JP2010041018A - レチクルポッドのキャリアケース - Google Patents
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Abstract
【解決手段】トップカバーおよびボトムカバーがほぼ対応し、収納空間を形成する。ボトムカバーは、ボトムカバーの2つの向かい合った内表面側面上に設けられた数対のガイドレールを有する。仕切り板は、ガイドレールによってボトムカバー内に嵌め込められる。収納空間を複数の収納空間に分割し、レチクルポッドを置くために用いる。挟持部と当接部とを有する固定部品をトップカバー内表面の最上面に設置する。トップカバーをボトムカバーにかぶせるときに、トップカバーの各固定部品がすべてキャリアケースの中に置かれた各レチクルポッドに対応する。固定部品の挟持部は、レチクルポッドを挟持することができる。固定部品の当接部は、レチクルポッドを押さえる。
【選択図】図1
Description
パターン(pattern)の定義に関するものであれば、すべて光リソグラフィー技術に依存する必要がある。
光リソグラフィー技術を半導体において応用し、設計された回路を、特定の形状を有する透光性のフォトマスク(photo mask)にする。
露光の原理を利用することによって、フォトマスクを介して光源をシリコンウェハー(silicon wafer)に投影し、露光して特定の図案を表示することができる。
フォトマスク上に付着したパーティクル(例えば、微粒子、粉塵または有機物)は、投影描画の品質を劣化させる。
パターン生成に用いられるフォトマスクは、絶対的な清潔を保つ必要があるため、通常のウェハー工程において、クリーンルーム(clean room)の環境を提供し、空気中のパーティクルによる汚染を防止する必要がある。
しかし、現在のクリーンルームでも、絶対的な無塵状態を達成することはできない。
現代の半導体工程では、抗汚染のレチクルポッド(reticle pod)を利用してフォトマスクの保管と運搬を行い、フォトマスクを清潔に保っている。
これによって各レチクルポッドを強化し、固定して、レチクルポッド運送中に発生するレチクルポッドの運搬ケースの振動によりレチクルポッドの中に置かれたフォトマスクに影響を及ぼし、フォトマスクの摩擦または破損をもたらすことを防止する。
しかし、フォトマスク供給業者の側では、出荷時にレチクルポッドをレチクルポッド運搬ケース内に固定して据え付ける必要があるだけでなく、人の手で軟性物質をレチクルポッド運搬ケースに充填し、ケース内に過多な隙間がないことを確実にする必要がある。
フォトマスクの買い手の側では、レチクルポッドを取り出すときにも、レチクルポッド運搬ケース内に充填された軟性物質を先ず人の手で取り出さなければ、レチクルポッドを取り出すことができず、またこれらの充填用の軟性物質を処分しなければならない。
そのため、需給双方で費用、時間、労力を費やして軟性物質の包装と取り出しを行なわなければならないだけでなく、これらの使用済みの軟性物質をそのまま捨ててしまい、再利用しない場合、自己分解できない軟性物質は、環境汚染をもたらすことにもなる。
このレチクルポッドのキャリアケースは、トップカバーと、ボトムカバーと、複数の仕切り板と、複数の固定部品とを含む。
トップカバーおよびボトムカバーは、ほぼ対応し合い、収納空間を形成する。
ボトムカバーは、ボトムカバーの2つの向かい合った内表面側面上に設けられた数対のガイドレールを有する。
仕切り板は、ガイドレールによってボトムカバー内に嵌め込まれ、収納空間を複数の収納空間に分割し、数個のレチクルポッドを置けるようにする。
固定部品は、トップカバー内表面の最上面に設ける。
この固定部品は、最上部を有し、この最上部の両側に外側に向けて傾斜し延伸した1対の翼部がそれぞれ配置されている。
この翼部は、適切な湾曲部で下向きに湾曲し、この翼部の自由端は挟持部を形成する。
この翼部の湾曲部は、さらにこの翼部の自由端内側に向けて傾斜し延伸して当接部を形成する。当接部と最上部との間に第1間隔を保つ。
キャリアケースのトップカバーをボトムカバーと合わせるときに、トップカバーの各固定部品はいずれもキャリアケースの中に置かれた各レチクルポッドに対応する。
