KR20210021268A - 비밀폐식 레티클 저장장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 레티클 저장장치는 천장부를 갖는 상부 리드, 상기 천장부를 둘러싸는 커버, 캐리어를 갖는 하부 리드 및 상기 캐리어를 둘러싸는 외주 구조를 포함한다. 상부 리드가 하부 리드와 맞물릴 때, 그 사이에 통로가 형성되고 따라서 레티클 저장장치는 밀폐되지 않는다.

Description

비밀폐식 레티클 저장장치{NON-SEALED RETICLE STORAGE DEVICE}
본 발명은 레티클 저장장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 밀폐되지 않은(즉, 비밀폐식) 레티클 포드에 관한 것이다.
공지의 레티클 포드는 일반적으로 외부 포드 및 내부 포드를 포함하고, 상기 외부 포드는 레티클 포드의 외층이고 내부 포드는 외부 포드에 수용된다. 외부 포드의 일부 유형은 상부 리드 및 하부 리드로 구성될 수 있다. 유사하게, 내부 포드는 내부에 레티클을 수용하면서 상부 리드 및 하부 리드로 구성될 수 있다.
극자외선(EUV) 레티클에 대한 오염 제어는 주로 미립자 및 먼지가 내부 포드로 유입되는 것을 방지하기 위해 내부 포드의 상부 및 하부 리드의 조합에 따른다. 상부 및 하부 리드를 갖는 내부 포드에 대한 종래의 설계는 밀폐 수단을 사용하여 포드의 내부 및 외부 간에 기류를 차단하기 위해 내부 포드 환경과 외부 환경 사이에 흐름 연통을 차단함으로써, 내부 포드내의 레티클이 오염되는 것을 방지한다. 그러나, 이러한 밀폐식 디자인에는 몇 가지 단점이 있을 수 있다. 우선, 표면 밀폐를 달성하기 어렵다. 예를 들어, 관련된 접촉면의 거칠기에 대한 엄격한 기준이 요구될 수 있다. 또한, 온도 및 압력 변화에 의해 야기된 내부 포드 환경과 외부 환경 간에 압력 차가 큰 경우에, 내부 포드를 개방(즉, 상부 및 하부 리드 분리)하는 동안 상당한 공기 교란이 발생할 수 있어, 대신에 레티클이 오염된다. 이는 일반적으로 외부 포드 또는 내부 포드를 이송하는 과정에서 발생한다. 더욱이, 밀폐형 디자인은 일반적으로 상부 및 하부 리드를 필요로 하고, 이들이 맞물릴 때, 일정량의 접촉 면적을 가져야 하는데, 이는 이러한 경질 조각들 간에 충돌로 인해 미립자가 발생할 수 있고 따라서 또한 내부 포드에 수용된 레티클도 오염시킨다.
따라서, 내부 포드에 수용된 레티클이 내부 포드의 개폐 과정 동안 비교적 안전한 환경에 유지되도록 하기 위해, 내부 포드의 종래의 밀폐형 디자인에 있던 상술한 단점을 극복하기 위한 해결방안을 개발할 필요가 여전히 있다.
본 발명의 목적은 천장부 및 상기 천장부를 둘러싸는 커버를 갖는 상부 리드; 캐리어 및 상기 캐리어를 둘러싸는 외주 구조를 갖는 하부 리드; 및 상기 하부 리드 위로 상기 상부 리드를 들어올리도록 구성된 복수의 범프를 포함하는 레티클 저장장치를 제공하는 것이다. 상부 리드가 하부 리드와 맞물릴 때 상기 캐리어, 상기 천장부 및 상기 커버가 레티클 수용공간을 정의하고, 상부 리드의 커버는 하부 리드의 외주 구조와 대면한다. 상부 리드의 커버 중 적어도 일부 및 하부 리드의 외주 구조 중 적어도 일부가 복수의 범프에 의한 통로를 형성하고, 상기 레티클 수용공간은 상기 통로로 인해 밀폐되지 않는 레티클 저장장치를 제공한다.
