KR101087356B1 - 펠리클용 수납 용기 - Google Patents

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토시츠구 야지마
와타루 키쿠치
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신에츠 폴리머 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 펠리클용 수납 용기를 구성하는 트레이와 덮개를 테이프를 이용하여 용이하고 강고하게 고정하는 것을 과제로 한다. 본 발명은 펠리클막(6)과 당해 펠리클막(6)을 지지하는 지지 프레임(7)을 가지는 펠리클(5)을 수송하기 위한 펠리클용 수납 용기(1)로서, 트레이(3)와 당해 트레이(3)의 덮개가 되는 커버(2)를 가지고, 트레이(3) 및 커버(2)의 외주부에 평면을 형성하도록 절곡한 평면 절곡부(21d, 31d)를 구비하고, 트레이(3)에 커버(2)를 씌운 상태에 있어서, 트레이(3)의 외주부와 커버(2)의 외주부에 의해 평면부(4)를 형성하는 구성으로 하였다.
펠리클, 수납 용기, 트레이, 덮개, 테이프

Description

펠리클용 수납 용기{RECEIVING CONTAINER FOR PELLICLE}
본 발명은 펠리클막(pellicle film)과 펠리클막을 지지하는 지지 프레임(frame)을 가지는 펠리클(pellicle)을 수송하기 위한 펠리클용 수납 용기에 관한 것이다.
　　　종래부터, 반도체 회로 패턴(pattern)의 제조 공정에 있어서의 리소그래피(lithography) 공정에서 사용되는 포토마스크(photomask)의 방진(防塵)을 목적으로 펠리클이 이용되고 있다. 펠리클은 일반적으로 니트로셀룰로스(nitrocellulose) 등의 투명한 고분자막으로 이루어지는 두께 10미크론(micron) 정도의 펠리클막(pellicle film)과, 그것을 일방의 주단면(周端面)에서 지지하는 두께 수mm 정도의 지지 프레임(frame)을 구비하고 있다. 포토마스크 상에 이물이 부착하면, 그 이물의 패턴이 반도체 회로 상에 전사되고, 반도체 칩(chip)의 많은 것을 불량품으로 해 버릴 위험성이 있다. 이 때문에, 포토마스크의 상방을 펠리클막으로 덮도록 펠리클을 배치하고, 포토마스크 상에 이물이 들어가는 것을 방지하도록 하고 있다.
또, 펠리클은 펠리클막 등에 이물이 부착함으로써 펠리클이 손상되는 것을 막기 위해서, 펠리클용 수납 용기에 수납되어 운반된다. 이 펠리클용 수납 용기는 펠리클을 올려놓기 위한 트레이(tray)와, 덮개로 구성되어 있다. 펠리클용 수납 용 기에는, 당해 수납 용기의 내부에 이물이 혼입되지 않는 것과 같은 밀봉성이 요구된다. 이러한 요구를 감안하여, 특허문헌 1에 개시되는 발명에서는, 펠리클용 수납 용기를 구성하는 트레이 및 덮개의 코너(corner)부에 테이프 씰(tape seal)을 부착하여 밀봉성을 확보하고 있다.
특허문헌 1:　일본 특허공개 2004－361705호 공보(도 1)
<발명이 해결하고자 하는 과제>
　　　그렇지만, 특허문헌 1에 개시되어 있는 펠리클용 수납 용기에서는, 펠리클용 수납 용기를 구성하는 트레이(tray) 및 덮개의 양단부에서 형성된 면에는, 폭이 좁은 영역밖에 없기 때문에, 테이프 씰(tape seal)에 의해 트레이와 덮개를 고정하는 경우, 테이프 씰을 절곡하면서 양단부를 부착시키지 않으면 안 된다. 따라서, 테이프 씰이 부착되기 어려워짐과 아울러, 트레이와 덮개의 고정 강도가 약해진다고 하는 문제를 가지고 있다. 또, 테이프 씰이 절곡되어 부착되기 때문에, 테이프 씰을 부착시킨 상태에서는, 당해 씰(seal)에 주름이 발생하고, 펠리클용 수납 용기의 밀봉성을 충분히 확보할 수가 없다고 하는 문제도 가지고 있다.
본 발명은 상기의 사정에 의거하여 이루어진 것으로, 그 목적으로 하는 바는, 트레이(tray)와 덮개의 고정을 테이프(tape)를 이용하여 용이하게 또한 강고하게 할 수가 있는 구성을 가지는 펠리클용 수납 용기를 제공하고자 하는 것이다.
