JPWO2006080060A1 - 大型ペリクル収納容器 - Google Patents
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Abstract
Description
トレイ55の設置面55a上に載置されたペリクルは、従来、トレイ55に設けられた突起状のポスト55bによって、左右の動きが拘束され、そして蓋56を上方からかぶせ、クリップ57によって蓋56とトレイ55との4隅を固定することによって収納されていた(特許文献1)。この結果、前記ペリクルは蓋56の斜面56aと、ポスト55bと、設置面55aとに囲まれて拘束されて収納された状態となっていた。また上記トレイの周縁をリブ構造とすることも開示されている(特許文献2)。さらに、クリップ57の代わりに、粘着テープを用いて全周を密閉することも行われている。
しかしながら、本発明のような面積が1000cm2以上ともなる大型ペリクルを収納する場合には、充分な保護効果が得られていないことが懸念される。
即ち、収納容器の成形歪みが大きくなり、収納容器の反り量が大きくなる。反り量が大きいと水平保管(収納容器にペリクルを入れて水平状態で保管すること)中にその形状がマスク粘着材に転写し変形しやすくなってしまう。
粘着材が変形するとマスク貼り付け時にマスク粘着材の一部がマスクに貼り付かないなどの貼り付け不良が起きる可能性がある。
さらに、収納容器の剛性不足のため、持ち運び時に収納容器の把持の仕方によっては収納容器がゆがんだり、また、縦置き保管(収納容器にペリクルを入れて収納容器を立て掛けて保管すること)時に収納容器がゆがんでしまうといった問題が生じる可能性がある。収納容器がゆがむとトレーのゆがみ形状が粘着材に転写する可能性がある。粘着材が変形すると、先に述べた貼り付け不良が発生する可能性がある。
また、収納容器がゆがむと収納容器の設計によってはペリクルと収納容器の蓋が擦れるために発塵が起き、ペリクルに異物が付着する問題が発生する懸念がある。
そこで、剛性を持たせるために、容器の厚みを厚くすることも考えられるが重量が重くなり、ハンドリング性が極端に悪くなることが推測される。
また、剛性を持たせるためにリブを設けても、面積が1000cm2以上の大型ペリクルの収納容器では、収納容器に凹凸が増え、洗浄性、異物付着有無確認作業性を悪くする可能性があるため好ましくない。
即ち、本発明は、
1. ペリクルを収納するトレイと、トレイを被覆する蓋とから構成される、面積が1000cm2以上の大型ペリクル用収納容器であって、該蓋及び/又はトレイが、ハニカム構造を有する材料を含んでなる上記収納容器。
2. 前記蓋及び/又はトレイの表面上の少なくとも一部に前記ハニカム構造を有する板状の材料を配置した構造、及び前記蓋及び/又はトレイの少なくとも一部に前記ハニカム構造を有する板状の材料を埋め込んだ構造から選ばれた少なくとも一つの構造を有する上記1.に記載の収納容器。
3. 前記蓋及び/又はトレイの外面側にハニカム構造を有する板状の材料を配置した構造を有する上記1.又は2.に記載の収納容器。
4. 前記トレイが、大型ペリクルを載置する部分が該トレイの他の部分と同一平面上にある形態をとるか、又は該トレイの他の部分に対して隆起した形態をとり、かつ、前記ハニカム構造を有する材料が該載置する部分に配置されているか、又は埋め込まれた構造を有する上記1.〜3.のいずれか一項に記載の収納容器。
5. 前記蓋及び/又はトレイの全面上及び/又は内部に前記ハニカム構造の材料が配置された構造を有する上記1.〜4.のいずれか一項に記載の収納容器。
6. 前記トレイ自体がハニカム構造を有する材料からなる上記1.〜5.のいずれか一項に記載の収納容器。
7. 上記1.〜6.のいずれか一項に記載の収納容器と、該収納容器に収納されたペリクルとを含んでなる大型ペリクル収納構造体。
