JP2006103795A - ガラス基板収納ケース、ガラス基板入替装置、ガラス基板管理装置、ガラス基板流通方法、シール部材及びこのシール部材を用いたシール構造 - Google Patents

ガラス基板収納ケース、ガラス基板入替装置、ガラス基板管理装置、ガラス基板流通方法、シール部材及びこのシール部材を用いたシール構造 Download PDF

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Abstract

【課題】ガラス基板の品質劣化を防止できるガラス基板収納ケース、ガラス基板収納ケースから別のケースにガラス基板を自動で入れ替えるガラス基板入替、ガラス基板を個別に管理するガラス基板管理装置、ガラス基板を専用のガラス基板収納ケースに収納させて取引するガラス基板流通方法、気密効果を高めるシール部材及びこのシール部材を用いたシール構造を提供する。
【解決手段】レチクルＲが載置される底部材１２と、底部材１２に載置されたレチクルＲを覆うように底部材１２に合わせられ底部材１２との間に空間部を形成する蓋部材２０と、底部材１２又は／及び蓋部材２０に設けられ蓋部材２０が底部材１２に合わせられた状態で空間部を気密にするシール部材１８と、蓋部材２０に設けられ底部材１２に引っ掛けられて蓋部材２０が底部材１２に合わせられた状態を維持するフック部材２４と、を有する構成とした。
【選択図】 図３

Description

本発明は、レチクルなどのガラス基板を収納するガラス基板収納ケース、ガラス基板収納ケースに収納されたガラス基板を他のステッパーケースに入れ替えるガラス基板入替装置、ガラス基板入替装置を備えガラス基板を個別に管理するガラス基板管理装置及びガラス基板を流通・取引するガラス基板流通方法、気密効果を高めることが可能なシール部材及びこのシール部材を用いたシール構造に関する。
半導体素子をフォトリソグラフィで製造する際に、レチクルに予め形成されたパターンを半導体ウエーハに投影、転写する露光装置（ステッパ）が用いられている。半導体素子の製造時には、複数枚のレチクルを用いて異なるパターンを露光する必要があるため、半導体素子の種類毎に多数のレチクルが必要になる。そのため、露光装置の近傍には、多数のレチクルを保管するためのライブラリが配置されている。
ここで、上記レチクルが露光装置に至るまでに、埃の付着や人が直接触れることを防止するために、レチクルはレチクル収納ケースに収納して取り扱われている。すなわち、レチクルを製造するレチクルメーカーからレチクルに所定のパターンを形成する描画業者に至るまでに、例えば、上蓋と下蓋とからなるレチクル収納ケースにレチクルを収納し、上蓋と下蓋との境界部（合わせ目）にテープを貼り、収納ケースを気密にした状態でレチクルが取引されていた。また、描画業者にてレチクルに所定のパターンが形成された後、露光装置を用いたレチクルに形成されたパターンを半導体ウエーハに投影、転写するデバイスメーカーに至るまでには、また別のレチクル収納ケースにレチクルが収納されて取引されていた。さらに、デバイスメーカーでは、レチクルを保管するための専用のレチクル収納ケースにレチクルが収納されてクリーンルーム内のライブラリで保管されていた。
上記のように、レチクルメーカーから描画業者への取引過程（以下、適宜「第１取引過程」という。）、描画業者からデバイスメーカーへの取引過程（以下、適宜「第２取引過程」という。）、さらにデバイスメーカーでの保管過程において、レチクルは、各種別々のレチクル収納ケースに収納されていた。
特開２０００−２６９３０１号公報
ところで、第１取引過程、第２取引過程及び保管過程において、レチクルが別のレチクル収納ケースに入れ替えられるが、それぞれの過程でレチクル収納ケースを用意しなければならず、各メーカーや業者での負担が大きくなる。また、気密性が十分な収納ケースがなく、クリーンルーム外へ持ち出す場合（第１取引過程、第２取引過程）に、レチクル収納ケースの下蓋と上蓋との合わせ目にテープを巻き付けて気密性を確保していたため、作業性が悪くなっていた。また、その作業時に、レチクル収納ケースの内部にわずかな空気流が発生し、レチクルに埃等が付着するおそれもある。
また、半導体やレチクルの収納容器の気密性確保のために、ゴムシール材を介在させて密封するという提案もある（特開２００５−３１４８９）。
しかし、ここに提案されているような断面が円形，楕円，四角などの一般的なシール材を使用した場合、気密性の実現に必要な弾性変形をさせるには、大きな荷重で押し潰すことが必要である。レチクル収納容器は比較的薄肉な樹脂材から構成され、あまり高い剛性を有していないことから、このようなシール材の弾性変形によって生ずる圧縮反力を受けた場合、その反力に耐え切れず、容器自体にそりを発生させてしまい、シール不良を引き起こしやすいという問題がある。
また、収納容器の開閉作業を自動化するには、より小さな力で本体と蓋体とを開閉できる容器が望ましく、低い荷重で気密性を実現できるシール材が望まれる。
また、露光装置の近傍にレチクルを保管するためのライブラリが配置されるが、このライブラリはクリーンルームの内部に設けなければならない。このため、露光装置が大型化するだけでなく、クリームルームを設けるための設備費が大幅に向上するため、コストが増大することになる。
そこで、本発明は、上記事情に鑑み、レチクルなどのガラス基板を流通させる上で気密性を確保しガラス基板の品質劣化を防止できるガラス基板収納ケース、また、このガラス基板収納ケースから別の収納ケースにガラス基板を自動で入れ替えるガラス基板入替装置、また、ガラス基板入替装置を備えガラス基板を個別に管理することにより露光装置を小型化・低コスト化することができるガラス基板管理装置、また、ガラス基板メーカーからデバイスメーカーに至るまでにガラス基板を専用のガラス基板収納ケースに収納させて取引することができるガラス基板流通方法、また、気密効果を高めることができるシール部材及びこのシール部材を用いたシール構造を提供することを目的とする。