<과제를 해결하기 위한 수단>
상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은 펠리클막(pellicle film)과 당해 펠리클막을 지지하는 지지 프레임(frame)을 가지는 펠리클(pellicle)을 수송하기 위한 펠리클용 수납 용기로서, 트레이(tray)와, 당해 트레이의 덮개가 되는 커버(cover)를 가지고, 트레이 및 커버 중 적어도 어느 일방의 외주부에, 평면을 형성하도록 절곡한 평면 절곡부를 구비하고, 트레이에 커버를 씌운 상태에 있어서, 트레이의 외주부와 커버의 외주부에 의해 평면부를 형성하는 구성으로 한 것이다.
이와 같이 구성한 경우에는, 트레이 또는 커버의 외주부에 평면 절곡부가 설치되어 있기 때문에, 평면부에 테이프를 부착시킴으로써 용이하게 또한 강고하게 트레이와 커버를 고정하는 것이 가능하게 된다. 또, 평면 절곡부는 외주부에 대해서 전체 둘레에 걸쳐, 평면을 형성하도록 절곡되어 있기 때문에, 외주부의 강성이 증가되고, 펠리클용 수납 용기 전체의 강도가 향상된다. 또한, 펠리클용 수납 용기의 외주부에 평면부가 존재하기 때문에, 펠리클용 수납 용기를 파지하기가 쉬워진다. 여기서 평면부는 완전히 평활한 평면만이 아니라, 약간의 단차를 가지는 것을 포함하도록 광의로 해석된다. 당해 단차는 5mm 이하로 하는 것이 바람직하다.
또, 다른 발명은 상술의 발명에 더하여 또한, 트레이 및 커버에 각각 평면 절곡부를 구비하고, 각 평면 절곡부는 서로 역방향을 향해 뻗어나가고 평면부를 형성하고 있다.
이와 같이 구성한 경우에는, 각 평면 절곡부는 외주부로부터 서로 역방향을 향해 뻗어나가고 평면부를 구성하고 있다. 그 때문에, 커버 및 트레이의 외주부에 테이프를 붙이기 위한 충분히 넓은 면적을 확보할 수 있다. 또, 평면부는 하나의 평탄한 평면을 형성하고 있기 때문에, 당해 평면부에 테이프를 용이하게 붙이는 것이 가능하게 된다.
또한, 다른 발명은 상술의 발명에 더하여 또한, 트레이 및 커버에 각각 평면 절곡부를 구비하고, 각 평면 절곡부는 서로 동일 방향을 향해 뻗어나가고 평면부를 형성하고 있다.
이와 같이 구성한 경우에는, 각 평면 절곡부는 외주부로부터 서로 동일 방향을 향해 뻗어나가고 평면부를 구성하고 있다. 그 때문에, 커버 및 트레이의 외주부에 테이프를 붙이기 위한 충분히 넓은 면적을 확보할 수 있다. 또, 평면부는 하나의 평탄한 평면을 형성하고 있기 때문에, 당해 평면부에 테이프를 용이하게 붙이는 것이 가능하게 된다.
또한, 다른 발명은 상술의 발명에 더하여 또한, 평면부의 폭을 20mm 이상으로 한 것이다. 이와 같이 구성한 경우에는, 범용의 테이프를 이용하여 지장 없이 커버와 트레이를 고정할 수가 있다.
<발명의 효과>
본 발명에 의하면, 펠리클용 수납 용기를 구성하는 트레이와 덮개를 테이프를 이용하여 용이하게 또한 강고하게 고정할 수가 있다.
도 1은 본 발명의 제1의 실시의 형태에 관계되는 펠리클(pellicle)용 수납기의 분해 사시도이다.　　
도 2는 도 1에 나타내는 펠리클용 수납 용기의 사시도이다.
도 3은 도 2에 나타내는 펠리클용 수납 용기를 A－A선으로 절단했을 때의 단 면도이다.
도 4는 도 3에 나타내는 펠리클용 수납 용기(1)에 수납되는 펠리클을 도 2에 나타내는 A－A선으로 절단했을 때의 단면도이다.
도 5는 도 3에 나타내는 펠리클용 수납 용기 내에 도 4에 나타내는 펠리클을 수납한 상태를 나타내는 도이다.
도 6은 도 5에 있어서의 Y로 나타내는 부분을 확대하여 나타낸 사시도이다.
도 7은 본 발명의 제2의 실시의 형태에 관계되는 펠리클용 수납 용기를 도 2에 나타내는 A－A선과 마찬가지의 선으로 절단했을 때의 단면도이다.
도 8은 본 발명의 변형예를 나타내는 도이고, 트레이(tray)의 외주부만으로부터 수직 하방을 향해 평면 절곡부를 뻗어나가게 한 경우를 나타내는 외연부 근방의 단면도이다.
