KR101131688B1 - 펠리클용 수납 용기 - Google Patents

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와타루 키쿠치
토시츠구 야지마
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신에츠 폴리머 가부시키가이샤
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Abstract

마모 가루를 저감할 수 있는 펠리클용 수납 용기를 제공한다.
펠리클막(6)과 당해 펠리클막(6)을 지지하는 지지 프레임(7)으로 이루어지는 펠리클(5)을 수송하기 위한 펠리클용 수납 용기(1)로서, 트레이(3)와 그 덮개가 되는 커버(2)와, 트레이(3)와 커버(2)의 외측 또는 내측에 있어서, 트레이(3)와 커버(2)의 간극을 막는 폐색 부재(4)을 구비하고, 폐색 부재(4)에 있어서의 적어도 상기 트레이 또는 상기 커버에 접하는 접촉부가 우레탄 엘라스토머로 이루어지는 펠리클용 수납 용기(1)로 하고 있다.
마모 가루, 펠리클, 수납 용기, 폐색 부재, 우레탄 엘라스토머

Description

펠리클용 수납 용기{PELLICLE STORING CONTAINER}
본 발명은 펠리클막과 펠리클막을 지지하는 지지 프레임(frame)으로 이루어지는 펠리클(pellicle)을 수송하기 위한 펠리클용 수납 용기에 관한 것이다.
반도체 회로 패턴(pattern)의 제조 공정의 일부인 리소그래피(lithography) 공정에서 사용되는 포토마스크(photomask) 상에 이물질이 부착되면, 그 이물질의 패턴이 전사되어 반도체 칩(chip)의 많은 것을 불량품으로 해 버릴 위험성이 있다. 이 때문에, 종래부터 포토마스크의 방진(防塵)을 목적으로 펠리클이 이용되고 있다.
펠리클은 일반적으로, 니트로셀룰로스(nitrocellulose) 등의 투명한 고분자막으로 이루어지는 두께 약 10미크론(micron) 정도의 펠리클막과, 그것을 일방의 주단면(周端面)에서 지지하는 두께 수mm 정도의 지지 프레임으로 구성되어 있다. 지지 프레임에 있어서의 펠리클막과 반대측의 주단면에는 포토마스크에 지지 프레임을 고정하기 위한 박리 시트(sheet) 부착의 점착재가 구비되어 있다. 점착재는 펠리클을 포토마스크 상에 배치했을 때에 포토마스크와 지지 프레임의 사이에 간극이 생기지 않도록, 균일한 두께를 가지고 설치되어 있다.
포토마스크에 지지 프레임을 고정할 때에는, 포토마스크의 상방에 펠리클막 이 배치되도록 펠리클을 세팅(setting)하고, 박리 시트를 벗겨 점착재를 개재하여 지지 프레임을 포토마스크에 고정하여, 포토마스크 상에 이물질이 들어가는 것을 방지하도록 하고 있다.　
또, 근년 들어, 펠리클은 액정 표시체의 제조 공정에 있어서의 리소그래피 공정에서 사용되는 포토마스크의 방진 수단으로서도 많이 사용되어 오고 있다. 액정 표시체는 실리콘 웨이퍼(silicon wafer)에 비해 큰 면적을 가지기 때문에, 포토마스크도 대형화하고 있다. 이에 수반하여 펠리클막도 대형화해 오고 있고, 1000mm×1000mm 이상의 대형 펠리클막도 많이 사용되고 있다.
일반적으로, 펠리클을 제조원으로부터 사용자에게 수송하는데는, 수지제의 펠리클용 수납 용기가 이용된다. 펠리클용 수납 용기는 주로, 펠리클을 올려놓는 트레이(tray)와, 그 트레이 위로부터 씌우는 덮개로 구성된다. 트레이와 덮개를 고정하는 방법으로서는 예를 들면, 양자의 외주부를 서로 밀착하는 방향으로 끼워 붙이는 고정 부품(클립(clip))으로 고정하는 방법이 알려져 있다(특허문헌 1을 참조).
특허문헌 1: 일본 특허공개 1995－142562호 공보(단락번호 0015, 도 1 등)
<발명이 해결하고자 하는 과제>
종래부터 사용되는 클립은 폴리프로필렌(polypropylene)제 혹은 폴리에틸렌(polyethylene)제의 것이고, 트레이와 덮개를 끼워 붙이는 보유력, 클립 자신의 강도의 점에서 뛰어난 특성을 가지고 있다. 그러나, 폴리프로필렌제 혹은 폴리에틸렌제의 클립을 사용하는 경우, 트레이와 덮개의 분리 및 끼워맞춤시에 트레이 및 덮개와 서로 스치고, 트레이 및 덮개의 마찰에 의해 마모 가루가 생성되는 것도 염려된다. 이 때문에, 이러한 마모 가루를 보다 줄이기 위한 펠리클용 수납 용기가 요구되고 있었다.
본 발명은 상기 과제를 감안하여, 트레이 및 덮개와 클립의 마찰에 의해 생성되는 마모 가루를 저감할 수 있는 펠리클용 수납 용기의 제공을 목적으로 한다.
