JP2005183602A - 基板収納ケース - Google Patents
基板収納ケース Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005183602A JP2005183602A JP2003421105A JP2003421105A JP2005183602A JP 2005183602 A JP2005183602 A JP 2005183602A JP 2003421105 A JP2003421105 A JP 2003421105A JP 2003421105 A JP2003421105 A JP 2003421105A JP 2005183602 A JP2005183602 A JP 2005183602A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- storage case
- lid
- mask
- substrate storage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 282
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 121
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 10
- 230000013011 mating Effects 0.000 claims description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 21
- 238000001035 drying Methods 0.000 abstract description 5
- 238000005406 washing Methods 0.000 abstract 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 10
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 10
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 9
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 8
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 6
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 5
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 5
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 3
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 3
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 3
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 2
- 229920000122 acrylonitrile butadiene styrene Polymers 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229930182556 Polyacetal Natural products 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003670 easy-to-clean Effects 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229920001973 fluoroelastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 229920001707 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920013716 polyethylene resin Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920006324 polyoxymethylene Polymers 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Images
Abstract
【解決手段】基板2を収納する中籠3と、中籠3を収容する容器本体5と、蓋体6と、蓋体6に取り付けられた基板押さえ7とを有する基板収納ケース1において、中籠3の下端部内側の両端は傾斜面を形成し、マスク基板2は該マスク基板下部の4つの角部において中籠3の下端部内側の両端の傾斜面と4点で接して支えられ、蓋体6上部に取り付けられた基板押さえ7は傾斜面を形成し、蓋体6を閉めることにより、マスク基板2は該マスク基板上部の4つの角部において基板押さえ7の傾斜面と4点で接して固定される。
【選択図】図1
Description
さらに、フォトマスク製造工程における化学増幅型レジストの使用増加に伴い、化学増幅型レジストの感度がレジスト塗布から現像までの周辺環境に大きく依存するという特性により、露光時、複数枚を収納する従来の基板収納ケースでは、複数回の基板の出し入れにより、ケース外環境の影響を受け、露光感度の変化を生じ易く、微細なレジストパターン形成に問題を生じていた。上記の課題に対し、1枚のマスク基板を縦置きに収納しようとする場合には、上記の複数枚を収納するケースを兼用しており、塵埃等の異物発生の影響を受けにくい、1枚のマスク基板専用の好適な基板収納ケースがないという問題もあった。
図1は本発明の基板収納ケースの一実施形態を示す斜視図であり、分かり易くするために、主な構成要素を実際より離した状態で示してある。図1に示すように、基板収納ケース1は1枚のマスク基板2を収納する中籠3と、開口部4を有し中籠3を収容する容器本体5と、容器本体5の前記開口部4を閉鎖する蓋体6と、蓋体6に取り付けられマスク基板2と接する2つの基板押さえ7とを有している。
また、本発明におけるマスク基板2としては、基板収納ケース1の厚みを大きくすることにより、ペリクル付きマスク基板も収納し得るものである。
図3は、図2に示す容器本体5を蓋体6で閉めて、ラッチ14で容器本体5と蓋体6を固定した状態を示す側面図である。蓋体6の天面部内側の両端に取り付けられた2つの基板押さえ7は、球面状の傾斜面を形成し、蓋体6を閉めることにより、マスク基板2はマスク基板上部の4つの角部10(図3では図面手前側の2ヵ所が示されている。)において基板押さえ7の球面状または縦長円錐状の傾斜面と4点で接して固定される。