바람직한 일 실시예에서, 통로는 상이한 방향의 적어도 2 개의 연장 구조로 구성되고, 상기 상이한 방향의 적어도 2 개의 연장 구조는 커버에 형성된 제 1 오목부재 및 외주 구조에 형성된 제 1 볼록부재에 의해 정의되며, 상기 제 1 오목부재는 상기 제 1 볼록부재에 구조적으로 대응한다.
바람직한 일 실시예에서, 통로는 상이한 방향의 적어도 2 개의 연장 구조로 구성되고, 상기 상이한 방향의 적어도 2 개의 연장 구조는 커버에 형성된 제 2 볼록부재 및 외주 구조에 형성된 제 2 오목부재에 의해 더 정의되며, 상기 제 2 볼록부재는 상기 제 2 오목부재에 구조적으로 대응한다.
바람직한 일 실시예에서, 제 1 오목부재가 제 2 볼록부재를 둘러싸고, 제 1 볼록부재가 제 2 오목부재를 둘러싼다.
바람직한 일 실시예에서, 통로는 적어도 제 1 수평 연장 구조, 제 2 수평 연장 구조 및 수직 연장 구조로 구성되고, 상기 수직 연장 구조는 제 1 수평 연장 구조 및 제 2 수평 연장 구조 사이에 있으며, 상기 제 1 수평 연장 구조 및 상기 제 2 수평 연장 구조는 각각 상이한 높이 레벨에서 뻗어 있다.
바람직한 일 실시예에서, 하부 리드와 캐리어의 외주 구조가 그 사이에 트렌치를 형성하고, 상기 트렌치는 통로와 레티클 수용공간 사이에서 뻗어 있다.
바람직한 일 실시예에서, 복수의 범프가 커버로부터 아래쪽으로 뻗어 있고, 하부 리드의 외주 구조가 상기 복수의 범프에 대응하고 상기 외주 구조로부터 아래쪽으로 뻗어 있는 복수의 수용 리세스를 가지며, 상기 수용 리세스 각각은 상부 리드의 커버가 하부 리드의 외주 구조 위로 들어 올려지게 대응하는 범프를 부분적으로 수용하도록 구성된다.
본 발명의 다른 목적은 천장부 및 상기 천장부를 둘러싸는 커버를 갖는 상부 리드; 및 캐리어 및 상기 캐리어를 둘러싸는 외주 구조를 갖는 하부 리드를 포함하는 레티클 저장장치를 제공하는 것이다. 상기 상부 리드가 상기 하부 리드와 맞물릴 때, 상기 캐리어, 상기 천장부 및 상기 커버가 레티클 수용공간을 정의한다. 상부 리드의 커버는 하부 리드의 외주 구조와 대면하며, 상기 상부 리드의 커버의 적어도 일부 및 상기 하부 리드의 외주 구조의 적어도 일부가 통로를 형성하고, 상기 레티클 수용공간은 상기 통로로 인해 밀폐되지 않는다. 상기 통로는 복수의 연장 구조로 구성된다. 상기 통로는 제 1 전환점 및 제 2 전환점을 가지며, 상기 제 1 전환점 및 상기 제 2 전환점은 기류 방향을 바꿀 수 있다.
바람직한 일 실시예에서, 통로는 유입구를 더 포함하고, 제 1 전환점은 상기 유입구의 높이보다 높은 높이에 위치하며, 제 2 전환점은 상기 유입구의 높이보다 낮은 높이에 위치한다.
바람직한 일 실시예에서, 외주 구조와 캐리어가 그 사이에 트렌치를 형성하고, 상기 트렌치는 통로와 레티클 수용공간 사이에서 뻗어 있다.
바람직한 일 실시예에서, 상부 리드의 커버에는 복수의 범프가 상기 커버로부터 아래쪽으로 뻗어 있고, 하부 리드의 외주 구조는 상기 범프에 대응하고 상기 외주 구조로부터 뻗어 있는 복수의 수용 리세스를 가지며, 각각의 수용 리세스는 상부 리드의 커버가 하부 리드의 외주 구조 위로 들어 올려지게 대응하는 범프를 부분적으로 수용하도록 구성된다.