도 9는 본 발명의 변형예를 나타내는 도이고, 커버(cover)의 외주부만으로부터 수직 상방을 향해 평면 절곡부를 뻗어나가게 한 경우를 나타내는 외연부 근방의 단면도이다.
도 10은 본 발명의 변형예를 나타내는 도이고, 커버 및 트레이의 외주부로부터 경사지게 평면 절곡부를 뻗어나가게 한 경우를 나타내는 외연부 근방의 단면도이다.
<부호의 설명>　　
1, 40…펠리클(pellicle)용 수납 용기
2…커버(cover)
3…트레이(tray)
4, 54, 62, 64, 67…평면부
5…펠리클(pellicle)
6…펠리클막(pellicle film)
7…지지 프레임(frame)
21d, 31d, 41b, 51f, 61, 63, 65, 66…평면 절곡부
이하, 본 발명의 각 실시의 형태에 관계되는 펠리클(pellicle)용 수납 용기에 대해서, 도면을 참조하면서 설명한다.
(제1의 실시의 형태)
도 1은 본 발명의 제1의 실시의 형태에 관계되는 펠리클용 수납 용기(1)의 분해 사시도이다. 또, 도 2는 도 1에 나타내는 펠리클용 수납 용기(1)를 나타내는 사시도이다.
도 1에 나타내듯이, 펠리클용 수납 용기(1)는 트레이(tray)(3)와 그 덮개인 커버(cover)(2)를 구비하고 있다.
커버(cover)(2)는 외형이 대략 직사각형으로서, 일방에 개구부를 가지는 덮개 부재이다. 커버(2)의 외주에는, 후술하는 커버(2)의 외방 연장부(21c)로부터 전체 둘레에 걸쳐 대략 수직 방향 상향으로 뻗어나가는 평면 절곡부(21d)가 설치되어 있다.
또, 트레이(tray)(3)는 일방에 개구부를 가지는 대략 직사각형의 상자형 부 재이다. 커버(2)와 트레이(3)의 외형은 모두 동일 형상으로 되어 있다. 또, 트레이(3)의 외주에는, 후술하는 트레이(3)의 외방 연장부(31c)로부터 전체 둘레에 걸쳐 대략 수직 방향 하향으로 뻗어나가는 평면 절곡부(31d)가 설치된다. 또한, 트레이(3)에는, 커버(2) 및 트레이(3)에 의해 형성되는 내부 공간에 있어서, 펠리클(pellicle)을 올려놓기 위한 재치부(載置部)(3b)가 설치되어 있다. 재치부(3b)는 도 1에 나타내듯이, 사각 프레임(frame) 형상으로 형성되어 있고, 펠리클용 수납 용기(1)의 내부 공간에 있어서 저면(30a)측으로부터 트레이(3)의 개구측을 향해 돌출되어 있다.
커버(2) 및 트레이(3)는 후술하듯이, 원판의 두께가 약 3mm인 ABS 수지(아크릴로니트릴(acrylonitrile), 부타디엔(butadiene) 및 스티렌(styrene)의 3종의 단량체로 이루어지는 공중합체)를 진공 성형용 금형을 이용하여 진공 성형함으로써 제조된다. 단, 커버(2) 및 트레이(3)의 재료는 ABS 수지에 한정되는 것은 아니다. 또, 원판의 두께는 3mm로 한정되지 않고, 3mm보다 얇게 해도 좋고, 3mm보다 두껍게 해도 좋다. 또한, 성형 방법으로서는, 진공 성형에 한정하지 않고, 압공(壓空) 성형 혹은 압공 진공 성형 등의 다른 성형 방법을 채용해도 좋다.
여기서, 「진공 성형」이란, 연화 상태의 수지를 금형에 배치하여, 그 수지와 금형 사이의 공간을 진공으로 함으로써, 수지를 금형에 빨아 붙여 성형하는 방법을 말하고, 금형에의 수지의 공급 방법은 묻지 않는다. 따라서, 시트(sheet) 형상의 수지를 금형에 배치하거나 혹은 용융 상태의 수지를 금형에 토출해도 좋다. 진공 성형의 예로서는, 자형(雌型)을 이용하는 스트레이트(straight)법, 웅형(雄 型)에 의한 드레이프(drape)법, 수지 시트(sheet)를 반구 형상으로 부풀어 오르게 하여 그 중에 웅형을 넣어 성형하는 에어슬립(air slip)법, 에어슬립법에서 이용되는 웅형 대신에 자형을 이용하는 리버스드로(reverse draw)법, 자형 상에 클램프(clamp)한 수지 시트를 플러그(plug)로 자형에 내려붙이고, 수지 시트를 프리스트레치(prestretch)하여 진공으로 끌어당기는 보조 플러그법 등을 들 수 있지만, 이들에 한정되는 것은 아니다.
