CN101111802B - 大型光罩保护膜收纳容器 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种大型光罩保护膜用收纳容器，其由收纳光罩保护膜的托盘和覆盖托盘的盖构成，所述光罩保护膜的面积为1000cm2以上，该盖和/或托盘构成为包含具有蜂窝结构的材料。
Description
技术领域
本发明涉及光罩保护膜的收纳容器，特别涉及大型光罩保护膜的收纳容器，在制造LSI或液晶面板时，该光罩保护膜用于防止异物附着在光刻工序中使用的光掩模或模版上。
背景技术
以往，在半导体电路图案等的制造中，一般使用被称为光罩保护膜的防尘单元，来防止异物附着在光掩模或模版上(例如参照专利文献1)。光罩保护膜在具有与光掩模或模版的形状一致的形状的、厚度为几毫米左右的框体的上缘面上，张紧地粘接有厚度为10微米以下的硝化纤维素、纤维素衍生物、非晶体氟树脂等透明的高分子膜(以下称为光罩保护膜体)，并且在该框体的下缘面上涂敷有粘接材料，同时在该粘接材料上以预定的粘接力粘贴有保护薄膜。
上述粘接材料用于将光罩保护膜固定在光掩模或模版上。此外，保护薄膜用于保护该粘接材料的粘接面，以便直到该粘接材料被使用为止，维持该粘接材料的粘接力。当将该光罩保护膜从制造者运送给使用者时，为了防止异物附着在光罩保护膜体等上，或者防止光罩保护膜受到损伤，一般将该光罩保护膜收纳在由托盘和盖构成的收纳容器中，进而收纳在防尘袋等中进行运送。
以往，如图7和图8所示地将光罩保护膜收纳到具有上述结构的收纳容器中。即，在图7和图8中，光罩保护膜体52在张紧(绷紧)状态下粘接在框体51的一个上缘面上，在框体51的另一个面(下缘面)上设置有适当厚度的粘接材料53，并且在粘接材料53的下表面粘贴有保护薄膜(在附图中未示出)，由此构成光罩保护膜。为了使粘接材料不变形，该光罩保护膜以保护薄膜(在附图中未示出)与托盘55的作为平坦面的设置面55a之上接触的方式放置。
以往，载置在托盘55的设置面55a上的光罩保护膜通过设置在托盘55上的突起状的柱55b约束其左右的运动，另外从上方盖上盖56，由夹子57固定盖56和托盘55的四角，由此进行收纳(专利文献1)。其结果为，上述光罩保护膜成为被盖56的斜面56a、柱55b和设置面55a包围约束并被收纳的状态。此外，也公开了上述托盘的周缘是肋结构的情况(专利文献2)。进而，也可以代替夹子57，使用粘接带来密闭整周。
但是，在收纳如本发明这样的面积为1000cm2以上的大型光罩保护膜的情况下，有可能不能获得充分的保护效果。
此外，一般的是，收纳容器采用树脂材料，通过注塑成形或真空成形进行制造。但是，5英寸或6英寸的半导体用光罩保护膜的收纳容器大多通过注塑成形来成形，但面积为1000cm2以上的大型光罩保护膜用的收纳容器大多通过真空成形制造。这是因为，注塑成形能够以高的尺寸精度成形，但在注塑成形中很难制造这样大型的成形品，真空成形能够容易地形成薄壁且大型的一体成形品。但是，随着光罩保护膜变大，收纳容器也变大，因此有可能产生以下的问题。
即，收纳容器的成形形变会增大，收纳容器的翘曲量也变得很大。当翘曲量很大时，在水平保管(将光罩保护膜放入收纳容器中并在水平状态下进行保管)中，其形状容易转印到掩模粘接材料上而发生变形。
如果粘接材料发生变形，则在粘贴掩模时，可能产生掩模粘接材料的一部分不粘贴在掩模上等粘贴不良。