본 발명의 원리에 의해 예시된 하기의 명세서 및 도면을 통해 본 발명의 장점 및 특징을 상세하게 논의할 것이다.
본 발명의 내용에 포함됨.
본 개시의 상기 및 다른 특징 및 장점은 하기의 상세한 설명 및 도면을 참조하여 더 잘 이해될 수 있다.
도 1a 및 도 1b는 각각 레티클 저장장치의 평면도 및 측면도를 도시한 것이다.
도 2는 레티클 저장장치의 사시도를 도시한 것이다.
도 3a 내지 도 3c는 AA 선에 따른 횡단면도로서, 본 발명에 따른 통로의 3 가지 구체적인 예를 도시한 것이다.
도 4a는 지지 수단의 제 1 실시예를 도시한 BB 라인에 따른 횡단면도이다.
도 4b 및 도 4c는 각각 상부 리드 및 하부 리드에 사용되는 지지 수단을 도시한 것이다.
도 5는 지지 수단의 제 2 실시예를 도시한 BB 라인에 따른 횡단면도이다.
도 6은 지지 수단의 제 3 실시예를 도시한 BB 라인에 따른 횡단면도이다.
본 개시의 일부를 형성하는 첨부 도면을 참조로 다양한 예시적인 실시예들을 상세히 설명할 것이다. 또한, 이들 실시예는 상기 실시예를 달성하기 위해 수행될 수 있는 예들과 함께 설명되며, 당업자가 상기 실시예를 달성할 수 있도록 충분한 상세 내용이 제공된다. 상기 실시예들의 기술 사상 및 범위를 벗어나지 않으면서, 다른 실시예들이 사용될 수 있고 다른 변경들도 이루어질 수 있다는 것이 이해될 것이다. 또한, 상기에도 불구하고, "일 실시예에서"라는 어구의 출현은 반드시 동일하거나 하나의 단일 실시예를 가리키는 것은 아니다. 그러므로, 하기의 상세한 설명은 제한적인 의미로 해석되지 않아야 하며, 상기 실시예들의 범위는 첨부된 청구 범위에 의해서만 정의된다.
전체 명세서 및 첨부된 청구 범위에 달리 명시되지 않는 한, 각각의 하기 용어는 아래에 구체적으로 정의된 의미를 갖는다. 본 명세서에서 사용 된 바와 같이, 달리 명시되지 않는 한, 용어 "또는"은 포괄적인 의미로 해석되며 용어 "및/또는"과 동등하다. 본 명세서에서 달리 명시되지 않는 한, 용어 "~에 따른"은 배타적인 의미로 해석되어서는 안되며, 본 명세서에 기술되지 않은 많은 다른 요소를 언급 할 수 있다. 또한, 전체 명세서에서, 용어 "a", "an" 및 "the"는 또한 복수의 의미로 사용된다. 용어 "in"은 본원에서 "in" 및 "on" 둘 모두를 의미하는 것으로 사용된다.
