JP5710370B2 - ペリクル収納容器 - Google Patents

Description

本発明は、ＬＳＩ、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）を構成する薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）やカラーフィルター（ＣＦ）等を製造する際のフォトリソグラフィー工程で使用されるフォトマスクやレティクルに異物が付着することを防止するために用いられるペリクルを収納するペリクル収納容器に関する。特に展張されたペリクル膜の面積が１０００ｃｍ^２以上の大型ペリクル用のペリクル収納容器に関する。

本発明は、ペリクルの収納容器に関する技術であるが、先ず、ペリクルについて説明する。

従来、半導体装置や液晶ディスプレイ等の微細回路パターン製造時のフォトリソグラフィー工程においては、一般にペリクルと呼ばれる防塵手段を用いて、フォトマスクやレティクルへの異物の付着を防止することが行われている。

ペリクルは、例えばフォトマスク或いはレティクルの形状に合わせた形状を有する厚さ及び幅が数ミリ程度のペリクル枠体（以下「ペリクルフレーム」ともいう。）の上縁面に、厚さ１０μｍ以下のニトロセルロース、セルロース誘導体又は含フッ素ポリマーなどの透明な高分子膜であるペリクル膜を展張して接着し、該ペリクル枠体の下縁面に粘着材を塗着してマスク用粘着材層を形成し、該マスク用粘着材層に所定の接着力で保護フィルムを粘着させたものである。

このマスク用粘着材層は、ペリクルをフォトマスク或いはレティクルに固着するためのものであり、また、保護フィルムは、マスク用粘着材層がその用に供されるまで粘着材の接着力を維持するために、マスク用粘着材層の接着面を保護するものである。

このようなペリクルは、一般的には、ペリクルを製造するメーカー（以下「製造者」ともいう。）から、フォトマスク或いはレティクル（以下「マスク等」ともいう。）を製造するメーカー（以下「使用者」ともいう。）に供給される。使用者では、ペリクルをマスク等に貼付の後、ペリクルで保護されたマスク等を半導体メーカー、液晶パネルメーカー等のフォトリソグラフィーを行うメーカーに供給する。

このペリクルを製造者から使用者に運搬するにあたっては、ペリクルに異物が付着するのを防ぎ、或いはペリクルが損傷するのを防ぐために、該ペリクルを載置するトレイと蓋とからなるペリクル収納容器内に収納し、更にこのペリクル収納容器を防塵袋等に収納して運搬するのが一般的である。

ところで、ペリクル収納容器には、ペリクルに塵埃を付着させないための密封性が必要になる。また、ペリクル収納容器には、蓋がペリクル膜に接触しペリクル膜が汚染或いは破損するのを防止するため、ペリクル膜に非接触な状態で確実に保持し得る保持性が要求される。

ペリクル収納容器は、通常、ＡＢＳ、アクリル等の樹脂を射出成形または真空成形することによって製造される。これらの成形方法が利用されるのは、表面が平滑で異物の付着や発塵のおそれが少ないこと、一体成形のため継ぎ目がなく発塵や異物侵入のおそれが少ないこと、複雑形状のものも容易に製造できること、量産性に優れ低コスト化が可能であること、といったメリットがあるからである。

主として液晶用ペリクルに使用される一辺が５００ｍｍを超えるような大型のペリクル収納容器は、一般にＡＢＳ、アクリル等の合成樹脂シートを真空成形したものが使用される。これは、１箇所もしくは数箇所のゲートから金型内に樹脂を高速注入する射出成形では、樹脂の流れる距離が長すぎるため製法的に困難なためである。これに対し、真空成形では、金型に加熱した樹脂シートを被せて真空引きするだけで形成することができるため、大型のペリクル収納容器を容易に成形することができる。

しかしながら、真空成形の場合、肉厚のものが成形できず、また、リブである程度の補強はできるものの、基本的に同じ板厚のシートを折り曲げるだけなので、高剛性のものが作りにくいという問題がある。このため、ペリクル収納容器は、何らかの手法により蓋やペリクル載置台の変形を抑える必要がある。

そこで、本出願人は、トレイまたは蓋の少なくとも一方に補強板を取り付けることで、ペリクル収納容器の変形を抑制し、マスク用粘着材層の一部に局所的に重量がかかることによりエアーパスが発生することや、反りやたわみによってトレイや蓋がペリクルに接触することを防止する技術を提案した（特許文献１参照）。

また、本出願人は、トレイまたは蓋の少なくとも一方にリブを設けることで、ペリクル収納容器の運搬中の高温度による蓋やトレイの反り等による変形を抑制し、異物侵入を防止する技術を提案した（特許文献２参照）。

また、補強材を用いない手法として、トレイ外形の対角線を横切り他のリブと交差しない複数のリブをトレイに設けることで、特に捩れ方向の剛性を高めたペリクル収納容器が提案されている（特許文献３参照）。

