JPH0954422A - ペリクル収納容器 - Google Patents
ペリクル収納容器Info
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- JPH0954422A JPH0954422A JP22700395A JP22700395A JPH0954422A JP H0954422 A JPH0954422 A JP H0954422A JP 22700395 A JP22700395 A JP 22700395A JP 22700395 A JP22700395 A JP 22700395A JP H0954422 A JPH0954422 A JP H0954422A
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- pellicle
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- container
- container body
- pellicle frame
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 サイズの異なるペリクルもガタツキを生じる
こと無く収容できる汎用性に優れたペリクル収納容器を
提供し、異なるサイズのペリクルの収容や運搬等に要す
るコストを低減する。 【解決手段】 周縁に嵌合部11が、内底部に載置部1
2が一体に形成された容器本体10と、内面にテーパ状
の押さえ部22が、周縁に容器本体10の嵌合部11に
嵌着可能な嵌合部21が形成された蓋20とを備え、ペ
リクル30が接着されたペリクルフレーム31を載置部
12上に載置し、ペリクルフレーム31を上方から蓋2
0の押さえ部22により押圧保持するペリクル収納容器
であって、蓋20に複数の押さえ部22a,22bを位
置を異ならせて略階段状に屈曲形成するとともに、載置
部12の大きさが異なる複数種の容器本体10を成形
し、複数種の容器本体10の1つをペリクル30の大き
さに応じ選択して蓋20と組み合わせて用いるようにし
た。
こと無く収容できる汎用性に優れたペリクル収納容器を
提供し、異なるサイズのペリクルの収容や運搬等に要す
るコストを低減する。 【解決手段】 周縁に嵌合部11が、内底部に載置部1
2が一体に形成された容器本体10と、内面にテーパ状
の押さえ部22が、周縁に容器本体10の嵌合部11に
嵌着可能な嵌合部21が形成された蓋20とを備え、ペ
リクル30が接着されたペリクルフレーム31を載置部
12上に載置し、ペリクルフレーム31を上方から蓋2
0の押さえ部22により押圧保持するペリクル収納容器
であって、蓋20に複数の押さえ部22a,22bを位
置を異ならせて略階段状に屈曲形成するとともに、載置
部12の大きさが異なる複数種の容器本体10を成形
し、複数種の容器本体10の1つをペリクル30の大き
さに応じ選択して蓋20と組み合わせて用いるようにし
た。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体のICや
LSI等の製造において使用されるフォトマスクやレチ
クル(以下、マスクと総称する)の表面への異物の付着
を防止するために開発されたペリクルを収納するペリク
ル収納容器に関する。
LSI等の製造において使用されるフォトマスクやレチ
クル(以下、マスクと総称する)の表面への異物の付着
を防止するために開発されたペリクルを収納するペリク
ル収納容器に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体製造工程においては、マスク上に
描かれた回路パターンを紫外線等によりウェハ上に転写
する際、マスク上に異物が僅かでも存在していると回路
パターンとともにウェハに転写されて欠陥を生じる。こ
のような欠陥を防ぐためにはマスク上に異物が存在しな
いようにしなければならない。そこで、ペリクルと言わ
れる防塵膜が開発された。
描かれた回路パターンを紫外線等によりウェハ上に転写
する際、マスク上に異物が僅かでも存在していると回路
パターンとともにウェハに転写されて欠陥を生じる。こ
のような欠陥を防ぐためにはマスク上に異物が存在しな
いようにしなければならない。そこで、ペリクルと言わ
れる防塵膜が開発された。
【0003】ペリクルはニトロセルロース等により形成
されたもので、厚さが数ミクロンから数十ミクロンのも
のである。このようなペリクルはアルミニウム等からな