본 발명은 비밀폐식 레티클 저장장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 도 1 및 도 2는 레티클 저장장치의 평면도 및 측면도를 도시한 것이다. 레티클 저장장치는 상부 리드(101) 및 하부 리드(102)을 포함한다. 레티클(미도시)이 상부 리드(101)와 하부 리드(102) 사이에 수용될 수 있다. 상기 비밀폐식 레티클 저장장치의 특별한 특징은 상부 리드(101)가 하부 리드(102)과 맞물릴 때 수용된 레티클이 실질적으로 밀폐되지 않는다는 것이다. 즉, 레티클 저장장치의 레티클 수용공간은 외부 환경의 압력과 실질적으로 동일한 압력을 갖는다. 도시되지는 않았지만, 상기 레티클 저장장치는 외부 포드에 추가로 수용될 수 있다. 본 발명에 따른 비밀폐식 레티클 저장장치는 주로 내부 포드에 관한 것이다. 상부 리드(101) 및 하부 리드(102)에는 외부 포드와 연결하기 위해 표면 상에 구조 또는 접촉부가 제공될 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 레티클 저장장치가 중심 영역 및 상기 중심 영역을 둘러싸는 4 개의 에지를 갖는 것을 도시한 평면도이다. 상기 레티클 수용공간은 일반적으로 중심 영역 아래에 있다. 레티클 저장장치에는 중심 영역과 에지 사이에 특정 구조가 제공되어, 상부 리드(101)가 하부 리드(102)와 맞물릴 때 특정 경로를 갖는 통로가 형성되어, 레티클 저장장치에 밀폐되지 않은 특성을 제공한다. 특정 경로를 갖는 통로를 통과하는 공기 입자가 가능하게 포획될 수 있고 따라서 수용된 레티클을 오염시키는 것을 방지할 수 있다. 도 1a 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상부 리드(101)에는 상부에 공기 백필링(air backfilling)에 사용되는 복수의 유입 구멍(번호가 매겨져 있지 않음), 및 미립자를 거르기 위해 사용되는 필러(미도시)가 더 제공될 수 있다.
도 2는 AA 라인 및 BB 라인을 갖는 본 발명에 따른 레티클 저장장치의 사시도를 도시한 것이다. 도 3a 내지 도 3c는 AA 라인에 따른 횡단면도로서, 통로의 3 가지 구체적인 예를 도시한 것이다. 통로의 한 측면만이 도시되어 있지만, 상기 통로는 레티클 저장장치의 각 측면에서 뻗어 있는 것으로 예상된다. 일부 경우에, 레티클 저장장치의 특정 측면만이 본 발명에 따른 비밀폐 통로를 갖는 반면 다른 측면은 밀폐된다. 또한, 도 4a는 BB 라인에 따른 횡단면도이고, 도 4b 및 4c는 상부 리드와 하부 리드의 결합 구조의 제 1 실시예를 도시한 것이다. 도 5는 상부 리드와 하부 리드의 결합 구조의 제 2 실시예를 도시한 것이다. 도 6은 상부 리드와 하부 리드의 결합 구조의 제 3 실시예를 도시한 것이다.
도 3a 내지 도 3c에 도시된 바와 같이, 상부 리드(101)는 천장부(201) 및 상기 천장부(201)으로부터 수평방향으로 및 하방으로 뻗어 있는 커버(202)를 갖는다. 커버(202)는 비교적 큰 두께를 갖는다. 일부의 도면만이 도시되어 있지만, 커버(202)는 천장부(201)를 둘러싸고 상부 리드(101)의 4 개의 가장자리쪽으로 뻗어 있을 것으로 예상된다. 하부 리드(102)는 캐리어(203) 및 외주 구조(204)를 갖는다. 상기 캐리어(203)는 레티클을 운반하기 위한 운반면을 제공한다. 캐리어(203)는 레티클 수용 영역을 정의하기 위해 복수의 지지 부재 또는 제한 부재를 제공할 수 있다. 하부 리드(102)의 4 개의 에지를 따라 뻗어 있는 외주 구조(204)가 캐리어(203)를 둘러싸고 캐리어(203)의 운반 표면보다 약간 낮다. 일부 실시예에서, 외주 구조(204)는 캐리어(203)의 운반면보다 높을 수 있다.
