CN105035466B - 防尘薄膜组件收纳容器 - Google Patents

Abstract

提供一种收纳至少一条边长为500mm以上的防尘薄膜组件的低成本，轻量且高刚性的防尘薄膜组件收纳容器。本发明中，防尘薄膜组件收纳容器，包括，载置至少一条边长为500mm以上的防尘薄膜组件的容器本体以及与所述容器本体在周缘部嵌合固定的盖体，所述防尘薄膜组件收纳容器用树脂制片材成型，其特征在于，所述容器本体，从外侧来看，在具有凹形状的肋部的同时，在所述该肋部的外侧接续有对肋部进行加强的加强件。所述加强件，优选其形状为平板状，或具有大略C字型或大略L字型的截面形状。平板状的场合，优选以覆盖肋部的凹部的方式接续，在为具有大略C字型或略L字型的截面形状的场合，优选加强件全部或其一部分在肋部中嵌合而接续。

Description

防尘薄膜组件收纳容器

技术领域

本发明涉及在半导体装置、印刷基板或液晶显示板等的制造中作为除尘器使用的至少一个边长为500mm以上的光刻用防尘薄膜组件的收纳、保管、运输所用的防尘薄膜组件收纳容器。

背景技术

LSI、超LSI等的半导体制造或液晶显示板等的制造中，要对半导体晶片或显示板用玻璃板进行光照射，以进行图案制作，如在此时所用的掩模或中间掩模(以下统称掩模)上附着灰尘的话，该灰尘就会对光进行吸收，或使光弯曲，这样转印的图案就会变形，尖端部会变得不齐，此外基底就会变黑脏污等，从而使尺寸，品质，外观等受损。

由此，这些操作通常在无尘室中进行，但是，即使如此也难以总是保持掩模的经常的清洁，从而，要先在掩模表面贴附作为防尘器的防尘薄膜组件，然后再进行曝光。该场合下，异物不会直接附着于掩模的表面，而是在防尘薄膜组件上附着，这样在光刻时只要将焦点对准掩模的图案，防尘薄膜组件上的异物就与转印无关了。

该防尘薄膜组件一般是将透光良好的硝酸纤维素、醋酸纤维素或氟树脂等形成的透明的防尘薄膜，贴附在用铝、不锈钢等形成的防尘薄膜组件框架的上端面上而构成。另外，该防尘薄膜组件框架的下端面，涂布为了安装掩模的聚丁烯树脂、聚酢酸乙烯基酯树脂、丙烯酸树脂等形成的粘着剂层以及设置用来保护粘着剂层的离型层(分离片)，这样的防尘薄膜组件就会有效地防止异物从外部侵入掩模贴附后形成的封闭空间。

但是，在防尘薄膜组件自身异物附着的场合就难以防止异物向掩模的附着。由此，防尘薄膜组件本身不仅被要求高的清洁性，并且在防尘薄膜组件的保管，运输中使用的防尘薄膜组件收纳容器，也要维持其清洁性。具体地说，防尘薄膜收纳容器被要求使用具有优良的带电防止性能的材质以及划擦时也不太发生灰尘的材质，具有可极力防止防尘薄膜组件以及收纳容器构成部件间的接触的构造，以及具有即使施加外力的也难以变形的高刚性的构造等。

该防尘薄膜组件收纳容器通常用ABS、丙烯酸等的树脂通过射出成型或真空成型而制造，射出成型或真空成型被利用的主要的理由为具有，表面平滑由此异物的附着以及发生灰尘的可能性小，整体成型没有接口发生灰尘以及异物侵入的可能性小，容易制造复杂形状由此可以大量生产并且低成本化等优点。

例如，半导体用以及印刷基板用的防尘薄膜组件收纳容器，外形的边长为大约200～300mm前后，由于要求防尘薄膜组件收纳容器的清洁性的保持以及施加外力时也不易变形的高刚性，所以通常用射出成型法进行制造，但是，边长200～300mm左右的防尘薄膜组件收纳容器的场合，几乎没有刚性的问题。其原因是，边长200～300mm左右大的防尘薄膜组件收纳容器，由于本来就小，所以易于刚性的确保，而且射出成型法易于使局部改变厚，重要的地方可以用壁厚来加强，从而确保刚性。

但是，主要用于收纳液晶以及有机EL等的显示板用的防尘薄膜组件的收纳容器，为外形的边长超过500mm的大型物，通常，用ABS、丙烯酸等的合成树脂片进行真空成型制造。边长超过500mm的大型的防尘薄膜组件收纳容器的场合，为从具有1处或数处的开口向模具内高速注入树脂射出成型法，树脂的流动距离过长制造困难，所以要利用真空成型法。该真空成型法中，将模具用加热的树脂包覆，仅进行真空吸引就可容易地制造大型的成型品。

