JP2010217718A - ペリクル収納容器 - Google Patents

Abstract

【課題】蓋の剛性を上げて、蓋とペリクルとの接触等を防止でき、また蓋の取り外し作業を簡単に行うことができ、さらに蓋とペリクル載置台との隙間の発生を防止できるペリクル収納容器を提供する。
【解決手段】ペリクル収納容器１の蓋４は、ペリクル収納時にペリクル載置台３に接触する外周部１０と、外周部１０の内側に位置しペリクル載置台３と接触しない内周部１１を有している。内周部１０は、中央に位置する天井部２０と、天井部２０と外周部１０を接続する側面部２１とを有している。側面部２１は、垂直断面が曲率半径５ｍｍ以上５０ｍｍ以下の複数の湾曲線分２１ａ、２１ｂを含む複数段の曲線形状を有している。
【選択図】図２

Description

本発明は、ＬＳＩ、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）を構成する薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）やカラーフィルター（ＣＦ）等を製造する際のフォトリソグラフィー工程で使用されるフォトマスクやレティクルに異物が付着することを防止するために用いられるペリクルを収納する容器に関する。特に展張されたペリクル膜の面積が１００００ｃｍ²以上の大型ペリクル用のペリクル収納容器に関する。

本発明は、ペリクルの収納容器に関する技術であるが、先ず、ペリクルについて説明する。
従来、半導体装置や液晶ディスプレイ等の微細回路パターン製造時のフォトリソグラフィー工程においては、一般にペリクルと呼ばれる防塵手段を用いて、フォトマスクやレティクルへの異物の付着を防止することが行われている。

ペリクルは、例えばフォトマスク或いはレティクルの形状に合わせた形状を有する厚さと幅が数ミリ程度の枠体の上縁面に、厚さ１０μｍ以下のニトロセルロース、セルロース誘導体、または含フッ素ポリマーなどの透明な高分子膜であるペリクル膜を展張して接着し、かつ該枠体の下縁面に粘着材を塗着すると共に、この粘着材に所定の接着力で保護フィルムを粘着させたものである。

前記粘着材は、ペリクルをフォトマスク或いはレティクルに固着するためのものであり、また、保護フィルムは、該粘着材がその用に供されるまで該粘着材の接着力を維持するために、該粘着材の接着面を保護するものである。

このようなペリクルは、一般的には、ペリクルを製造するメーカー（以下「製造者」ともいう。）から、フォトマスク或いはレティクル（以下「マスク等」ともいう。）を製造するメーカー（以下「使用者」ともいう。）に供給される。使用者では、ペリクルをマスク等に貼付の後、ペリクルで保護されたマスク等を半導体メーカー、液晶パネルメーカー等のリソグラフィーを行うメーカーに供給する。

このペリクルを製造者から使用者に運搬するにあたっては、ペリクルに異物が付着するのを防ぎ、或いはペリクルが損傷するのを防ぐために、該ペリクルをペリクル載置台と蓋とからなるペリクル収納容器内に収納し、更に防塵袋等に収納して運搬するのが一般的である。ペリクル収納容器の蓋は、ペリクル載置台上に被せた状態でペリクル載置台と接触する外周部と、該外周部の内側部分であって該状態でペリクル載置台と接触しない天井部とからなっている。

ところで、ペリクル収納容器には、ペリクルに塵埃を付着させないための密封性が必要になる。また、ペリクル収納用には、蓋がペリクル膜に接触しペリクル膜が汚染或いは破損するのを防止するため、ペリクル膜に非接触な状態で確実に保持し得る保持性が要求される。

このため、ペリクル収納容器は、蓋やペリクル載置台の変形を抑える必要がある。そこで、本出願人は特開２００５−４９７６５号公報（特許文献１）に記載したように、トレイまたは蓋の少なくとも一方に補強板を取り付けてペリクル収納容器の変形を抑制し、マスク用粘着材層の一部に局所的に重量がかかることによるエアーパスの発生や反りやたわみによってトレイや蓋がペリクルに接触することを防止する技術を提案した。

また、特開２００６−１９５０９０号公報（特許文献２）には、蓋が平面から少なくとも２段階に絞られた形状を有する収納容器が提案されており、蓋を２段階以上に段階的に絞ると縦、横の両方向に対してリブを設けたことになり強度に優れ好ましいとの記載がある。