상부 리드(101)와 하부 리드(102)가 서로 맞물릴 때, 캐리어(203), 천장부(201) 및 커버(202)가 레티클 수용공간을 정의한다. 상부 리드(101)의 커버(202)는 서로 완전히 접촉하지 않고 하부 리드(102)의 외주 구조(204)를 대면한다. 대안으로, 커버(202)와 외주 구조(204)는 서로 부분적으로 접촉될 수 있다. 상부 리드(101)의 커버(202)의 적어도 일부 및 하부 리드(102)의 외주 구조(204)의 적어도 일부가 레티클 수용공간이 밀폐되지 않게 하는 통로를 형성한다. 통로는 유입구(205) 및 배출구(206)를 갖는다. 유입구(205)는 커버(202)와 외주 구조(204) 사이의 최외곽면의 갭이다. 배출구(206)는 커버(202)와 외주 구조(204) 사이에 형성된 최내측 통로의 단자이다. 유입구(205) 및 배출구(206)라는 어구는 흐름 방향을 제한하기 위해 사용되지 않는다는 것을 이해해야 한다. 실제로 기류는 양방향이어야 한다. 또한, 커버(202), 캐리어(203) 및 외주 구조(204)의 설계는 유입구(205), 배출구(206) 및 레티클 수용공간 사이의 관계를 결정한다는 것을, 즉 이는 통로와 레티클 수용공간 사이의 상대적인 관계를 결정한다는 것을 이해해야 한다. 도면은 통로가 레티클 수용공간보다 낮은 경우의 유형의 구성을 단지 예시할 뿐이다.
통로는 상이한 방향으로 제시된 적어도 2 개의 연장 구조로 구성된다. 도 3a에 도시된 실시예로서, 상이한 방향의 적어도 2 개의 연장 구조는 커버(202)의 제 1 오목부재(207) 및 외주 구조(204)의 제 1 볼록부재(208)에 의해 정의된다. 제 1 오목부재(207)는 제 1 볼록부재(208)에 구조적으로 대응하고, 제 1 볼록부재(208)는 제 1 오목부재(207)에 부분적으로 수용된다. 횡단면도만이 도시되어 있지만, 제 1 오목부재(207) 및 제 1 볼록부재(208)는 레티클 수용공간을 둘러싸는 커버(202) 및 외주 구조(204)를 따라 뻗어 있는 구조인 것으로 이해되어야 한다. 제 1 오목부재(207) 및 제 1 볼록부재(208)는 유입구(205)로부터 배출구(206)로 뻗어 있는 2개의 수직 연장 구조 및 하나의 수평 연장 구조를 형성한다.
통로의 상이한 방향의 적어도 2 개의 연장 구조는 커버(202)의 제 2 볼록부재(209) 및 외주 구조(204)의 제 2 오목부재(210)에 의해 더 정의된다. 제 2 볼록부재(209)는 제 2 오목부재(210)에 구조적으로 대응하고, 제 2 볼록부재(209)는 제 2 오목부재(210)에 부분적으로 수용된다. 제 2 볼록부재(209) 및 제 2 오목부재(210)는 또한 레티클 수용공간을 둘러싸는 커버(202) 및 외주 구조(204)를 따라 뻗어 있는 구조인 것으로 예상되어야 한다. 또한, 제 2 볼록부재(209) 및 제 2 오목부재(210)는 유입구(205)와 배출구(206) 사이에 2 개의 수직 연장 구조 및 1 개의 수평 연장 구조를 정의한다.
제 1 오목부재(207)는 커버(202)상의 제 2 볼록부재(209)를 둘러싼다. 제 1 볼록부재(208)는 외주 구조(204)상의 제 2 오목부재(210)를 둘러싼다. 이 구성은 제한 사항이 아니다. 대안으로, 일부 실시예에서, 제 1 오목부재(207)에 비해 제 2 볼록부재(209)가 유입구(205)에 비교적 가까울 수 있는 반면, 제 1 볼록부재(208)에 비해 제 2 오목부재(210)가 유입구(205)에 가까울 수 있다. 이들 오목 및 볼록 구조의 개수는 제한이 아니며, 더 많거나 더 적은 오목 및 볼록 구조도 가능할 수 있다. 예를 들어, 특정 구성에서, 통로는 제 1 수평 연장 구조, 제 2 수평 연장 구조 및 수직 연장 구조로 구성될 수 있으며, 수직 연장 구조는 제 1 수평 연장 구조와 제 2 수평 연장 구조 사이에 있는 한편, 제 1 수평 연장 구조 및 제 2 수평 연장 구조는 각각 상이한 높이 레벨로 연장된다. 이 설계는 기류의 배리어를 높이기 위해 높이 차이가 있는 통로를 만들 수 있다. 상기 수평 연장 구조의 폭 및 상기 수직 연장 구조의 폭은 0.02 mm 내지 0.20 mm의 범위일 수 있다.
