JP2009205152A - ペリクル収納容器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】面積1000cm2以上の大型ペリクルを収納するための、少なくとも蓋と、該ペリクルを載置するペリクル載置台とから構成されるペリクル収納容器において、前記蓋の開封作業時に蓋の変形を防止する変形防止手段を有することを特徴とする。
【選択図】図3
Description
前記蓋の開封作業時に蓋の変形を防止する変形防止手段を有することを特徴とするペリクル収納容器である。
ペリクル2のサイズは外径寸法が幅1366mm×1146mm、高さ7mmとし、ペリクル収納容器1のペリクル載置台3は、外径寸法が幅1526mm×1306mm、高さ34mmのハニカム構造を有するアルミニウム製のパネル、ペリクル載置台3の上部を覆う蓋4は、外径寸法が幅1526mm×1306mm、高さ80mmの、3mm厚のアクリル樹脂板の真空成型品を用いた。
蓋の開封作業時に蓋の変形を防止する変形防止手段として、蓋の天面を外側に向かって曲率半径が2000mmの凸型の曲面形状とした以外は、実施例1と同様の収納容器を用いた。
蓋の開封作業時に蓋の変形を防止する変形防止手段として、蓋をペリクル載置台と蓋を嵌合させた時にペリクル載置台より外径が大きい部分のはみ出し方向の長さが30mm、ペリクル載置台の外径に沿った長さが100mmである蓋とした以外は、実施例1と同様の収納容器を用いた。
穴を開けない収納容器とする以外は実施例1と同様の収納容器を用いた。
2 …ペリクル
2a…ペリクルフレーム
2b…マスク用粘着材
2c…ペリクル膜
2d…離型材
3 …ペリクル載置台
3a…載置面
4 …蓋
5a…通気用の穴
5b…通気用の穴
6a…通気用の隙間
6b…通気用の隙間
7a…真空による吸着部材
7b…挟み込みによる接触部材
8 …蓋の天面
9 …リブ
10…構造体
11…蓋のペリクル載置台より外径が大きい部分
Claims (9)
- 面積1000cm2以上の大型ペリクルを収納するための、少なくとも蓋と、該ペリクルを載置するペリクル載置台とから構成されるペリクル収納容器において、
前記蓋の開封作業時に蓋の変形を防止する変形防止手段を有することを特徴とするペリクル収納容器。 - 前記変形防止手段が、蓋の開封作業時にペリクル収納容器の内外で気体を通気できる通気手段であることを特徴とする、請求項1記載のペリクル収納容器。
- 前記通気手段が、蓋またはペリクル載置台の少なくとも片方に設けた通気用の穴であることを特徴とする、請求項2に記載のペリクル収納容器。
- 前記通気手段が、蓋とペリクル載置台の嵌合面に形成された通気用の隙間であることを特徴とする、請求項2に記載のペリクル収納容器。
- 前記変形防止手段が、蓋の開封時に使用される蓋の把持部材により把持される部分の剛性が、その部分の周囲の剛性よりも高い蓋であることを特徴とする、請求項1に記載のペリクル収納容器。
- 前記変形防止手段が、前記通気手段と、外側に向かって凸型の曲面形状を有する蓋の天面であることを特徴とする、請求項2乃至4のいずれか一項に記載のペリクル収納容器。
- 前記変形防止手段が、前記通気手段と、蓋の天面に設けたリブであることを特徴とする、請求項2乃至4のいずれか一項に記載のペリクル収納容器。
- 前記変形防止手段が、前記通気手段と、蓋の天面に取り付けた剛性を補強するための構造体であることを特徴とする、請求項2乃至4のいずれか一項に記載のペリクル収納容器。
- 前記変形防止手段が、ペリクル載置台と蓋を嵌合させた時にペリクル載置台より外径が大きい部分を有する蓋であることを特徴とする、請求項1に記載のペリクル収納容器。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011079545A (ja) * | 2009-10-07 | 2011-04-21 | Asahi Kasei E-Materials Corp | ケース |
JP2015023688A (ja) * | 2013-07-19 | 2015-02-02 | 株式会社デンソー | 電力変換装置 |
KR20210021268A (ko) * | 2019-08-16 | 2021-02-25 | 구뎅 프리시젼 인더스트리얼 코포레이션 리미티드 | 비밀폐식 레티클 저장장치 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6433206B2 (ja) * | 2014-09-03 | 2018-12-05 | アキレス株式会社 | テープフレーム付きウエハ用トレイ |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08172038A (ja) * | 1994-12-16 | 1996-07-02 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ペリクル収納容器 |
JP2005043708A (ja) * | 2003-07-23 | 2005-02-17 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 大型ペリクル収納容器 |
JP2005049765A (ja) * | 2003-07-31 | 2005-02-24 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 大型ペリクル収納容器 |
JP2005107085A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 大型ペリクル収納容器の開封方法および蓋開閉治具および大型ペリクル収納容器 |
JP2006195090A (ja) * | 2005-01-12 | 2006-07-27 | Mitsui Chemicals Inc | ペリクル用容器 |
JP2007025183A (ja) * | 2005-07-15 | 2007-02-01 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | ペリクル用収納容器 |
JP2007328226A (ja) * | 2006-06-09 | 2007-12-20 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ペリクル収納容器及びその製造方法 |
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08172038A (ja) * | 1994-12-16 | 1996-07-02 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ペリクル収納容器 |
JP2005043708A (ja) * | 2003-07-23 | 2005-02-17 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 大型ペリクル収納容器 |
JP2005049765A (ja) * | 2003-07-31 | 2005-02-24 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 大型ペリクル収納容器 |
JP2005107085A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 大型ペリクル収納容器の開封方法および蓋開閉治具および大型ペリクル収納容器 |
JP2006195090A (ja) * | 2005-01-12 | 2006-07-27 | Mitsui Chemicals Inc | ペリクル用容器 |
JP2007025183A (ja) * | 2005-07-15 | 2007-02-01 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | ペリクル用収納容器 |
JP2007328226A (ja) * | 2006-06-09 | 2007-12-20 | Shin Etsu Chem Co Ltd | ペリクル収納容器及びその製造方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011079545A (ja) * | 2009-10-07 | 2011-04-21 | Asahi Kasei E-Materials Corp | ケース |
JP2015023688A (ja) * | 2013-07-19 | 2015-02-02 | 株式会社デンソー | 電力変換装置 |
KR20210021268A (ko) * | 2019-08-16 | 2021-02-25 | 구뎅 프리시젼 인더스트리얼 코포레이션 리미티드 | 비밀폐식 레티클 저장장치 |
KR102439646B1 (ko) | 2019-08-16 | 2022-09-02 | 구뎅 프리시젼 인더스트리얼 코포레이션 리미티드 | 비밀폐식 레티클 저장장치 |
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