請求項１に記載の発明は、ガラス基板を収納するためのガラス基板収納ケースであって、前記ガラス基板が載置される底部材と、前記底部材に載置された前記ガラス基板を覆うように前記底部材に合わせられ前記底部材との間に空間部を形成する蓋部材と、前記底部材又は／及び前記蓋部材に設けられ、前記蓋部材が前記底部材に合わせられた状態で前記空間部を気密にするシール部材と、前記蓋部材に設けられ、前記底部材に引っ掛けられて前記蓋部材が前記底部材に合わせられた状態を維持するフック部材と、を有することを特徴とする。
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のガラス基板収納ケースにおいて、前記フック部材は、前記蓋部材に回転可能に設けられた軸部と、前記軸部を回転軸として回転し前記底部材の底部と係合する爪部と、を有することを特徴とする。
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載のガラス基板収納ケースにおいて、前記シール部材は前記蓋部材又は／及び前記底部材に形成された溝に配置され、前記シール部材は、前記溝に挿入され前記溝の側壁を押圧する一対の圧力部と、前記各圧力部同士を接続し前記蓋部材が前記底部材に合わせられるときに前記蓋部材又は前記底部材と接触し弾性変形する屈曲部と、を有し、前記各圧力部の肉厚が前記屈曲部の肉厚と比較して厚くなるように形成されていることを特徴とする。
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載のガラス基板収納ケースにおいて、前記屈曲部から前記各圧力部までの少なくとも一部には、突起部が設けられていることを特徴とする。
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載のガラス基板収納ケースにおいて、前記屈曲部から前記各圧力部に亘って肉厚が徐々に厚くなるように形成されていることを特徴とする。
請求項６に記載の発明は、請求項１又は２に記載のガラス基板収納ケースにおいて、前記蓋部材又は／及び前記底部材には凸部を有する溝が形成され、前記シール部材は、ゴムで構成され、前記シール部材は、前記凸部を挟むように前記溝に挿入され前記凸部と対向する溝側壁を押圧する一対の圧力部と、前記各圧力部同士を接続し前記蓋部材が前記底部材に合わせられるときに前記蓋部材又は前記底部材と接触する部位が湾曲状に形成され前記蓋部材が前記底部材に合わせられるときに前記蓋部材又は前記底部材と接触して弾性変形する薄肉部と、を有することを特徴とする。
請求項７に記載の発明は、請求項６に記載のガラス基板収納ケースにおいて、前記薄肉部の厚みは、０．２ｍｍ以上０．６ｍｍ以下であることを特徴とする。
請求項８に記載の発明は、請求項６又は７に記載のガラス基板収納ケースにおいて、前記圧力部の溝底面と接触する先端部に向かって徐々に薄肉となっていることを特徴とする。
請求項９に記載の発明は、請求項６乃至８のいずれか１項に記載のガラス基板収納ケースにおいて、前記シール部材は、前記シール部材の厚み方向に切断した断面の高さ方向に延びる中心線に関して対称となるように形成されていることを特徴とする。
請求項１０に記載の発明は、請求項１乃至９のいずれか１項に記載のガラス基板収納ケースに収納されたガラス基板を別のステッパーケースに入れ替えるガラス基板入替装置であって、上下方向に移動可能に設けられ前記ガラス基板収納ケースが載置される昇降部材と、前記昇降部材に載置された前記ガラス基板収納ケースの前記底部材への前記フック部材の引っ掛けを解除すると共に、前記蓋部材を下方から支持する係合解除部材と、前記ステッパーケースが載置された土台部材と、前記昇降部材上の前記底部材に載置された前記ガラス基板を前記底部材から取り出し前記ステッパーケース側に移動させるアーム部材と、を有することを特徴とする。
請求項１１に記載の発明は、請求項１０に記載のガラス基板入替装置において、前記係合解除部材は、前記蓋部材を前記底部材に押し付けて前記シール部材を弾性変形させ前記爪部と前記底部材との係合を解除する押圧部と、前記底部材との係合を解除された前記爪部を前記軸部の回りに回転させながら引き上げると共に前記蓋部材を支持する開放支持部と、を有することを特徴とする。
請求項１２に記載の発明は、ガラス基板を管理するガラス基板管理装置であって、請求項１０又は１１に記載のガラス基板入替装置と、前記ガラス基板入替装置が設置された床の下方に形成されたストックルームと、を有することを特徴とする。
請求項１３に記載の発明は、請求項１乃至９のいずれか１項に記載のガラス基板収納ケースを用いて、前記ガラス基板を製造するガラス基板製造メーカーから前記ガラス基板に所定のパターンを形成する描画業者へ、さらに前記描画業者から前記ガラス基板のパターンを半導体ウエーハに投影・転写するデバイスメーカーへ流通させることを特徴とする。
請求項１４に記載の発明は、弾性体で構成され各部材間の接合面に形成された溝に装着されるシール部材であって、前記シール部材が前記溝に装着されたときに前記溝の側壁を押圧する一対の圧力部と、前記一対の圧力部を接続する屈曲部と、を有し、前記各圧力部同士の離間距離が縮められて前記溝に装着されることを特徴とする。
請求項１５に記載の発明は、請求項１４に記載のシール部材において、前記屈曲部から前記各圧力部に亘って肉厚が徐々に厚くなるように形成されていることを特徴とする。
請求項１６に記載の発明は、請求項１４又は１５に記載のシール部材において、前記屈曲部から前記各圧力部までの少なくとも一部には、突起部が設けられていることを特徴とする。
