WO2006080060A1 - 大型ペリクル収納容器 - Google Patents

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Hozuma Kuriyama
Ichiro Wakimoto
Akira Funato
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Asahi Kasei Emd Corporation
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Definitions

  • the present invention relates to a pellicle storage container used to prevent foreign matter from adhering to a photomask or a reticle used in a lithography process when manufacturing an LSI or a liquid crystal panel. It relates to a storage container.
  • a dust-proof means generally called a pellicle to prevent foreign matter from adhering to a photomask or a reticle (for example, see Patent Document 1).
  • the pellicle is made of nitrocellulose, cellulose derivative, amorphous fluororesin, etc. with a thickness of 10 ⁇ m or less on the upper edge surface of a frame with a thickness of several millimeters that has a shape that matches the shape of the photomask or reticle.
  • a transparent polymer film (hereinafter referred to as a pellicle film) is spread and bonded, and an adhesive is applied to the lower edge of the frame, and a protective film is applied on the adhesive with a predetermined adhesive force. It is a sticky one.
  • the adhesive material is for fixing the pellicle to a photomask or a reticle.
  • the protective film protects the pressure-sensitive adhesive surface of the pressure-sensitive adhesive material in order to maintain the pressure-sensitive adhesive force of the pressure-sensitive adhesive material until the pressure-sensitive adhesive material is used for that purpose.
  • the pellicle is stored in a storage container composed of a tray and a lid. In addition, it is generally stored in a dust-proof bag and transported.
  • FIGS. 7 and 8 Conventionally, storage in a storage container having the above-described structure has been performed as shown in FIGS. That is, in FIGS. 7 and 8, the pellicle film 52 is adhered to one upper edge surface of the frame body 51 in a stretched state, and an appropriate thickness is applied to the other surface (lower edge surface) of the frame body 51.
  • An adhesive 53 is provided, and a protective film (not shown in the drawing) is shelled on the lower surface of the adhesive 53 to form a pellicle. This horre is placed so that a protective film (not shown in the drawing) is in contact with the installation surface 55a which is a flat surface of the tray 55 so as not to deform the adhesive material.
  • the pellicle placed on the installation surface 55a of the tray 55 is constrained to move left and right by a protruding post 55b provided on the tray 55, and is covered with a lid 56 from above. It was stored by fixing the four corners of 56 and tray 55 (Patent Document 1). As a result, the pellicle was in a state of being restrained and enclosed by the slope 56a of the lid 56, the post 55b, and the installation surface 55a. It is also disclosed that the periphery of the tray has a rib structure (Patent Document 2). Further, instead of the clip 57, the entire circumference is sealed with an adhesive tape.
  • the storage container is generally manufactured by injection molding or vacuum molding using a resin material.
  • storage containers for 5-inch or 6-inch semiconductor pellicles are often formed by injection molding, but large-sized pellicle containers with an area of 1000 cm 2 or more are often manufactured by vacuum forming.
  • Injection molding can be molded with higher dimensional accuracy, but it is difficult to produce such a large molded product by injection molding, and vacuum molding is thinner and easier to produce a large integral molded product.
  • the pellicle becomes larger, the storage container becomes larger, and there are concerns about the following problems.
  • the molding distortion of the storage container increases, and the warp amount of the storage container increases. If the amount of warping is large, the shape will be transferred to the mask adhesive material and easily deformed during horizontal storage (with the pellicle in the storage container and stored horizontally).
  • the adhesive material may cause a defective application such as a part of the mask adhesive material sticking to the mask when the mask is applied.
  • the storage container may be distorted depending on how it is held, and the storage container may be laid vertically (pellicle is put in the storage container and the storage container is stood and stored) There is a possibility that the storage container may be distorted. If the storage container is distorted, the distorted shape of the tray may be transferred to the adhesive. If the adhesive material is deformed, there is a possibility that the above-mentioned sticking failure may occur. In addition, when the storage container is distorted, there is a concern that dust may occur due to rubbing between the pellicle and the cover of the storage container depending on the design of the storage container, and foreign matter may adhere to the pellicle. Therefore, it is conceivable to increase the thickness of the container in order to provide rigidity, but it is assumed that the weight increases and handling becomes extremely poor.
  • the storage container for large pellicles with an area of 1000 cm 2 or more will have irregularities on the storage container, which may impair the cleaning and foreign matter adhesion confirmation workability. This is not preferable.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-173887
  • Patent Document 2 JP-A-8-62828
  • an object of the present invention is to provide a storage container that can maintain the original functions of a large pellicle even after being transported and stored.
  • the present inventors have intensively studied and found that the original function of the large pellicle can be maintained after transportation and storage as long as the container has the following structure, and has completed the present invention.