도 2에 나타내듯이, 커버(cover)(2)는 트레이(tray)(3) 상에 배치되고, 그 후, 평면 절곡부(21d)와 평면 절곡부(31d)로 형성되는 평면부(4)에, 양 평면 절곡부(21d, 31d)의 경계가 되는 경계부(4a)를 덮도록 테이프(33)가 부착된다(도 6 참조). 이 결과, 커버(2)와 트레이(3)는 밀봉한 상태로 고정된다. 이와 같이, 펠리클(pellicle)용 수납 용기(1)에 펠리클이 수납된 상태로 커버(2)와 트레이(3)를 테이프(33)로 밀봉하고 펠리클의 수송을 한다.
도 3은 도 2에 나타내는 펠리클용 수납 용기(1)를 A－A선으로 절단했을 때의 단면도이다.
도 3에 나타내듯이, 커버(cover)(2)는 트레이(3)와 대향하는 측에 개구부를 가지는 오목 형상의 커버 본체(20)와, 당해 커버 본체(20)의 외주연부의 외방에 형성되는 바깥 연장부(21)를 가지고 있다. 커버 본체(20)의 상면(20a)으로부터는, 트레이(3)의 재치부(3b)와 대향하도록, 커버(2)의 개구부를 향해 돌출하는 돌기부(20b)가 형성되어 있다. 돌기부(20b)는 재치부(3b)와 같이 사각 프레임(frame) 형상으로 형성되어 있다.
바깥 연장부(21)는 커버 본체(20)의 외연부로부터 전체 둘레에 걸쳐 외방을 향해 수평으로 뻗어나가는 외주 연장부(21a)와, 당해 외주 연장부(21a)의 외연으로부터 전체 둘레에 걸쳐 당해 외주 연장부(21a)에 대해서 대략 수직 상방으로 뻗어나가는 상방 연장부(21b)와, 당해 상방 연장부(21b)의 외연으로부터 전체 둘레에 걸쳐 외방을 향해 수평으로 뻗어나가는 외방 연장부(21c)와, 당해 외방 연장부(21c)의 외연으로부터 전체 둘레에 걸쳐 당해 외방 연장부(21c)에 대해서 대략 수직 상방을 향해 뻗어나가는 평면 절곡부(21d)로 구성되어 있다. 평면 절곡부(21d)의 높이는 약 10mm 이상이 되도록 형성되어 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니다.
도 3에 나타내듯이, 트레이(tray)(3)는 커버(2)와 대향하는 측에 개구부를 가지는 트레이 본체(30)와, 당해 트레이 본체(30)의 저면(30a)으로부터 개구부측을 향해 돌출하는 재치부(3b)와, 당해 재치부(3b)의 외연부의 외방에 형성되는 바깥 연장부(31)를 가지고 있다. 재치부(3b)는 저면(30a)에 트레이 본체(30)의 외형을 따른 사각 프레임(frame) 형상으로 형성되어 있고, 펠리클(pellicle)(5)을 올려놓는 구성부로서 기능한다.
도 3에 나타내듯이, 재치부(載置部)(3b)는 돌출한 측에 수평의 상측 저면(3c)을 가지고 있다. 이것은 후술하는 펠리클(pellicle)(5)을 구성하는 지지 프레임(7)의 저면과 상측 저면(3c)의 상면을 간극 없이 접촉시키고, 지지 프레임(7)의 저면에 균일한 하중이 걸리도록 하기 위해서이다. 또한, 상측 저면(3c)의 속측은 트레이(3)의 외측으로부터 보아 개구부측으로 움푹 들어가는 오목부로 되어 있 다.
바깥 연장부(31)는 재치부(3b)의 외연부로부터 전체 둘레에 걸쳐 외방을 향해 수평으로 뻗어나가는 외주 연장부(31a)와, 당해 외주 연장부(31a)의 외연으로부터 전체 둘레에 걸쳐 당해 외주 연장부(31a)에 대해서 대략 수직 상방을 향해 뻗어나가는 상방 연장부(31b)와, 당해 상방 연장부(31b)의 외연으로부터 전체 둘레에 걸쳐 외방을 향해 수평으로 뻗어나가는 외방 연장부(31c)와, 당해 외방 연장부(31c)의 외연으로부터 전체 둘레에 걸쳐 당해 외방 연장부(31c)에 대해서 대략 수직 하방을 향해 뻗어나가는 평면 절곡부(31d)로 구성되어 있다. 평면 절곡부(31d)의 높이는 약 10mm 이상이 되도록 형성되어 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니다.