本発明の一つの態様は、面積が1000cm2以上の大型ペリクル用収納容器において、蓋及び/又はトレーの表面上の少なくとも一部に補強板を設けることにより、収納容器の歪みを補強板に倣わし、平坦性を持たせたものである。それにより、該収納容器に剛性を持たせることができるため、持ち運び時、縦置き保管時にケースがゆがむことを防ぐことができる。さらに、補強板を蓋及び/又はトレイの外面側(ペリクルを載置する側に面してない側)に配置することにより、収納容器の蓋又はトレイの内面側(ペリクルの載置側)を補強する場合に比し、凹凸が生じないために、洗浄性、異物付着の有無を確認する作業の容易さを損なうこともなくなり、より好ましい効果を奏するものである。
また、本発明のもう一つの態様では、蓋及び/又はトレイに補強板を埋め込むことによって上記と同様の効果を得ることも可能である。補強板を埋め込む場合には、補強板の一方の面が蓋及び/又はトレイの表面に露出していてもよいし、補強板全体が包埋されてしまっていても構わない。このように、補強板を蓋及び/又はトレイに埋め込むことにより、凹凸を生ずることなく平坦性の維持と剛性の向上を達成することが可能となる。
本発明のさらなる態様では、収納容器の全面に補強板を配置することにより、ペリクルの粘着材部の変形を防ぎ、且つケースの剛性をより向上させることも可能である。
本発明で用いる補強板としては、炭素鋼やステンレス、アルミニウム合金、チタン合金などの金属板やポリカーボネート、ポリアセタール、ポリブチレンテレフタレート、変性ポリフェニレンエーテル、ガラス繊維強化ポリエチレンテレフタレート、ポリフェニレンスルフィド、ポリエーテルイミド、ポリアミドイミド、ポリイミドなどのエンジニアリングプラスチックの板を用いることが可能である。形状としては、パンチングメタル様に部分的に中抜きしたものやハニカム構造の板を用いることができる。特にハニカム構造の板が好ましい。ハニカム構造の板を使用することにより、補強板の使用による重量増加を極力抑えながら収納容器の平坦性の維持、剛性の向上を達成することができるからである。
ハニカムのセルサイズ等は剛性、平坦性、重量の観点から選択すればよく、例えば0.1mmから100mmなどから選択してもよい。好ましくは、0.3mmから50mmである。またセル高さは特に限定はないが、例えば1mmから200mmから選択してもよい。好ましくは3mmから100mmである。また、天板、底板の厚みも特に限定はないが、例えば0.1mmから300mmの範囲から選択してもよい。好ましくは0.2mmから20mmである。
また、セルの形状は、特に指定はないが六角、OX、フレックス、バイセクト、フェザーなどが挙げられ、好ましくは六角である。
また、本発明の一つの態様では、収納容器の蓋及び/又はトレイ自体が上記のハニカム構造を有する材料自身から構成されていても構わない。このようにすることで、剛性の向上、平坦性の維持に加え、さらなる軽量化を同時に達成することができる。
例えば、トレイの表面上にハニカム構造を有する板状の材料(以下、ハニカム板と称する)を配置する場合、ペリクルを載置する側にハニカム板を配置する場合には、天板とハニカム構造の部分からなるものをトレイの配置面が底板の役割を果たすように配置することで、底板を用いない分、重量の増加と凹凸の大きさを抑制することができる。
逆に、ペリクルを載置しない側にハニカム板を用いる場合、底板とハニカム構造の部分からなるものをトレイの配置面が天板の役割を果たすように配置することで天板を用いない分、重量の増加と凹凸の大きさを抑制することができる。
なお、本発明では、ハニカム構造の部分の材質は限定されていないが、先に述べたように、炭素鋼やステンレス、アルミニウム合金、チタン合金などの金属板やポリカーボネート、ポリアセタール、ポリブチレンテレフタレート、変性ポリフェニレンエーテル、ガラス繊維強化ポリエチレンテレフタレート、ポリフェニレンスルフィド、ポリエーテルイミド、ポリアミドイミド、ポリイミドなどのエンジニアリングプラスチック等が使用できるが、好ましくは金属、より好ましくはアルミニウム合金である。また、使用前の異物付着有無確認作業性の観点から、黒色アルマイトやブラスト処理及びその両方を行ったものであっても構わない。
先ず、本発明の大型ペリクル収納容器の全体図を図2に示す。