  • a storage container for a large pellicle having an area of 1000 cm 2 or more comprising a tray for storing a pellicle and a lid for covering the tray, the lid and / or the tray having a honeycomb structure
  • a storage container comprising the above.
  • the storage container according to 1 or 2 above having a structure in which a plate-like material having a honeycomb structure is arranged on the outer surface side of the lid and Z or tray.
  • the tray takes a form in which the part on which the large pellicle is placed is coplanar with the other part of the tray or is raised with respect to the other part of the tray, and
  • the material having a honeycomb structure is disposed on the portion to be placed, or is loaded
  • the storage container according to any one of the above 1. 1. and 3. having the above structure.
  • a large pellicle storage structure comprising the storage container according to any one of 1. 1. and 6. and a pellicle stored in the storage container.
  • the present invention it is possible to provide a storage container for a large pellicle that has high rigidity, excellent flatness, and excellent cleaning properties. For this reason, it is possible to prevent a sticking defect to the pellicle mask or reticle without causing the adhesive material of the pellicle to be deformed. In addition, it is possible to prevent the dust from being attached to the pellicle when the storage container is carried or when the pellicle and the large pellicle storage container are rubbed during vertical storage.
  • a reinforcing plate is provided on at least a part of the surface of the lid and / or tray, so that the distortion of the storage container is made into the reinforcing plate. It is imitated and flat. Thereby, since the storage container can be given rigidity, it is possible to prevent the case from being distorted when being carried or stored vertically.
  • the reinforcing plate on the outer surface side of the lid and / or tray (the side not facing the side where the pellicle is placed), the inner side of the storage container lid or tray (the side where the pellicle is placed) Compared to the case of reinforcement, since unevenness does not occur, the cleaning property and the ease of checking the presence / absence of adhesion of foreign matter are not impaired, and a more preferable effect can be obtained.
  • a reinforcing plate is embedded in the lid and / or tray. It is also possible to obtain the same effect as described above.
  • one side of the reinforcing plate may be exposed on the surface of the lid and / or the tray, or the entire reinforcing plate may be embedded.
  • the tray has a force in which the part on which the pellicle is placed is on the same plane as the other part of the tray, or a form in which the part is raised with respect to the other part of the tray.
  • Examples of the reinforcing plate used in the present invention include metal plates such as carbon steel, stainless steel, aluminum alloy, and titanium alloy, polycarbonate, polyacetal, polybutylene terephthalate, modified polyphenylene ether, glass fiber reinforced polyethylene terephthalate, polyphenylene sulfide, poly It is possible to use engineering plastic plates such as etherolimide, polyamideimide, and polyimide. As the shape, a honeycomb structure plate can be used if it is partially punched like punching metal. A honeycomb structure plate is particularly preferable. This is because by using the honeycomb structure plate, it is possible to maintain the flatness of the storage container and improve the rigidity while suppressing the increase in weight due to the use of the reinforcing plate.
  • the cell size of the honeycomb etc. can be selected from the viewpoint of rigidity, flatness, weight etc.
  • a force from 1mm to 100mm is 0.3 mm to 50 mm.
  • the cell height is not particularly limited, but may be selected from 1 mm to 200 mm, for example. It is preferably 3 mm to 100 mm.
  • the thickness of the top plate and the bottom plate is not particularly limited. For example, a force in the range of 0.1 mm to 300 mm may be selected. Preferably 0.2 mm to 20 mm 3 ⁇ 4. .
  • the cell shape is not specified, but it is hexagonal, ⁇ X, flex, bisectate, feather.
  • hexagonal For example, hexagonal.
  • the lid of the storage container and / or the tray itself may be made of the material itself having the above-mentioned honeycomb structure.
  • a plate-shaped material having a honeycomb structure that can be used in the present invention is generally a label that has a honeycomb structure, and may have a honeycomb structure. ,.
  • the top plate and the bottom plate may be opposed to each other with the honeycomb structure portion ((1) in FIG. 1), or the honeycomb structure portion and the top plate only structure (( 2))
  • a structure with only a honeycomb structure and a bottom plate may be used ((3) in Fig. 1). Further, it may be a material consisting only of a honeycomb structure ((4) in FIG. 1).
  • a plate-like material having a honeycomb structure hereinafter, referred to as a two-cam plate
  • a honeycomb plate is arranged on the side where the pellicle is placed.
  • the top plate is not used by arranging the bottom plate and the honeycomb structure portion so that the tray arrangement surface functions as a top plate. The increase in weight and the size of the unevenness can be suppressed.
  • the material of the honeycomb structure portion is not limited.