커버(cover)(2)가 트레이(tray)(3) 상에 씌워진 상태에서는, 도 3에 나타내듯이, 외주 연장부(21a)와 외주 연장부(31a), 상방 연장부(21b)와 상방 연장부(31b), 및 외방 연장부(21c)와 외방 연장부(31c)는 각각 대향면 전면에 걸쳐 접촉하고 있다. 또, 평면 절곡부(21d)는 외방 연장부(21c)에 대해서 대략 수직 상방을 향해 뻗어나가고, 또한 평면 절곡부(31d)는 외방 연장부(31c)에 대해서 수직 하방을 향해 뻗어나가고 있다. 또, 평면 절곡부(21d)와 평면 절곡부(31d)의 외면은 하나의 평탄한 평면부(4)를 형성하고 있다.
도 4는 도 3에 나타내는 펠리클(pellicle)용 수납 용기(1)에 수납되는 펠리클(5)을 도 2에 나타내는 A－A선으로 절단했을 때의 단면도이다.
펠리클(5)은 니트로셀룰로스(nitrocellulose) 등의 재질로 이루어지는 두께 10미크론(micron) 이하의 펠리클막(pellicle film)(6)을, 사각 프레임(frame) 형상의 지지 프레임(7)에 있어서의 일방의 단면(端面)에 펼쳐서 부착한 구성을 가지고 있다. 지지 프레임(7)의 높이는 약 5mm이다. 단, 펠리클막(5)의 재질 및 두께 및 지지 프레임(7)의 높이는 상기에 한정되지 않는다.
도 4에 있어서의 X로 나타내는 부분의 확대도에 나타내듯이, 펠리클막(6)이 부착되어 있는 지지 프레임(7)의 주단면(周端面)에 반대측의 주단면에는 점착재(8)가 구비되어 있다. 점착재(8)의 표면에는 얇은 박리 시트(sheet)(도시하지 않음)가 붙여져 있다. 펠리클(5)을 사용하는 경우에는, 당해 박리 시트를 점착재(8)로부터 벗겨, 점착재(8)가 점착력을 발휘할 수 있는 상태에서, 지지 프레임(7)을 포토마스크(photomask)에 부착하여 고정한다. 이 점착재(8)의 두께가 불균일하게 되면, 포토마스크와의 사이에 간극이 생길 우려가 있기 때문에, 점착재(8)의 두께를 불균일한 상태로 하지 않도록 펠리클(5)을 수송할 필요가 있다.　
도 5는 도 3에 나타내는 펠리클용 수납 용기(1) 내에, 도 4에 나타내는 펠리클(5)을 수납한 상태를 나타내는 도이다. 도 6은 도 5에 있어서의 Y로 나타내는 부분을 확대하여 나타낸 사시도이다.
펠리클(pellicle)(5)은 재치부(3b)와 돌기부(20b)에 의해 지지 프레임(7)을 끼워둠으로써, 펠리클용 수납 용기(1) 내에 고정된다. 펠리클(5)이 고정된 상태에서는, 당해 펠리클(5)은 그 지지 프레임(7)의 저면이 상측 저면(3c)에 접해 있고, 지지 프레임(7)의 상단면은 돌기부(20b)의 선단부와 접하고 있다. 이와 같이, 펠리클(5)은 펠리클용 수납 용기(1) 내에 고정된 상태로 수납되기 때문에, 펠리클(5)이 수송시에 재치부(3b)로부터 탈락하지 않는다. 또, 도 5 및 도 6에 나타내듯이, 평면부(4)에는 경계부(4a)를 덮도록 테이프(33)가 전체 둘레에 걸쳐 붙여져 있다. 또, 테이프(33)를 붙임으로써, 펠리클용 수납 용기(1)를 밀폐할 수가 있다. 따라서, 펠리클용 수납 용기(1) 내에 먼지와 티끌이 들어가는 것을 방지할 수 있다. 또, 평면 절곡부(21d, 31d)의 존재에 의해, 펠리클용 수납 용기(1)의 강도는 증가하고, 뒤틀림, 휨 등의 변형이 생기기 어렵게 된다.
이상과 같이 하여 구성된 펠리클용 수납 용기(1)에서는, 평면 절곡부(21d, 31d)가 설치되어 있기 때문에, 평면부(4)에 테이프(tape)(33)를 붙임으로써 용이하게 또한 강고하게 커버(2)와 트레이(3)를 고정하는 것이 가능하게 된다. 또, 평면 절곡부(21d, 31d)는 외방 연장부(21c, 31c)에 대해서 전체 둘레에 걸쳐 대략 수직 방향으로 뻗어나가도록 요철을 가지기 때문에, 펠리클용 수납 용기(1)의 강도가 향상된다. 또한, 평면 절곡부(21d, 31d)가 펠리클용 수납 용기(1)의 외주부에 존재하기 때문에, 펠리클용 수납 용기(1)를 파지하기가 쉬워진다.