また、トレイのペリクルフレームを載置する載置台の外側または内側のどちらか一方に段差部を設け、段差部より低い位置にペリクルフレームを載置することで、輸送中にペリクルが動きにくくなり、ペリクルフレーム底面の粘着材がめくれる危険性を低減したペリクル収納容器が提案されている（特許文献４参照）。

特開２００５−４９７６５号公報 特開２０００−１７３８８７号公報 特開２００８−１３９４１７号公報 特開２００７−４７２３８号公報

上述したように、ペリクル収納容器は、通常、ＡＢＳ、アクリル等の樹脂を射出成形または真空成形することによって製造される。

このため、別の補強板で剛性を上げる従来の場合、剛性は十分得られるが、重量が増加するため、ペリクル膜の面積が大きくなればなるほど、十分な剛性を確保するために、容器本体よりも補強板の方が重くなるという問題があった。しかも、補強板自体だけでなく補強板を容器本体に締結するための部品が必要になり、更には、この部品を容器本体に組み付ける工数も必要になるため、容器本体だけの場合と比較してコストが大幅に増加する。

また、補強板を利用せずにリブで剛性を上げる従来の場合、上記のような重量の増加の問題を低減することができる。しかしながら、特許文献２のように、リブの形状を、外形の対角線を結ぶ方向に設けられたＸ字型とすると、リブに交差部が存在することによって、捩れ方向の剛性が極度に低下して、何れか一方の対角線に沿ってトレイが捻れて、対頂点が近づくように曲がってしまう恐れがあった。

また、特許文献３のようなリブの配置はトレイの斜めの捩れ方向の剛性に効果的であるが、リブの頂点付近が辺の中央付近に存在したり、または、辺の中央付近にリブが存在しないため、トレイを持ち運ぶ際に、両短辺側か両長辺側の嵌合部付近を人手で運搬したり、中央付近をフォークリフトで動かす場合等に、辺の中央付近の応力がかかり辺に対して垂直の折れ目方向への剛性に弱い傾向があるという問題があった。

また、大型ペリクルをマスクに貼り付ける際に自動取り出し機を利用する場合は、トレイの底面を吸着保持する必要があるため、トレイの底面は比較的平面な方が良い傾向にある。これに対し、特許文献３のようにリブを配置すると、ペリクル収納容器を大型化するほど、リブを複数設ける必要があるため、比較的平面な面が少なくなり、トレイの底面を吸着保持するのが難しくなるという問題があった。

更に、特許文献４に開示されたペリクル収納容器は、載置台の外側または内側のどちらか一方にしか段差部を有さないため、ペリクル収納容器全体に外力が加わった場合には、ペリクルの載置台の平坦性が維持されず、ペリクルを運搬する際に発生するペリクル膜のシワを防止しきれなかった。なお、特許文献４に開示されたペリクル収納容器は、後述する比較例１に相当する。

このようなことから、例えば、展張されたペリクル膜の面積（以下、単に「面積」ともいう。）が５０００ｃｍ２を越え８０００ｃｍ２、更には１００００ｃｍ２以上に及ぶような大型ペリクルを収納するペリクル収納容器の場合には、補強体を用いずペリクル容器本体だけで十分な剛性と底面の平面性を持たせ、ペリクル膜のシワの発生を防止することができなかった。

そこで、本発明者は、上述の課題を解決するために、トレイ中央底面と、該トレイ中央底面から上部側に隆起してペリクルを載置する略角環状の載置台と、該載置台の外周縁から水平方向に延びる外延部とを有するペリクル収納容器において、該トレイ中央底面と該載置台との間と、該載置台と該外延部の間とに、それぞれ緩衝部を有することで、前記課題を解決できることを見出し、本発明を想到するに至った。

すなわち、本発明に係るペリクル収納容器は、ペリクル枠体の一縁面にペリクル膜が展張されたペリクルを載置するトレイと、該トレイの上部から被せる蓋と、を有するペリクル収納容器であって、該トレイは、トレイ中央底面と、該トレイ中央底面から上部側に隆起してペリクルを載置する略角環状の載置台と、該載置台の外周縁から水平方向に延びる外延部と、を有し、該トレイ中央底面と該載置台の間と、該載置台と該外延部の間とに、それぞれに緩衝部を有することを特徴とする。

本発明に係るペリクル収納容器によれば、載置台のトレイの外縁側及びトレイ中央底面側の両側に緩衝部が形成されることで、補強板を用いずともペリクル収納容器の剛性、特に載置台の剛性と平坦性を確保することができる。

さらに、該トレイ中央底面と該載置台の間の該緩衝部は、該トレイ中央底面及び該載置台とは異なる高さ位置で２以上の段差に分ける段差部であり、該載置台と該外延部の間の該緩衝部は、該載置台及び該外延部とは異なる高さ位置で２以上の段差に分ける段差部であることが好ましい。このように緩衝部を段差部で構成することで、簡易な構成で、ペリクル収納容器の剛性、特に載置台の剛性と平坦性を確保することができる。