  • a metal plate such as carbon steel, stainless steel, aluminum alloy, titanium alloy, etc., polycarbonate, polyacetal, polybutylene terephthalate.
  • engineering plastics such as modified polyphenylene ether, glass fiber reinforced polyethylene terephthalate, polyphenylene sulfide, poly (ethylene imide), polyamide imide, and polyimide can be used, but metals are preferable, and aluminum alloys are more preferable.
  • black anodized or blast treatment or both may be performed.
  • FIG. 1 An overall view of the large pellicle storage container of the present invention is shown in FIG.
  • the large pellicle storage container stores the pellicle 1 therein, and includes a tray 2 and a lid 3.
  • the pellicle 1 includes a pellicle film 11, a frame 12 to which the pellicle film 11 is attached, and an adhesive material 13 for attaching the frame to a mask or a reticle.
  • the pellicle 1 is a large pellicle in which the area of the pellicle film 11 exceeds 1000 cm 2 .
  • a raised portion 21 on which the pellicle 1 is placed is formed along the periphery of the tray 2, and the inner side (center side) of the raised portion 21 is a flat portion 22.
  • the tray 2 is manufactured by vacuum forming, and a groove portion 23 is formed on the outer surface side of the raised portion 21.
  • a plurality of ribs 24 that stand in contact with the outer shape of the protective film of the pellicle 1 and restrain lateral movement are provided on the upper portion of the raised portion 21. Since the area of the pellicle to be stored exceeds 1000 cm 2 , the area of the flat surface portion 22 is equivalent to this.
  • the lid 3 is manufactured by vacuum forming like the tray 2, and the pellicle 1 is accommodated by covering the tray 2 as shown in FIG. 2B. After the tray 2 and the lid 3 are put together, the adhesive tape (not shown) is sealed around the edges.
  • the material of the tray 2 and the lid 3 is not particularly specified, but acrylic resin, polyethylene terephthalate resin, acrylic nitrile 'butadiene' styrene resin, or the like may be used.
  • polyester resins other than polyethylene terephthalate, olefin resins such as polyethylene and polypropylene, polystyrene resins such as polystyrene and acrylonitrile styrene resins, and the like can also be used.
  • the peripheral portion since the tray 2 and the lid 3 are generally bent in the vicinity of the outer periphery, the peripheral portion has a certain degree of rigidity.
  • the flat portion 22 is weak and has an area force of SlOOOcm 2 or more, the rigidity of the entire container becomes insufficient, and warping and deflection are likely to occur. Therefore, in one embodiment of the present invention, the honeycomb plate 4 is attached to the outer surface side of the tray 2. Thereby, the rigidity of the whole container can be improved dramatically.
  • Fig. 3 shows a top view of the arrangement of the honeycomb plates when the honeycomb plates are arranged or placed on the surface of the storage container lid and / or tray (when the surface of the honeycomb plate appears on the surface).
  • the outer periphery corresponds to the shape of the frame on which the pellicle is placed.
  • the honeycomb plate is arranged in a portion other than the portion along the frame shape.
  • the honeycomb plate when the honeycomb plate is disposed on the surface of the lid and the Z or the tray, it is preferable to dispose the honeycomb plate on the inner surface side because the rigidity can be improved and the flatness can be improved.
  • FIGS. 4A and 4B are image views of a cross section when a honeycomb plate is used for reinforcement on the side (outer surface side) opposite to the side on which the pellicle is placed.
  • FIG. 4A is a diagram showing that the honeycomb plate is placed on the entire surface of the tray as a reinforcing plate.
  • FIG. 4B is a diagram showing that the honeycomb plate is placed on the outer periphery of the tray as a reinforcing plate.
  • FIGS. 5A and 5B are cross-sectional image diagrams when the honeycomb plate itself is used for the tray.
  • FIG. 5A is an image view of a cross section when the honeycomb plate itself is used as a tray, and is a view when the entire tray surface is a honeycomb plate.
  • FIG. 5B is an image of a cross section when the honeycomb plate itself is used as a tray, and is a diagram when the honeycomb plate is used on the outer periphery of the tray.
  • FIG. 6 is an image view from above when the honeycomb plate itself is used for the tray.
  • the honeycomb plate may be composed of only the top plate and the honeycomb structure portion, or may be composed of the top plate, the honeycomb structure portion and the bottom plate.
  • the top plate may be used on the entire surface of the tray including the central portion without the honeycomb plate, or the honeycomb portion and the top plate may be provided only on the outer periphery. Also good.
  • a cover in a storage container using a honeycomb plate as a reinforcing plate or tray, it is preferable to provide a cover to prevent dust generation from the side surface of the honeycomb portion.