請求項１７に記載の発明は、ゴムで構成され各部材間の接合面に形成された溝の凸部を挟むように前記溝に装着されるシール部材であって、前記シール部材が前記溝に装着されたときに前記凸部と対向する溝側壁を押圧する一対の圧力部と、前記各圧力部同士を接続し各部材の一方又は他方と接触する部位が湾曲状に形成され前記各部材の一方又は他方と接触して弾性変形する薄肉部と、を有することを特徴とする。
請求項１８に記載の発明は、請求項１７に記載のシール部材において、前記薄肉部の厚みは、０．２ｍｍ以上０．６ｍｍ以下であることを特徴とする。
請求項１９に記載の発明は、請求項１７又は１８に記載のシール部材において、前記圧力部の溝底面と接触する先端部に向かって徐々に薄肉となっていることを特徴とする。
請求項２０に記載の発明は、請求項１７乃至１９のいずれか１項に記載のシール部材において、前記シール部材の厚み方向に切断した断面の高さ方向に延びる中心線に関して対称となるように形成されていることを特徴とする。
請求項２１に記載の発明は、請求項１４乃至２０のいずれか１項に記載のシール部材が前記溝に装着されてシールするシール構造であって、前記溝の開口部が広くなるように、前記溝の開口縁が面取りされていることを特徴とする。
請求項１に記載の発明によれば、底部材にガラス基板が載置され、この底部材に蓋部材が合わせられる。これにより、蓋部材と底部材との間に空間部が形成され、この空間部にガラス基板が収納される。
ここで、底部材又は／及び蓋部材にはシール部材が設けられているため、両部材によりシール部材が押圧されて弾性変形して蓋部材が底部材に合わせられた状態で空間部が気密になる。これにより、内部のガラス基板に埃等が付着することがなく、ガラス基板の品質が劣化することがない。また、蓋部材にはフック部材が設けられているため、フック部材を底部材に引っ掛けることにより、気密状態を維持することができる。これらの結果、ガラス基板をガラス基板収納ケースに収納させるだけで、ガラス基板を自由に流通・取引させることができる。
一方、フック部材の底部材への引っ掛けを解除することにより、蓋部材を底部材から容易に取り外すことができる。これにより、ガラス基板をガラス基板収納ケースから取り出すことができる。
請求項２に記載の発明によれば、蓋部材が底部材に合わせられると、爪部が軸部を回転軸として回転し、底部材の底部と係合する。このように、フック部材を簡易な構成にすることができるとともに、気密状態を確実に維持することができる。
請求項３に記載の発明によれば、シール部材の圧力部が溝に挿入され溝の側壁を押圧するとともに、シール部材の屈曲部が圧力部同士を接続し蓋部材が底部材に合わせられるときに蓋部材又は底部材と接触し弾性変形する。これにより、空間部を気密にすることができる。
ここで、圧力部の肉厚が屈曲部の肉厚と比較して厚くなるように形成されているため、圧力部から溝の側壁に作用する圧力を大きくでき、かつ屈曲部から蓋部材又は底部材に作用する圧力を小さくすることができる。これにより、シール部材が溝から脱落することを確実に防止できるとともに、蓋部材が底部材に合わせられたときにシール部材から蓋部材又は底部材に作用する圧力（弾性力、反発力）を比較的小さくすることができ蓋部材又は底部材が所定の材質（例えば、樹脂）で形成されている場合でも蓋部材又は底部材が破損することを防止できる。
また、圧力部の肉厚が比較的厚くなると、圧力部の剛性が向上するため、屈曲部に蓋部材又は底部材から圧力が作用したときに、圧力部の変形を抑制できる。これにより、圧力部が溝の側壁に対してずれてしまうことを防止でき、圧力部と溝の側壁との間で摩擦力が発生せず、圧力部に亀裂等の損傷が生じることを防止できる。
請求項４に記載の発明によれば、屈曲部から各圧力部までの少なくとも一部には突起部が設けられているため、この突起部を持つことによりシール部材をつかみ易くすることができる。これにより、シール部材の取扱性を向上でき、例えばシール部材の溝への装着を容易に行うことができる。
請求項５に記載の発明によれば、シール部材は屈曲部から各圧力部に亘って肉厚が徐々に厚くなるように形成されているため、より効果的に、各圧力部の肉厚を屈曲部と比較して厚くすることができる。特に、屈曲部から各圧力部に亘って肉厚が徐々に厚くすることにより、屈曲部から各圧力部に亘る領域に応力集中が生じる部位を無くすことができ、シール部材の強度の低下を防止でき、ひいては耐久性を向上させることができる。
請求項６に記載の発明によれば、シール部材の圧力部が溝に挿入され溝の側壁を押圧するとともに、シール部材の薄肉部が圧力部同士を接続し蓋部材が底部材に合わせられるときに蓋部材又は底部材と接触し弾性変形する。これにより、空間部を気密にすることができる。
ここで、蓋部材が底部材に合わせられるときに薄肉部が蓋部材又は底部材と接触して弾性変形するため空間部の気密を維持することができる。また、薄肉部がゴムで構成されているため、薄肉部が弾性変形して蓋部材又は底部材と接触した場合でも薄肉部が蓋部材又は底部材に及ぼす圧縮反力を小さくすることができ、蓋部材又は底部材に反り等が発生することを防止できる。また、蓋部材が底部材に合わせられるときに蓋部材又は底部材と接触する部位が湾曲状に形成されているため、例えば従来のリップ片を有するシール部材と比較して、薄肉部が蓋部材又は底部材に対して殆どスライドしないため、蓋部材又は底部材との擦れによるパーティクルの発生を防止することができる。
請求項７に記載の発明によれば、薄肉部の厚みが０．２ｍｍ以上０．６ｍｍ以下であるため、空間部の気密性を確保することができるとともに、薄肉部が蓋部材又は底部材に及ぼす圧縮反力を小さくすることができ蓋部材又は底部材に反り等が発生することを防止できる。このように、空間部の気密性の確保と蓋部材又は底部材の反り等の発生防止とを両立させることができる。
