JP3815701B2 - ペリクル収納容器の積み重ね構造 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ICやLSI の製造の際に使用されるフォトマスクやレチクル（以下、マスクと総称する）の表面への異物の付着を防止するために開発された、ペリクルを収納するペリクル収納容器に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造工程において、マスク上に描かれた回路パターンを紫外線によりウエーハ上に転写する際、マスク上に僅かでも異物が存在していると、回路パターンと共に異物がウエーハ上に転写され、欠陥を生じる。このような欠陥を防止するには、ウエーハ上に異物が存在しないようにしなければならず、この対策としてペリクルといわれる防塵膜が開発され、使用されている。
【０００３】
ペリクルは、ニトロセルロース等により形成された、厚さが数ミクロンから数十ミクロンの薄膜であり、アルミニウム等からなるペリクルフレームに設けられる。このペリクルが張られたペリクルフレームをマスク上に装着することにより、マスクへの異物の付着を防止している。
また、ペリクル上に異物が付着していても、ペリクルフレームの厚さにより、ペリクル面とマスクの回路パターンとの間に距離を生じ、ペリクル上の異物に対する紫外線の焦点位置がずれるため、異物がウエーハ上に転写されることはない。しかしながら、回路パターンの転写精度に全く問題がないわけではない。このためペリクル自体にも異物が付着していないことが要求され、輸送等に際しては、ペリクルをペリクル収納容器に収納し、ペリクルへの異物の付着を防止している。
【０００４】
従来、上記したペリクル収納容器として、図７に示すようなものが知られている。図７（ａ）は、平面図であり、Ｙ−Ｙ線より上側は蓋１を外した状態での容器本体２を示し、Ｙ−Ｙ線より下側は蓋１がセットされた状態を示す。図７（ｂ）は、Ｙ−Ｙ線に沿った断面図である。
容器本体２は、端縁がその全周に亙って上向きに折り曲げられた嵌合雌部３を有し、中央部にペリクルフレーム４（破線で示す）を載置する載置部５、周縁部にペリクルフレーム４を係止する複数の係止突起６が設けられている。この載置部５は、平面視矩形状でペリクルフレーム４に対応する大きさを有し、この載置部５の下面側には凹部７が形成されている。
【０００５】
蓋１は、端縁がその全周に亙って略Ｕ字状に屈曲して形成された嵌合雄部８を有し、容器本体２とは嵌合雌部３と嵌合雄部８とで嵌合する。嵌合雄部８の内側には、段差面９を有するテーパ状段差部が形成されている。
ペリクル収納容器へのペリクルの収納に際しては、ペリクル10（２点鎖線で示す）を接着したペリクルフレーム４を、載置部５の周縁に設けられた各係止突起６の内側にセットし、蓋１を、その嵌合雄部８と容器本体２の嵌合雌部３とで嵌合して取り付け、蓋１の段差面９でペリクルフレーム４を押し付け、ペリクルフレーム４のガタツキを防止している。
なお、容器本体２の下面には脚部13が設けられている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来のペリクル収納容器の蓋１と容器本体２は、それぞれ個別に射出成形され、金型から取り出される。集荷に際して、これら成形された製品を積み重ねると、図８（容器本体２同士の積み重ね状態を示す）、図９（蓋１同士の積み重ね状態を示す）に示すように、接触箇所14で互いに接触し、キズや摩耗粉等が発生する。また、蓋１と容器本体２とを積み重ねると、図10に示すように、蓋１の天面と容器本体２下面の凹部７の底面（接触箇所14）とで接触し、キズや摩耗粉等が発生する。
このため、射出成形後、積み重ねずに集荷している。さらに、蓋１と容器本体２を嵌合したペリクル収納容器の積み重ねに際しては、ペリクル収納容器の四隅を、上下面に凸状リブを設けたクリップで挟持し、凸状リブ同士を嵌合させて積み重ね、蓋１の天面と凹部７の底面とが接触しないようにしている。
【０００７】
本発明は、上記問題に鑑みてなされたもので、前記クリップ等の別部材を用いることなく接触を防止し、キズや摩耗粉等の発生のない蓋や容器本体同士およびペリクル収納容器同士の積み重ねを可能とするペリクル収納容器を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明のペリクル収納容器の積み重ね構造は、端縁がその全周に亙って略Ｕ字状に屈曲して形成された嵌合雄部と膨出してなる平坦な天面部を有し、この天面部の周縁近傍に凸状リブＡ１を設けた蓋と、端縁がその全周に亙って上向きに折り曲げられた嵌合雌部と膨出してなる平坦なペリクル載置部を有し、このペリクル載置部の裏面に形成された凹部底面に、前記凸状リブＡ１と対応する位置に凸状リブＡ２を設けた容器本体とを組み合わせたペリクル収納容器であって、前記天面部を前記凹部に納め、前記凸状リブＡ１と前記凸状リブＡ２とを嵌合してペリクル収納容器を積み重ね、嵌合箇所を除いて互いに接触することなく、順次、ペリクル収納容器を積み重ねることにある。