さらに、該トレイ中央底面と該載置台の間の該緩衝部のうち、該載置台の角部付近に形成された該緩衝部の面積が、該トレイ中央底面方向に広がることによって、相対的に大きくなっていることが好ましい。このように、トレイ中央底面と載置台の間に形成されるとともに載置台の角部付近に形成された緩衝部の面積が、トレイ中央底面方向に広がるように配置することで、ペリクル収納容器の捩れ戻し方向の剛性を上げることができる。

さらに、該トレイ中央底面と該載置台の間の該緩衝部であって、該載置台の角部付近に形成された該緩衝部は、該トレイ中央底面から該ペリクル枠体の該載置台方向に立ち上がるとともに該トレイ外形の対角線を横切る垂直面を有することが好ましい。このように、トレイ中央底面と載置台の間に形成されるとともに載置台の角部付近に形成された緩衝部の垂直面をトレイ外形の対角線を横切る方向に配置することで、ペリクル収納容器の捩れ方向の剛性を上げることができる。

さらに、該トレイ中央底面の該載置台近傍に、該ペリクル枠体の高さ方向の第二の段差部が形成されることも好ましい。このように、トレイ中央底面の載置台近傍に、ペリクル枠体の高さ方向の第二の段差部を形成することで、ペリクル収納容器の捩れ方向の剛性を更に向上させることができる。

本発明に係るペリクル収納容器によれば、補強板を用いずともペリクル収納容器の剛性、特に載置台の剛性と平坦性を確保できるため、ペリクルを運搬する際のペリクル膜のシワの発生を防止することができる。

第１の実施形態に係るペリクル収納容器の全体構成を示す概略断面図である。 図１に示すペリクル収納容器のトレイを示す概略正面図である。 図２に示すＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。 第２の実施形態に係るペリクル収納容器の全体構成を示す概略断面図である。 図４に示すペリクル収納容器のトレイを示す概略正面図である。 図５に示すＶＩ−ＶＩ線断面図である。 第一水平面部１５ｂの角部Ａに形成される略三角形状の寸法等を説明するための図である。

［第１実施形態］
以下、図面を参照して、本発明の好ましい実施の形態について説明する。図１は、第１の実施形態に係るペリクル収納容器の全体構成を示す概略断面図である。図２は、図１に示すペリクル収納容器のトレイを示す概略正面図である。図３は、図２に示すＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。なお、全図中、同一又は相当部分には同一符号を付すこととする。以下の説明では、数値範囲を示す「〜」の記号を、上限値及び下限値を含むものとして使用する。このため、例えば、１０〜２０とは、１０以上２０以下を意味する。

（収納容器）
図１に示すように、ペリクル収納容器１は、ペリクル４が載置されるトレイ２と、トレイ２の天面に被せてトレイ２の天面を覆う蓋３とにより構成される。そして、トレイ２と蓋３とは、粘着テープ等（図示しない）で密封固定するか、クリップ等（図示しない）の締結具で固定される。

ペリクル収納容器１に収納されるペリクル４は、フォトマスクやレティクルなど（不図示）の形状に合わせた略角環状のペリクルフレーム４ｂと、ペリクルフレーム４ｂの上縁面に展張して接着されたペリクル膜４ａと、ペリクルフレーム４ｂの下縁面に塗着されたマスク用粘着材層４ｃとを備える。ペリクル膜４ａは、厚さ１０μｍ以下のニトロセルロース、セルロース誘導体又は含フッ素ポリマーなどの透明な高分子膜である。ペリクルフレーム４ｂは、フォトマスクやレティクルなど（不図示）の形状に合わせた形状を有し、厚さ及び幅が数ミリ程度のペリクル枠体である。マスク用粘着材層４ｃは、粘着材が塗着された層であり、粘着材の接着力を維持するために、その表面に保護フィルムが粘着されている。このため、ペリクルフレーム４ｂの高さ方向とは、ペリクル膜４ａが持ち上げられるペリクルフレーム４ｂの厚さ方向であり、図１において上下方向を示す。

トレイ２及び蓋３の材質は、エンジニアリングプラスチック、強化プラスチック、金属等が好ましい。軽量化、成型性の観点から、プラスチック素材が選択される場合が多く、アクリル樹脂、アクリロニトリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン樹脂等を用いることができる。更に、トレイ２及び蓋３の材質は、上記樹脂以外に、ポリエチレンテレフタレート以外のポリエステル樹脂、ポリエチレンやポリプロピレン等のオレフィン系樹脂、ポリスチレンやアクリロニトリル・スチレン樹脂等のポリスチレン系樹脂等を用いることもできる。上記の樹脂には、静電気による異物付着を防止するために制電性を付与しても良い。また、繊維強化プラスチックも用いることができる。金属を選択する場合、軽量化の観点から、アルミニウム、アルミニウム合金、マグネシウム合金等が用いられる。