또, 평면 절곡부(21d, 31d)는 외방 연장부(21c, 31c)에 대해서 역방향을 향해 수직으로 뻗어나가고 있다. 따라서, 커버(2) 및 트레이(3)의 외주부에 테이프(33)를 붙일 수가 있는 면적을 충분히 확보할 수가 있다. 또, 평면 절곡부(21d, 31d)는 하나의 평탄한 평면부(4)를 형성하고 있기 때문에, 당해 평면부(4)에 테이프(33)를 용이하게 붙일 수가 있다. 또한, 평면부(4)의 폭을 20mm 이상으로 하고 있기 때문에, 지장 없이 범용의 테이프(33)를 이용할 수가 있다. 평면부(4)의 폭을 20m 미만으로 할 수도 있지만, 트레이(3)와 커버(2)의 양 판 두께의 합보다 넓은 면적으로 하는 편이 테이프(33)를 붙이기 쉽다.
(제2의 실시의 형태)
다음에, 본 발명의 제2의 실시의 형태에 관계되는 펠리클(pellicle)용 수납 용기(40)에 대해서 설명한다. 또한, 제2의 실시의 형태에서는, 제1의 실시의 형태와 많은 공통 부분을 가지고 있기 때문에, 주로 제1의 실시의 형태와의 상위 부분에 대해서 설명한다. 또, 제1의 실시의 형태와 동일한 부재, 동일한 부분에는 동일한 부호를 붙임과 아울러 그 설명을 생략 또는 간략화한다.
도 7은 제2의 실시의 형태에 관계되는 펠리클용 수납 용기(40)를 도 2에 나타내는 A－A선과 마찬가지의 선으로 절단했을 때의 단면도이다.　
펠리클용 수납 용기(40)는 커버(cover)(2)와 트레이(tray)(3)를 가지고 있다. 커버(2)는 커버 본체(20)와 바깥 연장부(41)로 구성되고, 커버(2)의 내측에 돌기부(20b)를 가지고 있다. 본 실시의 형태에서는, 커버 본체(20)와 돌기부(20b)의 구성은 제1의 실시의 형태와 마찬가지의 구성으로 되어 있기 때문에, 커버(2)에 관해서는 바깥 연장부(41)에 대해서만 설명한다.
바깥 연장부(41)는 커버 본체(20)의 외연부로부터 전체 둘레에 걸쳐 외방을 향해 수평으로 뻗어나가는 외방 연장부(41a)와, 당해 외방 연장부(41a)의 외연으로부터 전체 둘레에 걸쳐 당해 외방 연장부(41a)에 대해서 대략 수직 하방을 향해 뻗어나가는 평면부(41b)로 구성되어 있다. 평면부(41b)의 높이는 약 10mm 이상이 되도록 형성되어 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니다.
트레이(tray)(3)는 트레이 본체(30)와, 트레이 본체(30)의 외연부에 있어서, 트레이(3)의 개구측으로 돌출하는 재치부(3b)와, 재치부(3b)의 외연으로부터 전체 둘레에 걸쳐 뻗어나가 형성되는 바깥 연장부(51)를 가지고 있다. 본 실시의 형태에서는, 트레이 본체(30)와 재치부(3b)의 구성은 제1의 실시의 형태와 마찬가지의 구성으로 되어 있기 때문에, 트레이(3)에 관해서는 바깥 연장부(51)에 대해서만 설명한다.
바깥 연장부(51)는 재치부(3b)의 외연부로부터 전체 둘레에 걸쳐 외방을 향해 수평으로 뻗어나가는 외주 연장부(51a)와, 당해 외주 연장부(51a)의 외연으로부터 전체 둘레에 걸쳐 당해 외주 연장부(51a)에 대해서 대략 수직 상방을 향해 뻗어나가는 상방 연장부(51b)와, 당해 상방 연장부(51b)의 외연으로부터 전체 둘레에 걸쳐 외방을 향해 수평으로 뻗어나가는 외방 연장부(51c)와, 당해 외방 연장부(51c)의 외연으로부터 전체 둘레에 걸쳐 당해 외방 연장부(31c)에 대해서 대략 수직 하방을 향해 뻗어나가는 하방 연장부(51d)와, 하방 연장부(51d)의 외연부로부터 전체 둘레에 걸쳐 외방을 향해 수평으로 뻗어나가는 외주 연장부(51e)와, 당해 외주 연장부(51e)의 외연으로부터 전체 둘레에 걸쳐 대략 수직 하방을 향해 뻗어나가는 평면 절곡부(51f)로 구성되어 있다. 평면 절곡부(51f)의 높이는 약 10mm 이상이 되도록 형성되어 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니다.　