도 3a의 구성에 따르면, 유입구(205)로부터 유입되는 기류는 레티클 수용공간으로 들어가기 전에 제 1 볼록부재(208) 및 제 2 오목부재(210)의 배리어를 통과해야 하고, 이는 미립자가 레티클에 떨어질 가능성을 줄인다. 하부 리드의 외주 구조(204)와 캐리어(203) 사이에 트렌치(211)가 추가로 제공될 수 있고, 상기 트렌치(211)는 배출구(206)와 레티클 수용공간 사이에 배치되며 운반면보다 아래의 하부로 연장된다. 트렌치(211)는 미립자가 레티클 수용공간으로 진입하는 것을 방지하기 위한 추가의 배리어를 생성한다. 또한, 캐리어(203)의 운반면은 통로보다 높고, 이에 의해 미립자는 트렌치(211)의 바닥으로 강하되게 강제된다.
도 3b는 통로의 제 2 실시예를 도시한 것이다. 통로는 유입구(205)와 배출구(206) 사이의 경사 연장 구조를 포함한다. 경사 연장 구조는 커버(202)의 제 1 오목부재(207) 및 외주 구조(204)의 제 1 볼록부재(208)에 의해 정의되며, 제 1 오목부재(207) 및 제 1 볼록부재(208) 테이퍼져있다. 이는 유입구(205)에서 배출구(206)로의 저-고 기울기 확장을 제공하는 한편, 고-저 기울기도 가능할 수 있다. 일부 실시예에서, 통로는 적어도 하나의 수평 연장 구조 및 경사 연장 구조로 구성될 수 있다.
도 3c는 통로의 제 3 실시예를 도시한 것이다. 통로는 계단형 연장부를 포함할 수 있다. 도면에 도시된 바와 같이, 제 1 오목부재(207)는 상이한 깊이의 2 개의 리세스를 갖고, 제 1 볼록부재(208)는 상이한 높이의 2 개의 단층을 갖는다. 두 구조는 서로 대응하며 기류에 대한 배리어를 증가시키는 계단형 경로를 형성한다. 이는 유입구(205)에서 배출구(206)로의 저-고 계단형 연장 구조를 제공한다. 그러나, 고/저 계단형 연장 구조도 가능할 수 있다.
상부 리드의 커버(202)와 하부 리드의 외주 구조(204)에 의해 형성된 유입구(205)와 배출구(206) 사이의 통로는 적어도 제 1 전환점 및 제 2 전환점을 포함 할 수 있다. 상기 전환점은 기류 방향이 변하는 통로 구조이다. 이러한 전환점은 기류의 배리어를 효과적으로 증가시킬 수 있다. 도 3a 내지 도 3c에 도시된 바와 같이, 제 1 오목부재(207) 및 제 1 볼록부재(208)는 제 1 전환점으로 제공되는 반면, 제 2 볼록부재(209) 및 제 2 오목부재(210)는 제 2 전환점으로 제공된다. 이 실시예에서, 제 1 전환점은 유입구(205)의 높이보다 높은 높이에 위치하고, 제 2 전환점은 유입구(205)의 높이보다 낮은 높이에 위치한다. 제 1 전환점은 유입구(205)와 제 2 전환점 사이에 배치된다. 상기 전환점은 상부 리드(101) 및 하부 리드(102)의 대응하는 면 상에 볼록-오목 구조에 의해 형성될 수 있다. 예를 들어, 상부 리드의 하향면은 평평한 면일 수 있고 하부 리드의 상향면은 복수의 오목-볼록 구조를 가질 수 있다. 대안으로, 하부 리드의 상향면은 평평한 면일 수 있고 상부 리드의 하향면은 복수의 볼록-오목 구조를 가질 수 있거나, 상향면 및 하향면 모두가 복수의 볼록-오목 구조를 가질 수 있다.