固定部品の挟持部は、レチクルポッドを挟持することができる。
固定部品の当接部は、レチクルポッドを支え、レチクルポッド運送中に発生するキャリアケースの振動によりレチクルポッドの中に置かれたフォトマスクに影響を及ぼし、フォトマスクの摩擦または破損をもたらすことを防止するため、比較的優れた振動防止および保護効果を有し、パーティクルの発生を減少させることができる。
本発明で利用するフォトマスクまたはレチクルポッドの詳細な製造または処理プロセスは、既存の技術を利用して達成するため、以下の説明において、完全な描写を行なわない。
また、以降の本文における図面は、実際の寸法に基づき完全に描かれたものではなく、その作用は、本発明の特徴に関する概要図を表すだけである。
この固定部品1は、最上部10を有し、最上部10の最上面上にロック穴104が配置されており、ロック部品(図には未表示)でこの固定部品1を固定する。
最上部10の両側には、外側に向けて傾斜し延伸した1対の翼部12がそれぞれ配置されている。
この翼部12は、適切な湾曲部122において下向きに湾曲し、この翼部12の自由端に挟持部14をそれぞれ形成する。
この翼部12の湾曲部122において、さらにこの翼部12の自由端内側に向けて分岐し、傾斜し延伸して当接部16を形成する。
当接部16と最上部10との間は、第1間隔C1を保ち、最上部10において圧力がかけられたときに、緩衝空間を形成することができる。
最上部10と翼部12側で傾斜し延伸して形成された第1夾角A1は鈍角であり、その角度は約100度〜170度で、比較的優れた設計は約120度〜160度である。
また、翼部12の湾曲部122で傾斜し延伸して形成された当接部16の第2夾角A2は鋭角であり、その角度は約10度〜75度で、比較的優れた設計は約20度〜60度である。
また、各湾曲部122と自由端との間に第1円弧溝124が形成されているため、この固定部品1は比較的優れた弾性構造を有し、応力を有効に解放することができる。
固定部品1の最上部10と、翼部12と、湾曲部122と、挟持部14と、当接部16とは、一体成形の構造であり、弾性材質製で、製造する材料は、高分子材料、プラスチック材料、ポリエチレン(PE)材料またはポリプロピレン(PP)材料の中から選ぶことができ、ポリエチレン(PE)は耐摩耗性材質である。
この固定部品1は、最上部10を有し、最上部10の最上面上にロック穴104が配置されており、ロック部品(図には未表示)でこの固定部品1を固定する。
最上部10には円柱頂体102が別途配置されている。
この円柱頂体102は、中空頂体である。
最上部10の両側には、外側に向けて傾斜し延伸した1対の翼部12がそれぞれ配置されている。
この翼部12は、適切な湾曲部122において下向きに湾曲し、この翼部12の自由端に挟持部14をそれぞれ形成する。
この翼部12の湾曲部122において、さらにこの翼部12の自由端内側に向けて分岐し、傾斜し延伸して当接部16を形成する。
当接部16と円柱頂体102との間は、第2間隔C2を保ち、最上部10において圧力がかけられたときに、緩衝空間を形成することができる。
かつ、円柱頂体102の長さは、最上部10と当接部16の最も低い箇所との間の距離の1/4〜3/4とすることができ、最上部10と当接部16の最も低い箇所との間の距離の半分とすることもできる。
最上部10と翼部12側で傾斜し延伸して形成された第1夾角A1は鈍角であり、その角度は約100度〜170度で、比較的優れた設計は約120度〜160度である。
また、翼部12の湾曲部122で傾斜し延伸して形成された当接部16の第2夾角A2は鋭角であり、その角度は約10度〜75度で、比較的優れた設計は約20度〜60度である。
また、各湾曲部122と自由端との間に第1円弧溝124が形成されているため、この固定部品1は比較的優れた弾性構造を有し、応力を有効に解放することができる。
最上部10と、翼部12と、湾曲部122と、挟持部14と、当接部16とは、一体成形の構造であり、弾性材質製で、製造する材料は、高分子材料、プラスチック材料、ポリエチレン(PE)材料またはポリプロピレン(PP)材料の中から選ぶことができ、ポリエチレン(PE)は耐摩耗性材質である。