进而，由于收纳容器的刚性不足，有可能产生这样的问题：即，在进行搬运时根据收纳容器的握持方式的不同而使收纳容器产生形变，或者在纵置保管(将光罩保护膜放入收纳容器中并将收纳容器直立起来保管)时收纳容器产生形变。当收纳容器发生形变时，托盘的形变形状就有可能转印在粘接材料上。当粘接材料变形时，就有可能发生先前所述的粘贴不良。
此外，当收纳容器形变时，因收纳容器的设计使光罩保护膜与收纳容器的盖发生摩擦，所以产生灰尘，从而有可能产生异物附着在光罩保护膜上的问题。
因此，为了使收纳容器具有刚性，也考虑加厚容器的厚度，但那样重量就会增加，可以推测操作性就会变得非常差。
此外，即使为了使收纳容器具有刚性而设置肋，在面积为1000cm2以上的大型光罩保护膜的收纳容器中，由于在收纳容器上凹凸增加，清洗性和确认有无异物附着的作业性有可能变差，因此也不理想。
专利文献1：日本特开2000-173887号公报
专利文献2：日本特开平8-62828号公报
发明内容
鉴于上述问题，本发明以提供在搬送和保管之后仍能够维持大型光罩保护膜的本来功能的收纳容器作为课题。
因此，本发明的发明者经过认真研究完成了本发明，本发明是具有以下结构的收纳容器，其在搬送和保管之后仍能够维持大型光罩保护膜的本来功能。
即，本发明为：
1.一种大型光罩保护膜用收纳容器，其由收纳光罩保护膜的托盘和覆盖托盘的盖构成，所述光罩保护膜的面积为1000cm2以上，该盖和/或托盘构成为包含具有蜂窝结构的材料。
2.在上述1所述的收纳容器中，上述收纳容器具有从以下结构中选择的至少一种结构：
在上述盖和/或托盘的表面上的至少一部分上配置具有上述蜂窝结构的板状材料的结构；和
在上述盖和/或托盘的至少一部分中埋入具有上述蜂窝结构的板状材料的结构。
3.在上述1或2所述的收纳容器中，上述收纳容器具有以下结构：在上述盖和/或托盘的外表面侧配置具有蜂窝结构的板状材料。
4.在上述1至3中的任一项所述的收纳容器中，上述收纳容器具有以下结构：
上述托盘采取使载置大型光罩保护膜的部分与该托盘的其它部分处于同一平面上的形态，或者采取使载置大型光罩保护膜的部分相对于该托盘的其它部分隆起的形态，并且具有上述蜂窝结构的材料被配置在该载置的部分上或者埋入该载置的部分中。
5.在上述1至4中的任一项所述的收纳容器中，上述收纳容器具有以下结构：
在上述盖和/或托盘的整个表面上和/或内部配置有上述蜂窝结构的材料。
6.在上述1至5中的任一项所述的收纳容器中，上述托盘自身由具有蜂窝结构的材料构成。
7.一种大型光罩保护膜收纳结构体，其构成为包含上述1至6中的任一项所述的收纳容器、和收纳在该收纳容器中的光罩保护膜。
根据本发明，能够提供一种刚性高、平坦性和清洗性优异的大型光罩保护膜用的收纳容器。因此，光罩保护膜的粘接材料不会变形，从而能够防止光罩保护膜相对于掩模或模版的粘贴不良。此外，能够防止因搬运收纳容器时的握持方法，或者在纵置保管时由于光罩保护膜与大型光罩保护膜收纳容器发生摩擦而产生的细小的灰尘附着在光罩保护膜上。因此，在从制造者搬送到使用者期间，不会损害光罩保护膜的功能，使用者总是能够使用具有稳定质量的光罩保护膜，本发明特别有助于质量的稳定。
附图说明
图1是例示各种蜂窝板的截面图。
图2A是表示盖、光罩保护膜以及托盘的截面图。
图2B是从侧面观察到的、在由盖和托盘构成的大型光罩保护膜收纳容器的内部收纳有光罩保护膜的收纳结构体的截面图。
图3是从上方观察到的将加强板粘贴到收纳容器上的状态的图。