<과제를 해결하기 위한 수단>
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 펠리클막과 당해 펠리클막을 지지하는 지지 프레임으로 이루어지는 펠리클을 수송하기 위한 펠리클용 수납 용기로서, 트레이와 그 덮개가 되는 커버(cover)와, 트레이와 커버의 외측 또는 내측에 있어서 트레이와 커버의 간극을 막는 폐색 부재를 구비하고, 그 폐색 부재에 있어서의 적어도 트레이 또는 커버에 접하는 접촉부가 우레탄 엘라스토머(urethane elastomer)로 이루어지는 펠리클용 수납 용기로 하고 있다. 이 때문에, 트레이 및 커버와 폐색 부재의 사이의 마찰에 의해 생성되는 마모 가루를 저감할 수 있다.　
또, 다른 본 발명은 폐색 부재를, 트레이와 커버의 내측에 배치되고, 트레이 및 커버의 각 대향면의 적어도 어느 일방의 면에 구비되는 우레탄 엘라스토머제의 씰(seal) 부재로 한 펠리클용 수납 용기로 하고 있다. 이와 같이, 트레이와 커버의 간극에 우레탄 엘라스토머제의 씰 부재가 끼여 있으므로, 마모 가루를 저감할 수 있고, 또한 당해 간극으로부터 이물질이 들어오는 위험성도 저감할 수 있다.　
또, 다른 본 발명은 트레이와 커버를 끼워서 고정하는 클립을 더 구비한 펠리클용 수납 용기로 하고 있다. 이 때문에, 폐색 부재가 트레이와 커버 사이에서 강고하게 끼이는 역할을 하지 않는 경우라도, 클립을 이용함으로써 트레이와 커버에 둘러싸인 공간 내에 외부로부터 이물질이 들어가는 위험성을 저감할 수 있다. 한편, 폐색 부재가 트레이와 커버 사이에서 강고하게 끼이는 역할을 하는 경우에는 보다 확실히 이물질의 침입을 저감할 수 있다.
또, 다른 본 발명은 우레탄 엘라스토머가, 주된 폴리올(polyol)로서 폴리에테르폴리올(polyether polyol)을 사용하여 제조된 펠리클용 수납 용기로 하고 있다. 이 때문에, 폐색 부재의 일부 또는 전부가 공기 중의 수분에 의해 가수분해될 가능성을 낮게 할 수가 있어, 펠리클용 수납 용기를 장기에 걸쳐 사용할 수 있다.
또, 다른 본 발명은 펠리클막과 당해 펠리클막을 지지하는 지지 프레임으로 이루어지는 펠리클을 수송하기 위한 펠리클용 수납 용기로서, 트레이와, 그 덮개가 되는 커버와, 트레이와 커버를 끼워서 고정하는 클립을 구비하고, 클립을 우레탄 엘라스토머로 이루어지는 것으로 한 펠리클용 수납 용기로 하고 있다. 이 때문에, 트레이 및 커버와 클립의 사이의 마찰에 의해 생성되는 마모 가루를 저감할 수 있다.　
또, 다른 본 발명은 앞의 각 발명에 있어서의 클립을, 그 쇼어(Shore) 경도가 A80 이상의 우레탄 엘라스토머로 이루어지는 것으로 한 펠리클용 수납 용기로 하도록 하고 있다. 이 때문에, 클립의 강도가 보다 높아져 끼우는 힘을 보다 장기간 보유할 수 있다. 경도의 조정은 폴리올과 사슬 연장제의 비율을 변화시키는 것으로 행한다.
또, 다른 본 발명은 앞의 각 발명에 있어서의 클립을, 주된 폴리올로서 폴리에테르폴리올을 사용하여 제조되는 우레탄 엘라스토머로 이루어지는 것으로 한 펠리클용 수납 용기로 하도록 하고 있다. 이 때문에, 보다 장기간 보유력을 유지 가능한 클립으로 할 수가 있다. 폴리에테르폴리올을 주로 이용하여 제조되는 엘라스토머(elastomer)는, 폴리에스테르(polyester)를 주로 이용하여 제조되는 엘라스토머에 비해 가수분해되기 어렵다. 이것은 에스테르 결합이 가수분해되기 쉽기 때문이다. 따라서, 클립이 공기 중의 수분에 의해 가수분해될 가능성을 낮게 할 수가 있어, 펠리클용 수납 용기를 장기에 걸쳐 사용할 수 있다.　
본 발명에 관계되는 펠리클용 수납 용기를 구성하는 트레이와 커버의 간극을 막는 폐색 부재(클립, 씰 부재를 포함하는 광의의 부재)는 우레탄(urethane) 결합을 가지는 고무상 탄성체인 우레탄 엘라스토머로 이루어진다. 우레탄 엘라스토머는 폴리올(통상, 폴리에테르 또는 폴리에스테르)과 이소시아네이트(isocyanate)(R－N=C=O)를 반응시켜 제조되는 우레탄 결합(－NH－CO－O－)을 가지는 엘라스토머이다. 우레탄 엘라스토머의 화학식은 일반적으로 －(O－R＇－OCO－NH－R－NHCO)n－으로 표시된다. 이 화학식 중 R＇은 통상 폴리에테르 또는 폴리에스테르이다.
