JP2015212814A - ペリクル収納容器 - Google Patents
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Abstract
本発明の目的は、少なくとも一つの辺長が500mm以上のペリクルを収納するための低コストで軽量かつ高剛性なペリクル収納容器を提供することである。
【解決手段】
本発明は、少なくとも一つの辺長が500mm以上のペリクルを載置する容器本体と、この容器本体と周縁部で嵌め合い係止する蓋体とを含む、樹脂製シート材を成形してなるペリクル収納容器において、前記容器本体は、外側から見て凹形状となるリブ部を有すると共に、このリブ部の外側にリブ部を補強する補強手段が接続されていることを特徴とする。そして、その補強手段は、形状が平板状、略C字型又は略L字型の断面形状が好ましく、平板状の場合はリブ部の凹部を覆うように接続され、略C字型又は略L字型の断面形状の場合は、リブ部の中に全部又は一部が嵌合して接続されることが好ましい。
【選択図】図3
Description
11 容器本体
12 蓋体
13 リブ部
13a リブ
13b リブ
13c リブ
14a 補強手段
14b 補強手段
15 ペリクル支持手段
15a ペリクル支持ピン
15b ピン支持ブロック
16 掘り込み部
20 ペリクル
21 ペリクルフレーム
22 マスク粘着層
23 ペリクル膜接着層
24 ペリクル膜
61 補強手段
71 補強手段
80 ペリクル収納容器
81 ペリクル収納容器本体
82 蓋体
83a 補強フレーム
83b 補強フレーム
84 接続手段
85 ボルト
Claims (6)
- 少なくとも一つの辺長が500mm以上のペリクルを載置する容器本体と、該容器本体と周縁部で嵌め合い係止する蓋体とを含む、樹脂製シート材を成形してなるペリクル収納容器において、前記容器本体は、外側から見て凹形状となるリブ部を有すると共に、該リブ部の外側にリブ部を補強する補強手段が接続されていることを特徴とするペリクル収納容器。
- 前記リブ部は、その高さが前記容器本体の中央側に配置されたリブほど低く設定されていることを特徴とする請求項1に記載のペリクル収納容器
- 前記補強手段は、複数のリブが接続された部位に接続されていることを特徴とする請求項1又は2に記載のペリクル収納容器。
- 前記補強手段は、その形状が前記リブ部の凹形状を覆うように接続される平板状であることを特徴とする請求項1乃至3の何れかに記載のペリクル収納容器。
- 前記補強手段は、その形状が略C字型の断面形状であり、前記リブ部の中に嵌め込み接続されていることを特徴とする請求項1乃至3の何れかに記載のペリクル収納容器。
- 前記補強手段は、その形状が略L字型の断面形状であり、前記リブ部の中にその一部が差し込まれて接続されていることを特徴とする請求項1乃至3の何れかに記載のペリクル収納容器。
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