图4A是从侧面观察到的、以蜂窝板作为加强板载置在托盘的整个表面上的状态的截面图。
图4B是从侧面观察到的、以蜂窝板作为加强板载置在托盘的外周部上的状态的截面图。
图5A是从侧面观察到的以蜂窝板自身作为托盘使用的情况下的状态的截面图，是托盘的整个表面成为蜂窝板的情况的图。
图5B是从侧面观察到的以蜂窝板自身作为托盘使用的情况下的状态的截面图，是在托盘的外周部使用蜂窝板的情况的图。
图6是在将蜂窝板自身用作托盘的情况下的从上方观察的示意图。
图7是从上方观察到的将光罩保护膜体收纳在本发明的收纳容器中的状态的立体图。
图8是从侧面观察到的将光罩保护膜体收纳在本发明的收纳容器中的状态的截面图。
具体实施方式
以下，对本发明进行详细说明。
本发明的一个实施方式是面积为1000cm2以上的大型光罩保护膜用收纳容器，其中，通过在盖和/或托盘的表面上的至少一部分上设置加强板，使收纳容器的形变仿效加强板，从而使其具有平坦性。由此，由于能够使该收纳容器具有刚性，所以能够防止在搬运时和纵置保管时壳体发生形变。进而，通过将加强板配置在盖和/或托盘的外表面侧(不面向载置光罩保护膜侧的一侧)，与对收纳容器的盖或托盘的内表面侧(光罩保护膜的载置侧)进行加强的情况相比，由于不会产生凹凸，因此不会损害清洗性以及确认有无异物附着的作业的容易程度，可以起到更理想的效果。
此外，在本发明的另一个方式中，通过将加强板埋入盖和/或托盘内，也可以得到与上述同样的效果。在埋入加强板的情况下，加强板的一个面既可以露出到盖和/或托盘的表面，也可以将加强板整体包埋。这样，通过将加强板埋入盖和/或托盘内，不会产生凹凸，能够维持平坦性并提高刚性。
在本发明的又一个方式中，通过在收纳容器的整个表面上配置加强板，能够防止光罩保护膜的粘接材料部的变形，并且也能够进一步提高壳体的刚性。
另外，在本发明中，在托盘采取使载置光罩保护膜的部分与该托盘的其它部分处于同一平面上的形态，或者采取使载置光罩保护膜的部分相对于该托盘的其它部分隆起的形态的情况下，通过将加强板配置于载置光罩保护膜的部分，或者埋入载置光罩保护膜的部分中，能够保持收纳容器的平坦性，并提高刚性。由此能够实现本发明的效果。
作为在本发明中使用的加强板，可以使用碳钢或不锈钢、铝合金、钛合金等金属板，或聚碳酸酯、聚缩醛、聚丁烯对酞酸盐、变性聚苯醚、玻璃纤维增强聚对苯二甲酸乙二酯、聚苯硫醚、聚醚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺、聚酰亚胺等工程塑料板。作为形状，可以使用如冲孔金属那样的局部中空的形状或蜂窝结构的板。特别优选的是蜂窝结构的板。这是因为，通过使用蜂窝结构的板，既能够尽可能地抑制因使用加强板而导致的重量增加，又能够维持收纳容器的平坦性并提高刚性。
蜂窝的小室尺寸等只要从刚性、平坦性和重量的观点进行选择即可，例如，可以从0.1mm到100mm等中选择。优选的是0.3mm到50mm。此外，小室的高度并没有特别限定，例如可以从1mm到200mm中进行选择。优选的是3mm到100mm。此外，顶板、底板的厚度也没有特别限定，例如可以从0.1mm到300mm的范围中选择。优选的是0.2mm到20mm。
此外，小室的形状并没有特别指定，可以列举出六角形、OX形、弯曲形、交叉形状和羽状等，优选的是六角形。
此外，在本发明的一个实施方式中，收纳容器的盖和/或托盘本身也可以由具有上述蜂窝结构的材料自身构成。由此，除了能够提高刚性并维持平坦性之外，同时还能够实现进一步的轻量化。