但是，利用这样的真空成型法进行大型的防尘薄膜组件收纳容器制造的场合，具有不能形成壁厚厚的收纳容器的问题。该壁厚的问题，通过形成肋部而加强的对策在某种程度上可以解決该问题，该场合的肋部的成型，基本上是仅将相同板厚的片进行曲折而达成，但是，仅依靠该对策在要求高刚性的防尘薄膜组件收纳容器的制作是不行的。

由此，往常，为了防止边长超过500mm的大型收纳容器的变形以及弯曲，通过贴合加强材从而提高刚性。例如在专利文献1中，记载了在收纳容器的左右侧缘以及中央部配置铝等的金属制加强带状体或配置角材的大型精密片状制品用密封容器。另外，在专利文献2中，记载了在收纳容器的里面配置铝等的加强金属部件的防尘薄膜组件收纳容器。

现有技术文献

专利文献1：日本特开2005-170507

专利文献2：日本专利第4391435号

在这样的以往的加强对策中，配置由铝合金等的高刚性的材料形成的加强体，得到日字型或目字型等，在这样的方案中，如加强的量多的话，其加强效果也大，但是另一方面，其重量以及成本就会増加。虽然，可以考虑使用轻量且高刚性的材料，这样的轻量且高刚性的材料，一般其价格高，所以刚性，重量，成本都好的是困难的。

由此，本发明就是鉴于上述的情况而制定的。本发明的目的就是提供一种低成本、轻量且高刚性的防尘薄膜组件收纳容器。

本发明人对达成上述目的进行了深入地研究，发现如在肋部的外侧接续(接合)加强肋部的加强件的话，就可以抑制向肋部的张开方向的变形以及扭曲变形，由此，通过肋部的加强这一简易的对策，就可以既轻量又具有高的刚性的防尘薄膜组件收纳容器。

发明内容

即，本发明包括载置至少一条边长为500mm以上的防尘薄膜组件的容器本体以及与所述容器本体在周缘部嵌合固定的盖体，所述防尘薄膜组件收纳容器用树脂制片材成型，其特征在于，所述容器本体，从外侧来看，在具有凹形状的肋部的同时，在所述该肋部的外侧接续有对肋部进行加强的加强件

另外，本发明的肋部，优选其高度设定为与在容器本体的中央侧配置的肋部大约同样程度的低，加强件，优选安装在多个肋部相接续的部位。

进而，本发明的加强件，其形状优选平板状，具有大略C字型或大略L字型的截面形状。平板状的场合，优选以将凹部覆盖的方式接续，具有大略C字型或大略L字型的截面的场合，优选加强件的全部或其一部分嵌合于肋部之中的方式接续。

发明效果

根据本发明，在成凹形状的肋部的外侧设置对肋部进行加强的加强件，由此可以防止肋部的变形以及扭转变形，所以可以提供与以往的金属制的加强件相比，具有同等以上的高刚性，而且低成本轻量的防尘薄膜组件收纳容器。

附图说明

图1本发明的一实施方式的收纳容器的斜视图。

图2本发明的一实施方式的收纳容器本体的上平面图。

图3本发明的一实施方式的收纳容器本体的AA截面图。

图4本发明的一实施方式的收纳容器本体的BB截面图。

图5本发明的一实施方式的收纳容器本体的下平面图。

图6本发明的一实施方式的收纳容器中使用的大略C字状的加强件的截面图。

图7本发明的一实施方式的收纳容器中使用的大略L字状的加强件的截面图。

图8比较例的收纳容器的斜视图。

图9比较例的收纳容器的截面图。

具体实施方式

以下，对本发明的一实施方式参照附图进行详细说明，但是本发明并不限定于此。

图1至图5表示了本发明的一实施方式，图1为本发明的防尘薄膜组件收纳容器10的斜视图。图2为所述容器本体11的上平面图，图3为图2中AA截面图，图4为图2中的BB截面图。另外，图5为从外侧(图2的里侧)看的容器本体11下平面图。

防尘薄膜组件收纳容器10，为由用丙烯酸、ABS、PET、PS等的树脂形成的厚度2～6mm左右的片材真空成型的容器本体11和盖体12构成。因此，该容器本体11，由于易于对异物进行确认等理由，以黑色为佳，盖体12，为了对内部进行确认，以透明或半透明为佳。

这样的容器本体11和盖体12，在其周缘部嵌合的同时，该嵌合部用粘着胶带等封住，或用夹子等固定(未图示)，使其内部为密闭状态。

在本发明的一实施方式中，容器本体11上有用相同的材料成型的肋部13(13a、13b、13c)。这些的肋部13，优选从容器本体11的外侧看为凹形状，即向容器本体11的内侧凸出的形状。这些肋部13的尺寸，从保持刚性以及成型性的观点，优选宽20～100mm，深10～100mm的范围。