また、特開２００８−１１６６６７号公報（特許文献３）には、蓋体を開ける際の収納容器内への急激な外気の巻き込みを防止するために、蓋体の上面に、蓋体外形の何れか一辺と成す角度が１０°以内で、なおかつ他のリブと交差しないリブを少なくとも１つ設けたことを特徴とするペリクル収納容器が提案されている。

一方、剛性の向上を目的とするものではないが、特開２００７−３２８２２６号公報（特許文献４）には、蓋体が自重によりたわんだ時にペリクル膜に付着することがないように、蓋体中央部が密閉状態において平坦状又は外方向に凸形状を維持することを特徴とするペリクル収納容器が提案されている。

特開２００５−４９７６５号公報 特開２００６−１９５０９０号公報 特開２００８−１１６６６７号公報 特開２００７−３２８２２６号公報

しかしながら、上述の技術では、例えば貼張されたペリクル膜の面積（以下、単に「面積」ともいう。）が１００００ｃｍ²を越え５００００ｃｍ²にも及ぶような従来想定されていない大型ペリクル用の収納容器の場合に、蓋が大型になるため、蓋の変形を十分に抑えることはできない。

このため、例えば蓋の天井部が自重で撓んで、ペリクルと接触等する恐れがある。また、蓋を開けるために蓋の天井部がロボットハンド等により吸着され持ち上げられる際に、蓋の上方への撓みが生じ、それによって蓋とペリクル載置台とで形成されている内部空間の容積が増えて当該内部空間の圧力が減少する。これにより、蓋が外れなくなる恐れがある。

さらに、蓋の中央部に自重による下向きのモーメントがかかるため、蓋の外周部付近にその反力として上向きのモーメントが働く。このため、蓋の外周部がペリクル載置台から離れ、蓋とペリクル載置台との間に隙間が発生して、異物が入り込む可能性がある。

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、蓋の剛性を上げて、蓋とペリクルとの接触等を防止でき、また蓋の取り外し作業を簡単に行うことができ、さらに蓋とペリクル載置台との隙間の発生を防止できるペリクル収納容器を提供することをその目的とする。

本発明者は、上述の課題に対して、蓋の天井部と外周部を接続する側面部の形状を工夫することにより、蓋の剛性が向上することを見出して本発明に至った。

前記目的を達成するための本発明に係るペリクル収納容器は、以下の構成による。
（１）ペリクルを載置するペリクル載置台と当該ペリクル載置台上に被せる蓋とを有するペリクル収納容器であって、前記蓋は、ペリクル収納時に前記ペリクル載置台に接触する外周部と、該外周部の内側に位置し前記ペリクル載置台と接触しない内周部を有し、前記内周部は、中央に位置する天井部と、当該天井部と前記外周部を接続する側面部とを有し、前記側面部は、垂直断面が曲率半径５ｍｍ以上５０ｍｍ以下の複数の湾曲線分を含む複数段の曲線形状を有していることを特徴とする、ペリクル収納容器。
（２）前記複数の湾曲線分は、前記外周部に隣接した最外湾曲線分、前記天井部に隣接した最内湾曲線分、及び該最外湾曲線分と該最内湾曲線分の間に位置する中間湾曲線分からなり、該最外湾曲線分の曲率半径が該最内湾曲線分の曲率半径より小さいことを特徴とする、（１）に記載のペリクル収納容器。
（３）前記中間湾曲線分の曲率半径が前記最内湾曲線分の曲率半径と同じかそれより小さく、かつ前記最外湾曲線分の曲率半径と同じかそれより大きいことを特徴とする、（２）に記載のペリクル収納容器。
（４）前記側面部は、外側に凸の湾曲線分と内側に凸の湾曲線分とを交互に有する曲線形状を有していることを特徴とする、（１）〜（３）のいずれかに記載のペリクル収納容器。
（５）前記天井部は、中心側が高く前記ペリクル載置台の載置面に対し０．５〜５°の角度を有する傾斜部を有することを特徴とする、（１）〜（４）のいずれかに記載のペリクル収納容器。
（６）前記天井部は、外側に凸の湾曲形状を有することを特徴とする、（１）〜（４）のいずれかに記載のペリクル収納容器。
（７）蓋は、真空成形によって成形されていることを特徴とする、（１）〜（６）のいずれかに記載のペリクル収納容器。
（８）前記側面部の少なくとも一部は、垂直断面が左右対称に蛇行する波形形状に形成されていることを特徴とする、（１）〜（７）のいずれかに記載のペリクル収納容器。