폴리올로서 폴리에테르폴리올 등의 폴리에테르를 이용하여 제조되는 우레탄 엘라스토머는 폴리에테르계 우레탄 엘라스토머라고 하고, 폴리올로서 폴리에스테르폴리올(polyester polyol) 등의 폴리에스테르를 이용하여 제조되는 우레탄 엘라스토머는 폴리에스테르계 우레탄 엘라스토머라고 한다. 다만, 폴리에테르 및 폴리에스테르 이외의 폴리올로서 히드록시 말단 폴리부타디엔(polybutadiene) 및 부분적/완전히 수소 첨가한 유도체, 폴리카프로락톤폴리올(polycaprolactone polyol), 폴리카보네이트폴리올(polycarbonate polyol) 등을 이용하여 제조되는 우레탄 엘라스토머도, 본 발명에 관계되는 펠리클용 수납 용기에 이용되는 폐색 부재의 재료로서 이용할 수가 있다.
본 발명에 관계되는 펠리클용 수납 용기를 구성하는 트레이 및 커버의 재료로는, 아크릴로니트릴(acrylonitrile)?부타디엔(butadiene)?스티렌(styrene) 수지(아크릴로니트릴, 부타디엔 및 스티렌의 3종류의 단량체로 이루어지는 공중합체이고, 이후 「ABS 수지」라고 한다) 외에, 폴리에틸렌테레프탈레이트(polyethylene terephthalate) 수지 등의 폴리에스테르 수지, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌 등의 폴리올레핀(polyolefin) 수지, 폴리스티렌(polystyrene) 수지 등을 이용할 수가 있고, 특히 ABS 수지를 이용하는 것이 보다 바람직하다. 다만, 상술의 수지는 일례에 지나지 않고, 다른 수지 재료를 채용해도 좋다.
우레탄 엘라스토머는 OH기를 말단에 가지는 폴리올 혹은 사슬 연장제와, NCO기를 가지는 디이소시아네이트를 중합함으로써 제조되고, 폴리올과 디이소시아네이트(OCN－R－NCO)의 중합에 의해 형성되는 소프트 세그먼트(soft segment)(－O～O－CO－NH－R－NH－CO－)n와, 사슬 연장제(HO－(CH2)n－OH)와 디이소시아네이트(OCN－R－NCO)의 중합에 의해 형성되는 하드 세그먼트(hard segment)(－O－(CH2)n－O－CO－NH－R－NH－CO－)n로 구성되어 있다. 일반적으로, 폴리머(polymer) 사슬은 유사한 구조가 모이기 쉬운 성질을 가지기 때문에, 상기 2종류의 세그먼트(segment)는 각각 집합한 상태에서 존재한다.
폐색 부재를 포함한 펠리클용 수납 용기는 펠리클에의 먼지, 미립자 등의 부착을 방지하기 위하여 순수로 세정된다. 이때, 폐색 부재의 재료에 에스테르 결합이 포함되어 있지 않을수록 가수분해되기 어렵게 되어, 장기간의 사용에 견딘다. 또한, 폴리에테르폴리올을 주로 이용하여 제조되는 우레탄 엘라스토머는 상술의 폴리에테르계 우레탄 엘라스토머에 한정되지 않고, 폴리에테르폴리올이 주라면, 폴리에스테르폴리올을 포함하여 제조된 우레탄 엘라스토머도 포함하도록 광의로 해석된다. 본 발명에 관계되는 펠리클용 수납 용기는 바람직하게는 진공 성형으로 제조된다. 여기서, 「진공 성형」이란 연화 상태의 수지를 금형에 배치하여, 그 수지와 금형의 사이의 공간을 진공으로 함으로써, 수지를 금형에 빨아 붙여 성형하는 방법을 말하고, 금형에의 수지의 공급 방법은 묻지 않는다. 따라서, 시트 형상의 수지를 금형에 배치하거나 혹은 용융 상태의 수지를 금형에 토출해도 좋다. 진공 성형의 예로서는 자형(雌型)을 이용하는 스트레이트(straight)법, 웅형(雄型)에 의한 드레이프(drape)법, 수지 시트를 반구 형상으로 부풀어 오르게 하여 그 중에 웅형을 넣어 성형하는 에어슬립(air slip)법, 에어슬립법에서 이용되는 웅형 대신에 자형을 이용하는 리버스드로(reverse draw)법, 자형 상에 클램프(clamp)한 수지 시트를 플러그(plug)로 자형에 내려붙이고, 수지 시트를 프리스트레치(prestretch)하여 진공으로 끌어당기는 보조 플러그법 등을 들 수 있지만, 이들에 한정되는 것은 아니다. 또, 진공 성형 이외에, 수지측으로부터 금형 방향으로 가스압을 미치게 하여 성형하는 압공(壓空) 성형, 당해 압공 성형과 진공 성형의 양방을 조합한 압공 진공 성형에 의해 제조할 수도 있다. 또, 진공 성형, 압공 성형, 압공 진공 성형 이외의 성형 방법을 채용해도 좋다.
<발명의 효과>
본 발명에 의하면, 트레이 및 덮개와 폐색 부재의 마찰에 의해 생성되는 마모 가루를 저감할 수 있는 펠리클용 수납 용기가 된다.
도 1은 본 발명의 실시의 형태에 관계되는 펠리클용 수납 용기의 분해 사시도이다.
도 2는 도 1에 나타내는 펠리클용 수납 용기에 클립을 장착하는 상황을 나타내는 사시도이다.
도 3은 도 2에 나타내는 펠리클용 수납 용기에 클립을 장착한 상태에 있어서, A－A선으로 절단했을 때의 단면도이다.
도 4는 도 3에 나타내는 펠리클용 수납 용기에 수납하는 펠리클을, 도 2에 나타내는 A－A선과 마찬가지의 선으로 절단했을 때의 단면도이다.