るペリクルフレームに接着され、マスク上に装着するこ
とによりマスクへの異物の付着を防ぐことが可能とな
る。そして、ペリクル上に異物が存在しても、転写する
際にはペリクルフレームの厚みによりペリクル面とマス
クのパターン面との間に距離ができるため、紫外線の焦
点位置がずれてウェハ上に転写されることはない。しか
し、ペリクルはマスクへの異物付着を防ぐ目的で使用さ
れるので、ペリクル自体にも異物が付着していないこと
が要求される。このため、輸送等に際しては、ペリクル
フレームに接着されたペリクルをペリクル収納容器に収
容し、ペリクルへの異物付着を防止している。
されたもので、厚さが数ミクロンから数十ミクロンのも
のである。このようなペリクルはアルミニウム等からな
るペリクルフレームに接着され、マスク上に装着するこ
とによりマスクへの異物の付着を防ぐことが可能とな
る。そして、ペリクル上に異物が存在しても、転写する
際にはペリクルフレームの厚みによりペリクル面とマス
クのパターン面との間に距離ができるため、紫外線の焦
点位置がずれてウェハ上に転写されることはない。しか
し、ペリクルはマスクへの異物付着を防ぐ目的で使用さ
れるので、ペリクル自体にも異物が付着していないこと
が要求される。このため、輸送等に際しては、ペリクル
フレームに接着されたペリクルをペリクル収納容器に収
容し、ペリクルへの異物付着を防止している。
【0004】従来、上述したペリクル収納容器として、
図9,10に示すものが知られている。図中、10は容
器本体、20は蓋、30は矩形枠状のペリクルフレーム
31に接着されたペリクルである。容器本体10は周縁
に角筒状の嵌合部11が全周にわたって一体に起設さ
れ、中央部にペリクルフレーム31と対応した大きさの
平面視矩形状の載置部12が下側に凹部12aを形成す
るように上方へ膨出させて形成される。蓋20は、周縁
に略U字状に屈曲した嵌合部21が、この嵌合部21の
内側に段差テーパ状の押さえ部22が形成される。
図9,10に示すものが知られている。図中、10は容
器本体、20は蓋、30は矩形枠状のペリクルフレーム
31に接着されたペリクルである。容器本体10は周縁
に角筒状の嵌合部11が全周にわたって一体に起設さ
れ、中央部にペリクルフレーム31と対応した大きさの
平面視矩形状の載置部12が下側に凹部12aを形成す
るように上方へ膨出させて形成される。蓋20は、周縁
に略U字状に屈曲した嵌合部21が、この嵌合部21の
内側に段差テーパ状の押さえ部22が形成される。
【0005】このペリクル収納容器は、ペリクルフレー
ム31に接着されたペリクル30を容器本体10の載置
部12上に係止片部13の内側で載置し、容器本体10
の嵌合部11に嵌合部21を嵌合させて蓋20を取り付
けた状態で、蓋20の段差テーパ状の押さえ部22によ
りペリクルフレーム31を押さえてガタツキを防止して
いる。なお、15は容器本体10の裏面に一体形成され
た脚部である。
ム31に接着されたペリクル30を容器本体10の載置
部12上に係止片部13の内側で載置し、容器本体10
の嵌合部11に嵌合部21を嵌合させて蓋20を取り付
けた状態で、蓋20の段差テーパ状の押さえ部22によ
りペリクルフレーム31を押さえてガタツキを防止して
いる。なお、15は容器本体10の裏面に一体形成され
た脚部である。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来のペリクル収納容器にあっては、サイズが異なる
ペリクル30(ペリクルフレーム31)を収容すると輸
送時等においてガタツキが避けられず、このガタツキに
より容器内部において発塵してペリクル30に塵埃等の
異物が付着するおそれがある。そこで、従来では、この
対策として各々のペリクル30のサイズに合わせたペリ
クル収納容器を用いてガタツキを防止しているが、ペリ
クル30のサイズに合わせた金型装置が容器本体10と
蓋20の双方についてペリクル30のサイズ毎に必要で
あり、製造コストの増大を招くという問題があった。こ
の発明は、上記問題に鑑みてなされたもので、サイズの
異なるペリクルもガタツキを生じること無く収容できる
汎用性に優れたペリクル収納容器を提供し、異なるサイ
ズのペリクルの収容や運搬等に要するコストを低減する
ことを目的とする。
た従来のペリクル収納容器にあっては、サイズが異なる
ペリクル30(ペリクルフレーム31)を収容すると輸
送時等においてガタツキが避けられず、このガタツキに