トレイ２及び蓋３は、上述の材質を用いて、真空成形、射出成形、または貼り合せ等の組立にて製造することができる。特に、大型のトレイ２や蓋３を採用する場合は、真空成形により製造することが好ましい。トレイ２や蓋３の厚さは、１ｍｍ〜１０ｍｍが好ましい。

トレイ２及び蓋３の寸法は、収納されるペリクル４の大きさに応じて設定されており、収納するペリクル４より少し大きい寸法を有している。

また、蓋３は、内部を確認しやすくするために透明または半透明であることが好ましく、トレイ２は、付着した異物を確認しやすくするために黒色であることが好ましい。

トレイ２と蓋３とは、互いの周縁部で嵌合するようになっており、トレイ２と蓋３との間の隙間は、外部からの異物侵入を防ぐために出来るだけ狭い方が好ましい。

図２及び図３に示すように、トレイ２は、蓋３と対向する側に開口部を有するトレイ中央底面５と、ペリクル４が載置される載置台６と、蓋３との嵌合部７と、を備える。

（載置台の緩衝部）
載置台６は、トレイ中央底面５の周囲からトレイ２の天面側であってペリクル４を載置する側に隆起している。そして、載置台６には、ペリクルフレーム４ｂの高さ方向に変位する緩衝部が形成されており、載置台６の隆起した最も高い水平部分１３にペリクル４が載置される。ここで、緩衝部としては、リブや、２つ以上の段差に分ける段差部など、ペリクル収納容器全体に係る外力が直接載置台に及ばないように外力を吸収できる構成であれば、本発明の効果を奏するため、特に制限されない。

載置台６におけるトレイ２の外縁側には、水平部分１３から略垂直方向下方に立ち下がる第一垂直面部１４ａと、第一垂直面部１４ａの下端からトレイ２の外縁方向に向けて略水平に延出する第一水平面部１５ａと、第一水平面部１５ａの先端から更に略垂直方向下方に立ち下がり嵌合部７に続く第二垂直面部１６ａと、が形成されている。

また、載置台６におけるトレイ中央底面５側には、水平部分１３から略垂直方向下方に立ち下がる第一垂直面部１４ｂと、第一垂直面部１４ｂの下端からトレイ２の中心方向（トレイ中央底面５側）に向けて略水平に延出する第一水平面部１５ｂと、第一水平面部１５ｂの先端から更に略垂直方向下方に立ち下がりトレイ中央底面５に続く第二垂直面部１６ｂと、が形成されている。

このように、水平部分１３、第一垂直面部１４ａ、第一水平面部１５ａ及び第二垂直面部１６ａにより、載置台６のトレイ２の外縁側に、ペリクルフレーム４ｂの高さ方向に変位する緩衝部８が形成され、水平部分１３、第一垂直面部１４ｂ、第一水平面部１５ｂ及び第二垂直面部１６ｂにより、載置台６のトレイ中央底面５側に、ペリクルフレーム４ｂの高さ方向に変位する緩衝部９が形成される。すなわち、緩衝部８は、載置台６（水平部分１３）及び嵌合部７（後述する外延部７ａ）とは異なる高さ位置で２段の段差に分ける段差部により構成される。また、緩衝部９は、トレイ中央底面５及び載置台６（水平部分１３）とは異なる高さ位置で２段の段差に分ける段差部により構成される。

なお、第一垂直面部１４ａ，１４ｂ、第二垂直面部１６ａ，１６ｂ、第一水平面部１５ａ，１５ｂの長さは、ペリクルの大きさによって変動するものであり、それぞれ同じであってもよく、違っていてもよい。

そして、トレイ中央底面５と載置台６の間の緩衝部９のうち、載置台６の角部６ａ付近に形成された緩衝部９の面積が、トレイ中央底面方向に広がることによって、相対的に大きくなっていることが好ましい。すなわち、トレイ中央底面５と載置台６の間の緩衝部９のうち、載置台６の角部６ａ付近に形成された緩衝部９がトレイ中央底面方向に広がることによって、載置台６の角部６ａ付近に形成された緩衝部９の幅が、他の部分（載置台６の辺部付近）に形成された緩衝部９の幅よりも相対的に大きくなっていることが好ましい。トレイ中央底面５と載置台６の間に形成されるとともに載置台６の角部付近に形成された緩衝部９の面積が、トレイ中央底面方向に広がるように配置することで、ペリクル収納容器の捩れ方向の剛性を上げることができる。ここでは、載置台６の角部６ａ付近に配置される第一水平面部１５ｂの４つの角部Ａが略三角形状になるように、第二垂直面部１６ｂが、トレイ２外形の対角線を横切る位置に配置されている。すなわち、緩衝部９は、載置台６の角部６ａ付近に配置される第一水平面部１５ｂの角部Ａが略三角形状に形成されるとともに、第二垂直面部１６ｂがトレイ２外形の対角線と交差する位置に配置される。このように緩衝部９を形成することで、トレイ２の捩れに対する剛性が高まり、かつ、載置台６の平坦性をも保つ事ができる。なお、第二垂直面部１６ｂをトレイ２外径の対角線と交差する位置に配置する際、第二垂直面部１６ｂは、トレイ２の捩れに対する剛性が高まり、かつ、載置台６の平坦性を保つ効果を発揮する範囲で構成することができ、必ずしも厳密な垂直性は要求されない。