도 5는 도 3에 나타내는 펠리클용 수납 용기 내에, 도 4에 나타내는 펠리클을 수납한 상태의 단면도이다.
도 6은 도 1～도 5에 나타내는 형태와 다른 형태를 가지는 펠리클용 수납 용기의 일례를 나타내는 도이고, 도 2에 나타내는 A－A선과 마찬가지의 선으로 절단했을 때의 단면도이다.
도 7은 도 6에 나타내는 펠리클용 수납 용기에 이용되는 클립의 확대 사시도이다.
도 8은 본 발명의 제2의 실시의 형태에 관계되는 펠리클용 수납 용기를, 도 2에 나타내는 A－A선과 마찬가지의 선으로 절단했을 때의 단면도이다.
도 9는 도 8에 나타내는 펠리클용 수납 용기에 이용되는 폐색 부재(복합 클립)의 확대 사시도이다.
도 10은 본 발명의 제3의 실시의 형태에 관계되는 펠리클용 수납 용기의 커버의 단부와 트레이의 단부에 폐색 부재(커버 시트(cover sheet))를 덮고, 그 위로부터 클립으로 고정하는 상황을 나타내는 부분 확대 사시도이다.
도 11은 본 발명의 제3의 실시의 형태에 관계되는 펠리클용 수납 용기를, 도 2에 나타내는 A－A선과 마찬가지의 선으로 절단했을 때의 도 10에 나타내는 부분의 단면도이다.
도 12는 본 발명의 제4의 실시의 형태에 관계되는 펠리클용 수납 용기의 커버와 트레이의 접촉면에 폐색 부재(씰 부재)를 배치하여 커버와 트레이의 단부를 클립으로 고정하는 상황을 나타내는 부분 확대 사시도이다.
도 13은 본 발명의 제4의 실시의 형태에 관계되는 펠리클용 수납 용기를, 도 2에 나타내는 A－A선과 마찬가지의 선으로 절단했을 때의 도 12에 나타내는 부분의 단면도이다.
<부호의 설명>
1　　　펠리클(pellicle)용 수납 용기
2　　　커버(cover)
3　　　트레이(tray)
4　　　클립(clip)(폐색 부재의 일례)
5　　　펠리클
6　　　펠리클막
7　　　지지 프레임(frame)
8　　　점착재
20　　 커버 천면(天面)
21　　 측면
22　　 수평면
23　　 측면
24　　 수평면
25　　 수직면
26　　 수평면
30　　 트레이 저면
31　　 사면
32　　 수평면
33　　 수직면
34　　 수평면
50　　 복합 클립(폐색 부재의 일례)
52　　 접촉부
60　　 커버 시트(cover sheet)(폐색 부재의 일례)
61　　 클립
70　　 씰 부재(폐색 부재의 일례)
이하, 본 발명에 관계되는 펠리클용 수납 용기의 바람직한 각 실시의 형태에 대해서, 도면을 참조하면서 상술하지만, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니다.　
(제1의 실시의 형태)
도 1은 본 발명의 제1의 실시의 형태에 관계되는 펠리클용 수납 용기의 분해 사시도이다. 또, 도 2는 도 1에 나타내는 펠리클용 수납 용기에 클립을 장착하는 상태를 나타내는 사시도이다.
도 1 및 도 2에 나타내듯이, 펠리클용 수납 용기(1)는 트레이(3)와 그 덮개인 커버(2)를 구비하고 있다. 커버(2)와 트레이(3)는 서로의 외주부에 있어서 포개어 맞추도록 접합할 수 있는 구조를 가지고 있다. 펠리클을 펠리클용 수납 용기(1) 내에 수납하여 수송할 때에는 커버(2)와 트레이(3)의 양 외주부에, 당해 외주부를 끼워서 고정하기 위한 클립(4)이 장착된다. 본 실시의 형태에서는 커버(2) 및 트레이(3)는 모두 직사각형의 오목 형상체로 하고 있으므로, 클립(4)은 커버(2)와 트레이(3)가 밀착하는 4변에 장착할 수 있도록 4개 준비된다. 다만, 4변에 각 1개의 클립(4)을 장착하지 않고, 각 변에 복수의 클립을 장착하거나 각 변마다의 장착 개수를 바꾸거나, 일부의 변에 클립을 장착하지 않아도 좋다.
클립(4)은 커버(2)와 트레이(3)의 양 외주부를 끼우는 부분이 움푹 들어가는 오목 형상을 가지고 있다. 클립(4)은 폴리에테르폴리올 및 사슬 연장제와, 디이소시아네이트(diisocyanate)를 중합시켜 제조한 우레탄 엘라스토머의 성형체이다. 클립(4)의 재료를 우레탄 엘라스토머로 함으로써, 클립(4)과 ABS 수지제의 트레이(3) 및 커버(2)의 착탈을 반복해도 마모 가루 등이 발생하기 어렵다. 따라서, 펠리클용 수납 용기(1) 내에의 마모 가루의 혼입의 위험성이 거의 없고, 따라서 펠리클의 오염의 위험성이 낮아진다.
또한, 커버(2)와 트레이(3)를 우레탄 엘라스토머 혹은 그보다 저경도의 재료로 제조하는 것은 이론적으로는 가능하다. 그러나, 펠리클용 수납 용기의 재료는 우레탄 엘라스토머의 경도 이상의 경도를 가지는 재료가 아니면 실용에 견디지 못한다. 따라서, 클립(4)은 항상 커버(2) 및 트레이(3)보다도 저경도의 재료로 된다. 이 결과, 커버(2) 및 트레이(3)가 클립(4)의 마찰에 의해 깎일 위험성은 거의 없게 된다.