  • the large pellicle storage container of the present invention can stably store a large pellicle having an area of 1000 cm 2 or more, and can safely transport and store the large pellicle without damage.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating various honeycomb plates.
  • FIG. 2A is a cross-sectional view showing a lid, a pellicle and a tray.
  • FIG. 2B is a cross-sectional view of a storage structure in which a pellicle is stored inside a large pellicle storage container including a lid and a tray as viewed from the side.
  • FIG. 3 is a top view of the state where the reinforcing plate is attached to the storage container.
  • FIG. 4A is a cross-sectional view of a state in which the honeycomb plate is placed on the entire surface of the tray as a reinforcing plate, as viewed from the side.
  • FIG. 4B is a cross-sectional view of a state in which the honeycomb plate is placed on the outer periphery of the tray as a reinforcing plate, as viewed from the side.
  • FIG. 5A is a cross-sectional view of a state in which the honeycomb plate itself is used as a tray as viewed from the side, and is a view in the case where the entire surface of the tray is a honeycomb plate.
  • FIG. 5B is a cross-sectional view of the state in which the honeycomb plate itself is used as a tray, as viewed from the side, and is a view in the case of using the honeycomb plate on the outer periphery of the tray.
  • FIG. 6 is an image view from above when the honeycomb plate itself is used for the tray.
  • FIG. 7 is a perspective view of the state in which the pellicle membrane is stored in the storage container of the present invention as seen from above.
  • FIG. 8 is a cross-sectional view of the state in which the pellicle film is stored in the storage container of the present invention as seen from the side.

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Abstract

　ペリクルを収納するトレイと、トレイを被覆する蓋とから構成される、面積が１０００ｃｍ２以上の大型ペリクル用収納容器であって、該蓋及び／又はトレイが、ハニカム構造を有する材料を含んでなる上記収納容器。

Description

明 細 書
大型ペリクル収納容器
技術分野
[0001] 本発明は、 LSIや液晶パネルを製造する際のリソグラフィー工程で使用されるフォト マスクやレティクルに異物が付着することを防止するために用いられるペリクルの収 納容器に関し、特に大型ペリクルの収納容器に関するものである。
背景技術