逆に、薄肉部の厚みが０．６ｍｍよりも厚くなれば、薄肉部が蓋部材又は底部材に及ぼす圧縮反力が大きくなり蓋部材又は底部材に反り等が発生し易くなるため問題となる。また、薄肉部の厚みが０．２ｍｍよりも薄くなれば、薄肉部自体の剛性や反発性が不足し、蓋部材又は底部材に及ぼす圧縮反力は小さくなりすぎて空間部の気密性を確保することができないという問題がある。
請求項８に記載の発明によれば、圧力部の溝底面と接触する先端部に向かって徐々に薄肉となっているため、シール部材を溝に挿入し易くすることができる。
請求項９に記載の発明によれば、シール部材はシール部材の厚み方向に切断した断面の高さ方向に延びる中心線に関して対称となるように形成されているため、薄肉部が蓋部材又は底部材に接触したときに薄肉部が蓋部材又は底部材に対して殆どずれることがなく、パーティクルの発生を効果的に抑制できる。
請求項１０に記載の発明によれば、昇降部材にガラス基板収納ケースが載置され、係合解除部材によりフック部材の底部材への引っ掛けが解除される。このとき、蓋部材は係合解除部材により下方から支持されている。フック部材の底部材への引っ掛けが係合解除部材により解除され蓋部材が下方から支持されている状態で、昇降部材が下方向に移動すると、蓋部材が底部材から取り外され、昇降部材に載置された底部材だけが昇降部材と共に下方向に移動していく。このとき、ガラス基板が露出した状態となっている。次に、アーム部材が露出したガラス基板を底部材から取り出し、土台部材に載置されたステッパーケース側に移動させられる。
なお、ステッパーケースに移動させられたガラス基板は、露光装置に送られ、ガラス基板に形成された所定のパターンが半導体ウエーハに投影・転写させられる。
以上のように、ガラス基板入替装置では、ガラス基板をガラス基板収納ケースからステッパーケースに容易に入れ替えることができる。
請求項１１に記載の発明によれば、ガラス基板収納ケースが昇降部材に載置されると、蓋部材が押圧部により底部材に押し付けられる。これにより、シール部材が弾性変形し、蓋部材と底部材との相対距離が小さくなり、爪部と底部材との係合が解除される。底部材との係合を解除された爪部が開放支持部により軸部の回りに回転させながら引き上げられる。さらに、爪部が開放支持部により支持されることにより蓋部材が開放支持部により支持される。このように、係合解除部材を簡易な構成にすることができるとともに、爪部と底部材との係合を解除し易くすることができる。また、蓋部材が開放支持部により支持されるため、底部材を下側に移動させることにより、蓋部材を底部材から容易に取り外すことができる。
請求項１２に記載の発明によれば、ストックルームはガラス基板入替装置が設置された床の下方に形成されているため、床下のスペースを有効に活用することができる。これにより、ガラス基板入替装置が設置された部屋（例えば、クリーンルーム）のデッドスペースを無くすことができ、クリーンルーム内のスペースを他の用途に有効に使うことができる。
請求項１３に記載の発明によれば、請求項１乃至請求項９のいずれか１項に記載のガラス基板収納ケースを用いて、ガラス基板を製造するガラス基板製造メーカーからガラス基板に所定のパターンを形成する描画業者へ、さらに描画業者からガラス基板のパターンを半導体ウエーハに投影・転写するデバイスメーカーへ流通させることにより、１つのガラス基板収納ケースに統一することができる。これにより、各メーカーや業者は、ガラス基板を収納するための収納ケースを別途用意する必要がない。
また、上記ガラス基板収納ケースにガラス基板を収納することにより、従来のようにガラス基板の気密性を高めるために、ガラス基板収納ケースにテープ等を貼り付ける必要がない。このため、ガラス基板を取り出すときにガラス基板収納ケースに貼り付けられたテープ等を剥がす必要がないため、ガラス基板収納ケースの内部に埃等が舞うことがなく、ガラス基板の品質劣化を防止できる。
請求項１４に記載の発明によれば、シール部材は各圧力部同士の離間距離が縮められて溝に装着され、シール部材が溝に装着されると、各圧力部が溝の側壁を押圧する。これにより、シール部材が溝から抜け出たり、溝の内部で位置ズレしたりすることを防止できる。また、屈曲部に各部材のいずれか一方が接触し屈曲部押圧されて弾性変形することにより、各部材間を効果的にシールすることができる。
請求項１５に記載の発明によれば、シール部材は屈曲部から各圧力部に亘って肉厚が徐々に厚くなるように形成されているため、より効果的に、各圧力部の肉厚を屈曲部と比較して厚くすることができる。特に、屈曲部から各圧力部に亘って肉厚が徐々に厚くすることにより、屈曲部から各圧力部に亘る領域に応力集中が生じる部位を無くすことができ、シール部材の強度の低下を防止でき、ひいては耐久性を向上させることができる。
請求項１６に記載の発明によれば、屈曲部から各圧力部までの少なくとも一部には突起部が設けられているため、この突起部を持つことによりシール部材をつかみ易くすることができる。これにより、シール部材の取扱性を向上でき、例えばシール部材の溝への装着を容易に行うことができる。
請求項１７に記載の発明によれば、シール部材の圧力部が溝に挿入され溝の側壁を押圧するとともに、シール部材の薄肉部が圧力部同士を接続し各部材の一方が他方に合わせられるときに各部材の一方又は他方と接触し弾性変形する。これにより、空間部を気密にすることができる。
ここで、各部材の一方と他方とが合わせられるときに薄肉部が各部材の一方又は他方と接触して弾性変形するため各部材の一方又は他方に形成された空間部の気密を維持することができる。また、薄肉部がゴムで構成されているため、薄肉部が弾性変形して各部材の一方又は他方と接触した場合でも薄肉部が各部材の一方又は他方に及ぼす圧縮反力を小さくすることができ、各部材の一方又は他方に反り等が発生することを防止できる。また、各部材の一方が他方に合わせられるときに各部材の一方又は他方と接触する部位が湾曲状に形成されているため、例えば従来のリップ片を有するシール部材と比較して、薄肉部が各部材の一方又は他方に対して殆どスライドしないため、各部材の一方又は他方との擦れによるパーティクルの発生を防止することができる。