本発明によれば、蓋とペリクルとの接触等を防止でき、また蓋の取り外し作業を簡単に行うことができ、さらに蓋とペリクル載置台との隙間の発生を防止できる。また、蓋の側面部に湾曲線分による狭い凹部ができないため洗浄性に優れ、また、蓋の側面部に角部ができないため蓋を通じた蓋内部の視認性に優れている。

ペリクル収納容器の構成の概略を示す斜視図である。 ペリクル収納容器の構成の概略を示す縦断面図である。 蓋の側面部の拡大断面図である。 蓋の天井部に傾斜部がある場合のペリクル収納容器の構成の概略を示す縦断面図である。 蓋の天井部が凸状になっている場合のペリクル収納容器の構成の概略を示す縦断面図である。 直線線分を含む蓋の側面部の拡大断面図である。 複数の湾曲線分の曲率半径を変えた場合の蓋の側面部の拡大断面図である。

以下、図面を参照して、本発明の好ましい実施の形態について説明する。図１は、本実施の形態に係るペリクル収納容器１の構成の概略を示す斜視図である。図２は、ペリクル収納容器１の構成の概略を示す縦断面の説明図である。

ペリクル収納容器１は、ペリクル２を載置するペリクル載置台３と、当該ペリクル載置台３上に被せる蓋４を有している。

ペリクル載置台３は、例えば厚みのある方盤形状を有し、上面に平坦な載置面３ａが形成されている。

蓋４は、平面から見て方形状に形成され、ペリクル２の収納時にペリクル載置台３に接触する外周部１０と、外周部１０の内側に位置しペリクル載置台３と接触しない内周部１１を有している。外周部１０は、平坦で方形の枠形状を有し、ペリクル載置台３の外周部に気密に接触できる。蓋４には、透明な材質が用いられる。また、外周部１０は、平板状に限られず、蓋４とペリクル載置台３が互いに嵌合するような凹凸構造が設けられていてもよい。

内周部１１は、中央に位置する円状の天井部２０と、天井部２０の周囲に位置し天井部２０と外周部１０を接続する側面部２１とを有している。側面部２１は、図２に示すように複数の湾曲線分を含む複数段、例えば３段の曲線形状を有している。側面部２１は、例えば図３に示すように内側に凸の円弧状の湾曲線分２１ａと外側に凸の円弧状の湾曲線分２１ｂとを下からこの順で交互に連続して有している。

側面部２１の湾曲線分２１ａ、２１ｂは、例えば垂直断面の曲率半径Ｒ１〜Ｒ６が５ｍｍ以上５０ｍｍ以下の範囲に入るように設定されている。なお、各湾曲線分２１ａ、２１ｂの曲率半径は、同じであっても異なっていてもよい。

ペリクル載置台３や蓋４の材質は、特に限定するものではないが、エンジニアリングプラスチック、強化プラスチック、金属等が挙げられる。軽量化、成型性の観点から、プラスチック素材が選択される場合が多く、アクリル樹脂、アクリロニトリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン樹脂等を用いることができる。更に上記樹脂以外に、ポリエチレンテレフタレート以外のポリエステル樹脂、ポリエチレンやポリプロピレン等のオレフィン系樹脂、ポリスチレンやアクリロニトリル・スチレン樹脂等のポリスチレン系樹脂等を用いることもできる。上記の樹脂には、静電気による異物付着を防止するために制電性を付与しても良い。また、繊維強化プラスチックも用いることが出来る。金属を選択する場合、軽量化の観点から、アルミニウムを用いてもよい。

ペリクル載置台３や蓋４は、上述の材質の板を用いて、真空成形、射出成形、または貼り合せ等の組立にて製造することができるが、真空成形で製造することが好ましい。蓋４の厚さは、１ｍｍ〜１０ｍｍが望ましい。

ペリクル載置台３や蓋４の寸法は、収納されるペリクル２の大きさに応じて設定されており、本実施の形態では、面積が１００００ｃｍ²以上のペリクル２を収納するため、当該ペリクル２より大きい寸法を有している。

例えばペリクル２は、図１及び図２に示すように面積が１００００ｃｍ²以上のペリクル膜２ｃと、該ペリクル膜２ｃの外周部が貼着されたペリクルフレーム２ａ、及びペリクルフレーム２ａをマスクやレティクルに貼着するためにペリクルフレーム２ａに沿って塗布されたマスク用粘着材層２ｂ等を有している。マスク用粘着材層２ｂの表面（下面）には、離型紙等の保護フィルム等からなる離型材２ｄが貼着されている。