[0002] 従来、半導体回路パターン等の製造においては、一般にペリクルと呼ばれる防塵 手段を用いて、フォトマスクやレティクルへの異物の付着を防止することが行われて いる（例えば、特許文献 1参照）。ペリクルは、フォトマスク又はレティクルの形状に合 わせた形状を有する厚さ数ミリ程度の枠体の上縁面に、厚さ 10 μ m以下のニトロセ ルロース、セルロース誘導体、非晶質フッ素樹脂などの透明な高分子膜 (以下、ペリ クル膜という）を展張して接着し、かつ該枠体の下縁面に粘着材を塗着すると共に、 この粘着材上に所定の粘着力で保護フィルムを粘着させたものである。
[0003] 前記粘着材は、ペリクルをフォトマスク又はレティクルに固着するためのものである。
また、保護フィルムは該粘着材がその用に供するまで該粘着材の粘着力を維持する ために、該粘着材の粘着面を保護するものである。このペリクルを製造者力 使用者 に運搬するに当たっては、ペリクル膜等に異物が付着するのを防ぎ、或いはペリクル が損傷するのを防ぐために、該ペリクルをトレイと蓋とからなる収納容器に収納し、更 に防塵袋等に収納して運搬するのが一般的である。
[0004] 従来、前述の構造を有する収納容器への収納は、図 7及び図 8に示すように行わ れていた。即ち、図 7及び 8において、ペリクル膜 52は展張（ピンと張った）状態で枠 体 51の一方の上縁面に接着され、枠体 51の他の面（下縁面）には適当な厚さの粘 着材 53が設けられ、さらに粘着材 53の下面には保護フィルム（図面では不指示）が 貝占り付けられてペリクルを構成している。このペリクノレは、粘着材を変形させないよう にトレイ 55の平坦な面である設置面 55aの上に保護フィルム（図面では不指示）が接 するように置かれる。 トレイ 55の設置面 55a上に載置されたペリクルは、従来、トレイ 55に設けられた突 起状のポスト 55bによって、左右の動きが拘束され、そして蓋 56を上方からかぶせ、 クリップ 57によって蓋 56とトレイ 55との 4隅を固定することによって収納されていた（ 特許文献 1)。この結果、前記ペリクルは蓋 56の斜面 56aと、ポスト 55bと、設置面 55 aとに囲まれて拘束されて収納された状態となっていた。また上記トレイの周縁をリブ 構造とすることも開示されている（特許文献 2)。さらに、クリップ 57の代わりに、粘着テ ープを用いて全周を密閉することも行われている。
し力、しながら、本発明のような面積が 1000cm2以上ともなる大型ペリクルを収納す る場合には、充分な保護効果が得られてレ、なレ、こと力懸念される。
また、収納容器は樹脂材料を用いて、射出成形や真空成形にて製造するのが一般 である。しかし 5インチ又は 6インチの半導体用ペリクルの収納容器は、射出成形で 成形することも多いが、面積が 1000cm2以上ともなる大型ペリクル用の収納容器は、 真空成形により作製する場合が多い。射出成形の方が寸法精度良く成形できるが、 射出成形ではこのような大型成形品を製作することは困難であり、真空成形の方が 薄肉で大型一体成形品が容易にできるからである。し力 ながら、ペリクルが大きくな るにつれ、収納容器も大きくなり、以下の問題点の発生が懸念される。
即ち、収納容器の成形歪みが大きくなり、収納容器の反り量が大きくなる。反り量が 大きいと水平保管（収納容器にペリクルを入れて水平状態で保管すること）中にその 形状がマスク粘着材に転写し変形しやすくなつてしまう。
粘着材が変形するとマスク貼り付け時にマスク粘着材の一部がマスクに貼り付かな レ、などの貼り付け不良が起きる可能性がある。
さらに、収納容器の剛性不足のため、持ち運び時に収納容器の把持の仕方によつ ては収納容器がゆがんだり、また、縦置き保管 (収納容器にペリクルを入れて収納容 器を立て掛けて保管すること）時に収納容器がゆがんでしまうといった問題が生じる 可能性がある。収納容器がゆがむとトレーのゆがみ形状が粘着材に転写する可能性 がある。粘着材が変形すると、先に述べた貼り付け不良が発生する可能性がある。 また、収納容器がゆがむと収納容器の設計によってはペリクルと収納容器の蓋が擦 れるために発塵が起き、ペリクルに異物が付着する問題が発生する懸念がある。 そこで、剛性を持たせるために、容器の厚みを厚くすることも考えられるが重量が重 くなり、ハンドリング性が極端に悪くなることが推測される。
また、剛性を持たせるためにリブを設けても、面積が 1000cm2以上の大型ペリクル の収納容器では、収納容器に凹凸が増え、洗浄性、異物付着有無確認作業性を悪 くする可能性があるため好ましくない。
[0006] 特許文献 1 :特開 2000— 173887号公報
特許文献 2：特開平 8 - 62828号公報
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0007] 上記問題点を鑑み、本発明は大型ペリクル本来の機能を搬送'保管後も維持でき るような収納容器の提供を課題とするものである。
課題を解決するための手段
[0008] そこで、本発明者等は鋭意検討した結果以下の構造を有する収納容器であれば、 大型ペリクル本来の機能を、搬送'保管後も維持できることを見出し本発明を完成さ せた。