なお、載置台６に形成する緩衝部は、載置台６に対して垂直方向に形成される１段以上の段差であることが好ましく、載置台６自体が狭いことから、この段差は１〜３段であることが好ましい。また、成形性等の関係から、載置台６に形成する緩衝部は、載置台６に対して垂直方向に形成される１〜３段以上の段差であることが好ましい。

また、載置台６に形成する緩衝部が載置台６の両側に形成される為、バランスがよく剛性も高い。そして、水平部分１３の平坦性にも優れる。水平部分１３はペリクルフレーム４ｂが載置される場所であるため、水平部分１３の平坦性が悪くなると、マスク用粘着材層４ｃの粘着材が、水平部分１３の平坦性の悪さに追随して変形し、マスクへの貼付時に、エアーパス等の問題が発生する場合がある。

ここで、図７を参照して、第一水平面部１５ｂの角部Ａに形成される略三角形状の寸法等について説明する。

図７に示すように、トレイ２外形の長辺の長さをＸとし、角部Ａに形成される略三角形状におけるトレイ２外形の長辺に平行な辺の長さをｘとする。この場合、トレイ２外形長辺の長さＸに対するトレイ２外形長辺に平行な三角形状の辺の長さｘの割合（ｘ／Ｘ）は、０．５〜５０％が好ましく、１〜４５％がより好ましく、３〜４０％が更に好ましく、５〜３０％がさらに好ましく、８〜２５％がさらに好ましく、１０〜２０％が最も好ましい。このように、トレイ２外形長辺の長さＸに対するトレイ２外形長辺に平行な三角形状の辺の長さｘの割合をこのような範囲とすると、特に剛性が高まり好ましい。そこで、本実施形態では、トレイ２外形長辺の長さＸに対するトレイ２外形長辺に平行な三角形状の辺の長さｘの割合（ｘ／Ｘ）を、１４％とする。

また、トレイ２外形の短辺の長さをＹとし、角部Ａに形成される略三角形状におけるトレイ２外形の短辺に平行な辺の長さをｙとする。この場合、トレイ２外形短辺の長さＹに対するトレイ２外形短辺に平行な三角形状の辺の長さｙの割合（ｙ／Ｙ）は、０．５〜５０％が好ましく、１〜４５％がより好ましく、３〜４０％が更に好ましく、１０〜４０％がさらに好ましく、１５〜３５％が最も好ましい。このように、トレイ２外形短辺の長さＹに対するトレイ２外形短辺に平行な三角形状の辺の長さｙの割合をこのような範囲とすると、特に剛性が高まり好ましい。そこで、本実施形態では、トレイ２外形短辺の長さＹに対するトレイ２外形短辺に平行な三角形状の辺の長さｙの割合（ｙ／Ｙ）を、１７．５％とする。

また、トレイ２外形の対角線と第二垂直面部１６ｂとのなす角は、３０〜１１０°が好ましく、７０〜１００°がより好ましく、９０°が最も好ましい。

（曲率半径）
そして、水平部分１３と第一垂直面部１４ａ、第一垂直面部１４ａと第一水平面部１５ａ、第一水平面部１５ａと第二垂直面部１６ａ、第二垂直面部１６ａと嵌合部７、水平部分１３と第一垂直面部１４ｂ、第一垂直面部１４ｂと第一水平面部１５ｂ、第一水平面部１５ｂと第二垂直面部１６ｂ、第二垂直面部１６ｂとトレイ中央底面５とは、それぞれ所定の曲率半径を持つ接続構造とすることが好ましい。これらが直角に接続されていると、応力は頂点に集中する傾向にあるため、この接続部分に集中応力が作用する。これに対し、この接続部分に若干曲率半径を持たせることで、応力の分散を図ることもでき、成形時の樹脂の流れや離型にも有効に働く。曲率半径は、０．５ｍｍ以上あると好ましい。上限は、載置台６の大きさにもより、適宜最適な範囲で設定されるが、３００ｍｍ以下であればよく、２００ｍｍ以下であればより好ましく、１００ｍｍ以下であれば更に好ましい。中でも、２ｍｍ〜３０ｍｍであることが好ましく、より好ましくは２ｍｍ〜２０ｍｍ、更に好ましくは２ｍｍ〜１５ｍｍである。更に、これらの緩衝部が成す角度は、必ずしも９０°に限定されるものではなく、適宜設定され、トレイ２の製造の観点などから、これらの角度を鈍角としても良い。