より容器内部において発塵してペリクル30に塵埃等の
異物が付着するおそれがある。そこで、従来では、この
対策として各々のペリクル30のサイズに合わせたペリ
クル収納容器を用いてガタツキを防止しているが、ペリ
クル30のサイズに合わせた金型装置が容器本体10と
蓋20の双方についてペリクル30のサイズ毎に必要で
あり、製造コストの増大を招くという問題があった。こ
の発明は、上記問題に鑑みてなされたもので、サイズの
異なるペリクルもガタツキを生じること無く収容できる
汎用性に優れたペリクル収納容器を提供し、異なるサイ
ズのペリクルの収容や運搬等に要するコストを低減する
ことを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1記載の発明は、周縁に嵌合部を囲繞し、内
底部に載置部が一体に形成された容器本体と、内面にテ
ーパ状の押さえ部が一体形成され、前記容器本体の嵌合
部に嵌着可能な蓋とを備え、ペリクルが接着されたペリ
クルフレームを前記載置部上に載置し、前記ペリクルフ
レームを上方から前記蓋の押さえ部により押圧保持する
ペリクル収納容器において、前記蓋に複数の押さえ部を
位置を異ならせて階段状に形成するとともに、前記載置
部の大きさが異なる複数種の容器本体を成形し、該複数
種の容器本体の1つを前記ペリクルの大きさに応じ選択
して前記蓋と組み合わせて用いるように構成した。
め、請求項1記載の発明は、周縁に嵌合部を囲繞し、内
底部に載置部が一体に形成された容器本体と、内面にテ
ーパ状の押さえ部が一体形成され、前記容器本体の嵌合
部に嵌着可能な蓋とを備え、ペリクルが接着されたペリ
クルフレームを前記載置部上に載置し、前記ペリクルフ
レームを上方から前記蓋の押さえ部により押圧保持する
ペリクル収納容器において、前記蓋に複数の押さえ部を
位置を異ならせて階段状に形成するとともに、前記載置
部の大きさが異なる複数種の容器本体を成形し、該複数
種の容器本体の1つを前記ペリクルの大きさに応じ選択
して前記蓋と組み合わせて用いるように構成した。
【0008】また、請求項2記載の発明は、周縁に嵌合
部を囲繞し、内底部に載置部が一体に形成された容器本
体と、内面にテーパ状の押さえ部が一体形成され、前記
容器本体の嵌合部に嵌着可能な蓋とを備え、ペリクルが
接着されたペリクルフレームを前記載置部上に載置し、
前記ペリクルフレームを上方から前記蓋の押さえ部によ
り押圧保持するペリクル収納容器において、前記蓋に複
数の押さえ部を位置を異ならせて階段状に形成するとと
もに、前記容器本体の内底面に前記ペリクルフレームの
大きさと対応した載置部が形成された載置部材を着脱交
換可能に設けた。
部を囲繞し、内底部に載置部が一体に形成された容器本
体と、内面にテーパ状の押さえ部が一体形成され、前記
容器本体の嵌合部に嵌着可能な蓋とを備え、ペリクルが
接着されたペリクルフレームを前記載置部上に載置し、
前記ペリクルフレームを上方から前記蓋の押さえ部によ
り押圧保持するペリクル収納容器において、前記蓋に複
数の押さえ部を位置を異ならせて階段状に形成するとと
もに、前記容器本体の内底面に前記ペリクルフレームの
大きさと対応した載置部が形成された載置部材を着脱交
換可能に設けた。
【0009】
【作用】請求項1記載の発明にかかるペリクル収納容器
によれば、あるサイズのペリクルを収容する場合は1つ
の容器本体を選択して該容器本体の載置部にペリクルを
載置し、このペリクルフレームを蓋の1の押さえ部で押
さえ、また、他のサイズのペリクルを収容する場合は他
の容器本体の載置部にペリクルを載置して蓋の他の押さ
え部により押さえることができ、ガタツキを生じること
無くサイズの異なるペリクルを収容することができる。
そして、異なるサイズのペリクルに対しては、容器本体
は異なるものを用いなければならないものの蓋を共用す
ることができるため、蓋の製造に複数種の金型装置が不
要で、その製造コストを低減できる。
によれば、あるサイズのペリクルを収容する場合は1つ
の容器本体を選択して該容器本体の載置部にペリクルを
載置し、このペリクルフレームを蓋の1の押さえ部で押
さえ、また、他のサイズのペリクルを収容する場合は他
の容器本体の載置部にペリクルを載置して蓋の他の押さ
え部により押さえることができ、ガタツキを生じること
無くサイズの異なるペリクルを収容することができる。
そして、異なるサイズのペリクルに対しては、容器本体
は異なるものを用いなければならないものの蓋を共用す
ることができるため、蓋の製造に複数種の金型装置が不