即ち、本発明は、
1. ペリクルを収納するトレイと、トレィを被覆する蓋とから構成される、面積が 1000c m2以上の大型ペリクル用収納容器であって、該蓋及び/又はトレイが、ハニカム構 造を有する材料を含んでなる上記収納容器。
2. 前記蓋及び/又はトレイの表面上の少なくとも一部に前記ハニカム構造を有す る板状の材料を配置した構造、及び前記蓋及び/又はトレイの少なくとも一部に前 記ハニカム構造を有する板状の材料を埋め込んだ構造から選ばれた少なくとも一つ の構造を有する上記 1.に記載の収納容器。
3. 前記蓋及び Z又はトレイの外面側にハニカム構造を有する板状の材料を配置し た構造を有する上記 1.又は 2. に記載の収納容器。
4. 前記トレイが、大型ペリクルを載置する部分が該トレイの他の部分と同一平面上 にある形態をとる力 又は該トレイの他の部分に対して隆起した形態をとり、かつ、前 記ハニカム構造を有する材料が該載置する部分に配置されている力、、又は坦め込ま れた構造を有する上記 1.一 3.のいずれか一項に記載の収納容器。
5. 前記蓋及び/又はトレイの全面上及び/又は内部に前記ハニカム構造の材料 が配置された構造を有する上記 1 ·一 4·のいずれか一項に記載の収納容器。
6. 前記トレィ自体がハニカム構造を有する材料からなる上記 1.一 5. のいずれか 一項に記載の収納容器。
7. 上記 1.一 6.のいずれか一項に記載の収納容器と、該収納容器に収納された ペリクルとを含んでなる大型ペリクル収納構造体。
発明の効果
[0009] 本発明によれば、剛性が高く平坦性に優れ、かつ洗浄性に優れた大型ペリクル用 の収納容器を提供することができる。このため、ペリクルの粘着材が変形することがな ぐペリクルのマスクやレティクルに対する貼付不良を防止することができる。また、収 納容器の持ち運び時の把持の仕方や、縦置き保管時にペリクルと大型ペリクル収納 容器が擦れることによって発生する小さな塵がペリクルに付着することを防ぐことがで きる。これらのこと力 、製造者力 使用者に搬送する間にペリクルの機能を損なうこ とがなぐ使用者は常に安定した品質のペリクルを使用することができ、本発明は品 質の安定化に大きく貢献する。
発明を実施するための最良の形態
[0010] 以下、本発明を詳細に説明する。
本発明の一つの態様は、面積が 1000cm2以上の大型ペリクル用収納容器におい て、蓋及び/又はトレーの表面上の少なくとも一部に補強板を設けることにより、収納 容器の歪みを補強板に倣わし、平坦性を持たせたものである。それにより、該収納容 器に剛性を持たせることができるため、持ち運び時、縦置き保管時にケースがゆがむ ことを防ぐことができる。さらに、補強板を蓋及び/又はトレイの外面側（ペリクルを載 置する側に面してない側）に配置することにより、収納容器の蓋又はトレイの内面側（ ペリクルの載置側）を補強する場合に比し、凹凸が生じないために、洗浄性、異物付 着の有無を確認する作業の容易さを損なうこともなくなり、より好ましい効果を奏する ものである。
また、本発明のもう一つの態様では、蓋及び/又はトレイに補強板を埋め込むこと によって上記と同様の効果を得ることも可能である。補強板を埋め込む場合には、補 強板の一方の面が蓋及び/又はトレイの表面に露出していてもよいし、補強板全体 が包埋されてしまっていても構わない。このように、補強板を蓋及び/又はトレイに埋 め込むことにより、凹凸を生ずることなく平坦性の維持と剛性の向上を達成することが 可能となる。
本発明のさらなる態様では、収納容器の全面に補強板を配置することにより、ぺリク ルの粘着材部の変形を防ぎ、且つケースの剛性をより向上させることも可能である。 そして、本発明では、トレイが、ペリクルを載置する部分が該トレイの他の部分と同 一平面上にある形態をとる力 又は該トレイの他の部分に対して隆起した形態をとつ た場合には、ペリクルを載置する部分に補強板を配置するか、埋め込むことにより、 収納容器の平坦性を保ち、剛性を向上させることが可能となる。このことにより本発明 の効果を達成することが可能となる。
本発明で用いる補強板としては、炭素鋼やステンレス、アルミニウム合金、チタン合 金などの金属板やポリカーボネート、ポリアセタール、ポリブチレンテレフタレート、変 性ポリフエ二レンエーテル、ガラス繊維強化ポリエチレンテレフタレート、ポリフエニレ ンスノレフイド、ポリエーテノレイミド、ポリアミドイミド、ポリイミドなどのエンジニアリングプ ラスチックの板を用いることが可能である。形状としては、パンチングメタル様に部分 的に中抜きしたものゃハニカム構造の板を用いることができる。特にハニカム構造の 板が好ましい。ハニカム構造の板を使用することにより、補強板の使用による重量増 加を極力抑えながら収納容器の平坦性の維持、剛性の向上を達成することができる からである。
ハニカムのセルサイズ等は剛性、平坦性、重量の観点から選択すればよぐ例えば