【０００９】
前記蓋の天面部を、テーパ状段差部を設けることにより形成し、このテーパ状段差部の段差面上面に凸状リブＢ１を、段差面下面に凸状リブＢ２を設け、それぞれ別体に設けられた凸状リブＢ１と凸状リブＢ２とを嵌合することにより、嵌合箇所を除いて互いに接触することなく蓋同士が積み重ねられる。
前記蓋のテーパ状段差部の段差面下面に設けられた凸状リブＢ２を、容器本体のペリクル載置部に載置されたペリクルフレームの周側に当接する位置に設けることにより、ペリクルフレームのガタツキは防止される。
前記容器本体の前記嵌合雌部に沿って形成された平坦部上面に凸状リブＣ１を、平坦部下面に凸状リブＣ２を設け、それぞれ別体に設けられた凸状リブＣ１と凸状リブＣ２とを嵌合することにより、嵌合箇所を除いて互いに接触することなく容器本体同士は積み重ねられる。
【００１０】
また、前記蓋の天面部をテーパ状段差部を設けて形成することにより、テーパ状段差部の段差面下面で、容器本体内に載置されたペリクルフレームを押し付け固定することができる。
本発明のペリクル収納容器は、材質的にはポリプロピレン系、ポリスチレン系、アクリル系あるいはアクリロニトリル−ブタジエン−スチレン系等の帯電防止性を有する樹脂が好ましく、適宜選択して射出成形により成形すればよい。
【００１１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のペリクル収納容器の積み重ね構造について、実施例にもとづき図１〜図６を用いて詳細に説明する。
【００１２】
【実施例】
図１は、ペリクル収納容器を示し、（ａ）は平面図であり、Ｘ−Ｘ線より上側は蓋１を外した状態での容器本体２を示し、Ｘ−Ｘ線より下側は蓋１が嵌合された状態を示す。（ｂ）は、Ｘ−Ｘ線に沿った断面図である。
容器本体２は、端縁が上向きに折り曲げられた嵌合雌部３を有し、中央部にペリクルフレーム４（破線で示す）を載置する載置部５と、この周縁に沿ってペリクルフレーム４を係止する係止突起６が数箇所に設けられている。載置部５は、ペリクルフレーム４に対応する形状、大きさを有し、この載置部５により容器本体２の下面側に凹部７が形成されている。
【００１３】
蓋１は、周縁部がＵ字状に屈曲した嵌合雄部８を有し、容器本体２とは嵌合雌部３と嵌合雄部８とで嵌合する。嵌合雄部８の内側には、段差面９を有するテーパ状段差部が形成されている。
ペリクル収納容器へのペリクル10（２点鎖線で示す）の収納に際しては、ペリクル10を接着したペリクルフレーム４を、載置部５の周縁に設けられた各係止突起６の内側に載置し、蓋１を、その嵌合雄部８と容器本体２の嵌合雌部３とで嵌合して蓋をする。このとき、蓋１の段差面９の下面は、ペリクルフレーム４の上面に当接し、ペリクルフレーム４は載置部５に押しつけられ、ガタツクことなく固定される。
【００１４】
図２は、図１で示した容器本体２の下面図であり、図３は、容器本体２同士の積み重ね状態を示す。容器本体２の中央部には、傾斜面11によって囲まれた凹部７が形成されている。この凹部７の上面は、載置部５に相当する。
さらに、平坦部12が嵌合雌部３に沿って形成され、この平坦部12の上面側には、凸状リブＣ１が設けられ、下面側には、別体の容器本体２の凸状リブＣ１と嵌合する凸状リブＣ２が設けられ、この凸状リブＣ２と別体の容器本体２の凸状リブＣ１とで嵌合して、容器本体２同士が積み重ねられ、嵌合箇所を除いて容器本体２同士が接触することはない。なお、13は脚部である。
【００１５】
また、凹部７底面の隅部近傍には、凸状リブＡ２が設けられている。この凸状リブＡ２は、後述する蓋１の天面部に設けられた凸状リブＡ１と嵌合して、順次、ペリクル収納容器が積み重ねられる。
【００１６】
図４は、図１で示した蓋１の下面図であり、図５は、蓋１の凸状リブＢ１と別体の蓋１の凸状リブＢ２とで嵌合された、蓋１の積み重ね状態を説明する部分拡大断面図である。このように蓋１を積み重ねても、嵌合箇所を除いて蓋１同士が接触することはない。
【００１７】
図６は、蓋１と容器本体２とを嵌合したペリクル収納容器の積み重ね状態を示す部分拡大断面図である。
ペリクル収納容器は、容器本体２の凹部７に設けられた凸状リブＡ２と、別の組み合わせのペリクル収納容器の蓋１に設けられた凸状リブＡ１とで嵌合することにより、順次、積み重ねることができる。このように、ペリクル収納容器を積み重ねた場合においても、凸状リブＡ１と凸状リブＡ２との嵌合箇所を除くと、ペリクル収納容器同士が接触することはない。