要で、その製造コストを低減できる。
【0010】また、請求項2記載の発明にかかるペリク
ル収納容器によれば、載置部材をペリクルの大きさに応
じ選択して容器本体に取り付けることで、種々の大きさ
のペリクルに対しても容器本体を共用することができ
る。このため、蓋のみならず容器本体も共用化でき、よ
り優れた汎用性が達成される。
ル収納容器によれば、載置部材をペリクルの大きさに応
じ選択して容器本体に取り付けることで、種々の大きさ
のペリクルに対しても容器本体を共用することができ
る。このため、蓋のみならず容器本体も共用化でき、よ
り優れた汎用性が達成される。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面を参照して説明する。図1から図6は請求項1記載の
発明にかかるペリクル収納容器の実施の一形態を示し、
図1が蓋半分を除いた平面図、図2が図1のA−A矢視
断面図、図3が図1と異なる状態における蓋半分を除い
た平面図、図4が図3のB−B矢視断面図、図5が図2
の一部を拡大した図、図6が図4の一部を拡大した図で
ある。なお、前述した図9,10の従来のペリクル収納
容器と同一の部分には同一の番号を付して説明を一部割
愛する。
面を参照して説明する。図1から図6は請求項1記載の
発明にかかるペリクル収納容器の実施の一形態を示し、
図1が蓋半分を除いた平面図、図2が図1のA−A矢視
断面図、図3が図1と異なる状態における蓋半分を除い
た平面図、図4が図3のB−B矢視断面図、図5が図2
の一部を拡大した図、図6が図4の一部を拡大した図で
ある。なお、前述した図9,10の従来のペリクル収納
容器と同一の部分には同一の番号を付して説明を一部割
愛する。
【0012】図に示すように、ペリクル収納容器は、容
器本体10および蓋20がポリプロピレン(PP)系、
ポリスチレン(PS)系、アクリル系、ポリカーボネー
ト系、ポリエステル系またはアクリロニトリル−ブタジ
エン−スチレン(ABS)系等の熱可塑性または熱硬化
性、好ましくは、熱可塑性の帯電防止樹脂乃至エラスト
マー樹脂を用い射出成形によって成形される。なお、容
器本体10と蓋20を構成する樹脂は同じでも異なって
いてもよく、この組み合わせとしてはABS系とアクリ
ル系、ABS系とPP系、アクリル系とアクリル系が例
示される。
器本体10および蓋20がポリプロピレン(PP)系、
ポリスチレン(PS)系、アクリル系、ポリカーボネー
ト系、ポリエステル系またはアクリロニトリル−ブタジ
エン−スチレン(ABS)系等の熱可塑性または熱硬化
性、好ましくは、熱可塑性の帯電防止樹脂乃至エラスト
マー樹脂を用い射出成形によって成形される。なお、容
器本体10と蓋20を構成する樹脂は同じでも異なって
いてもよく、この組み合わせとしてはABS系とアクリ
ル系、ABS系とPP系、アクリル系とアクリル系が例
示される。
【0013】前述したように、容器本体10は、上面周
縁に全周にわたって嵌合部11が一体に起設され、ま
た、中央部に平面視矩形状に上方へ膨出させて載置部1
2が形成される。図5,6に詳示されるように、載置部
12には周縁に複数の係止片部13が一定間隔を隔て突
設され、この載置部12上にペリクル30を接着された
ペリクルフレーム31が係止片部13により位置決めさ
れて載置される。
縁に全周にわたって嵌合部11が一体に起設され、ま
た、中央部に平面視矩形状に上方へ膨出させて載置部1
2が形成される。図5,6に詳示されるように、載置部
12には周縁に複数の係止片部13が一定間隔を隔て突
設され、この載置部12上にペリクル30を接着された
ペリクルフレーム31が係止片部13により位置決めさ
れて載置される。
【0014】蓋20は、周縁に略U字状に屈曲した嵌合
部21を、中央にテーパ部29(図4参照)によって上
方に膨出した矩形平板状の天蓋部28を有する。図5,
6に示すように、テーパ部29は、傾斜角度が比較的大
きな3つの段差部分23a,23b,23cと、これら
段差部分23a,23b,23c間の傾斜角度が比較的
小さな2つの押さえ部分22a,22bとを有する。後
述するが、蓋20が容器本体10を被蓋した状態で、押
さえ部分22a,22bは、それぞれが異なるサイズの
ペリクルフレーム31と対応し、載置部12上に載置さ
れたペリクルフレーム31の上部を押圧する。
部21を、中央にテーパ部29(図4参照)によって上
方に膨出した矩形平板状の天蓋部28を有する。図5,
6に示すように、テーパ部29は、傾斜角度が比較的大