請求項１８に記載の発明によれば、薄肉部の厚みが０．２ｍｍ以上０．６ｍｍ以下であるため、各部材の一方又は他方に形成された空間部の気密性を確保することができるとともに、薄肉部が各部材の一方又は他方に及ぼす圧縮反力を小さくすることができ各部材の一方又は他方に反り等が発生することを防止できる。このように、各部材の一方又は他方に形成された空間部の気密性の確保と各部材の一方又他方の反り等の発生防止とを両立させることができる。
逆に、薄肉部の厚みが０．６ｍｍよりも厚くなれば、薄肉部が蓋部材又は底部材に及ぼす圧縮反力が大きくなり蓋部材又は底部材に反り等が発生し易くするため問題となる。また、薄肉部の厚みが０．２ｍｍよりも薄くなれば、薄肉部自体の剛性や反発性が不足し、蓋部材又は底部材に及ぼす圧縮反力は小さくなりすぎて空間部の気密性を確保することができないという問題がある。
請求項１９に記載の発明によれば、圧力部の溝底面と接触する先端部に向かって徐々に薄肉となっているため、シール部材を溝に挿入し易くすることができる。
請求項２０に記載の発明によれば、シール部材はシール部材の厚み方向に切断した断面の高さ方向に延びる中心線に関して対称となるように形成されているため、薄肉部が各部材の一方又は他方に接触したときに薄肉部が各部材の一方又は他方に対して殆どずれることがなく、パーティクルの発生を効果的に抑制できる。
請求項２１に記載の発明によれば、シール部材が各部材の接合面に形成されている溝に装着されて各部材間がシールされる。ここで、溝の開口縁は、開口部が広くなるように、面取りされているため、シール部材の装着時に溝の開口縁が邪魔にならず、シール部材を容易に溝に装着させることができる。特に、シール部材に突起部が設けられていれば、溝の開口縁が面取りされて開口部が広くなっているため、この突起部を掴んだ状態でシール部材を溝に容易に装着させることができ、シール部材の装着性を大幅に向上させることができる。
また、前記シール部材は、弾性体で構成され、前記蓋部材が前記底部材に押し付けられて前記シール部材が弾性変形することにより前記爪部と前記底部材の底部との係合が解除されることが好ましい。この構成によれば、蓋部材が底部材に押し付けられると、シール部材が弾性変形することにより爪部と底部材の底部との係合が解除される。これにより、蓋部材を底部材に押し付けるだけで、爪部と底部材の底部との係合を容易に解除させることができ、ガラス基板の取出し作業が容易になる。
また、前記シール部材は前記蓋部材又は／及び前記底部材に形成された溝に配置され、前記シール部は前記シール部材が前記溝に配置されたときに前記溝の側壁を押圧する圧力部を有することが好ましい。この構成によれば、シール部材は蓋部材又は／及び底部材に形成された溝に配置されるが、このときシール部材の圧力部が溝の側壁を押圧するため、シール部材が溝から脱落することを防止でき、さらに溝内部におけるシール部材の姿勢を安定させることができる。
また、前記各圧力部には、前記溝の側壁と接触する突出部が設けられていることが好ましい。この構成によれば、各圧力部には溝の側壁と接触する突出部が設けられているため、シール部材が溝に装着された状態でシール部材と溝の側壁との間をシールすることができる。これにより、溝の内部に水やゴミなどの異物が侵入することを防止できるため、シール部材が破損することを防止でき、ひいてはシール部材の耐久性を向上させることができる。
また、前記底部材には、前記ガラス基板を前記底部材から離間させた状態で下方から支持する支持部材が設けられていることが好ましい。この構成によれば、底部材には支持部材が設けられているため、ガラス基板が底部材から離間させた状態で支持部材により下方から支持される。これにより、支持部材により支持されたガラス基板を取り出すときに、ガラス基板と底部材との間にある隙間を利用してガラス基板を持ち上げることができ、ガラス基板を容易に取り出すことができる。
また、前記蓋部材又は／及び前記底部材には、前記ガラス基板を位置決めする位置決め部材が設けられていることが好ましい。この構成によれば、蓋部材又は／及び底部材には位置決め部材が設けられているため、ガラス基板を位置決めすることができる。これにより、ガラス基板をガラス基板収納ケースに収納させた状態で流通・取引した場合でも、ガラス基板がガラス基板収納ケースの空間部内で動いてしまうことがなく、ガラス基板の品質劣化を防止することができる。
また、前記蓋部材は、透明な導電性樹脂で構成されていることが好ましい。この構成によれば、蓋部材が透明な導電性樹脂で構成されているため、蓋部材を底部材から取り外すことなく、内部に収納されたガラス基板をガラス基板収納ケースの外部から確認することができる。また、蓋部材を導電性樹脂で構成することにより、埃等が蓋部材に付着し易くなり、空間部内に埃が舞うことを防止できる。
また、前記昇降部材が配置される気密性の高い第１クリーンルームと、前記第１クリーンルームと隣接して設けられ前記アーム部材が配置される気密性の高い第２クリーンルームと、前記第２クリーンルームと隣接して設けられ前記土台部材が配置される気密性の高い第３クリーンルームと、前記第１クリーンルームと前記第２クリーンルームとを区画する第１区画部材と、前記第２クリーンルームと前記第３クリーンルームとを区画する第２区画部材と、前記第１区画部材に形成され前記第１クリーンルームと前記第２クリーンルームとを連通させる第１開口部と、前記第２区画部材に形成され前記第２クリーンルームと前記第３クリーンルームとを連通させる第２開口部と、前記第１開口部を開放又は閉塞する第１開閉部材と、前記第２開口部を開放又は閉塞する第２開閉部材と、を有することが好ましい。