-07-18 | 1995-07-18 | キャリアケース |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18126195A JPH0936215A (ja) | 1995-07-18 | 1995-07-18 | キャリアケース |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0936215A true JPH0936215A (ja) | 1997-02-07 |
Family
ID=16097617
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18126195A Pending JPH0936215A (ja) | 1995-07-18 | 1995-07-18 | キャリアケース |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0936215A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005250851A (ja) * | 2004-03-04 | 2005-09-15 | Meiji Rubber & Chem Co Ltd | 物流ネットワークシステム |
| KR100599827B1 (ko) * | 2001-05-31 | 2006-07-12 | 세키스이 가세이힌 고교 가부시키가이샤 | 판상체의 반송용 상자를 성형하는 발포성형방법 및 발포성형장치 |
| WO2007052672A1 (ja) * | 2005-10-31 | 2007-05-10 | Asyst Technologies Japan, Inc. | 物品収納用容器の防振機構 |
| WO2009138185A1 (de) * | 2008-05-14 | 2009-11-19 | Siltronic Ag | Träger zur aufnahme von halbleiterscheiben |
| JP2010041018A (ja) * | 2008-08-07 | 2010-02-18 | Gugeng Precision Industrial Co Ltd | レチクルポッドのキャリアケース |
| CN109003928A (zh) * | 2018-07-21 | 2018-12-14 | 江苏德尔科测控技术有限公司 | 一种硅片承载装置 |
-
1995
- 1995-07-18 JP JP18126195A patent/JPH0936215A/ja active Pending
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| CN109003928B (zh) * | 2018-07-21 | 2021-03-09 | 江苏德尔科测控技术有限公司 | 一种硅片承载装置 |
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