きな3つの段差部分23a,23b,23cと、これら
段差部分23a,23b,23c間の傾斜角度が比較的
小さな2つの押さえ部分22a,22bとを有する。後
述するが、蓋20が容器本体10を被蓋した状態で、押
さえ部分22a,22bは、それぞれが異なるサイズの
ペリクルフレーム31と対応し、載置部12上に載置さ
れたペリクルフレーム31の上部を押圧する。
【0015】なお、上述した段差部分23a,23b,
23cの傾斜角度を押さえ部分22a,22bの傾斜角
度より小さくすることも可能であり、これらの傾斜角
度、特に、押さえ部分22a,22bの傾斜角度は5°
以上45°以下に設定することが望ましい。すなわち、
押さえ部分22a,22bはペリクルフレーム31のエ
ッジ部を押さえることが本質的な機能であり、傾斜角度
が5°未満であればその撓み等でペリクル30に接触す
るおそれがあり、逆に、45°を超える場合はガタツキ
が大きくなると考えられるが、傾斜角度を5°〜45°
の範囲に設定することで蓋20の段差部分23a,23
b,23c等がペリクル30と接触すること、また、ガ
タツキが増大することが防止できる。
23cの傾斜角度を押さえ部分22a,22bの傾斜角
度より小さくすることも可能であり、これらの傾斜角
度、特に、押さえ部分22a,22bの傾斜角度は5°
以上45°以下に設定することが望ましい。すなわち、
押さえ部分22a,22bはペリクルフレーム31のエ
ッジ部を押さえることが本質的な機能であり、傾斜角度
が5°未満であればその撓み等でペリクル30に接触す
るおそれがあり、逆に、45°を超える場合はガタツキ
が大きくなると考えられるが、傾斜角度を5°〜45°
の範囲に設定することで蓋20の段差部分23a,23
b,23c等がペリクル30と接触すること、また、ガ
タツキが増大することが防止できる。
【0016】この実施の形態にあっては、1のサイズ
(小さなサイズ)のペリクル30が接着されたペリクル
フレーム31を収納する場合、ペリクル30のサイズに
対応した容器本体10を選択し、この容器本体10の載
置部12上にペリクルフレーム31を係止片部13によ
り位置決めして載置する。そして、この後に、蓋20の
嵌合部21を容器本体10の嵌合部11と嵌合させて蓋
20により容器本体10を被蓋する。
(小さなサイズ)のペリクル30が接着されたペリクル
フレーム31を収納する場合、ペリクル30のサイズに
対応した容器本体10を選択し、この容器本体10の載
置部12上にペリクルフレーム31を係止片部13によ
り位置決めして載置する。そして、この後に、蓋20の
嵌合部21を容器本体10の嵌合部11と嵌合させて蓋
20により容器本体10を被蓋する。
【0017】ここで、被蓋状態においては、図5に示す
ように、ペリクルフレーム31の上部周縁には蓋20の
押さえ部分22aが弾接し、ペリクルフレーム31は押
さえ部分と載置部12上面との間に挟着される。このた
め、輸送等によって加振力が作用しても、ペリクルフレ
ーム31、すなわち、ペリクル30が容器内でガタツク
ことが無く、発塵が防止される。
ように、ペリクルフレーム31の上部周縁には蓋20の
押さえ部分22aが弾接し、ペリクルフレーム31は押
さえ部分と載置部12上面との間に挟着される。このた
め、輸送等によって加振力が作用しても、ペリクルフレ
ーム31、すなわち、ペリクル30が容器内でガタツク
ことが無く、発塵が防止される。
【0018】また、異なるサイズ(この形態では、大き
なサイズ)のペリクル30’を収容する場合は、図3,
4,6に示すように、このペリクル30’が接着された
ペリクルフレーム31’と対応したサイズの載置部1
2’を有する容器本体10’を選択し、この容器本体1
0’の載置部12’上にペリクル30’が接着されたペ
リクルフレーム31’を係止片部13により位置決めし
て載置する。そして、この状態で蓋20を容器本体1
0’に取り付けると、上述した場合と同様に、蓋20の
押さえ部分22bがペリクルフレーム31’に弾接し、
ペリクルフレーム31’が挟着される。このため、ペリ
クルフレーム31’がガタツクことがなく、輸送時等に
おける発塵が防止される。
なサイズ)のペリクル30’を収容する場合は、図3,
4,6に示すように、このペリクル30’が接着された
ペリクルフレーム31’と対応したサイズの載置部1
2’を有する容器本体10’を選択し、この容器本体1
0’の載置部12’上にペリクル30’が接着されたペ
リクルフレーム31’を係止片部13により位置決めし