所谓的本发明中可以使用的具有蜂窝结构的板状材料，一般只要具有蜂窝结构，可以是任何材料。根据使用方式的不同，可以是顶板和底板隔着蜂窝结构的部分对置的材料(图1中的(1))、也可以是仅有蜂窝结构的部分和顶板的结构(图1中的(2))、或者仅有蜂窝结构的部分和底板的结构(图1中的(3))。此外，也可以是仅由蜂窝结构构成的材料(图1中的(4))。
例如，在托盘的表面上配置具有蜂窝结构的板状材料(以下称为蜂窝板)的情况下，在载置光罩保护膜的一侧配置蜂窝板时，通过配置由顶板和蜂窝结构的部分构成的材料，并使托盘的配置面起到底板的作用，能够以不使用底板的量，抑制重量的增加和凹凸的大小。
反之，在未载置光罩保护膜的一侧使用蜂窝板的情况下，通过配置由底板和蜂窝结构的部分构成的材料，并使托盘的配置面起到顶板的作用，能够以不使用顶板的量，抑制重量的增加和凹凸的大小。
并且，在本发明中，并不限定蜂窝结构的部分的材质，如上所述，可以使用碳钢或不锈钢、铝合金、钛合金等金属板，或聚碳酸酯、聚缩醛、聚丁烯对酞酸盐、变性聚苯醚、玻璃纤维增强聚对苯二甲酸乙二酯、聚苯硫醚、聚醚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺、聚酰亚胺等工程塑料等，优选的是金属，更为优选的是铝合金。此外，从使用前确认有无异物附着的作业性的观点出发，也可以进行黑色氧化铝膜处理或喷丸(blast)处理，以及两者都进行。
以下，利用附图，更具体地说明作为本发明的一个方式的使用蜂窝板构成的大型光罩保护膜用收纳容器。
首先，图2表示本发明的大型光罩保护膜收纳容器的整体图。
如图2A所示，大型光罩保护膜收纳容器用于在内部收纳光罩保护膜1，其由托盘2和盖3构成。光罩保护膜1由光罩保护膜体11、粘贴有光罩保护膜体11的框体12、以及用于将框体粘贴在掩模或模版上的粘接材料13等构成。此处，在本实施方式中，光罩保护膜1是光罩保护膜体11的面积超过1000cm2的大型光罩保护膜。
在托盘2中沿周边形成有载置光罩保护膜1的隆起部21，隆起部21的内侧(中央侧)成为平面部22。托盘2通过真空成形制造，在隆起部21的外表面侧形成有槽部23。此外，在隆起部21的上部立起地突出设置有多个肋24，该肋24与光罩保护膜1的保护薄膜的外形部接触，从而约束横向的移动。由于所收纳的光罩保护膜的面积超过1000cm2，因此，平面部22的面积也以此为准。
盖3与托盘2相同，也通过真空成形制造。如图2B所示，通过盖住托盘2来收纳光罩保护膜1。在将托盘2与盖3合上之后，通过使未图示的粘接带的周边围绕端边来进行密封。
作为托盘2和盖3的材质，没有特别指定，可以使用丙烯酸树脂、聚对苯二甲酸乙二酯树脂、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯树脂等。进而，除上述树脂以外，也可以使用聚对苯二甲酸乙二酯以外的聚酯树脂、聚乙烯或聚丙烯等烯烃类树脂、聚苯乙烯或丙烯腈-苯乙烯树脂等聚苯乙烯类树脂等。
在上述结构中，一般由于托盘2和盖3的外周附近弯曲，因此在周边部具有某种程度的刚性。但是，平面部22的强度弱，此外，当其面积成为1000cm2以上时，容器整体的刚性就变得不足，很容易产生翘曲或挠曲。因此，在本发明的一个实施方式中，在托盘2的外表面侧安装蜂窝板4。由此能够大幅度提高容器整体的刚性。