（嵌合部）
嵌合部７は、載置台６の外周縁から水平方向に延びる外延部７ａと、外延部７ａの周端部から上方に延びる最外延部７ｂと、を備えている。そして、この嵌合部７は、蓋３に対応する形状となっており、トレイ２に蓋３が被せられた際に、蓋３と密着可能となっている。なお、嵌合部７は、更に最外延部７ｂの周端部から外方に延びる縁部（不図示）を備えても良い。

最外延部７ｂの高さは、外延部７ａからの載置台６の高さの０．７倍以上とすることができ、更に１．０倍以上とすると更に容器の剛性を高めることができる。ハンドリング性や容器の扱い性から、最外延部７ｂの高さは、外延部７ａからの載置台６の高さの３．０倍以下が上限値として好ましい。補強材を使用しない場合は、嵌合部７が経時的に反って平坦性が悪くなることがあるが、載置台６付近に緩衝部を設けることと、最外延部７ｂの高さを上記範囲にすることで、嵌合部７の反りを抑制することが更にできる。

［第二実施形態］
次に、図４及び図５を参照して、第２の実施形態に係るペリクル収納容器について説明する。図４は、第２の実施形態に係るペリクル収納容器の全体構成を示す概略断面図である。図５は、図４に示すペリクル収納容器のトレイを示す概略正面図である。図６は、図５に示すＶＩ−ＶＩ線断面図である。

（収納容器）
ペリクル収納容器２１は、基本的に第１の実施形態に係るペリクル収納容器１と同じであり、トレイの形状のみ、第１の実施形態に係るペリクル収納容器１と相違する。このため、以下では、第１の実施形態に係るペリクル収納容器１と相違する部分のみを説明し、その他の説明を省略する。

図４に示すように、ペリクル収納容器２１は、ペリクル４が載置されるトレイ２２と、トレイ２２の天面を覆う蓋３とにより構成される。そして、トレイ２２と蓋３とは、粘着テープ等（図示しない）で密封固定するか、クリップ等（図示しない）の締結具で固定される。

図５及び図６に示すように、トレイ２２は、蓋３と対向する側に開口部を有するトレイ中央底面２５と、ペリクル４が載置される載置台２６と、蓋３との嵌合部２７と、を備える。

（トレイ中央底面の第二の段差部）
トレイ中央底面２５には、自動取り出しの吸着に影響が無いように、一対の第二の段差部３７がペリクルフレーム４ｂの高さ方向に形成されている。第二の段差部３７は、載置台２６の長辺側の近傍に配置された略三角形状の窪みであり、トレイ中央底面２５から垂直方向下方に立ち下がる垂直面部３７ａと、垂直面部３７ａの下端縁に接続された平面状の底面部３７ｂと、が形成されている。

（載置台の緩衝部）
載置台２６は、トレイ中央底面２５の周縁からペリクル４を載置する側に隆起している。そして、載置台２６は、ペリクルフレーム４ｂの高さ方向に変位する緩衝部を有しており、載置台２６の隆起した最も高い水平部分３３にペリクル４が載置される。

載置台２６におけるトレイ２２の外縁側には、水平部分３３から略垂直方向下方に立ち下がる第一垂直面部３４ａと、第一垂直面部３４ａの下端からトレイ２２の外縁方向に向けて略水平に延出する第一水平面部３５ａと、第一水平面部３５ａの先端から更に略垂直方向下方に立ち下がり嵌合部２７に続く第二垂直面部３６ａと、が形成されている。

また、載置台２６におけるトレイ中央底面２５側には、水平部分３３から略垂直方向下方に立ち下がる第一垂直面部３４ｂと、第一垂直面部３４ｂの下端からトレイ２２の中心方向（トレイ中央底面２５側）に向けて略水平に延出する第一水平面部３５ｂと、第一水平面部３５ｂの先端から更に略垂直方向下方に立ち下がりトレイ中央底面２５に続く第二垂直面部３６ｂと、が形成されている。

このように、水平部分３３、第一垂直面部３４ａ、第一水平面部３５ａ及び第二垂直面部３６ａにより、載置台２６のトレイ２２の外縁側に、ペリクルフレーム４ｂの高さ方向に変位する緩衝部２８が形成され、水平部分３３、第一垂直面部３４ｂ、第一水平面部３５ｂ及び第二垂直面部３６ｂにより、載置台２６のトレイ中央底面２５側に、ペリクルフレーム４ｂの高さ方向に変位する緩衝部２９が形成される。

そして、載置台２６の角部２６ａ付近に配置される第一水平面部３５ｂの４つの角部Ｂが略三角形状になるように、第二垂直面部３６ｂが、トレイ２２外形の対角線を横切る位置に配置されている。