て載置する。そして、この状態で蓋20を容器本体1
0’に取り付けると、上述した場合と同様に、蓋20の
押さえ部分22bがペリクルフレーム31’に弾接し、
ペリクルフレーム31’が挟着される。このため、ペリ
クルフレーム31’がガタツクことがなく、輸送時等に
おける発塵が防止される。
【0019】上述したように、この実施の形態にあって
は、小さなサイズのペリクル30を収納する場合も大き
なサイズのペリクル30’を収納する場合も蓋20を共
用することができるため、ペリクル30,30’のサイ
ズ毎に蓋20を製造する必要がなく、安価に達成でき
る。
は、小さなサイズのペリクル30を収納する場合も大き
なサイズのペリクル30’を収納する場合も蓋20を共
用することができるため、ペリクル30,30’のサイ
ズ毎に蓋20を製造する必要がなく、安価に達成でき
る。
【0020】図7および図8は請求項2記載の発明の他
の実施の形態を示し、図7が全体断面図、図8a,bが
図7の一部拡大図である。なお、上述した実施の形態と
同一の部分については同一の番号を付して説明を省略す
る。
の実施の形態を示し、図7が全体断面図、図8a,bが
図7の一部拡大図である。なお、上述した実施の形態と
同一の部分については同一の番号を付して説明を省略す
る。
【0021】この実施の形態にあっては、容器本体10
の内底部に略矩形枠状の載置部材41を着脱交換可能に
取り付け、この載置部材41上にペリクル30が接着さ
れたペリクルフレーム31を載置する。容器本体10に
は内底面に矩形枠状の嵌合突条19が形成され、載置部
材41には下面に全周にわたって嵌合溝41aが形成さ
れ、載置部材41は嵌合溝41aに嵌合突条19を嵌合
させて容器本体10に取り付けられる。この載置部材4
1には上部周縁に複数の係止片部42が一定の間隔を隔
て一体に突設される。
の内底部に略矩形枠状の載置部材41を着脱交換可能に
取り付け、この載置部材41上にペリクル30が接着さ
れたペリクルフレーム31を載置する。容器本体10に
は内底面に矩形枠状の嵌合突条19が形成され、載置部
材41には下面に全周にわたって嵌合溝41aが形成さ
れ、載置部材41は嵌合溝41aに嵌合突条19を嵌合
させて容器本体10に取り付けられる。この載置部材4
1には上部周縁に複数の係止片部42が一定の間隔を隔
て一体に突設される。
【0022】そして、載置部材41はペリクル30のサ
イズに応じて、すなわち、上述した小さなサイズのペリ
クル30の収納用と大きなサイズのペリクル30’の収
納用とにそれぞれ別個に成形される。一例を挙げれば、
図8a,bの比較から明確なように、大きなサイズのペ
リクル用の載置部材41は係止片部42が外側位置に形
成され、また、小さなサイズのペリクル用の載置部材4
1’は係止片部41aが内側位置に形成される。
イズに応じて、すなわち、上述した小さなサイズのペリ
クル30の収納用と大きなサイズのペリクル30’の収
納用とにそれぞれ別個に成形される。一例を挙げれば、
図8a,bの比較から明確なように、大きなサイズのペ
リクル用の載置部材41は係止片部42が外側位置に形
成され、また、小さなサイズのペリクル用の載置部材4
1’は係止片部41aが内側位置に形成される。
【0023】この実施の形態にあっては、容器本体10
に取り付ける載置部材41をペリクル30の大きさに応
じて選択することで容器本体10を変更すること無く、
換言すれば、容器本体10をも共用して異なるサイズの
ペリクル30も収納できる。すなわち、図9aに示すよ
うに、大きなサイズのペリクル30を収納した場合は係
止片部42が外側に位置する載置部材41を用い、この
載置部材41上に係止片部42により位置決めしてペリ
クル30が接着されたペリクルフレーム31を載置し、
蓋20を取り付けることで押さえ部分22aによりペリ
クルフレーム31が挟着される。
に取り付ける載置部材41をペリクル30の大きさに応
じて選択することで容器本体10を変更すること無く、
換言すれば、容器本体10をも共用して異なるサイズの
ペリクル30も収納できる。すなわち、図9aに示すよ
うに、大きなサイズのペリクル30を収納した場合は係
止片部42が外側に位置する載置部材41を用い、この
載置部材41上に係止片部42により位置決めしてペリ
クル30が接着されたペリクルフレーム31を載置し、
蓋20を取り付けることで押さえ部分22aによりペリ
クルフレーム31が挟着される。
【0024】また同様に、図8bに示すように、小さな