커버(cover)(2)가 트레이(tray)(3) 상에 씌워진 상태에서는, 도 7에 나타내듯이, 외방 연장부(41a)의 하면은 외방 연장부(51a)의 상면과 접하고 있다. 또, 하방 연장부(51d)의 외주면은 평면 절곡부(41b)의 내주면과 접하고 있다. 또, 평면 절곡부(51f)의 상방에는 평면 절곡부(41b)의 하단면(41c)이 접하고 있다. 평면 절 곡부(41b)와 평면 절곡부(51f)의 접촉면은 경계부(52)를 형성하고 있다. 평면 절곡부(41b)와 평면 절곡부(51f)에 의해 형성되는 외표면은 하나의 평탄한 평면부(54)를 형성하고 있다.
펠리클(pellicle)용 수납 용기(40)에는 펠리클(5)이 수납된다. 펠리클(5)은 제1의 실시의 형태와 같이, 재치부(3b)와 돌기부(20b)에 의해 끼워짐으로써 펠리클용 수납 용기(40) 내에 고정된다. 이와 같이 펠리클(5)은 펠리클용 수납 용기(40) 내에 고정된 상태로 수납되기 때문에, 펠리클(5)이 수송시에 재치부(3b)로부터 탈락하지 않는다. 또, 평면부(54)에는 경계부(52)를 덮도록 테이프(33)가 전체 둘레에 걸쳐 붙여진다. 테이프(33)를 붙임으로써, 펠리클용 수납 용기(40)를 밀폐할 수가 있다. 따라서, 펠리클용 수납 용기(40) 내에 먼지와 티끌이 들어가는 것을 방지할 수 있다. 또, 평면 절곡부(41b, 51f)의 존재에 의해, 펠리클용 수납 용기(40)의 강도는 증가하고, 뒤틀림, 휨 등의 변형이 생기기 어렵게 된다.
이상과 같이 하여 구성된 펠리클용 수납 용기(40)에서는, 평면 절곡부(41b, 51f)가 설치되어 있기 때문에, 평면부(54)에 테이프(33)를 붙임으로써 용이하게 또한 강고하게 커버(cover)(2)와 트레이(tray)(3)를 고정하는 것이 가능하게 된다. 또, 평면 절곡부(41b, 51f)는 외방 연장부(41a, 51c)에 대해서 전체 둘레에 걸쳐 대략 수직 방향으로 뻗어나가 있기 때문에, 펠리클용 수납 용기(40)의 강도가 향상된다. 또한, 평면 절곡부(41b, 51f)가 펠리클용 수납 용기(40)의 외주부에 존재하기 때문에, 펠리클용 수납 용기(40)를 파지하기가 쉬워진다.
또, 평면 절곡부(41b, 51f)는 각각 외방 연장부(41a) 및 외주 연장부(51e)에 대해서 수직 하방으로 뻗어나가고, 평면부(54)를 구성하도록 배치되어 있다. 따라서, 커버(2) 및 트레이(3)의 외주부에 테이프(33)를 붙일 수가 있는 충분히 넓은 면적을 확보할 수 있다. 또한, 평면 절곡부(41b, 51f)는 하나의 평탄한 평면부(54)를 형성하고 있기 때문에, 당해 평면부(54)에 테이프(33)를 용이하게 붙일 수가 있다. 또한, 평면부(54)의 폭을 20mm 이상으로 하고 있기 때문에, 지장 없이 범용의 테이프(33)를 이용할 수가 있다. 평면부(54)의 폭을 20m 미만으로 할 수도 있지만, 트레이(3)와 커버(2)의 양 판 두께의 합보다 넓은 면적으로 하는 편이, 테이프(33)를 붙이기 쉽다.
이상, 본 발명의 각 실시의 형태에 대해서 설명했지만, 본 발명은 이외에도 여러가지 변형 가능하게 되어 있다. 이하, 그에 대해서 기술한다.
상술의 각 실시의 형태에서는, 평면 절곡부(21d, 31d) 및 평면 절곡부(41b, 51f)는 외방 연장부(21c, 31c) 및 외방 연장부(41a, 51c)에 대해서 각각 수직 방향으로 뻗어나가 있지만, 이것에 한정하지 않고, 예를 들면 도 8에 나타내듯이, 트레이(3)의 외주부만으로부터 수직 하방을 향해 평면 절곡부(61)를 뻗어나가게 하여 평면부(62)를 형성하도록 해도 좋다. 또, 평면 절곡부(61)를 수직 상방으로 뻗어나가게 하여 커버(2)의 외주단과 평면부(62)를 형성하도록 해도 좋다. 또한, 도 9에 나타내듯이, 커버(2)의 외주부만으로부터 수직 상방을 향해 평면 절곡부(63)를 뻗어나가게 하여 평면부(64)를 형성하도록 해도 좋다. 이 경우에도, 평면 절곡부(63)를 수직 하방으로 뻗어나가게 하여, 트레이(3)의 외주단과 평면부(64)를 형성하도록 해도 좋다. 또, 도 10에 나타내듯이, 커버(2) 및 트레이(3)의 외주부로부터 당 해 커버 및 트레이에 대해서 경사지게 평면 절곡부(65, 66)를 뻗어나가게 하여 평면부(67)를 설치하도록 해도 좋다. 또한, 평면 절곡부(65, 66)를 동일 방향으로 절곡하여 평면부(67)를 형성하도록 해도 좋다.