この構成によれば、第１開閉部材が第１開口部を開放し、第２開閉部材が第２開口部を閉塞した状態で、昇降部材に載置された底部材上のガラス基板がアーム部材により底部材から取り出される。これにより、ガラス基板は第１クリーンルームから第２クリーンルームに移動する。このとき、第１クリーンルームと第２クリーンルームとが連通した状態となるが、第１クリーンルーム及び第２クリーンルームの気密性が高くかつ第２開口部が閉塞されて空気の流動がないため、ガラス基板に埃などが付着してしまうことを防止できる。次に、第１開閉手段が第１開口部を閉塞し、第２開閉手段が第２開口部を開放した状態で、アーム部材に取り出されたガラス基板が第３クリーンルーム内の土台部材に載置されたステッパーケースに移される。このとき、第２クリーンルームと第３クリーンルームとが連通した状態となるが、第２クリーンルーム及び第３クリーンルームの気密性が高くかつ第１開口部が閉塞されて空気の流動がないため、ガラス基板に埃などが付着してしまうことを防止できる。以上のように、ガラス基板の入替作業を各クリーンルーム内で行うことにより、ガラス基板に埃等が付着することを防止でき、ガラス基板の品質が劣化することを防止できる。
また、前記押圧部には弾性部材が取り付けられており、前記押圧部は前記弾性部材を介して前記蓋部材を前記底部材に押し付けることが好ましい。この構成によれば、押圧部には弾性部材が取り付けられており、押圧部は弾性部材を介して蓋部材を底部材に押し付けるため、蓋部材が破損してしまうことを防止できる。
また、ガラス基板を管理するガラス基板管理装置であって、請求項１２乃至１５のいずれか１項に記載のガラス基板入替装置と、前記ガラス基板入替装置の近傍に設けられ、複数の前記ガラス基板を前記ガラス基板収納ケースに収納された状態で個別に収容するストックルームと、を有することが好ましい。この構成によれば、ガラス基板入替装置の近傍には、複数のガラス基板をガラス基板収納ケースに収納された状態で個別に収容するストックルームが設けられているため、ガラス基板入替装置でガラス基板をガラス基板収納ケースからステッパーケースに入れ替えるときに、必要なガラス基板をストックルームから迅速かつ容易に取り出すことができる。また、露光装置にガラス基板を保管するための大型のライブラリを設ける必要がなくなり、露光装置を小型化することができると共に露光装置の製造コストを大幅に低減することができる。なお、不要なガラス基板は、ガラス基板収納ケースに収納した後、ストックルームに収容することができる。
また、前記床には開口部が形成され、前記第１クリーンルームの近傍には前記開口部に接続した待機ルームが配置され、前記ガラス基板が収納された前記ガラス基板収納ケースを前記ストックルームから前記待機ルームあるいは前記待機ルームから前記ストックルームにそれぞれ移動させる移動手段を有することが好ましい。この構成によれは、必要なガラス基板が収納されたガラス基板収納ケースが移動手段に載置させられた後、移動手段がストックルームから開口部を通過して待機ルームに移動する。これにより、必要なガラス基板をストックルームから取り出すことができる。待機ルームに移動させられたガラス基板は、ガラス基板収納ケースに収納された状態で昇降部材に載置され、別のステッパーケースに入れ替えられる。一方、不要なガラス基板は、ガラス基板収納ケースに収納された後、移動手段に載置され、移動手段により待機ルームから開口部を通過してストックルームに移動させられる。そして、ストックルームでガラス基板収納ケースに収納された状態で保管される。
また、前記ガラス基板収納ケースに収納された前記ガラス基板のＩＤナンバと前記ガラス基板収納ケースのＩＤナンバを認識し、両者が合致するか否かを判定する判定手段と、前記判定手段による判定結果を表示する表示手段と、を有することが好ましい。この構成によれば、判定手段によりガラス基板収納ケースに収納されたガラス基板のＩＤナンバとガラス基板収納ケースのＩＤナンバとが認識され、両者が合致するか否かが判定される。この判定結果は、表示手段により表示される。これにより、ユーザが表示手段を確認するだけで、ガラス基板とガラス基板収納ケースとが一致しているか否かを瞬時に判別することができる。この結果、ガラス基板とガラス基板収納ケースとが対応した状態でガラス基板を保管することができ、ガラス基板の管理機能を高めることができる。
また、前記各圧力部の肉厚が前記屈曲部と比較して厚くなるように形成されていることが好ましい。この構成によれば、各圧力部の肉厚が屈曲部と比較して厚くなるように形成されているため、圧力部から溝の側壁に作用する圧力を大きくでき、かつ屈曲部から屈曲部と接触する部材に作用する圧力を小さくすることができる。これにより、シール部材が溝から脱落することを確実に防止できるとともに、各部材が接合されたときにシール部材からシール部材と接触する部材に作用する圧力（弾性力、反発力）を比較的小さくすることができ部材が所定の材質（例えば、樹脂）で形成されている場合でも部材が破損することを防止できる。また、圧力部の肉厚が比較的厚くなると、圧力部の剛性が向上するため、屈曲部に屈曲部と接触する部材から圧力が作用したときに、圧力部の変形を抑制できる。これにより、圧力部が溝の側壁に対してずれてしまうことを防止でき、圧力部と溝の側壁との間で摩擦力が発生せず、圧力部に亀裂等の損傷が生じることを防止できる。
また、前記各圧力部には、前記溝の側壁と接触する突出部が設けられていることが好ましい。この構成によれば、各圧力部には溝の側壁と接触する突出部が設けられているため、シール部材が溝に装着された状態でシール部材と溝の側壁との間をシールすることができる。これにより、溝の内部に水やゴミなどの異物が侵入することを防止できるため、シール部材が破損することを防止でき、ひいてはシール部材の耐久性を向上させることができる。また、突出部が溝の側壁と接触することによりシール部材を溝の内部に位置決めすることができる。