サイズのペリクル30を収納する場合は、係止片部42
が内側に位置する載置部材41’を用い該載置部材4
1’上に小さなペリクル30’が接着されたペリクルフ
レーム31’を載置し、この状態で蓋20を取り付ける
ことでペリクルフレーム31’が挟着される。したがっ
て、この形態では、蓋20のみならず容器本体10も共
用することができ、製造コストをより低減できる。
サイズのペリクル30を収納する場合は、係止片部42
が内側に位置する載置部材41’を用い該載置部材4
1’上に小さなペリクル30’が接着されたペリクルフ
レーム31’を載置し、この状態で蓋20を取り付ける
ことでペリクルフレーム31’が挟着される。したがっ
て、この形態では、蓋20のみならず容器本体10も共
用することができ、製造コストをより低減できる。
【0025】なお、述べるまでもないが、上述した各形
態におけるテーパ部29にはより多くの押さえ部分22
a,22bを形成することも可能であり、多くの押さえ
部分22a,22bを形成することで適用可能なペリク
ル30のサイズも拡大し、より優れた汎用性が得られ
る。
態におけるテーパ部29にはより多くの押さえ部分22
a,22bを形成することも可能であり、多くの押さえ
部分22a,22bを形成することで適用可能なペリク
ル30のサイズも拡大し、より優れた汎用性が得られ
る。
【0026】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1記載の発
明にかかるペリクル収納容器によれば、ペリクルを収容
する場合はその大きさに応じ1つの容器本体を選択し、
該容器本体の載置部にペリクルを載置し、このペリクル
フレームを蓋の1の押さえ部で押さえ、また、他のサイ
ズのペリクルを収容する場合は他の容器本体の載置部に
ペリクルを載置して蓋の他の押さえ部により押さえるこ
とができ、蓋を共用してサイズの異なるペリクルをガタ
ツキを生じること無く収容することができるため、蓋の
製造に複数種の金型装置が不要で、その製造コストを低
減できる。
明にかかるペリクル収納容器によれば、ペリクルを収容
する場合はその大きさに応じ1つの容器本体を選択し、
該容器本体の載置部にペリクルを載置し、このペリクル
フレームを蓋の1の押さえ部で押さえ、また、他のサイ
ズのペリクルを収容する場合は他の容器本体の載置部に
ペリクルを載置して蓋の他の押さえ部により押さえるこ
とができ、蓋を共用してサイズの異なるペリクルをガタ
ツキを生じること無く収容することができるため、蓋の
製造に複数種の金型装置が不要で、その製造コストを低
減できる。
【0027】また、請求項2記載の発明にかかるペリク
ル収納容器によれば、載置部の大きさが異なる複数種の
載置部材を備え、この載置部材を容器本体の内底面にペ
リクルの大きさに応じ選択して着脱交換可能に取り付け
るため、上記請求項1記載のペリクル収納容器に加え、
容器本体も共用化でき、より優れた汎用性が達成され
る。
ル収納容器によれば、載置部の大きさが異なる複数種の
載置部材を備え、この載置部材を容器本体の内底面にペ
リクルの大きさに応じ選択して着脱交換可能に取り付け
るため、上記請求項1記載のペリクル収納容器に加え、
容器本体も共用化でき、より優れた汎用性が達成され
る。
【図1】この発明の実施の一形態にかかるペリクル収納
容器を蓋半分を取り除いて示す平面図である。
容器を蓋半分を取り除いて示す平面図である。
【図2】図1のA−A矢視断面図である。
【図3】同ペリクル収納容器に異なるサイズのペリクル
を収納した状態を蓋半分を取り除いて示す平面図であ
る。
を収納した状態を蓋半分を取り除いて示す平面図であ
る。
【図4】図3のC−C矢視断面図である。
【図5】図2のB部拡大図である。
【図6】図4のD部拡大図である。
【図7】この発明の他の実施の形態にかかるペリクル収
納容器の断面図である。
納容器の断面図である。
【図8】図7のE部拡大図であり、a,bがそれぞれ異
なるサイズのペリクルを収納した状態を示す。
なるサイズのペリクルを収納した状態を示す。
【図9】従来のペリクル収納容器の蓋半分を取り除いて
示す平面図である。
示す平面図である。
【図10】同ペリクル収納容器の断面図である。
10 容器本体 11 嵌合部 12 載置部 13 係止片部 20 蓋 21 嵌合部 22a 押さえ部 22b 押さえ部 30 ペリクル 31 ペリクルフレーム
Claims (2)
- 【請求項1】 周縁に嵌合部を囲繞し、内底部に載置部
が一体に形成された容器本体と、内面にテーパ状の押さ