0. 1mmから 100mmなど力も選択してもよレ、。好ましくは、 0. 3mmから 50mmであ る。またセル高さは特に限定はないが、例えば lmmから 200mmから選択してもよい 。好ましくは 3mmから 100mmである。また、天板、底板の厚みも特に限定はないが 、例えば 0. lmmから 300mmの範囲力 選択してもよレ、。好ましくは 0. 2mmから 20 mmで ¾。。
また、セルの形状は、特に指定はないが六角、〇X、フレックス、バイセタト、フエザ 一などが挙げられ、好ましくは六角である。
また、本発明の一つの態様では、収納容器の蓋及び/又はトレイ自体が上記のハ 二カム構造を有する材料自身から構成されてレ、ても構わなレ、。このようにすることで、 剛性の向上、平坦性の維持に加え、さらなる軽量化を同時に達成することができる。
[0012] 本発明で用いることができるハニカム構造を有する板状の材料とは、一般的にはハ 二カム構造を有してさえレ、ればレ、ずれのものであっても構わなレ、。使用形態によって は、ハニカム構造の部分を介して天板と底板が対向したものであっても構わないし（ 図 1の（1) )、ハニカム構造の部分と天板のみの構造（図 1の（2) )、ハニカム構造の 部分と底板のみの構造であっても構わなレ、（図 1の（3) )。また、ハニカム構造のみか らなる材料であっても構わない（図 1の（4) )。
例えば、トレイの表面上にハニカム構造を有する板状の材料 (以下、ノ、二カム板と 称する）を配置する場合、ペリクルを載置する側にハニカム板を配置する場合には、 天板とハニカム構造の部分からなるものをトレイの配置面が底板の役割を果たすよう に配置することで、底板を用いない分、重量の増加と凹凸の大きさを抑制することが できる。
逆に、ペリクルを載置しない側にハニカム板を用いる場合、底板とハニカム構造の 部分からなるものをトレイの配置面が天板の役割を果たすように配置することで天板 を用いない分、重量の増加と凹凸の大きさを抑制することができる。
なお、本発明では、ハニカム構造の部分の材質は限定されていないが、先に述べ たように、炭素鋼やステンレス、アルミニウム合金、チタン合金などの金属板やポリ力 ーボネート、ポリアセタール、ポリブチレンテレフタレート、変性ポリフエ二レンエーテ ノレ、ガラス繊維強化ポリエチレンテレフタレート、ポリフエ二レンスルフイド、ポリエーテ ノレイミド、ポリアミドイミド、ポリイミドなどのエンジニアリングプラスチック等が使用できる が、好ましくは金属、より好ましくはアルミニウム合金である。また、使用前の異物付着 有無確認作業性の観点から、黒色アルマイトやブラスト処理及びその両方を行ったも のであっても構わない。
[0013] 以下に、本発明の態様の一つであるハニカム板を用いてなる大型ペリクル用収納 容器を、図面を用いてより具体的に説明する。 先ず、本発明の大型ペリクル収納容器の全体図を図 2に示す。
図 2Aに示すように大型ペリクル収納容器は、内部にペリクル 1を収納するものであ り、トレイ 2と、蓋 3とからなる。ペリクル 1は、ペリクル膜 11と、ペリクル膜 11が貼着され た枠体 12、及び枠体をマスクやレティクルに貼着するための粘着材 13などから構成 されている。ここで本実施形態においてペリクル 1は、ペリクル膜 11の面積が 1000c m2を超える大型ペリクルである。
トレイ 2には、周辺に沿ってペリクル 1が載置される隆起部 21が形成されており、隆 起部 21の内側（中央側）は平面部 22となっている。トレイ 2は真空成形にて製造され ており、隆起部 21の外面側には溝部 23が形成されている。また隆起部 21の上部に は、ペリクル 1の保護フィルムの外形部と接し、横方向の移動を拘束する複数のリブ 2 4が起立突設されている。収納するペリクルの面積が 1000cm2を超えるため、平面 部 22の面積もこれに準じたものとなっている。
蓋 3はトレイ 2と同様に真空成形にて製造されており、図 2Bに示すようにトレイ 2にか ぶせることによってペリクル 1を収納する。トレイ 2と蓋 3とを合わせた後は、不図示の 粘着テープを周辺を端辺に張り巡らすことによって密封する。
[0014] トレイ 2及び蓋 3の材質としては特に指定はなレ、が、アクリル樹脂やポリエチレンテレ フタレート樹脂、アクリル二トリル'ブタジエン 'スチレン樹脂等を用いればよい。更に 上記樹脂以外に、ポリエチレンテレフタレート以外のポリエステル樹脂、ポリエチレン やポリプロピレン等のォレフィン系樹脂、ポリスチレンやアクリロニトリル 'スチレン樹脂 などのポリスチレン系樹脂等を用いることもできる。
[0015] 上記構成にあって、一般にトレイ 2と蓋 3とは外周近傍を屈曲させているため、周辺 部ではある程度の剛性を有している。しかし平面部 22は強度が弱ぐまたその面積 力 SlOOOcm2以上ともなると、容器全体の剛性が十分でなくなり、反りやたわみが生じ やすい。そこで本発明の態様の一つにおいては、トレイ 2の外面側に、ハニカム板 4 を取り付けている。これにより、容器全体の剛性を飛躍的に向上させることができる。 図 3は、ハニカム板を収納容器の蓋及び/又はトレイの表面に配置、又は坦め込ん だ場合 (表面にハニカム板の面が現れている場合）のハニカム板の配置態様を上か ら見た時のイメージ図である。外周部がペリクルを載置する枠体の形状に相当するが 、図から明らかなように、枠体形状に沿った部分以外にもハニカム板が配置されてい ること力 Sわ力る。なお、枠体形状に沿った部分にハニカム板を配置することが好まし いが、そうでない場合でも効果を奏する。