도 4a는 상부 리드(101) 및 하부 리드(102)에 사용되는 지지 수단을 포함하는 본 발명에 따른 레티클 저장장치의 코너 구조를 도시한 BB 라인에 따른 횡단면도이다. 상부 리드(101)의 커버(202)는 상부 리드의 4 개의 코너에(또는 비교적 큰 면적을 갖는 커버 상에) 제공되고 커버(202)로부터 하향 연장되는 복수의 지지 범프(212)를 갖는다. 하부 리드(102)의 외주 구조(204)는 상부 리드(101)의 커버(202)가 하부 리드(102)의 외주 구조 위로 들어올려질 수 있고 상기 통로를 형성도록 대응 범프(212)를 부분적으로 수용하도록 구성된 복수의 대응하는 수용 리세스(213)를 갖는다. 일 실시예에서, 범프(212)는 수용 리세스(213)의 깊이보다 큰 높이를 갖는다.
도 4b는 상부 리드(101)의 내부를 도시한 것이다. 범프(212)는 커버(202)의 표면에 형성되고 제 2 볼록부재(209)의 연장 경로 상에 위치된다. 그러나, 범프(212)는 제 2 볼록부재(209)를 피하기 위해 다른 곳에 형성될 수 있다. 범프(212)는 상부 리드(101)의 커버(202)와 통합될 수 있다. 대안으로, 도 6에서, 범프(212)는 상이한 재료의 부재일 수 있고 소프트 범프와 같이 상부 리드(101)의 커버(202)에 연결될 수 있다. 도 4c는 하부 리드(102)의 내부를 도시한 것이다. 수용 리세스(213)는 외주 구조(204)의 표면에 형성되고 제 2 오목부재(210)의 연장 경로와 연통된다. 그러나, 수용 리세스(213)는 또한 제 2 오목부재(210)를 피하기 위해 다른 곳에 형성될 수 있다. 범프(212) 및 대응하는 수용 리세스(213)는 반구형이다. 도 5는 범프(212) 및 대응하는 수용 리세스(213)가 직사각형 구조일 수 있는 제 2 실시예를 도시한 것이다. 일부 실시예에서, 범프 및 수용 리세스의 위치를 전환하는 것도 가능하다.
무엇보다도, 본 발명에 따른 레티클 저장장치는 상부 리드와 하부 리드 사이에 통로를 제공하여, 장치 또는 레티클 내부 포드에 대해 밀폐되지 않은 상태를 야기하고 내부 및 외부 압력의 균형을 유지하게 한다. 통로의 특정 경로로 인해 미립자가 장치내 레티클 수용공간에 도달하는 것이 어렵다.
상술한 세부 사항은 상기 실시예의 제조 및 조합 사용에 관한 철저한 설명을 제공한다. 이러한 명세서의 기술사상 및 범위를 벗어남이 없이 다양한 실시예가 이루어질 수 있다. 따라서, 이들 실시예는 첨부된 청구 범위에 포함될 것이다.