또, 상술의 제2의 실시의 형태에서는, 평면 절곡부(41b, 51f)는 외방 연장부(41a, 51c)에 대해서 대략 수직 하방을 향해 뻗어나가고 있지만, 수직 상방을 향해 뻗어나가도록 해도 좋다.
또, 상술의 제2의 실시의 형태에서는, 상방 연장부(51b)는 외주 연장부(51a)의 외연으로부터 대략 수직 방향 상방을 향해 전체 둘레에 걸쳐 뻗어나가고 있지만, 외주 연장부(51a)의 외연으로부터 경사지게 뻗어나가도록 해도 좋다.
또, 상술의 각 실시의 형태에서는, 돌기부(20b)에 의해 펠리클(5)을 보유하고 있지만, 이것에 한정하지 않고, 상면(20a)에 하방을 향해 움푹 들어간 오목부를 형성하고, 당해 오목부와 재치부(3b)에 의해 펠리클(5)을 보유하도록 해도 좋다.
또, 상술의 각 실시의 형태에서는, 재치부(3b)의 상측 저면(3c) 전체가 평탄한 면으로 되어 있지만, 상측 저면(3c)의 내주측 및 외주측에 직각으로 잘라낸 것 같은 단차부를 설치함으로써, 당해 단차부에 지지 프레임(7)을 끼워넣는 구성으로 해도 좋다. 또, 상측 저면(3c)에 오목부를 형성하여, 당해 오목부에 지지 프레임(7)을 끼워넣는 구성으로 해도 좋다.
본 발명은 펠리클(pellicle)을 수송하기 위한 수납 용기를 제조 혹은 사용하는 산업에 있어서 이용할 수가 있다.

Claims (4)

  1. 펠리클막과 당해 펠리클막을 지지하는 지지 프레임을 가지는 펠리클을 수송하기 위한 펠리클용 수납 용기로서,
    트레이와,
    상기 트레이의 덮개가 되는 커버를 가지고,
    상기 트레이의 외주부로부터 수평으로 뻗어나가는 외주 연장부와, 상기 외주 연장부에 대해서 수직 상방으로 뻗어나가는 상방 연장부와, 상기 상방 연장부로부터 수평으로 뻗어나가는 외방 연장부와, 상기 외방 연장부에 대해서 수직 하방으로 뻗어나가는 평면 절곡부를 구비하고,
    상기 커버의 외주부로부터 수평으로 뻗어나가는 외주 연장부와, 상기 외주 연장부에 대해서 수직 상방으로 뻗어나가는 상방 연장부와, 상기 상방 연장부로부터 수평으로 뻗어나가는 외방 연장부와, 상기 외방 연장부에 대해서 수직 상방으로 뻗어나가는 평면 절곡부를 구비하고,
    상기 트레이에 상기 커버를 씌운 상태에 있어서, 상기 트레이와 상기 커버의 외주 연장부, 상방 연장부, 외방 연장부는 각각 대향면 전면에 걸쳐 접촉하여,
    서로 역방향을 이루는 상기 트레이의 평면 절곡부와 상기 커버의 평면 절곡부의 외면은 하나의 평탄한 평면부를 형성하는 구성으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 펠리클용 수납 용기.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 트레이에는 상기 커버와 대향하는 측에 개구부를 가지는 트레이 본체와, 상기 트레이 본체의 저면으로부터 개구부측을 향해 돌출하는 재치부가 형성되고,
    상기 커버에는 상기 트레이와 대향하는 측에 개구부를 가지는 오목 형상의 커버 본체와, 상기 커버 본체의 상면으로부터 상기 트레이의 재치부에 대향하도록 상기 커버의 개구부를 향해 돌출하는 돌기부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클용 수납용기.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 평면부의 폭은 상기 트레이와 상기 커버의 양 판 두께의 합보다 넓은 면적으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클용 수납용기.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 평면부의 폭은 20mm 이상인 것을 특징으로 하는 펠리클용 수납 용기.
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