なお、蓋及び Z又はトレイの表面にハニカム板を配置する場合、内面側に配置して も剛性を向上できる力 外面側に配置すれば剛性の向上に加え、平坦性も向上でき るので好ましい。
[0016] 図 4A及び Bは、トレイのペリクルを載置する側とは反対側（外面側）にハニカム板を 用いて補強した場合の断面のイメージ図である。図 4Aはハニカム板を補強板としてト レイの全面に載置することを示す図である。図 4Bはハニカム板を補強板としてトレィ の外周部に載置することを示す図である。
図 5A及び Bは、トレイにハニカム板自体を用いた場合の断面のイメージ図である。 図 5Aはハニカム板自体をトレイとして使用した場合の断面のイメージ図であって、ト レイ全面がハニカム板になっている場合の図である。図 5Bはハニカム板自体をトレイ として使用した場合の断面のイメージ図であって、トレイの外周部にハニカム板を用 いた場合の図である。
図 6は、ハニカム板自体をトレイに用いた場合の、上から見たイメージ図である。トレ ィにハ二カム板自体を用いる際、ハニカム板は、天板とハニカム構造の部分のみから 構成されるものでもよいし、天板とハニカム構造の部分と底板とから構成されるもので もよレ、。また、枠体の外周部にハニカム板を使用するときは、ハニカム板の無い中央 部を含めて天板をトレイ全面に用いてもよいし、外周部のみにハニカム部と天板を設 けてもよい。
本発明では、補強板又はトレイにハニカム板を用いた収納容器において、ハニカム 部側面からの発塵を防ぐためにカバーを設けることが好ましい。
産業上の利用可能性
[0017] 本発明の大型ペリクル用収納容器は、面積が 1000cm2以上の大型ペリクルを安定 した状態で収納することができ、大型ペリクルを損傷なく安全に搬送'保管することが できる。
図面の簡単な説明 [図 1]図 1は様々なハニカム板を例示する断面図である。
[図 2A]図 2Aは蓋、ペリクル及びトレィを示す断面図である。
[図 2B]図 2Bは蓋とトレイとからなる大型ペリクル収納容器の内部にペリクルを収納し た収納構造体を側面から見た断面図である。
[図 3]図 3は収納容器への補強板の貼り付けの様子を上から見た図である。
[図 4A]図 4Aはハニカム板を補強板としてトレイの全面に載置する様子を側面から見 た断面図である。
[図 4B]図 4Bはハニカム板を補強板としてトレイの外周部に載置する様子を側面から 見た断面図である。
[図 5A]図 5Aはハニカム板自体をトレイとして使用した場合の様子を側面から見た断 面図であって、トレイ全面がハニカム板になっている場合の図である。
[図 5B]図 5Bはハニカム板自体をトレイとして使用した場合の様子を側面から見た断 面図であって、トレイの外周部にハニカム板を用いた場合の図である。
[図 6]図 6はハニカム板自体をトレイに用いた場合の、上から見たイメージ図である。
[図 7]図 7は本発明の収納容器にペリクル膜を収納した様子を上から見た透視図であ る。
[図 8]図 8は本発明の収納容器にペリクル膜を収納した様子を側面から見た断面図で ある。

Claims

請求の範囲
[1] ペリクルを収納するトレイと、トレィを被覆する蓋とから構成される、面積が 1000cm2 以上の大型ペリクル用収納容器であって、該蓋及び/又はトレイが、ハニカム構造を 有する材料を含んでなる上記収納容器。
[2] 前記蓋及び/又はトレイの表面上の少なくとも一部に前記ハニカム構造を有する板 状の材料を配置した構造、及び前記蓋及び z又はトレイの少なくとも一部に前記ハ 二カム構造を有する板状の材料を坦め込んだ構造から選ばれた少なくとも一つの構 造を有する請求項 1に記載の収納容器。
[3] 前記蓋及び/又はトレイの外面側にハニカム構造を有する板状の材料を配置した 構造を有する請求項 1又は 2に記載の収納容器。
[4] 前記トレイが、大型ペリクルを載置する部分が該トレイの他の部分と同一平面上に ある形態をとる力、又は該トレイの他の部分に対して隆起した形態をとり、かつ、前記 ハニカム構造を有する材料が該戴置する部分に配置されている力、又は坦め込まれ た構造を有する請求項 1一 3のいずれか一項に記載の収納容器。
[5] 前記蓋及び/又はトレイの全面上及び/又は内部に前記ハニカム構造の材料が 配置された構造を有する請求項 1一 4のいずれか一項に記載の収納容器。
[6] 前記トレィ自体がハニカム構造を有する材料からなる請求項 1一 5のいずれか一項 に記載の収納容器。
[7] 請求項 1一 6のいずれか一項に記載の収納容器と、該収納容器に収納されたべリク ルとを含んでなる大型ペリクル収納構造体。
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