ペリクル２のペリクル載置台３への固定方法としては、マスク用粘着材層２ｂより面積が大きい離型材２ｄを使用して、離型材２ｄのはみ出し部分を粘着テープによりペリクル載置台３に貼着したり、ペリクルフレーム２ａに形成した係止溝にペリクル載置台３に設けた係止部材を係止したり、ペリクル載置台３と蓋４とでペリクルフレーム２ａを挟持して固定する等、特に限定されるものではない。

ペリクル２を上記ペリクル収納容器１に収納する際には、図１及び図２に示すように、ペリクル載置台３の載置面３ａの中央付近にペリクル２を載置し固定した状態で、ペリクル載置台３に蓋４が被せられる。その後、例えばペリクル載置台３と蓋４が、四角等をクリップ等で把持して留められるか、或いは粘着テープを外周部に張り巡らすことによって留められるかして、ペリクル２のある内部空間Ａが密封される。なお、ペリクル載置台３と蓋４を固定する方法は、特に限定されるものではない。

また、ペリクル２がペリクル収納容器１から取り出される際には、例えばペリクル自動取り出し機のロボットハンドが蓋４の天井部２０に吸着され、蓋４が上方に持ち上げられる。このとき、側面部２１の曲線形状により蓋４の剛性が上がっており、蓋４が変形しないため、内部空間Ａの容積が大きく変動せず、内部圧力も変動しないため、蓋４がそのまま上方に持ち上げられ、ペリクル２が取り出される。

以上の実施の形態によれば、蓋４の側面部２１は、垂直断面が曲率半径５ｍｍ以上５０ｍｍ以下の複数の湾曲線分Ｒ１〜Ｒ６を含む複数段の曲線形状を有しているので、蓋４全体の剛性が向上する。この結果、大型のペリクル収納容器１であっても蓋４の変形を十分に防止でき、蓋４の撓みによる蓋４とペリクル２との接触や、蓋４とペリクル載置台３との間の隙間の形成が防止される。また、蓋４を外す際に天井部２０を引っ張り上げても、内部空間Ａの容積が大きく変動せず、内部空間Ａの圧力が維持されるため、蓋４が外れないことがなく、蓋４の取り外し作業が簡単に行われる。

さらに、湾曲線分２１ａ、２１ｂの曲率半径Ｒ１〜Ｒ６が５０ｍｍ以下なので、蓋４の剛性の向上の効果が大きく、また５ｍｍ以上なので、狭小な隙間がなく洗浄性に優れている。また、外部からの蓋内部への視認性も高くなる。

上記実施の形態では、側面部２１が、内側に凸の湾曲線分２１ａと外側に凸の湾曲線分２１ｂとを交互に有する曲線形状を有しているので、蓋４の剛性がさらに上がる。これにより、例えば上方から引っ張って蓋４を外す際の内部空間Ａの容積の変動をさらに低減でき、蓋４の取り外しの作業性をさらに向上できる。

また、蓋４は、真空成形によって成形されている。真空成形は、射出成型と異なり、大型のペリクル収納容器の蓋の成型に優れているが、複雑な形状のリブなどの補強部材を形成することはできない。本実施の形態によれば、蓋４の側面部２１を多段の曲線形状に形成することにより、大型のペリクル収納容器１の蓋４を真空成形した場合であっても、蓋４の高い剛性を確保できる。

また、側面部２１の少なくとも一部は、垂直断面が左右対称に蛇行する波形形状に形成されているので、ばねのような弾性を有し、側面部２１は、当該側面部２１に沿った方向の外力や側面部２１を横切る方向の外力に対して反発力を生じさせることができる。この結果、自重を含む何らかの外力が働いた場合に側面部２１の変形、さらにその側面部２１を含んでいる蓋４全体の変形が抑制される。これによっても、蓋４の変形による蓋４とペリクル２との接触等が防止される。

上記構成に加えて、以下のいずれかの構成を追加することで、天井部２０の自重による撓みで天井部２０がペリクル２と接触する可能性をさらに下げることができる。

例えば天井部２０は、図４に示すように中心側が高くペリクル載置台３の載置面３ａに対し０．５〜５°の角度θを有する傾斜部２０ａを有するようにしてもよい。この場合、傾斜部２０ａの中央は平坦部であってもよい。