図4は図1に示される基板収納ケース1のA−A線における側面断面模式図を示し、図5は図4の基板支持部分の拡大模式図である。図6は基板収納ケース1のB−B線における側面断面模式図を示し、図7は図6の基板支持部分の拡大模式図である。
図4および図6に示すように、中籠3の下端部内側の両端部は球面状または縦長円錐状である傾斜面9を形成しており、マスク基板2を中籠3に装入することにより、マスク基板2は中籠3の壁面に接触することなく、マスク基板2の下部が中籠3の下端部内側の球面もしくは円錐面を形成する傾斜面9に到達し、マスク基板下部の4つの角部8において中籠3の下端部内側の両端部の球面状または縦長円錐状である傾斜面9と接して4点で支えられる。球面状または縦長円錐状である傾斜面9は曲率半径R4程度とするのが好ましい。
また、本発明では、O−リングが蓋体と容器本体を重ね合わせたときの緩衝材の役割も果たしているものであり、マスク基板へ不自然な力が加わるのを防止している。上記のO−リングとしては、フッ素系ゴムを用いることが可能であり、例えば、商品名フロロプラス(ニチアス社製)という製品が挙げられる。
また、本発明における中籠3は、従来の中籠の係止方法のように、容器本体の底面内側に1〜数箇所に係止用の凸部を設け、相対する中籠の底面外側にも1〜数箇所の係止用の凹部もしくは切れ込み部を設け、中籠を容器本体に嵌め込むことも可能である。さらに、中籠をより強固に容器本体に固定するために、前述の本発明の中籠側面部の係止リブ15による係止方法と従来の中籠底面部の係止方法とを併用することも可能である。
本発明において、基板収納ケース1を洗浄する場合には、中籠3を取り外し、係止リブ15も取り外して洗浄し得るので、基板収納ケース1の形状の簡易化を図ることができ、洗浄および乾燥し易く、洗浄および乾燥効率も向上する。さらに、基板収納ケース1は何度も使用するうちに消耗するので、使用不可となった部品のみを交換することが可能である。
また、本発明の基板収納ケース1は、中籠3と外側の容器本体5および蓋体6の材質を分け、外からの衝撃を基板に直接与えず、柔らかく滑りやすい材質を中籠に用いることで、基板収納ケースとしての特性をさらに向上させることも可能である。
また、基板収納ケースは運搬時等に帯電すると、放電現象によりフォトマスクパターンを破壊したり、空気中の塵埃を吸着して基板を汚染するので、中籠3、容器本体5、蓋体6、基板押さえ7を導電性プラスチックにより形成するのも好ましい形態である。導電性プラスチックとしては、例えば、電気抵抗率の小さいゴム粒子を硬質樹脂中に分散した構造の商品名バイヨン(呉羽化学工業社製)あるいはノバロイ(ダイセルポリマー社製)という樹脂が使用可能である。
さらに、基板収納ケース全体を紫外線を遮光する着色蓋体とすることも可能である。また、蓋体を開けなくても、ケースの内容物を外部から容易に判別し得るように、蓋体のみを透明蓋体もしくは紫外線を遮光し可視光を透過する着色蓋体とすることも好ましい形態である。
6インチのフォトマスク(外形寸法6×6×0.25(厚み)インチ)専用の縦置きの基板収納ケースを作製するために、容器本体は外形寸法210×50×100(高さ)mmで樹脂厚4mm、蓋体は外形寸法210×50×80(高さ)mmで樹脂厚3mmの金型を作製し、ともにABS樹脂を用いて作製した。中籠は175×30×120mmの金型を作製し、下端部内側は曲率半径4mmの球面状とし、ポリエチレン樹脂を用いて樹脂厚3mmで作製した。また、中籠を容器本体に係止するためのリブをポリプロピレン樹脂で作製した。基板押さえはマスク基板と接する面は球面状である図8〜11に示す形状の金型を作製し、基板押さえの傾斜面は曲率半径4mmの球面状とし、ポリプロピレン樹脂により作製した。また、ラッチはポリプロピレン樹脂、O−リングはフッ素ゴムよりなる2mmφで内径150mmの商品名フロロプラス(ニチアス社製)を用いた。
本発明の基板収納ケースは、従来の収納ケースと比較して発塵が低減され、また、化学増幅型レジストを塗布したブランクスを収納した場合に、電子線描画やレーザ描画時のレジスト感度の安定化がなされ、高精度、高品質マスクが歩留りよく作製し得た。また、基板収納ケースの各構成部品が取り外し可能なので、ケースの洗浄が容易であった。
2 マスク基板
3 中籠
4 開口部
5 容器本体
6 蓋体
7 基板押さえ
8a 基板下部の角部
8b 基板上部の角部
9 傾斜面
10 基板押さえの球面
11 ガイド部
12 レバー
13 基板押さえの固定部
14 ラッチ
15 係止リブ
16 係止リブ嵌め込み部
17 はすかい
18 基板収納口
19 凹部
Claims (10)
- 1枚のマスク基板を縦置きに収納する中籠と、開口部を有し前記中籠を収容する容器本体と、前記容器本体の前記開口部を閉鎖する蓋体と、前記蓋体に取り付けられマスク基板と接する基板押さえとを有する基板収納ケースにおいて、前記中籠の下端部内側の両端は傾斜面を形成し、前記マスク基板は該マスク基板下部の4つの角部において前記中籠の下端部内側の両端の傾斜面と4点で接して支えられ、前記蓋体上部の内側の両端2箇所に取り付けられた2つの前記基板押さえは傾斜面を形成し、前記蓋体を閉めることにより、前記マスク基板は該マスク基板上部の4つの角部において前記基板押さえの傾斜面と4点で接して固定されることを特徴とする基板収納ケース。
- 前記中籠の下端部内側の両端の傾斜面は球面状または縦長円錐状であることを特徴とする請求項1に記載の基板収納ケース。
- 前記基板押さえのマスク基板と接する面は球面状または縦長円錐状であることを特徴とする請求項1もしくは2に記載の基板収納ケース。
- 前記中籠の下端部外側の相対する2つの側面には、容器本体と嵌合するための2つの取り外し可能な係止リブが形成されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の基板収納ケース。
- 前記中籠のマスク基板収納口の口縁が外側に向かって末広がりに拡がった形状を有することを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の基板収納ケース。
- 前記中籠のマスク基板収納口の位置が前記容器本体の前記開口部の位置よりも上にあることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の基板収納ケース。
- 前記中籠の相対する2つの主壁面の一部は取り除かれており、はすかいが設けられていることを特徴とする請求項1ないし6のいずれかに記載の基板収納ケース。
- 前記蓋体と合わせる前記容器本体の合わせ部にはOリングが嵌め込まれており、前記容器本体を前記蓋体で閉鎖した後、ラッチを用いて蓋体と容器本体とを固定し、密閉できることを特徴とする請求項1ないし7のいずれかに記載の基板収納ケース。