前記の固定部品1は比較的簡単な構造を有しているため、一般の射出成形方式を使用して一体成形することができるため、その製造コストは非常に低い。
この固定部品1は、最上部10を有し、最上部10の最上面上にロック穴104が配置されており、ロック部品(図には未表示)でこの固定部品1を固定する。
最上部10には円柱頂体102が別途配置されている。
この円柱頂体102は、中空頂体である。
最上部10の両側には、外側に向けて傾斜し延伸した1対の翼部12がそれぞれ配置されている。
この翼部12は、適切な湾曲部122において下向きに湾曲し、この翼部12の自由端に挟持部14をそれぞれ形成する。
この翼部12の湾曲部122において、さらにこの翼部12の自由端内側に向けて分岐し、傾斜し延伸して当接部16を形成する。
挟持部14と当接部16との間には、少なくとも1つの支持部18が設けてある。
支持部18と当接部16との接続箇所の厚さは、支持部18のその他の部分よりも薄く、かつ支持部18と当接部16との接続箇所には第2円弧溝182がある。
当接部16と円柱頂体102との間は、第2間隔C2を保ち、最上部10において圧力がかけられたときに、緩衝空間を形成することができる。
かつ、円柱頂体102の長さは、最上部10と当接部16の最も低い箇所との間の距離の1/4〜3/4とすることができ、最上部10と当接部16の最も低い箇所との間の距離の半分とすることもできる。
そのため、この固定部品1は、比較的堅固で、かつ比較的優れた弾性構造を有する。
また、翼部12の湾曲部122で傾斜し延伸して形成された当接部16の第2夾角A2は鋭角であり、その角度は約10度〜75度で、比較的優れた設計は約20度〜60度である。
また、各湾曲部122と自由端との間に第1円弧溝124が形成されているため、この固定部品1は比較的優れた弾性構造を有し、応力を有効に解放することができる。
最上部10と、翼部12と、湾曲部122と、挟持部14と、当接部16と、支持部18とは、一体成形の構造であり、弾性材質製で、製成する材料は、高分子材料、プラスチック材料、ポリエチレン(PE)材料またはポリプロピレン(PP)材料の中から選ぶことができ、ポリエチレン(PE)は耐摩耗性材質である。
このキャリアケース2は、収納空間を有するトップカバー20と、収納空間を有するボトムカバー22とを含むため、トップカバー20およびボトムカバー22をほぼ対応させ、物(例えばレチクルポッド)を収納可能な収納空間を形成することができる。
また、ボトムカバー22の収納空間の中に、少なくとも1つの仕切り板24が配置され、かつ少なくとも1対のガイドレール220がボトムカバー22の収納空間の中の2つの向かい合った内表面側面上に配置され、仕切り板24を嵌め込むことができるようになっており、キャリアケース2の収納空間を複数のレチクルポッド収納空間28に分割するために用いられる。
嵌合素子26aは、ボトムカバー22の外側の側部上に設けてあり、嵌合辺部26bはトップカバー20の外側の側部上に設けてある。
嵌合素子26aおよび嵌合辺部26bは、相互に対応した異なるカバー上に設置してある。
また、トップカバー20およびボトムカバー22の片側は、ヒンジ30方式で相互に接合する。
気密リング32がボトムカバーの開口部に設けてあり、キャリアケース2に比較的優れた気密効果を提供している。
滑り止めパッド34がボトムカバー内の底面に別途敷いてあり、キャリアケース2の中に置いたレチクルポッドの滑動により、フォトマスクが振動することを防止することができる。
このキャリアケース2は、収納空間を有するトップカバー20と、収納空間を有するボトムカバー22とを含むため、トップカバー20およびボトムカバー22をほぼ対応させ、レチクルポッドを収納可能な収納空間を形成することができる。
また、ボトムカバー22の収納空間の中に、少なくとも1つの仕切り板24が配置され、さらにトップカバー20の収納空間の内側最上面上に少なくとも1つの固定部品1が配置されている。
また、ボトムカバー22の収納空間に、少なくとも1対のガイドレール220がボトムカバー22の収納空間の中の2つの向かい合った内表面側面上に配置され、仕切り板24を嵌め込むことができるようになっており、収納空間を複数の収納空間28に分割するために用いられる。