図2Aに示すように大型ペリクル収納容器は、内部にペリクル1を収納するものであり、トレイ2と、蓋3とからなる。ペリクル1は、ペリクル膜11と、ペリクル膜11が貼着された枠体12、及び枠体をマスクやレティクルに貼着するための粘着材13などから構成されている。ここで本実施形態においてペリクル1は、ペリクル膜11の面積が1000cm2を超える大型ペリクルである。
トレイ2には、周辺に沿ってペリクル1が載置される隆起部21が形成されており、隆起部21の内側(中央側)は平面部22となっている。トレイ2は真空成形にて製造されており、隆起部21の外面側には溝部23が形成されている。また隆起部21の上部には、ペリクル1の保護フィルムの外形部と接し、横方向の移動を拘束する複数のリブ24が起立突設されている。収納するペリクルの面積が1000cm2を超えるため、平面部22の面積もこれに準じたものとなっている。
蓋3はトレイ2と同様に真空成形にて製造されており、図2Bに示すようにトレイ2にかぶせることによってペリクル1を収納する。トレイ2と蓋3とを合わせた後は、不図示の粘着テープを周辺を端辺に張り巡らすことによって密封する。
図3は、ハニカム板を収納容器の蓋及び/又はトレイの表面に配置、又は埋め込んだ場合(表面にハニカム板の面が現れている場合)のハニカム板の配置態様を上から見た時のイメージ図である。外周部がペリクルを載置する枠体の形状に相当するが、図から明らかなように、枠体形状に沿った部分以外にもハニカム板が配置されていることがわかる。なお、枠体形状に沿った部分にハニカム板を配置することが好ましいが、そうでない場合でも効果を奏する。
なお、蓋及び/又はトレイの表面にハニカム板を配置する場合、内面側に配置しても剛性を向上できるが、外面側に配置すれば剛性の向上に加え、平坦性も向上できるので好ましい。
図5A及びBは、トレイにハニカム板自体を用いた場合の断面のイメージ図である。図5Aはハニカム板自体をトレイとして使用した場合の断面のイメージ図であって、トレイ全面がハニカム板になっている場合の図である。図5Bはハニカム板自体をトレイとして使用した場合の断面のイメージ図であって、トレイの外周部にハニカム板を用いた場合の図である。
図6は、ハニカム板自体をトレイに用いた場合の、上から見たイメージ図である。トレイにハニカム板自体を用いる際、ハニカム板は、天板とハニカム構造の部分のみから構成されるものでもよいし、天板とハニカム構造の部分と底板とから構成されるものでもよい。また、枠体の外周部にハニカム板を使用するときは、ハニカム板の無い中央部を含めて天板をトレイ全面に用いてもよいし、外周部のみにハニカム部と天板を設けてもよい。
本発明では、補強板又はトレイにハニカム板を用いた収納容器において、ハニカム部側面からの発塵を防ぐためにカバーを設けることが好ましい。
Claims (7)
- ペリクルを収納するトレイと、トレイを被覆する蓋とから構成される、面積が1000cm2以上の大型ペリクル用収納容器であって、該蓋及び/又はトレイが、ハニカム構造を有する材料を含んでなる上記収納容器。
- 前記蓋及び/又はトレイの表面上の少なくとも一部に前記ハニカム構造を有する板状の材料を配置した構造、及び前記蓋及び/又はトレイの少なくとも一部に前記ハニカム構造を有する板状の材料を埋め込んだ構造から選ばれた少なくとも一つの構造を有する請求項1に記載の収納容器。
- 前記蓋及び/又はトレイの外面側にハニカム構造を有する板状の材料を配置した構造を有する請求項1又は2に記載の収納容器。
- 前記トレイが、大型ペリクルを載置する部分が該トレイの他の部分と同一平面上にある形態をとるか、又は該トレイの他の部分に対して隆起した形態をとり、かつ、前記ハニカム構造を有する材料が該戴置する部分に配置されているか、又は埋め込まれた構造を有する請求項1〜3のいずれか一項に記載の収納容器。
- 前記蓋及び/又はトレイの全面上及び/又は内部に前記ハニカム構造の材料が配置された構造を有する請求項1〜4のいずれか一項に記載の収納容器。
- 前記トレイ自体がハニカム構造を有する材料からなる請求項1〜5のいずれか一項に記載の収納容器。
- 請求項1〜6のいずれか一項に記載の収納容器と、該収納容器に収納されたペリクルとを含んでなる大型ペリクル収納構造体。
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