图3是从上方观察将蜂窝板配置在收纳容器的盖和/或托盘的表面，或者埋入其中的情况(蜂窝板的面显现在表面上的情况)的蜂窝板的配置方式时的示意图。外周部对应于载置光罩保护膜的框体的形状，从图中可清楚地得知，在沿着框体形状的部分以外也配置有蜂窝板。并且，优选在沿着框体形状的部分配置蜂窝板，但即使不这样也可以达到效果。
并且，在盖和/或托盘的表面上配置蜂窝板的情况下，虽然配置在内表面侧也能够提高刚性，但如果配置在外表面侧，除了能够提高刚性之外，也能够提高平坦性，因此是优选的。
图4A和图4B是在托盘的载置光罩保护膜一侧的相反侧(外表面侧)使用蜂窝板加强的情况下的截面的示意图。图4A是表示以蜂窝板作为加强板载置在托盘的整个表面上的图。图4B是表示以蜂窝板作为加强板载置在托盘的外周部上的图。
图5A和图5B是在托盘使用蜂窝板本身的情况下的截面的示意图。图5A是表示以蜂窝板本身作为托盘使用的情况下的截面的示意图，是托盘的整个表面成为蜂窝板的情况的图。图5B是表示以蜂窝板本身作为托盘使用的情况下的截面的示意图，是在托盘的外周部使用蜂窝板的情况的图。
图6是在将蜂窝板本身用作托盘的情况下的从上方观察的示意图。当托盘使用蜂窝板本身时，蜂窝板既可以仅由顶板和蜂窝结构的部分构成，也可以由顶板、蜂窝结构的部分以及底板构成。此外，当在框体的外周部使用蜂窝板时，既可以在包含没有蜂窝板的中央部在内的托盘的整个表面上使用顶板，也可以只在外周部设置蜂窝部和顶板。
在本发明中，在加强板或托盘使用蜂窝板的收纳容器中，优选设置罩以防止从蜂窝部侧面产生灰尘。
本发明的大型光罩保护膜用收纳容器，能够以稳定的状态收纳面积为1000cm2以上的大型光罩保护膜，不会损伤大型光罩保护膜地安全进行搬送和保管。
Claims (8)
1.一种大型光罩保护膜用收纳容器，其由收纳光罩保护膜的托盘和覆盖托盘的盖构成，所述光罩保护膜的面积为1000cm2以上，该盖和/或托盘构成为包含具有蜂窝结构的板状材料。
2.如权利要求1所述的收纳容器，其特征在于，
上述具有蜂窝结构的板状材料是金属板或工程塑料。
3.如权利要求1或2所述的收纳容器，其特征在于，
上述收纳容器具有从以下结构中选择的至少一种结构：
在上述盖和/或托盘的表面上的至少一部分上配置具有上述蜂窝结构的板状材料的结构：和
在上述盖和/或托盘的至少一部分中埋入具有上述蜂窝结构的板状材料的结构。
4.如权利要求1或2所述的收纳容器，其特征在于，
上述收纳容器具有以下结构：在上述盖和/或托盘的外表面侧配置具有蜂窝结构的板状材料。
5.如权利要求1或2所述的收纳容器，其特征在于，
上述收纳容器具有以下结构：
上述托盘采取使载置大型光罩保护膜的部分与该托盘的其它部分处于同一平面上的形态，或者采取使载置大型光罩保护膜的部分相对于该托盘的其它部分隆起的形态，并且具有上述蜂窝结构的材料被配置在该载置的部分上或者埋入该载置的部分中。
6.如权利要求1或2所述的收纳容器，其特征在于，
上述收纳容器具有以下结构：
在上述盖和/或托盘的整个表面上和/或内部配置有上述蜂窝结构的材料。
7.如权利要求1或2所述的收纳容器，其特征在于，上述托盘自身由具有蜂窝结构的材料构成。
8.一种大型光罩保护膜收纳结构体，其构成为包含权利要求1至7中的任一项所述的收纳容器、和收纳在该收纳容器中的光罩保护膜。
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