另外，防尘薄膜组件收纳容器10由于运输中的震动等发生摇动时，为了防止防尘薄膜与所述肋部13接触，这些肋部13的高度优选与配置在容器本体11的中央的肋部同样程度的低。

在所述肋部13的外侧，有对肋部进行加强的加强件14a、14b接续。进而，这些加强件的形状为平板状的场合，优选以从容器本体11的外侧对肋部13的凹形状覆盖的方式来接续。该加强件14a、14b，也可将肋部13的全面或容器本体11的全面覆盖。在该场合，如不能完全密闭，洗净时会有洗净水浸入，在干燥等上有问题。另一方面，在完全密闭的场合，在温度以及气压变化时有发生变形的可能，需要留意。

由此，作为最佳实施方式，加强件14a、14b，在肋部13的一部分的领域，特别是在多个的肋部相接续的部位进行接续。在图5的实施方式中，肋部13b和13c的接续部，有平板状的加强件14a、14b接续。另外，在该加强件14a、14b接续的领域，优选设置如图3以及图7所示的掘入部16，以便消除与容器本体11表面所成的台阶。

作为加强件14a、14b的接续(接合)方法，可以用接着剂等接着，热溶着，螺栓固定，铆钉固定等。其中选择何种方法，可以根据加强件14a，14b的材质以及形状进行适宜决定，但是从强度，成本的观点，以接着剂等进行接着为佳。

作为加强件14a、14b的材质，可以使用以铝合金，不锈钢等金属，以及纤维强化树脂等，但是从接着性，成本，尺寸的随时间的安定性以及吸湿性等的观点，最好从由PVC、ABS、PC构成的群来选择。另外，如果考虑到热膨胀系数的话，最好选择与容器本体相同的材质。

由于如果采用本发明的加强构造就可以发挥充分的加强效果，所以即使使用刚性不如金属以及纤维强化树脂的树脂材料，容器本体11的刚性也毫不逊色。

图6示出了与平板不同形状的另一加强件61的实施方式。该加强件61，截面形状为大略C字型的形状，在该加强件61的场合，优选嵌入肋部13的中从而进行接合。这样的实施方式,虽然可以得到极高的加强效果，但是由于容器本体11以及加强件61都要用真空成型进行制作，所以尺寸精度差，有难以如所设计的那样的进行嵌合的可能。

由此，在实际制作的场合，有必要将加强件61作成较小一点，要考虑使容器本体11的肋部13能确实地收容·固定，同时有必要考虑使用可以充填大的间隙的接着剂。

另外，图7，表示了另一个使用加强件71的实施方式。该加强件71，截面形状为大略L字型的形状，该加强件71的场合，优选在肋部13中，有一部分插入，同时其一部分与底面接合。另外，在该场合，优选容器本体11的底面设置掘入部16，以不使加强件71突出。即使这样的实施方式，也可以得到对肋部13的高的加强效果，在可以得到高的刚性的同时，与图6的大略C字型的加强件61相比，有接合容易的优点。

实施例

以下，对图2至图5所示的实施例进行详细说明。在该实施例中，首先，使用厚度5mm的防带电的ABS(黑色)的片材，用真空成型法，制作图2至图5所示的形状的容器本体11。该容器本体11的外尺寸，为1350×1550×高度60mm，设置向内侧方向凸出的肋部13a、13b、13c。

在该肋部13b和13c的接续部的外面侧，用接着剂将由ABS树脂形成的尺寸250×300×厚度3mm的平板状的加强件14a和尺寸180×200×厚度3mm的平板状的加强件14b进行接合。在容器本体11的加强件14a、14b接合的领域，为了不使加强件14a、14b向外侧突出，设置深3mm的掘入部16。

另外，在容器本体11中，由于在其上要固定防尘薄膜组件20，所以具有由用不锈钢以及ABS树脂形成的防尘薄膜组件支持针15a以及用AB S树脂制成的针支持块15b构成的防尘薄膜组件支持物15，该支持物15用螺栓(未图示)在4个地方固定，但是，该防尘薄膜组件20的固定，也可以用其他公知的方法。

然后，用厚度5mm的带电防止ABS(透明)的片材，将在容器本体11的周缘部嵌合的盖体12用真空成型法制作。图1，表示了在容器本体11上将盖体12嵌合了的状态的防尘薄膜组件收纳容器10，此时的容器的尺寸，为外形1350×1550mm，高度120mm。