固定部品1は最上部10を有し、最上部10の両側には、外側に向けて傾斜し延伸した1対の翼部12がそれぞれ配置されている。
この翼部12は、適切な湾曲部122において下向きに湾曲し、この翼部12の自由端に挟持部14をそれぞれ形成する。
この翼部12の湾曲部122において、さらにこの翼部12の自由端内側に向けて分岐し、傾斜し延伸して当接部16を形成する。
当接部16と最上部10との間は、第1間隔C1を保ち、最上部10において圧力がかけられたときに、緩衝空間を形成することができる。
固定部品1は、ロック部品(図には未表示)を利用してキャリアケース2上に固定することができるため、固定部品1にはロック穴104が最上部10の最上面上に配置されている。
ロック部品はネジ素子とすることもできる。
または、固定部品1は、粘着接合方式を利用してキャリアケース2上に固定することもできる。
または、固定部品1は、キャリアケース2と一体成型して製造することもできる。そのため、この固定部品1は、比較的簡単な装着方法を有し、1つの固定部品の取り外しと交換が簡単である。
このレチクルポッド3のキャリアケース2は、収納空間を有するトップカバー20と、収納空間を有するボトムカバー22とを含むため、トップカバー20およびボトムカバー22をほぼ対応させ、レチクルポッドを収納可能な収納空間を形成することができる。
また、ボトムカバー22の収納空間の中に、少なくとも1つの仕切り板24が配置され、さらにトップカバー20の収納空間の内側最上面上に少なくとも1つの固定部品1が配置されている。
また、ボトムカバー22の収納空間の中に、少なくとも1対のガイドレール220がボトムカバー22の収納空間の中の2つの向かい合った内表面側面上に配置され、仕切り板24を嵌め込むことができるようになっており、収納空間を複数の収納空間28に分割するために用いられる。
そのため、固定部品1の挟持部14は、レチクルポッド3を挟持することができ、さらに固定部品1の当接部16でレチクルポッド3を押さえ、キャリアケース2でレチクルポッド3の運送中に発生する振動によりレチクルポッド3の中に置かれたフォトマスクに影響を及ぼし、フォトマスクの摩擦または破損をもたらすことを防止する。
そのため、比較的優れた振動防止および保護効果を有し、パーティクルの発生を減少させることができる。
また、以上の説明は、本技術分野の当業者が理解し、実施できるものであるため、本発明で開示された主旨を逸脱せずに完成したその他の同等の変更または修飾は、特許請求の範囲に含まれるものとする。
10 最上部
102 円柱頂体
104 ロック穴
12 翼部
122 湾曲部
124 第1円弧溝
14 挟持部
16 当接部
18 支持部
182 第2円弧溝
2 キャリアケース
20 トップカバー
22 ボトムカバー
220 ガイドレール
24 仕切り板
26a 嵌合素子
26b 嵌合辺部
28 レチクルポッド収納空間
3 レチクルポッド
30 ヒンジ
32 気密リング
34 滑り止めパッド
A1 第1夾角
A2 第2夾角
C1 第1間隔
C2 第2間隔
C3 挟持部と挟持部との間の距離
C4 ケースの幅
Claims (1)
- 第1収納空間を有するトップカバーと、第2収納空間を有するボトムカバーとを含み、該トップカバーおよび該ボトムカバーを合わせた後に第3収納空間を形成し、該ボトムカバーの収納空間の2つの向かい合った内表面上に少なくとも1対のガイドレールを配置し、少なくとも1つの仕切り板を嵌め込み、収納空間を複数の収納空間に分割するために用い、さらにトップカバーの収納空間の内側頂面上に少なくとも1つの固定部品を配置するキャリアケースであって、
前記固定部品は最上部を有し該最上部の両側に外側に向けて傾斜し延伸した1対の翼部が配置してあり、
該翼部は適切な湾曲部で下向きに湾曲し、該翼部の自由端が挟持部を形成するようにし、
該翼部の湾曲部はさらに該翼部の自由端内側に傾斜し延伸して当接部を形成し、該当接部と該最上部との間は第1間隔を保つことを特徴とする、
レチクルポッドのキャリアケース。
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