【００１８】
凸状リブの形状は、図１〜図６に示された平面視Ｌ字状のものになんら限定されず、例えば、各辺に少なくとも１個の凸状リブを設け、対となる一方の凸状リブのいずれもが、他方の凸状リブの内側または外側に位置するように設けるならば、凸状リブの形状が直方体状（平面視矩形状）であっても、支障なく積み重ねることができ、様々な態様が可能である。
【００１９】
【発明の効果】
本発明のペリクル収納容器の積み重ね構造は、上記した箇所に凸状リブを設けたことにより、ペリクルの収納に影響を及ぼさずに、接触による傷や摩耗粉が生じることなく、ペリクル収納容器同士、蓋同士、容器本体同士の積み重ねが可能となり、作業の効率化が可能となった。さらに、蓋同士の積み重ねの際に用いられる凸状リブＢ２を、ペリクルフレームの側面に当接するように蓋の下面に設けることにより、ペリクルフレームのガタツキは防止され、支障なく保管、輸送することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のペリクル収納容器を示し、（ａ）は平面図であり、Ｘ−Ｘ線より上側は蓋を外した状態での容器本体を示し、Ｘ−Ｘ線より下側は蓋がセットされた状態を示す。（ｂ）は、Ｘ−Ｘ線に沿った断面図である。
【図２】図１で示した容器本体の下面図である。
【図３】容器本体の積み重ね状態を示す部分拡大断面図である。
【図４】図１で示した蓋の下面図である。
【図５】蓋の積み重ね状態を示す部分拡大断面図である。
【図６】本発明の蓋と容器本体とを嵌合したペリクル収納容器の積み重ね状態を示す部分拡大断面図である。
【図７】従来のペリクル収納容器を示し、（ａ）は平面図であり、Ｙ−Ｙ線より上側は蓋を外した状態での容器本体を示し、Ｙ−Ｙ線より下側は蓋がセットされた状態を示し、（ｂ）は、Ｙ−Ｙ線に沿った断面図である。
【図８】従来の容器本体の積み重ね状態を示す部分拡大断面図である。
【図９】従来の蓋の積み重ね状態を示す部分拡大断面図である。
【図１０】従来の蓋と容器本体を嵌合したペリクル収納容器を積み重ねたときの、ペリクル収納容器同士の接触状態を説明する部分拡大断面図である。
【符号の説明】
１・・・・・・・・・・蓋、
２・・・・・・・・・・容器本体、
３・・・・・・・・・・嵌合雌部、
４・・・・・・・・・・ペリクルフレーム、
５・・・・・・・・・・載置部、
６・・・・・・・・・・係止突起、
７・・・・・・・・・・凹部、
８・・・・・・・・・・嵌合雄部、
９・・・・・・・・・・段差面、
１０・・・・・・・・・・ペリクル、
１１・・・・・・・・・・傾斜面、
１２・・・・・・・・・・平坦部、
１３・・・・・・・・・・脚部、
１４・・・・・・・・・・接触箇所、
Ａ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２，Ｃ１，Ｃ２・・・・・・凸状リブ。

Claims (4)

1. 端縁がその全周に亙って略Ｕ字状に屈曲して形成された嵌合雄部と膨出してなる平坦な天面部を有し、この天面部の周縁近傍に凸状リブＡ１を設けた蓋と、端縁がその全周に亙って上向きに折り曲げられた嵌合雌部と膨出してなる平坦なペリクル載置部を有し、このペリクル載置部の裏面に形成された凹部底面に、前記凸状リブＡ１と対応する位置に凸状リブＡ２を設けた容器本体とを組み合わせたペリクル収納容器であって、前記天面部を前記凹部に納め、前記凸状リブＡ１と前記凸状リブＡ２とを嵌合してペリクル収納容器を積み重ね、嵌合箇所を除いて互いに接触することなく、順次、ペリクル収納容器を積み重ねることを特徴とするペリクル収納容器の積み重ね構造。
2. 前記蓋の天面部を、テーパ状段差部を設けることにより形成し、このテーパ状段差部の段差面上面に凸状リブＢ１を、段差面下面に凸状リブＢ２を設け、それぞれ別体に設けられた凸状リブＢ１と凸状リブＢ２とを嵌合し、嵌合箇所を除いて互いに接触することなく蓋同士を積み重ねる請求項１に記載のペリクル収納容器の積み重ね構造。
3. 前記蓋のテーパ状段差部の段差面下面に設けられた凸状リブＢ２を、容器本体のペリクル載置部に載置されたペリクルフレームの周側に当接する位置に設け、ペリクルフレームのガタツキを防止する請求項２に記載のペリクル収納容器の積み重ね構造。
4. 前記容器本体の前記嵌合雌部に沿って形成された平坦部上面に凸状リブＣ１を、平坦部下面に凸状リブＣ２を設け、それぞれ別体に設けられた凸状リブＣ１と凸状リブＣ２とを嵌合し、嵌合箇所を除いて互いに接触することなく容器本体同士を積み重ねる請求項１に記載のペリクル収納容器の積み重ね構造。

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