将如此制作的防尘薄膜组件收纳容器10搬入10级无尘室，用界面活性剂和纯水充分洗净，完全干燥后，在该防尘薄膜组件收纳容器10中将防尘薄膜组件20收纳。然后，在防尘薄膜组件框架21的外侧面设置了孔(未图示)中将防尘薄膜组件支持针15a插入，使该被收纳了的防尘薄膜组件20固定在容器本体11上，进行运输实验。

在该运输实验中，使用外尺寸1392×1146mm，内寸1370×1124mm，高度6mm的防尘薄膜组件20，但是该防尘薄膜组件20，如图3以及图4所示的那样，由铝合金制防尘薄膜组件框架21(材质A6061铝合金，厚度4.8mm，表面黑色氧化铝处理)，掩模粘着剂层22，防尘薄膜接着层23(硅树脂)以及防尘薄膜24(厚度约2μm的氟树脂)构成，掩模粘着剂22表面上具有保护用的分离片(未图示)。

然后，对该运输实验进行具体说明。首先，将防尘薄膜组件20在暗室内用集光灯进行异物检查后，将其在上述防尘薄膜组件收纳容器10中收纳，在用防尘薄膜组件固定件15将防尘薄膜组件20在容器本体11上固定的同时，将盖体12小心地嵌合在容器本体11上，密闭。另外，盖体12和容器本体11的周缘部用PVC制粘着胶带(未图示)进行贴附固定，用内部清洁的防带电PE制袋进行两重包装，收纳于内部配合有缓冲材料的加固瓦楞纸箱(未图示)中。

该防尘薄膜组件收纳容器10的运输，为在上述那样的包装状态下，从日本群马县运到福岗县，其中群马和东京间用卡车，东京和福冈间用飞机，进行一个来回的运输。然后，将防尘薄膜组件收纳容器搬入无尘室，对收纳的防尘薄膜组件20的状态进行检查，没有在防尘薄膜组件20发现任何损伤以及异物的附着，维持了极为清洁的状态。

比较例

在比较例中，制作图8以及图9所示的防尘薄膜组件收纳容器80。图8，为其斜视图，图9，为纵方向的截面图。该比较例的防尘薄膜组件收纳容器80，其外尺寸与实施例相同，没有覆盖肋部13加强件14。在容器本体81的周缘部，安装有为了提高刚性的铝合金制的加强框架(截面15×30mm)83a、83b。加强框架83a、83b，用不锈钢制的接续件84在角部接续，从而构成全体加强部件，该全体加强部件通过螺栓85与容器本体81结合。

对该防尘薄膜组件收纳容器80，进行与实施例同样的条件的运输实验，结果防尘薄膜组件20上没有发现损伤以及异物的附着，由于维持了清洁的状态，所以可以确认具有高的刚性。但是，与实施例的重量以及成本进行比较，比较例的防尘薄膜组件收纳容器80的重量，约为实施例的约1.3倍，制作成本，为约1.5倍。

从以上的结果可知，如本发明，在肋部的外侧接续加强肋部的加强件，在得到与以往的加强框架同等以上的高刚性的同时，可以制得低成本且轻量的防尘薄膜组件收纳容器。

附图标记说明

10 防尘薄膜组件收纳容器

11 容器本体

12 盖体

13 肋部

13a 肋部

13b 肋部

13c 肋部

14a 加强件

14b 加强件

15 防尘薄膜组件支持物

15a 防尘薄膜组件支持针

15b 针支持块

16 掘入部

20 防尘薄膜组件

21 防尘薄膜组件框架

22 掩模粘着剂层

23 防尘薄膜接着层

24 防尘薄膜

61 加强件

71 加强件

80 防尘薄膜组件收纳容器

81 防尘薄膜组件收纳容器本体

82 盖体

83a 加强框架

83b 加强框架

84 接续件

85 螺栓

Claims (4)

1.一种防尘薄膜组件收纳容器，包括，载置至少一条边长为500mm以上的防尘薄膜组件的容器本体以及与所述容器本体在周缘部嵌合固定的盖体，所述防尘薄膜组件收纳容器用树脂制片材成型，其特征在于，所述容器本体，从外侧来看，在具有凹形状的肋部的同时，在所述肋部的外侧，对所述肋部进行加强的加强件仅接续在肋部分成3个以上分支接续的部位，并且所述肋部，其高度设为与在所述容器本体的中央侧配置的肋部同样程度的低，并且在所述加强件接续的领域设置有掘入部以消除与容器本体表面所成的台阶。

2.如权利要求1所述的防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于，其形状为以覆盖所述肋部的凹形状的方式接续的平板状。

3.如权利要求1所述的防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于，所述加强件，其形状为具有大略C字型的截面，并以嵌入所述肋部中的方式接续。

4.如权利要求1所述的防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于，所述加强件，其形状为具有大略L字型的截面，并以其一部分插入所述肋部中的方式接续。