- 前記マスク基板が化学増幅レジストを塗布したフォトマスクブランクスであることを特徴とする請求項1ないし8のいずれかに記載の基板収納ケース。
- 前記基板収納ケースの容器本体下部に取り外し可能なスタンドを設けたことを特徴とする請求項1ないし9のいずれかに記載の基板収納ケース。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003421105A JP4334992B2 (ja) | 2003-12-18 | 2003-12-18 | 基板収納ケース |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003421105A JP4334992B2 (ja) | 2003-12-18 | 2003-12-18 | 基板収納ケース |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005183602A true JP2005183602A (ja) | 2005-07-07 |
JP4334992B2 JP4334992B2 (ja) | 2009-09-30 |
Family
ID=34782428
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003421105A Expired - Lifetime JP4334992B2 (ja) | 2003-12-18 | 2003-12-18 | 基板収納ケース |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4334992B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2333295A1 (en) | 2005-06-23 | 2011-06-15 | Honda Motor Co., Ltd. | Fuel feed system of engine |
-
2003
- 2003-12-18 JP JP2003421105A patent/JP4334992B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2333295A1 (en) | 2005-06-23 | 2011-06-15 | Honda Motor Co., Ltd. | Fuel feed system of engine |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4334992B2 (ja) | 2009-09-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4601932B2 (ja) | 基板収納ケース | |
JP5268142B2 (ja) | マスクブランク収納ケース及びマスクブランクの収納方法、並びにマスクブランク収納体 | |
US8146623B2 (en) | Purge system for a substrate container | |
CN101111802B (zh) | 大型光罩保护膜收纳容器 | |
JP2006124034A (ja) | 薄膜付基板の支持部材、薄膜付基板の収納容器、マスクブランク収納体、転写マスク収納体、及び薄膜付基板の輸送方法 | |
TWI755795B (zh) | 具有導位構件的光罩盒 | |
JP4334992B2 (ja) | 基板収納ケース | |
JP6050981B2 (ja) | マスクブランク収納ケース、及びマスクブランク収納体 | |
TWI686666B (zh) | 基板容器 | |
JP5416154B2 (ja) | 基板収納容器、膜付きガラス基板収納体、マスクブランク収納体、および転写マスク収納体 | |
WO2006035894A1 (ja) | 薄膜付基板の支持部材、薄膜付基板の収納容器、マスクブランク収納体、転写マスク収納体、及び薄膜付基板の輸送方法 | |
JPWO2006006318A1 (ja) | マスクブランクス及びその製造方法並びに転写プレートの製造方法 | |
JP2003264225A (ja) | ガラス基板収納容器 | |
CN210113201U (zh) | 光罩盒及其固持件 | |
JP3157664B2 (ja) | ペリクル収納容器 | |
JP4801981B2 (ja) | 基板収納容器、膜付きガラス基板収納体、マスクブランク収納体、および転写マスク収納体 | |
JP4357048B2 (ja) | 精密基板収納容器 | |
JP6704874B2 (ja) | 基板収納容器、これを用いた基板の保管方法及び基板の搬送方法 | |
JP5158056B2 (ja) | 基板収納ケース | |
JP2007145397A5 (ja) | ||
JPH03293355A (ja) | ペリクル収納容器 | |
JP2009102021A (ja) | マスクブランク収納ケース及びマスクブランクの収納方法、並びにマスクブランク収納体 | |
JP2010113202A (ja) | マスク収納容器及びその開放方法 | |
JP6013045B2 (ja) | マスクブランク収納ケース、マスクブランクの収納方法、及びマスクブランク収納体 | |
JP2002110775A (ja) | 精密基板収納容器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061018 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090227 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090304 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090428 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090527 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090624 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120703 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4334992 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120703 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130703 Year of fee payment: 4 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |