JP4908938B2 - ペリクル収納容器およびペリクル収納容器用の挟持部材 - Google Patents
ペリクル収納容器およびペリクル収納容器用の挟持部材 Download PDFInfo
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Description
図1は、本発明の第一の実施の形態に係るペリクル収納容器の分解斜視図である。また、図2は、図1に示すペリクル収納容器に挟持部材を装着した状態を示す斜視図である。
次に、本発明に係るペリクル収納容器の第二の実施の形態について説明する。なお、この実施の形態において、前述の実施の形態と共通する部分については、同じ符号を付し、その部分の説明を省略する。
次に、本発明に係るペリクル収納容器の第三の実施の形態について説明する。なお、この実施の形態において、前述の実施の形態と共通する部分については、同じ符号を付し、その部分の説明を省略する。
次に、本発明に係るペリクル収納容器の第四の実施の形態について説明する。なお、この実施の形態において、前述の実施の形態と共通する部分については、同じ符号を付し、その部分の説明を省略する。
次に、本発明に係るペリクル収納容器の第五の実施の形態について説明する。なお、この実施の形態において、前述の実施の形態と共通する部分については、同じ符号を付し、その部分の説明を省略する。
次に、本発明に係るペリクル収納容器の第六の実施の形態について説明する。なお、この実施の形態において、前述の実施の形態と共通する部分については、同じ符号を付し、その部分の説明を省略する。
2 カバー
3 トレイ
4 挟持部材
5 ペリクル
6 ペリクル膜
7 支持枠
8 粘着材
20 カバー天面
21 側面
22 水平面
23 側面
24 水平面
25 垂直面
26 水平面
30 トレイ底面
31 斜面
32 水平面
33 垂直面
34 水平面
41 第一押圧部
42 第二押圧部
43 連接部
44 板状体
45 板状体
46 板状体
47 凸部
48 凸部
49 凸部
50 下面
51 水平面
52 斜面
53 上面
54a 曲面
54b 曲面
55a 斜面
55b 斜面
60 突出部
61 曲面部
62 平面部
70 突出部
71 曲面部
72 平面部
Claims (6)
- ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とからなるペリクルを輸送するためのペリクル収納容器であって、
トレイと
その蓋となるカバーと、
上記トレイと上記カバーを挟持する挟持部材と、
を備え、
上記挟持部材は、
上記カバーと上記トレイとを挟持した状態において、上記カバーに接して上記カバーを上記トレイ側に押しつける第一押圧部と、
上記カバーと上記トレイとを挟持した状態において、上記トレイに接して上記トレイを上記カバー側に押しつける第二押圧部と、
上記第一押圧部と上記第二押圧部とを連接する連接部と、
を有し、
上記連接部における上記ペリクル収納容器の辺長方向の開放端部の厚さは、2つの上記開放端部の間の厚さよりも大きいことを特徴とするペリクル収納容器。 - 前記開放端部において、前記第一押圧部若しくは前記第二押圧部と前記連接部との接合部分を、その接合部分以外の部分より厚くしていることを特徴とする請求項1に記載のペリクル収納容器。
- ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とからなるペリクルを輸送するためのペリクル収納容器であって、
トレイと
その蓋となるカバーと、
上記トレイと上記カバーを挟持する挟持部材と、
を備え、
上記挟持部材は、
上記カバーと上記トレイとを挟持した状態において、上記カバーに接して上記カバーを上記トレイ側に押しつける第一押圧部と、
上記カバーと上記トレイとを挟持した状態において、上記トレイに接して上記トレイを上記カバー側に押しつける第二押圧部と、
上記第一押圧部と上記第二押圧部とを連接する連接部と、
を有し、
上記第一押圧部または上記第二押圧部の少なくともいずれか一方の押圧部における上記ペリクル収納容器の辺長方向の開放端部の厚さは、2つの上記開放端部の間の厚さよりも大きいことを特徴とするペリクル収納容器。 - ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とからなるペリクルを輸送するためのペリクル収納容器のトレイとその蓋となるカバーとを挟持するペリクル収納容器用の挟持部材であって、
上記カバーと上記トレイとを挟持した状態において、上記カバーに接して上記カバーを上記トレイ側に押しつける第一押圧部と、
上記カバーと上記トレイとを挟持した状態において、上記トレイに接して上記トレイを上記カバー側に押しつける第二押圧部と、
上記第一押圧部と上記第二押圧部とを連接する連接部と、
を有し、
上記連接部における上記ペリクル収納容器の辺長方向の開放端部の厚さは、2つの上記開放端部の間の厚さよりも大きいことを特徴とするペリクル収納容器用の挟持部材。 - 前記開放端部において、前記第一押圧部若しくは前記第二押圧部と前記連接部との接合部分を、その接合部分以外の部分より厚くしていることを特徴とする請求項4に記載のペリクル収納容器用の挟持部材。
- ペリクル膜と当該ペリクル膜を支持する支持枠とからなるペリクルを輸送するためのペリクル収納容器のトレイとその蓋となるカバーとを挟持するペリクル収納容器用の挟持部材であって、
上記カバーと上記トレイとを挟持した状態において、上記カバーに接して上記カバーを上記トレイ側に押しつける第一押圧部と、
上記カバーと上記トレイとを挟持した状態において、上記トレイに接して上記トレイを上記カバー側に押しつける第二押圧部と、
上記第一押圧部と上記第二押圧部とを連接する連接部と、
を有し、
上記第一押圧部または上記第二押圧部の少なくともいずれか一方の押圧部における上記ペリクル収納容器の辺長方向の開放端部の厚さを、2つの上記開放端部の間の厚さよりも大きくしていることを特徴とするペリクル収納容器用の挟持部材。
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JP2007333950A JP2007333950A (ja) | 2007-12-27 |
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