또, 우레탄 엘라스토머는 그보다 높은 경도를 가지는 커버(2) 및 트레이(3)의 사이에서 마찰이 생겨도 깎이기 어렵다. 따라서, 펠리클용 수납 용기(1) 내에의 클립(4)의 마모 가루의 혼입의 위험성이 거의 없고, 따라서 펠리클의 오염의 위험성이 낮아진다.
우레탄 엘라스토머의 내마모성을 조사하기 위해서, 우레탄 엘라스토머, 올레핀(olefin)계 엘라스토머, 연질 염화비닐 및 천연 고무의 4종 재료의 테이버식 H18 마찰륜(Taber Type H18 abrasive wheels)을 사용한 마모 시험을 하였다. 그 결과, 상기 재료의 각 마모 감량은 각각 30～60mg, 약 340mg, 약 485mg 및 280mg이었다. 이 결과로부터, 우레탄 엘라스토머가 극히 내마모성이 뛰어난 재료인 것을 알 수 있었다.
제1의 실시의 형태에 관계되는 펠리클용 수납 용기(1)에 사용하는 클립(4)의 원료인 폴리에테르폴리올은 동일 원료로 되는 사슬 연장제보다도 중량 비율이 높다. 폴리에테르폴리올과 사슬 연장제의 중량 비율을 조정함으로써, 우레탄 엘라스토머의 쇼어 경도를 변화시킬 수가 있다. 폴리에테르폴리올의 중량 비율을 높게 할수록, 우레탄 엘라스토머 중의 소프트 세그먼트의 비율이 높아지고, 쇼어 경도도 낮아진다.　
제1의 실시의 형태에서는 클립(4)의 쇼어 경도는 약 A90이다. 다만, 쇼어 경도는 A90에 한정되는 것은 아니다. 쇼어 경도를 A80 이상으로 하면, 클립(4)의 강도가 보다 높아져 끼우는 힘을 보다 장기간 보유할 수 있다.
커버(2) 및 트레이(3)는 원판의 두께가 약 3mm인 ABS 수지를 원료로 하고, 진공 성형용 금형을 이용한 진공 성형법에 의해 제조된다. 다만, ABS 수지 이외의 수지를 이용해도 좋다. 또한, 원판의 두께는 3mm에 한정되지 않고, 3mm보다 얇은 혹은 3mm를 초과하는 판 형상의 수지를 성형해도 좋다. 즉, 펠리클용 수납 용기(1)의 크기는 특히 한정되지 않는다.
도 3은 도 2에 나타내는 펠리클용 수납 용기(1)로 클립(4)을 장착한 상태에 있어서, A－A선으로 절단했을 때의 단면도이다.　
커버(2)는 트레이(3)와 대향하는 측에 개구부를 가지는 오목 형상체이다. 커 버(2)는 평면 형상의 커버 천면(天面)(20)과, 당해 커버 천면(20)으로부터 개구 방향으로 퍼지도록 통 형상으로 형성되는 측면(21)과, 당해 측면(21)으로부터 수평으로 바깥 방향으로 뻗어나가는 수평면(22)과, 당해 수평면(22)으로부터 개구 방향으로 퍼지도록 통 형상으로 형성되는 측면(23)과, 당해 측면(23)으로부터 수평으로 바깥 방향으로 뻗어나가는 수평면(24)과, 당해 수평면(24)으로부터 대략 수직 상향으로 뻗어있는 수직면(25)과, 당해 수직면(25)으로부터 수평으로 바깥 방향으로 뻗어나가는 수평면(26)을 구비하고 있다.
한편, 트레이(3)는 커버(2)와 대향하는 측에, 언덕을 형성함과 아울러 개구부를 가지는 오목 형상체이다. 트레이(3)는 측면(21)의 개구 면적보다도 큰 평면 형상의 트레이 저면(30)과, 당해 트레이 저면(30)으로부터 그 주위에 커버(2)와 반대측으로 하방 경사시킨 사면(31)과, 당해 사면(31)으로부터 수평으로 바깥 방향으로 뻗어나가는 수평면(32)과, 당해 수평면(32)로부터 대략 수직 상향으로 뻗어있는 수직면(33)과, 당해 수직면(33)으로부터 수평으로 바깥 방향으로 뻗어나가는 수평면(34)을 구비하고 있다.
커버(2)의 수평면(22)과 트레이 저면(30)은 상하 방향으로 대향하는 중복 부분을 가지고 있고, 이 부분에서, 후술하는 펠리클의 지지 프레임이 끼인다. 또, 커버(2)의 수평면(24), 수직면(25) 및 수평면(26)으로 구성되는 크랭크(crank) 형상 부분은 트레이(3)의 수평면(32), 수직면(33) 및 수평면(34)으로 구성되는 크랭크 형상 부분과 거의 동일 형상이고, 커버(2)측의 크랭크 형상 부분의 하면이 트레이(3)측의 크랭크 형상 부분의 표면과 밀착 가능하게 되어 있다. 커버(2)의 수평 면(26)과 트레이(3)의 수평면(34)은 상술의 클립(4)으로 끼워져 고정된다.