次に、本発明の第１実施形態に係るガラス基板収納ケース、ガラス基板入替装置、ガラス基板管理装置及びガラス基板流通方法について、図面を参照して説明する。なお、ガラス基板としてレチクルやフォトマスクなどが挙げられるが、以下の説明では、ガラス基板としてレチクルを例にとり説明する。このため、以下の説明では、ガラス基板収納ケースをレチクル収納ケースとして、ガラス基板入替装置をレチクル入替装置として、ガラス基板管理装置をレチクル管理装置として、ガラス基板流通方法をレチクル流通方法として説明する。
先ず、レチクルを収納するためのレチクル収納ケースについて説明する。
図１乃至図３に示すように、レチクル収納ケース１０は、正方形状の底部材１２を備えている。この底部材１２の各角部の近傍には、正方形状のレチクルＲを支持するための支持部材１４が垂直上方に向かって延在している。これらの４つの支持部材１４により、レチクルＲは底部材１２と離間した状態で支持される。また、各支持部材１４には、支持部材１４で支持されたレチクルＲの各側面に接触する位置決め部材１６が垂直上方に向かって延在している。これにより、レチクルＲが支持部材１４により支持された状態で位置決め部材１６により位置決めされる。
また、底部材１２の外縁部近傍には溝１３（図５参照）が形成されており、この溝１３にシール部材１８が収納されている。図４に示すように、このシール部材１８は、圧力が負荷しない状態で、全体として逆Ｖ字形状となっている。すなわち、シール部材１８は、比較的厚肉に形成され溝１３に挿入されたときに溝１３の側面１３Ａを押圧する各圧力部１８Ａ、１８Ａと、各圧力部１８Ａ、１８Ａにそれぞれ接続する各接続部１８Ｂ、１８Ｂと、比較的薄肉に形成され各接続部１８Ｂ、１８Ｂ同士を接続する屈曲部１８Ｃと、で構成されている。
また、シール部材１８はその屈曲部１８Ｃから各圧力部１８Ａ、１８Ａに亘って肉厚が徐々に厚くなるように形成されているため、各圧力部１８Ａ、１８Ａは比較的厚肉に形成されており、屈曲部１８Ｃの肉厚と比較して厚くなっている。このように、シール部材１８をその屈曲部１８Ｃから各圧力部１８Ａ、１８Ａに亘って肉厚が徐々に厚くなるように形成することにより、屈曲部１８Ｃから各圧力部１８Ａ、１８Ａに亘る領域を滑らかに形成することができるため、応力集中が生じる部位を無くすことができ、シール部材１８の強度の低下を防止でき、ひいては耐久性を向上させることができる。このように、シール部材１８は、断面視にて中心線Ｌに対して左右対称となる形状に設定されている。
また、各圧力部１８Ａ、１８Ａの端部には、外側に突出した第１突出部（突出部）１８Ｄ、１８Ｄがそれぞれ形成されている。さらに、各第１突出部１８Ｄ、１８Ｄの近傍には、第１突出部１８Ｄ、１８Ｄと同様に、外側に突出した第２突出部（突出部）１８Ｅ、１８Ｅがそれぞれ形成されている。また、各接続部１８Ｂ、１８Ｂには、外側に突出した突起部１８Ｆ、１８Ｆがそれぞれ形成されている。
さらに、後述の蓋部材２０が底部材１２に合わせられると、屈曲部１８Ｃが蓋部材２０と接触し蓋部材２０からの圧力により弾性変形するようになっている。
上記シール部材１８が底部材１２に形成された溝１３に取り付けられる際には、図４及び図５（Ａ）に示すように、各圧力部１８Ａ、１８Ａをその弾性力に抗して押圧し両者の離間距離が縮められた状態で溝１３の内部に挿入される。各圧力部１８Ａ、１８Ａが溝１３の内部に挿入されると各圧力部１８Ａ、１８Ａに作用していた押圧力が解除される。これにより、各圧力部１８Ａ、１８Ａはその弾性力により両者の離間距離が広がる方向に変形しようとして、各圧力部１８Ａ、１８Ａに設けられた第１突出部１８Ｄ、１８Ｄ及び第２突出部１８Ｅ、１８Ｅが溝１３の側壁１３Ａ、１３Ａにそれぞれ接触し、各圧力部１８Ａ、１８Ａから各側壁１３Ａ、１３Ａに所定の圧力が作用する。このように、シール部材１８が溝１３の内部に配置されると、各圧力部１８Ａ、１８Ａが各側壁１３Ａ、１３Ａを押圧した状態となる。この結果、シール部材１８が溝１３から脱落することを防止でき、さらに溝１３の内部におけるシール部材１８の姿勢を安定させることができる。
また、シール部材１８が溝１３に配置されると、各圧力部１８Ａ、１８Ａと溝１３の側壁１３Ａ、１３Ａとの間に隙間１５が生じるが、特に第２突出部１８Ｅ、１８Ｅが溝１３の側壁１３Ａ、１３Ａに接触することにより、レチクル収納ケース１０の洗浄工程において水やゴミなどの異物が隙間１５に浸入することを防止できる。この結果、シール部材１８の腐食を防止できる。
さらに、シール部材１８を構成する各接続部１８Ｂ、１８Ｂには、各突起部１８Ｆ、１８Ｆがそれぞれ形成されているため、この突起部１８Ｆ、１８Ｆを持つことによりシール部材１８を掴み易くすることができる。これにより、シール部材１８の取扱性を向上できる。特に、底部材１２に形成された溝１３の開口縁１３Ｂが溝１３の開口部が広くなるように面取りされているため、シール部材１８を溝１３に装着する際に、溝１３の開口縁１３Ｂが邪魔にならず、突起部１８Ｆ、１８Ｆを掴んだ状態でシール部材１８を溝１３に容易に装着することができる。この結果、シール部材１８の溝１３への装着性を大幅に向上させることができる。
特に、図１３（Ａ）に示す従来のシール部材Ｍでは、溝１００の側壁１００Ａに装着されるものの、シール部材Ｍの溝１００の側壁１００Ａに作用する圧力が小さいため、蓋部材１０２が底部材１０４に合わせられ、その後、蓋部材１０２が取り外されると、シール部材Ｍが溝１００から脱落することがあり、また、図１３（Ｂ）の従来のシール部材Ｎでは、その支持片Ｎ１の先端部の剛性が低いため、支持片Ｎ１が蓋部材１０２と接触した場合でも十分なシール性を確保することができないという問題があり、この点、本発明のシール部材１８は、両者の問題点を全て解決するものであり、溝１３への装着性や蓋部材２０と底部材１２との間のシール性能を大幅に向上するものとなっている。