101: 상부 리드
102: 하부 리드
201: 천장부
202; 커버
203: 캐리어
204: 외주 구조
205: 유입구
206: 배출구
207: 제 1 오목부재
208: 제 1 볼록부재
209: 제 2 볼록부재
210: 제 2 오목부재

Claims (11)

  1. 천장부 및 상기 천장부를 둘러싸는 커버를 갖는 상부 리드;
    캐리어 및 상기 캐리어를 둘러싸는 외주 구조를 갖는 하부 리드; 및
    상기 하부 리드 위로 상기 상부 리드를 들어올리도록 구성된 복수의 범프를 포함하고,
    상부 리드가 하부 리드와 맞물릴 때 상기 캐리어, 상기 천장부 및 상기 커버가 레티클 수용공간을 정의하고, 상부 리드의 커버는 하부 리드의 외주 구조와 대면하며, 상부 리드의 커버 중 적어도 일부 및 하부 리드의 외주 구조 중 적어도 일부가 복수의 범프에 의한 통로를 형성하고, 상기 레티클 수용공간은 상기 통로로 인해 밀폐되지 않는 레티클 저장장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    통로는 상이한 방향의 적어도 2 개의 연장 구조로 구성되고, 상기 상이한 방향의 적어도 2 개의 연장 구조는 커버에 형성된 제 1 오목부재 및 외주 구조에 형성된 제 1 볼록부재에 의해 정의되며, 상기 제 1 오목부재는 상기 제 1 볼록부재에 구조적으로 대응하는 레티클 저장장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    통로는 상이한 방향의 적어도 2 개의 연장 구조로 구성되고, 상기 상이한 방향의 적어도 2 개의 연장 구조는 커버에 형성된 제 2 볼록부재 및 외주 구조에 형성된 제 2 오목부재에 의해 더 정의되며, 상기 제 2 볼록부재는 상기 제 2 오목부재에 구조적으로 대응하는 레티클 저장장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    제 1 오목부재가 제 2 볼록부재를 둘러싸고, 제 1 볼록부재가 제 2 오목부재를 둘러싸는 레티클 저장장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    통로는 적어도 제 1 수평 연장 구조, 제 2 수평 연장 구조 및 수직 연장 구조로 구성되고, 상기 수직 연장 구조는 제 1 수평 연장 구조 및 제 2 수평 연장 구조 사이에 있으며, 상기 제 1 수평 연장 구조 및 상기 제 2 수평 연장 구조는 각각 상이한 높이 레벨에서 뻗어 있는 레티클 저장장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    하부 리드와 캐리어의 외주 구조가 그 사이에 트렌치를 형성하고, 상기 트렌치는 통로와 레티클 수용공간 사이에서 뻗어 있는 레티클 저장장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    복수의 범프가 커버로부터 아래쪽으로 뻗어 있고, 하부 리드의 외주 구조가 상기 복수의 범프에 대응하고 상기 외주 구조로부터 아래쪽으로 뻗어 있는 복수의 수용 리세스를 가지며, 상기 수용 리세스 각각은 상부 리드의 커버가 하부 리드의 외주 구조 위로 들어 올려지게 대응하는 범프를 부분적으로 수용하도록 구성된 레티클 저장장치.
  8. 천장부 및 상기 천장부를 둘러싸는 커버를 갖는 상부 리드; 및
    캐리어 및 상기 캐리어를 둘러싸는 외주 구조를 갖는 하부 리드를 포함하고,
    상기 상부 리드가 상기 하부 리드와 맞물릴 때, 상기 캐리어, 상기 천장부 및 상기 커버가 레티클 수용공간을 정의하고, 상부 리드의 커버는 하부 리드의 외주 구조와 대면하며, 상기 상부 리드의 커버의 적어도 일부 및 상기 하부 리드의 외주 구조의 적어도 일부가 통로를 형성하고, 상기 레티클 수용공간은 상기 통로로 인해 밀폐되지 않으며, 상기 통로는 복수의 연장 구조로 구성되고, 상기 통로는 제 1 전환점 및 제 2 전환점을 가지며, 상기 제 1 전환점 및 상기 제 2 전환점은 기류 방향을 바꿀 수 있는 레티클 저장장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    통로는 유입구를 더 포함하고, 제 1 전환점은 상기 유입구의 높이보다 높은 높이에 위치하며, 제 2 전환점은 상기 유입구의 높이보다 낮은 높이에 위치하는 레티클 저장장치.
  10. 제 8 항에 있어서,
    외주 구조와 캐리어가 그 사이에 트렌치를 형성하고, 상기 트렌치는 통로와 레티클 수용공간 사이에서 뻗어 있는 레티클 저장장치.
  11. 제 8 항에 있어서,
    상부 리드의 커버에는 복수의 범프가 상기 커버로부터 아래쪽으로 뻗어 있고, 하부 리드의 외주 구조는 상기 범프에 대응하고 상기 외주 구조로부터 뻗어 있는 복수의 수용 리세스를 가지며, 각각의 수용 리세스는 상부 리드의 커버가 하부 리드의 외주 구조 위로 들어 올려지게 대응하는 범프를 부분적으로 수용하도록 구성된 레티클 저장장치.
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