ここで、第一水平面部３５ｂの角部Ｂに形成される略三角形状の寸法等の範囲は、基本的に第１の実施形態で説明した第一水平面部１５ｂの角部Ａに形成される略三角形状の寸法等の範囲と同様である（図７参照）。そこで、第２の実施形態では、トレイ２２外形長辺の長さＸに対するトレイ２２外形長辺に平行な三角形状の辺の長さｘの割合（ｘ／Ｘ）を、１５％とし、トレイ２２外形短辺の長さＹに対するトレイ２２外形短辺に平行な三角形状の辺の長さｙの割合（ｙ／Ｙ）を、３３％とする。

また、載置台２６の長辺側は、第一垂直面部３４ｂのみが形成されており、第一水平面部３５ｂ及び第二垂直面部３６ｂは形成されていない。

すなわち、緩衝部２９は、載置台２６の角部２６ａ付近に配置される第一水平面部３５ｂの角部Ｂが略三角形状に形成されるとともに、第二垂直面部３６ｂがトレイ２２外形の対角線と交差する位置に配置される。そして、載置台２６の長辺側には緩衝部２９が設けられていないが、その代わり、トレイ中央底面２５における載置台２６の近傍に、ペリクルフレーム４ｂの高さ方向に変位する第二の段差部３７が設けられている。なお、このように、載置台２６の長辺側には、片側だけ第二の段差部を設けても良く、両側に第二の段差部を設けてもよい。

（曲率半径）
そして、水平部分３３と第一垂直面部３４ａ、第一垂直面部３４ａと第一水平面部３５ａ、第一水平面部３５ａと第二垂直面部３６ａ、第二垂直面部３６ａと嵌合部２７、水平部分３３と第一垂直面部３４ｂ、第一垂直面部３４ｂと第一水平面部３５ｂ、第一水平面部３５ｂと第二垂直面部３６ｂ、第二垂直面部３６ｂとトレイ中央底面２５だけでなく、トレイ中央底面２５と垂直面部３７ａ、垂直面部３７ａと底面部３７ｂとも、それぞれ所定の曲率半径を持つ接続構造とすることが好ましい。これらが直角に接続されていると、応力は頂点に集中する傾向にあるため、この接続部分に集中応力が作用する。これに対し、この接続部分に若干曲率半径を持たせることで、応力の分散を図ることもでき、成形時の樹脂の流れや離型にも有効に働く。曲率半径は、０．５ｍｍ以上あると好ましい。上限は、載置台６の大きさにもより、適宜最適な範囲で設定されるが、３００ｍｍ以下であればよく、２００ｍｍ以下であればより好ましく、１００ｍｍ以下であれば更に好ましい。中でも、２ｍｍ〜３０ｍｍであることが好ましく、より好ましくは２ｍｍ〜２０ｍｍ、更に好ましくは２ｍｍ〜１５ｍｍである。更に、これらの段差が成す角度は、必ずしも９０°に限定されるものではなく、適宜設定され、トレイ２２の製造の観点などから、これらの角度を鈍角としても良い。

（嵌合部）
嵌合部２７は、載置台２６の外周縁から水平方向に延びる外延部２７ａと、外延部２７ａの周端部から上方に延びる最外延部２７ｂと、を備えている。そして、この嵌合部２７は、蓋３に対応する形状となっており、トレイ２２に蓋３が被せられた際に、蓋３と密着可能となっている。なお、嵌合部２７は、更に最外延部７ｂの周端部から外方に延びる縁部（不図示）を備えても良い。

以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。

例えば、第１の実施形態において、載置台６の第二垂直面部１６ｂは、直線状（平面状）であるものとして説明したが、その形状に限定されるものではなく、例えば、図７の１６ｂ’に示すように、凹型の円弧状（曲面状）であってもよく、図７の１６ｂ’’に示すように、凸型の円弧状（曲面状）であってもよい。この場合、トレイ２外形の対角線と第二垂直面部１６ｂとのなす角は、トレイ２外形の対角線と第二垂直面部１６ｂとが交差する位置における第二垂直面部１６ｂの接線と、トレイ２外形の対角線とのなす角で表される。なお、第２の実施形態の第二垂直面部３６ｂも同様である。

また、載置台６は、必ずしも完全な環状である必要は無く、例えば、トレイ２外形の短辺に平行な部分のみで形状されても良く、トレイ２外形の長辺に平行な部分のみやトレイ２外形の短辺に平行な部分のみで形成されても良い。また、この載置台６は、トレイ２外形の短辺又は長辺に平行な部分を中心としたコの字型であって、互いに向かい合った形に形成されても良い。