도 4는 도 3에 나타내는 펠리클용 수납 용기(1)에 수납하는 펠리클(5)을 도 2에 나타내는 A－A선으로 절단했을 때의 단면도이다.
펠리클(5)은 니트로셀룰로스 등의 재질로 이루어지는 두께 10미크론 이하의 펠리클막(6)을, 4각 프레임 형상의 지지 프레임(7)의 일방의 단면(도 4에 있어서의 상면)에 펴서 붙인 구성을 가지고 있다. 지지 프레임(7)의 높이는 약 5mm이다. 다만, 펠리클막(5)의 재질 및 두께 및 지지 프레임(7)의 높이는 상기에 한정되는 것은 아니다.
도 4에 있어서의 X로 표시되는 부분의 확대도에 나타내듯이, 지지 프레임(7)에 있어서의 펠리클막(6)과 반대측의 주단면(周端面)(저면)에는 점착재(8)가 구비되어 있다. 점착재(8)의 표면에는 통상, 얇은 박리 시트(도시하지 않음)가 붙여져 있다. 펠리클(5)을 사용하는 경우에는 당해 박리 시트를 점착재(8)로부터 벗겨, 점착력을 발휘할 수 있는 상태에서, 지지 프레임(7)을 포토마스크에 붙여 고정한다.
도 5는 도 3에 나타내는 펠리클용 수납 용기(1) 내에, 도 4에 나타내는 펠리클(5)을 수납한 상태를 나타내는 도이다.
펠리클(5)은 그 지지 프레임(7)의 저면을 트레이 저면(30)에 올려놓고, 지지 프레임(7)의 상면을 커버(2)의 수평면(22)에 접촉시킨 상태에서, 펠리클용 수납 용기(1) 내에 수납된다. 이와 같이, 지지 프레임(7)의 높이 방향을 커버(2)와 트레이(3)로 끼운 상태에서 수송되므로, 펠리클(5)이 펠리클용 수납 용기(1) 내에서 움직일 위험성은 낮아진다.　
또, 상술의 클립(4) 이외의 형태를 가지는 클립을 채용할 수도 있다. 예를 들면, 커버(2)의 수직면(25)과 트레이(3)의 수직면(33)을 끼우는 클립, 커버(2)의 수평면(24)과 트레이(3)의 수평면(32)을 끼우는 클립, 커버(2)의 수평면(26)과 트레이(3)의 수평면(32)을 끼우는 클립, 혹은 커버 천면(天面)(20)과 트레이 저면(30)을 끼우는 클립을 채용해도 좋다.
또, 직선 형상의 4개의 클립(4)을 채용하는 이외에, 1개의 직선 형상의 클립(4)과 3개의 직선 형상의 클립(4)을 일체화한 클립을 채용해도 좋다. 또한, 커버(2)와 트레이(3)를 접합한 상태에 있어서, 서로의 4개의 각부(角部)만을 끼우는 클립을 채용해도 좋다. 이와 같이, 클립은 커버(2)와 트레이(3)를 밀착시키는 방향으로 고정시키는 부재이면, 그 개수 및 형상은 묻지 않는다.
도 6은 도 1～도 5에 나타내는 형태와 다른 형태를 가지는 펠리클용 수납 용기(1)의 일례를 나타내는 도이다.
또한, 도 6은 도 2에 나타내는 A－A선과 마찬가지의 선으로 절단했을 때의 단면도를 나타내고 있다. 도 6에서는, 클립(4)은 보기 쉽게 하기 위해 희게 나타내고 있다. 또, 도 7은 도 6에 나타내는 펠리클용 수납 용기(1)에 이용되는 클립(4)의 확대 사시도이다.
도 6에 나타내는 펠리클용 수납 용기(1)는 도 1～도 5에 나타내는 펠리클용 수납 용기(1)와 달리, 커버(2)의 수직면(25)으로부터 트레이(3)의 수평면(32)까지를 덮도록 접하여, 커버(2)와 트레이(3)를 끼우는 클립(4)을 구비하고 있다. 또, 도 7에 나타내듯이, 클립(4)은 도 2에 나타낸 클립(4)과 달리, 커버(2)와 트레 이(3)의 각 변에 대해 소정 간격 띄어서 복수 개소에서 끼우는 비교적 짧은 길이를 가지고 있다.
도 7에 나타내는 클립(4)은 평판(41)과, 평판(41)으로부터 조금 굽힌 평판(42)과, 평판(42)으로부터 평판(42)을 굽힌 방향과 동일 방향으로 대략 직각으로 굽힌 평판(43)을 구비하고, 평판(41)과 평판(42)의 곡부에 그 내측으로 돌출하는 볼록부(44)를, 또 평판(43)의 선단에 평판(42)과 대략 평행으로 되는 방향으로 돌출하는 볼록부(45)를, 각각 가지고 있다. 또, 평판(41)의 내측(볼록부(44)가 있는 측)에는 평판(41)과 대략 수직으로 뻗어있는 평판(46)이 구비되어 있다. 평판(46)에는 평판(41)과 평행보다 약간 내측을 향해 뻗어있는 평판(47)이 구비되어 있다. 평판(47)은 평판(41)과 거의 동일 길이이고, 그 선단에 볼록부(44)와 대향하도록 볼록부(48)를 가지고 있다.