また、天井部２０は、図５に示すように外側に凸の湾曲形状を有していてもよい。この場合、例えば蓋４の天井部２０における凸型の曲面形状の曲率半径は、４０００ｍｍ〜１０００ｍｍ、好ましくは、３５００ｍｍ〜１０００ｍｍ、より好ましくは、３０００〜１０００ｍｍであってもよい。また、凸型の曲面形状の曲率半径は、ペリクル収納容器１の高さが不必要に高くならない程度の範囲で、小さいほど蓋の剛性が増し変形が抑制されるので望ましい。

以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。

例えば上記実施の形態の蓋４の側面部２１は、３段の曲線形状であったが、それ以上の複数段の曲線形状を有していてもよい。また、蓋４の側面部２１は、複数の湾曲線分が含まれていればよく、例えば図６に示すように湾曲線分２１ａ、２１ｂの間に直線線分２１ｃが含まれていてもよい。なお、側面部２１の湾曲線分の割合は、５０％〜１００％が望ましい。

また、側面部２１の各湾曲線分２１ａ、２１ｂの曲率半径は、例えば図７に示すように、外周部１０に隣接した最外湾曲線分Ｃが、天井部２０に隣接した最内湾曲線分Ｄの曲率半径より小さくなるように設定されていてもよい。また最外湾曲線分Ｃと最内湾曲線分Ｄの間に位置する中間湾曲線分Ｅの曲率半径が最内湾曲線分Ｄの曲率半径と同じかそれより小さく、かつ最外湾曲線分Ｃの曲率半径と同じかそれより大きくてもよい。かかる場合、例えば外周部１０側から天井部２０側に向けて、内側に凸の曲率半径Ｒ１が５ｍｍ、外側に凸の曲率半径Ｒ２が１０ｍｍ、内側に凸の曲率半径Ｒ３が１０ｍｍ、外側に凸の曲率半径Ｒ４が１０ｍｍ、内側に凸の曲率半径Ｒ５が１０ｍｍ、外側に凸の曲率半径Ｒ６が３０ｍｍの湾曲線分で構成されていてもよい。

かかる場合、外周部１０に隣接する最外湾曲線分Ｃの曲率半径が小さいので、自重の撓みによる外側への広がりを抑制できる。また、外周部１０から側面部２１を急激に立ち上げることにより、ペリクル２に対し蓋４を極力小さくすることができ、これによりペリクル収納容器１を小型化できる。また、側面部２１の立ち上げ部分におけるペリクル２と蓋４との接触も防止できる。また、天井部２０に隣接する最内湾曲線分Ｄの曲率半径が大きいので、外側からペリクル２が見やすくなる。また、湾曲によってできる溝に入ったゴミが取りやすくなる。

以下に具体的な実施例及び比較例を示すと共に、それらの評価について詳細に説明する。

〔実施例１〕
ペリクルは、外径寸法が幅１７４８ｍｍ×１５２６ｍｍ、高さ８ｍｍのものを用いた、ペリクル収納容器のペリクル載置台は、外径寸法が幅１９００ｍｍ×１７００ｍｍ、高さ６５ｍｍのハニカム構造を有するアルミニウム製のパネルを用いた。ペリクル載置台の上部を覆う蓋は、外径寸法が幅１９００ｍｍ×１７００ｍｍ、高さ１２０ｍｍの側面の断面が３段構造である、３ｍｍ厚のアクリル樹脂板の真空成型品を用いた。

蓋の外周部は、３０ｍｍの幅を有している。蓋の側面部は、垂直断面が３段の曲線形状であり、外周部に最も近い湾曲線分が曲率半径５ｍｍ、その湾曲線分からから２段目までの湾曲線分が曲率半径１５ｍｍ、３段目までの湾曲線分が曲率半径３０ｍｍであり、全て湾曲線分で接続された構造を有している。天井部は、２°の傾斜部を有し、その傾斜部の長さを１００ｍｍとした。

そして、厚さ１mmのシリコーンゴムをペリクル載置台が蓋と接する面に貼り、ペリクル載置台に蓋をかぶせた。蓋の天井部を、正方形の頂点に配置された直径１５ｃｍの吸盤４つと中央に１つの計５つの吸盤により吸着把持し、上方向に持ち上げた後、水平方向を向いている蓋が鉛直方向を向くように９０°回転させて開封作業を行った。その結果、スムーズに蓋を持ち上げることができ、蓋の変形がないため９０°回転させても吸盤に吸着されていた。