以下に具体的な実施例及び比較例を示すと共に、それらの評価について詳細に説明する。

［実施例１］
実施例１は、第２の実施形態に係るペリクル収納容器を採用し、このペリクル収納容器のトレイは、外径寸法が幅１０００ｍｍ×奥行き１６００ｍｍ、高さ６０ｍｍ、厚さ６ｍｍとなるように、ＡＢＳ樹脂製の真空成型品を用いた。そして、トレイ中央底面と載置台との間と、載置台と外延部の間とに、それぞれに緩衝部を設け、更に、載置台の角部付近の第一水平面部を三角形状とし、更に、トレイ中央底面に、三角形状の第二の段差部を設けた（図４及び図５参照）。

実験室の机上に、上述した実施例１のペリクル収納容器を設置し、ペリクル収納容器の３箇所の角部を机と一緒に挟み込み固定し、残った１箇所の角部を吊り量りで２．５ｋｇｆの力で引っ張って、ペリクル収納容器の反り（変形量）を金尺で測定した。その時の膜シワを確認した。計測結果を表１に示す。

［実施例２］
実施例２は、第１の実施形態に係るペリクル収納容器を採用し、このペリクル収納容器のトレイは、外径寸法が幅９５０ｍｍ×奥行き１４００ｍｍ、高さ８５ｍｍ、厚さ５ｍｍとなるように、ＡＢＳ樹脂製の真空成型品を用いた。そして、トレイ中央底面と載置台との間と、載置台と外延部の間とに、それぞれに緩衝部を設け（図２及び図３参照）、それ以外は、実施例１と同様の実験を行った。計測結果を表１に示す。

［比較例１］
比較例１は、実施例１のペリクル収納容器において、載置台を隆起させず、載置台の内側に配置されるトレイ中央底面と載置台の間にのみ緩衝部を設けたものを採用し、実施例１と同様に行った。計測結果を表１に示す。

［比較例２］
比較例２は、実施例１のペリクル収納容器において、隆起した載置台に緩衝部がないものを採用し、実施例１と同様に行った。計測結果を表１に示す。

［比較例３］
比較例３は、実施例２のペリクル収納容器において、隆起した載置台に緩衝部がないものを採用し、実施例１と同様に行った。計測結果を表１に示す。

表１に示すように、比較例１〜３は、何れも膜シワが確認されたが、実施例１及び２は、何れも膜シワが確認されなかった。

本発明は、ペリクル収納容器として利用することができる。

１…ペリクル収納容器、２…トレイ、３…蓋、４…ペリクル、４ａ…ペリクル膜、４ｂ…ペリクルフレーム、４ｃ…マスク用粘着材層、５…トレイ中央底面、６…載置台、６ａ…角部、７…嵌合部、７ａ…外延部、７ｂ…最外延部、８…緩衝部、９…緩衝部、１３…水平部分、１４ａ…第一垂直面部、１４ｂ…第一垂直面部、１５ａ…第一水平面部、１５ｂ…第一水平面部、１６ａ…第二垂直面部、１６ｂ…第二垂直面部、２１…ペリクル収納容器、２２…トレイ、２５…トレイ中央底面、２６…載置台、２６ａ…角部、２６ｂ…載置台、２７…嵌合部、２７ａ…外延部、２７ｂ…最外延部、２８…緩衝部、２９…緩衝部、３３…水平部分、３４ａ…第一垂直面部、３４ｂ…第一垂直面部、３５ａ…第一水平面部、３５ｂ…第一水平面部、３６ａ…第二垂直面部、３６ｂ…第二垂直面部、３７…第二の段差部、３７ａ…垂直面部、３７ｂ…底面部、Ａ…角部、Ｂ…角部。

Claims (3)

1. ペリクル枠体の一縁面にペリクル膜が展張されたペリクルを載置するトレイと、該トレイの上部から被せる蓋と、を有するペリクル収納容器であって、
   該トレイは、トレイ中央底面と、該トレイ中央底面から上部側に隆起してペリクルを載置する略角環状の載置台と、該載置台の外周縁から水平方向に延びる外延部と、を有し、
   該載置台は、該トレイ中央底面側と、該外延部側とに、それぞれに緩衝部を有し、
   該トレイ中央底面側の該緩衝部のうち、該載置台の角部付近に形成された該緩衝部の面積が、該トレイ中央底面方向に広がることによって、相対的に大きくなっていることを特徴とする、ペリクル収納容器。
2. 該トレイ中央底面側の該緩衝部は、該トレイ中央底面及び該載置台とは異なる高さ位置で２以上の段差に分ける段差部であり、
   該外延部側の該緩衝部は、該載置台及び該外延部とは異なる高さ位置で２以上の段差に分ける段差部であることを特徴とする、請求項１に記載のペリクル収納容器。
3. 該トレイ中央底面と該載置台の間の該緩衝部であって、該載置台の角部付近に形成された該緩衝部は、該トレイ中央底面から該ペリクル枠体の該載置台方向に立ち上がるとともに該トレイ外形の対角線を横切る垂直面を有することを特徴とする、請求項１又は２に記載のペリクル収納容器。
   

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