이러한 형태의 클립(4)을 이용하여 커버(2)와 트레이(3)를 끼우는데는, 평판(47)과 평판(41)의 사이를 벌리고, 또한 평판(42)을 평판(41)과 일직선으로 되는 방향으로 벌려, 커버(2)와 트레이(3)의 단부에 씌운다. 그 후, 클립(4)은 그 복원력으로 원래의 형상으로 거의 돌아온다. 클립(4)은 커버(2) 및 트레이(3)보다 탄성이 많은 재질로 이루어지기 때문에, 커버(2) 및 트레이(3)를 맞춘 부분의 형상을 따라서, 커버(2)와 트레이(3)를 끼운다.
이와 같이, 커버(2)와 트레이(3)를 비교적 넓은 면적에서 끼울 수 있는 클립(4)을 채용하면, 펠리클용 수납 용기(1)의 끼우는 힘을 높일 수가 있다. 또, 클립(4)의 길이는 펠리클용 수납 용기(1)의 각 변을 부분적으로 끼우는 길이로 하고 있으므로, 클립(4)의 소형화를 도모할 수가 있다.　
(제2의 실시의 형태)
다음에, 본 발명에 관계되는 펠리클용 수납 용기의 제2의 실시의 형태에 대해서 설명한다.
도 8은 제2의 실시의 형태에 관계되는 펠리클용 수납 용기(1)를, 도 2에 나타내는 A－A선과 마찬가지의 선으로 절단했을 때의 단면도를 나타내고 있다. 또, 도 9는 도 8에 나타내는 펠리클용 수납 용기(1)에 이용되는 폐색 부재의 일례인 복합 클립(clip)(50)의 확대 사시도이다.
도 8 및 도 9에 나타내는 복합 클립(50)은 도 6 및 도 7에 나타내는 클립(4)과 동일 형상을 가진다. 그러나, 복합 클립(50)과 클립(4)은 다음의 점에서 차이가 난다. 클립(4)은 우레탄 엘라스토머만으로 구성되어 있다. 이에 반해, 복합 클립(50)은 금속 혹은 수지와 우레탄 엘라스토머로 구성되어 있다. 구체적으로는, 복합 클립(50)의 골격 부분인 본체(51)는 금속 혹은 수지로 구성되고, 커버(2) 및 트레이(3)에 접촉하여 누르고 있는 접촉부(52)는 우레탄 엘라스토머로 구성되어 있다.
복합 클립(50)은 상기 형태 이외에, 본체(51)의 내면 전체에 우레탄 엘라스토머제의 시트를 붙이고, 그 시트와 커버(2) 및 트레이(3)의 접촉 부분만을 돌출시켜도 좋다. 본체(51)와 접촉부(52)의 접합은 접착, 용착, 끼워넣기 등의 어느 방법으로 행해도 좋다.　
복합 클립(50)은 커버(2) 및 트레이(3)를 누르는 접촉 부분에만 우레탄 엘라 스토머로 이루어지는 접촉부(52)를 채용하고 있다. 이러한 형태라도, 제1의 실시의 형태에 관계되는 펠리클용 수납 용기(1)와 같이, 마모 가루의 발생을 저감할 수 있다. 또한, 본체(51)를 금속제 혹은 수지제로 함으로써, 복합 클립(50)의 끼우는 힘을 보다 높이는 것도 가능하다.
(제3의 실시의 형태)
다음에, 본 발명에 관계되는 펠리클용 수납 용기의 제3의 실시의 형태에 대해서 설명한다.
도 10은 펠리클용 수납 용기(1)의 커버(2)의 단부와 트레이(3)의 단부에, 폐색 부재의 일례인 커버 시트(60)을 덮고, 그 위로부터 클립(61)으로 고정하는 상황을 나타내는 부분 확대 사시도이다. 도 11은 제3의 실시의 형태에 관계되는 펠리클용 수납 용기(1)를, 도 2에 나타내는 A－A선과 마찬가지의 선으로 절단했을 때의, 도 10에 나타내는 부분의 단면도이다. 또한, 도 11에서는 보기 쉬움을 고려하여, 커버 시트(60)를 희게 나타내고 있다.
제3의 실시의 형태에 관계되는 펠리클용 수납 용기(1)는 커버(2)와 트레이(3)의 단부를 우레탄 엘라스토머제의 커버 시트(60)로 덮고, 그 외측으로부터 클립(61)을 장착하는 구조를 채용하고 있다. 이와 같이, 커버(2) 및 트레이(3)와 직접 접촉하는 부분에 우레탄 엘라스토머제의 커버 시트(60)를 사용하고 있기 때문에, 마모 가루의 발생을 저감하는 효과가 얻어진다. 또한, 클립(61)을 금속제 혹은 수지제로 함으로써, 커버(2)와 트레이(3)를 고정하는 힘을 보다 높이는 것도 가능하다.
(제4의 실시의 형태)
다음에, 본 발명에 관계되는 펠리클용 수납 용기의 제4의 실시의 형태에 대해서 설명한다.
도 12는 펠리클용 수납 용기(1)의 커버(2)와 트레이(3)의 접촉면에 폐색 부재의 일례인 씰 부재(70)를 배치하여, 커버(2)와 트레이(3)의 단부를 클립(4)으로 고정하는 상황을 나타내는 부분 확대 사시도이다. 클립(4)의 구조는 도 7에 나타내는 클립(4)과 동일 구조이다. 도 13은 제4의 실시의 형태에 관계되는 펠리클용 수납 용기(1)를, 도 2에 나타내는 A－A선과 마찬가지의 선으로 절단했을 때의, 도 12에 나타내는 부분의 단면도이다. 또한, 도 13에서는 보기 쉬움을 고려하여, 씰 부재(70)를 희게 나타내고 있다.