え部が一体形成され、前記容器本体の嵌合部に嵌着可能
な蓋とを備え、ペリクルが接着されたペリクルフレーム
を前記載置部上に載置し、前記ペリクルフレームを上方
から前記蓋の押さえ部により押圧保持するペリクル収納
容器において、 前記蓋に複数の押さえ部を位置を異ならせて階段状に形
成するとともに、前記載置部の大きさが異なる複数種の
容器本体を成形し、該複数種の容器本体の1つを前記ペ
リクルに応じ選択して前記蓋と組み合わせて用いるよう
にしたことを特徴とするペリクル収納容器。 - 【請求項2】 周縁に嵌合部を囲繞し、内底部に載置部
が一体に形成された容器本体と、内面にテーパ状の押さ
え部が一体形成され、前記容器本体の嵌合部に嵌着可能
な蓋とを備え、ペリクルが接着されたペリクルフレーム
を前記載置部上に載置し、前記ペリクルフレームを上方
から前記蓋の押さえ部により押圧保持するペリクル収納
容器において、 前記蓋に複数の押さえ部を位置を異ならせて階段状に形
成するとともに、前記容器本体の内底面に前記ペリクル
フレームの大きさと対応した載置部が形成された載置部
材を着脱交換可能に設けたことを特徴とするペリクル収
納容器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22700395A JPH0954422A (ja) | 1995-08-14 | 1995-08-14 | ペリクル収納容器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22700395A JPH0954422A (ja) | 1995-08-14 | 1995-08-14 | ペリクル収納容器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0954422A true JPH0954422A (ja) | 1997-02-25 |
Family
ID=16853992
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22700395A Pending JPH0954422A (ja) | 1995-08-14 | 1995-08-14 | ペリクル収納容器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0954422A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007047254A (ja) * | 2005-08-08 | 2007-02-22 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | ペリクル用収納容器 |
JP2009186662A (ja) * | 2008-02-05 | 2009-08-20 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 基板保持具および基板閃光照射方法 |
JP2010217718A (ja) * | 2009-03-18 | 2010-09-30 | Asahi Kasei E-Materials Corp | ペリクル収納容器 |
-
1995
- 1995-08-14 JP JP22700395A patent/JPH0954422A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007047254A (ja) * | 2005-08-08 | 2007-02-22 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | ペリクル用収納容器 |
JP4668724B2 (ja) * | 2005-08-08 | 2011-04-13 | 信越ポリマー株式会社 | ペリクル用収納容器 |
JP2009186662A (ja) * | 2008-02-05 | 2009-08-20 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 基板保持具および基板閃光照射方法 |
JP2010217718A (ja) * | 2009-03-18 | 2010-09-30 | Asahi Kasei E-Materials Corp | ペリクル収納容器 |
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