〔実施例２〕
蓋の側面部は、垂直断面が３段の曲線形状であり、外周部に最も近い湾曲線分が曲率半径５ｍｍ、その湾曲線分から２段目までの湾曲線分が曲率半径１２ｍｍ、３段目までの湾曲線分が曲率半径３０ｍｍであり、湾曲線分と湾曲線分を直線で結んだ構造にした以外は、実施例１と同様のペリクル収納容器を用いた。

蓋の天井部を実施例１と同様の吸盤により吸着把持し、上方向に持ち上げた後、水平方向を向いている蓋が鉛直方向を向くように９０°回転させて開封作業を行った。その結果、スムーズに蓋を持ち上げることができ、蓋の変形がないため９０°回転させても吸盤に吸着されていた。

〔比較例１〕
蓋の外周部は、３０ｍｍの幅を有する。蓋の側面部は、垂直断面が１段の曲線形状であり、外周部と側面部との間の湾曲線分の曲率半径が１０ｍｍ、側面部と天井部との間の湾曲線分の曲率半径が１０ｍｍであり、それ以外の側面部は直線で形成した。側面部の幅を６０ｍｍとし、傾斜部が無い天井部とした。これら構成以外は実施例１と同様のペリクル収納容器である。

蓋の天井部を実施例１と同様の吸盤により吸着把持し、上方向に持ち上げた後、水平方向を向いている蓋が鉛直方向を向くように９０°回転させて開封作業を行った。その結果、変形しながらも蓋を持ち上げることができたが、９０°回転させた時に蓋の変形が大きくなり吸盤から脱着し、蓋が落ちてしまった。

本発明は、ペリクル収納容器として利用することができる。

１ ペリクル収納容器
２ ペリクル
２ａ ペリクルフレーム
２ｂ マスク用粘着材層
２ｃ ペリクル膜
２ｄ 離型材
３ ペリクル載置台
３ａ 載置面
４ 蓋
１０ 外周部
１１ 内周部
２０ 天井部
２１ 側面部

Claims (8)

1. ペリクルを載置するペリクル載置台と当該ペリクル載置台上に被せる蓋とを有するペリクル収納容器であって、
   前記蓋は、ペリクル収納時に前記ペリクル載置台に接触する外周部と、該外周部の内側に位置し前記ペリクル載置台と接触しない内周部を有し、
   前記内周部は、中央に位置する天井部と、当該天井部と前記外周部を接続する側面部とを有し、
   前記側面部は、垂直断面が曲率半径５ｍｍ以上５０ｍｍ以下の複数の湾曲線分を含む複数段の曲線形状を有していることを特徴とする、ペリクル収納容器。
2. 前記複数の湾曲線分は、前記外周部に隣接した最外湾曲線分、前記天井部に隣接した最内湾曲線分、及び該最外湾曲線分と該最内湾曲線分の間に位置する中間湾曲線分からなり、該最外湾曲線分の曲率半径が該最内湾曲線分の曲率半径より小さいことを特徴とする、請求項１に記載のペリクル収納容器。
3. 前記中間湾曲線分の曲率半径が前記最内湾曲線分の曲率半径と同じかそれより小さく、かつ前記最外湾曲線分の曲率半径と同じかそれより大きいことを特徴とする、請求項２に記載のペリクル収納容器。
4. 前記側面部は、外側に凸の湾曲線分と内側に凸の湾曲線分とを交互に有する曲線形状を有していることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載のペリクル収納容器。
5. 前記天井部は、中心側が高く前記ペリクル載置台の載置面に対し０．５〜５°の角度を有する傾斜部を有することを特徴とする、請求項１〜４のいずれか１項に記載のペリクル収納容器。
6. 前記天井部は、外側に凸の湾曲形状を有することを特徴とする、請求項１〜４のいずれか１項に記載のペリクル収納容器。
7. 前記蓋は、真空成形によって成形されていることを特徴とする、請求項１〜６のいずれか１項に記載のペリクル収納容器。
8. 前記側面部の少なくとも一部は、垂直断面が左右対称に蛇行する波形形状に形成されていることを特徴とする、請求項１〜７のいずれか１項に記載のペリクル収納容器。

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