도 12 및 도 13에 나타내듯이, 제4의 실시의 형태에 관계되는 펠리클용 수납 용기(1)는 커버(2)와 트레이(3)의 간극에 우레탄 엘라스토머제의 씰 부재(70)를 개재시켜, 씰 부재(70)를 사이에 두도록 커버(2)의 내면과 트레이(3)의 내면을 포개는 구조를 가지고 있다. 이러한 구조의 채용에 의해, 클립(4)을 우레탄 엘라스토머제로 할지 안 할지에 관계없이, 펠리클용 수납 용기(1)의 내부에의 마모 가루의 침입을 방지할 수가 있다. 클립(4)을 금속 혹은 수지로 구성하면, 커버(2)와 트레이(3)를 고정하는 힘을 보다 높이는 것도 가능하다. 또, 고정하는 씰 부재(70)를 트레이(3)에 접착하고, 씰 부재(70)에 있어서의 커버(2)의 접촉면에 요철을 형성함으로써, 커버(2)와 씰 부재(70)의 접촉 면적을 작게 할 수가 있다. 이 결과, 씰 부재(70) 및 커버(2)로부터의 마모 가루를 저감할 수 있다.
또한, 씰 부재(70)를 커버(2)에 접착하고, 씰 부재(70)에 있어서의 트레이(3)의 접촉면에 요철을 형성하도록 해도 좋다. 또, 씰 부재(70)를 커버(2) 또는 트레이(3)에 고정하는 일 없이, 커버(2)와 트레이(3)의 사이에 씰 부재(70)를 끼워, 클립(4)으로 고정하도록 해도 좋다. 또, 씰 부재(70)를 커버(2)와 트레이(3)의 양 수평면에 개재시키는 것이 아니라, 당해 수평면으로부터 상방으로 일어선 부분에 개재시키도록 해도 좋다. 또한, 씰 부재(70)의 표면에 요철을 형성하는 형태는 필수의 형태는 아니다.
본 발명은 펠리클을 수송하기 위한 수납 용기를 제조 혹은 사용하는 산업에 있어서 이용할 수가 있다.

Claims (7)

  1. 펠리클막과 당해 펠리클막을 지지하는 지지 프레임으로 이루어지는 펠리클을 수송하기 위한 펠리클용 수납 용기로서,
    트레이와,
    그 덮개가 되는 커버와,
    상기 트레이와 상기 커버의 외측 또는 내측에 있어서, 상기 트레이와 상기 커버의 간극을 막는 폐색 부재를 구비하고,
    상기 폐색 부재에 있어서의 적어도 상기 트레이 또는 상기 커버에 접하는 접촉부가 우레탄 엘라스토머로 이루어지며,
    상기 우레탄 엘라스토머는 폴리올 및 사슬 연장제와 디이소시아네이트를 중합하여 제조되고, 상기 폴리올과 상기 디이소시아네이트의 중합으로 형성되는 소프트 세그먼트와, 상기 사슬 연장제와 상기 디이소시아네이트의 중합으로 형성되는 하드 세그먼트로 구성되어 있으며, 상기 폴리올과 상기 사슬 연장제의 중량 비율의 조정에 의해 쇼어 경도를 변화시킨 것을 특징으로 하는 펠리클용 수납 용기.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 폐색 부재는 상기 트레이와 상기 커버의 내측에 배치되고, 상기 트레이 및 상기 커버의 각 대향면의 적어도 어느 일방의 면에 구비되는 우레탄 엘라스토머제의 씰 부재인 것을 특징으로 하는 펠리클용 수납 용기.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 트레이와 상기 커버를 끼워서 고정하는 클립을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 펠리클용 수납 용기.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 우레탄 엘라스토머는 주된 폴리올로서 폴리에테르폴리올을 사용하여 제조되는 것인 것을 특징으로 하는 펠리클용 수납 용기.
  5. 펠리클막과 당해 펠리클막을 지지하는 지지 프레임으로 이루어지는 펠리클을 수송하기 위한 펠리클용 수납 용기로서,
    트레이와,
    그 덮개가 되는 커버와,
    상기 트레이와 상기 커버를 끼워서 고정하는 클립을 구비하고,
    상기 클립은 우레탄 엘라스토머로 이루어지며,
    상기 우레탄 엘라스토머는 폴리올 및 사슬 연장제와 디이소시아네이트를 중합하여 제조되고, 상기 폴리올과 상기 디이소시아네이트의 중합으로 형성되는 소프트 세그먼트와, 상기 사슬 연장제와 상기 디이소시아네이트의 중합으로 형성되는 하드 세그먼트로 구성되어 있으며, 상기 폴리올과 상기 사슬 연장제의 중량 비율의 조정에 의해 쇼어 경도를 변화시킨 것을 특징으로 하는 펠리클용 수납 용기.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 클립은 그 쇼어 경도가 A80~A90인 우레탄 엘라스토머로 이루어지는 것을 특징으로 하는 펠리클용 수납 용기.
  7. 제5항 또는 제6항에 있어서,
    상기 클립은 주된 폴리올로서 폴리에테르폴리올을 사용하여 제조되는 우레탄 엘라스토머로 이루어지는 것을 특징으로 하는 펠리클용 수납 용기.
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