なお、このシール部材１８は、比較的柔軟性を有する熱可塑性樹脂（例えば、ポリエステルエラストマー樹脂、帝人社製「ヌーベラン」など）で構成されている。また、シール部材１８は、熱可塑性樹脂で構成されている場合に限られるものではなく、例えば、一般フッ素ゴム等のエラストマー材料で構成してもよい。
また、レチクル収納ケース１０は、蓋部材２０を備えている。この蓋部材２０は、透明の導電性樹脂で構成されている。蓋部材２０は、平面視にて正方形状に形成された蓋土台部２０Ａと、蓋土台部２０Ａの上部に一体形成されかつ平面視にて正方形状に形成された蓋部材本体２０Ｂと、で構成されている。また、蓋土台部２０Ａと蓋部材本体２０Ｂとは、それぞれ中空状となるように形成されている。また、蓋部材本体２０Ｂは、蓋土台部２０Ａの内側に位置するように形成されている。換言すれば、蓋土台部２０Ａは、蓋部材本体２０Ｂに対して外側に突出した構成となっている。さらに、蓋土台部２０Ａには、相対する２辺に凹部２２Ｌ、２２Ｒがそれぞれ形成されている。
蓋部材２０の凹部２２Ｌ、２２Ｒには、底部材１２を引っ掛けて蓋部材２０が底部材１２に合わされた状態を維持するためのフック部材２４がそれぞれ設けられている。フック部材２４は、軸部２４Ａと、軸部２４Ａに一体形成された爪部と、で構成されている。軸部２４Ａは、蓋土台部２０Ａに一体形成された軸受け部２６に回転可能となるように支持されている。また、爪部２４Ｂは、蓋部材２０が底部材１２に合わされたときに、蓋土台部２０Ａの側部を覆うように構成されている。また、爪部２４Ｂの先端部には、底部材１２の底部と係合する引掛部２４Ｃが形成されている。さらに、爪部２４Ｂの先端部近傍には、後述の凸部４２Ｂ３と係合する係合片２４Ｄが形成されている。
なお、レチクル収納ケース１０の蓋部材２０と底部材１２とは、ポリカーボネード等の樹脂で構成されている。
また、本実施形態のレチクル収納ケース１０では、底部材１２に溝１３が形成されその溝１３の内部にシール部材１８を配置した構成を例にとり説明したが、この構成に限られるものではなく、例えば、底部材１２に替えて、あるいは底部材１２と共に、蓋部材２０に溝（図示省略）を形成しその溝の内部にシール部材１８を配置した構成でもよい。
また、シール部材１８の形状も図４に図示したものに限られることはなく、シール部材１８の材質に応じて適度なシール性を実現できるように、例えば、図６（Ａ）のように、各圧力部１８Ａ、１８Ａの断面が四角形状となるように形成し溝１３の側壁１３Ａとの間に隙間が生じないように構成にしてもよい。また、図６（Ｂ）のように、各圧力部１８Ａ、１８Ａに第１突出部１８Ｄ、１８Ｄのみを形成した構成（第２突出部１８Ｅ、１８Ｅを取り除いた構成）でも良く、さらに、図６（Ｃ）のように、各接続部１８Ｂ自体を外側に突出させるように構成しても良い。
また、本実施形態のレチクル収納ケース１０では、航空機輸送での使用を考慮し、レチクル収納ケース１０の内部と外部の圧力調整のため、ケミカルフィルタ付きの呼吸弁（図示省略）を取り付けてもよい。ケミカルフィルタ付きの呼吸弁を取り付けることにより、外気圧が低い場合は、空気をケミカルフィルタ付きの呼吸弁を通してレチクル収納ケース１０の内部に流入させることができレチクル収納ケース１０の内部と外部の圧力調整を実現することができるとともに、このとき、レチクル収納ケース１０の周辺環境が悪く、例えば、数ｐｐｂレベルの硫化アンモニウム((ＮＨ４)２ＳＯ４）、アンモニア(ＮＨ３)、硫酸イオン(ＳＯ４ ２−)、或いは、スチレン(Ｃ８Ｈ８)が存在する雰囲気でも、これらをケミカルフィルタで除去することができる。この結果、レチクルの表面に曇り（Ｈａｚｅ）が発生したり、ペリクルに対して悪影響を及ぼすことを防止できる。
次に、本実施形態に係るレチクル収納ケース１０の作用と、レチクル収納ケース１０を用いたレチクル流通方法についてそれぞれ説明する。
図１乃至図３に示すように、底部材１２に形成された支持部材１４にレチクルＲが載置される。このとき、レチクルＲは、底部材１２から離間した状態で支持される。レチクルＲが支持部材１４に載置されると、レチクルＲの各側面が位置決め部材１６と接触し、レチクルＲが支持部材１４上で位置決めされる。これにより、レチクルＲが支持部材１４上を自由に移動できなくなり、レチクルＲが支持部材１４から落下することを防止できる。
レチクルＲが支持部材１４に支持され、かつ位置決め部材１６により位置決めされると、蓋部材２０が上方から底部材１２に合わされる。蓋部材２０が底部材１２と接触した状態で、軸部２４Ａが回転し、この軸部２４Ａの回転と共に爪部２４Ｂが回転する。そして、爪部２４Ｂの先端に形成された引掛部２４Ｃが底部材１２の底部と係合する。このように、フック部材２４が底部材１２の底部を引っ掛けることにより、蓋部材２０と底部材１２とが合わされた状態を維持することができ、蓋部材２０が底部材１２から外れてしまうことを防止できる。
蓋部材２０が底部材１２に合わされると、蓋部材２０を構成する蓋土台部２０Ａと蓋部材本体２０Ｂとがそれぞれ中空状に形成されているため、蓋部材２０と底部材１２との間には空間部（図示省略）が形成される。この空間部には、支持部材１４により支持されたレチクルＲが位置することになる。このとき、底部材１２に設けられたシール部材１８が蓋部材２０と接触しているため、空間部と蓋部材２０の外側とがシール部材１８で区画される。
すなわち、図５（Ｂ）に示すように、蓋部材２０が底部材１２に合わせられると、シール部材１８を構成する屈曲部１８Ｃが蓋部材２０と接触し屈曲部１８Ｃが弾性変形するため、シール部材１８と蓋部材２０及び底部材１２との間に隙間が存在せず、空間部のシール性能が格段に向上する。これにより、空間部を確実に気密にすることができ、レチクル収納ケース１０に収納されたレチクルＲに埃などが付着することがなく、レチクルＲの品質劣化を防止できる。
また、屈曲部１８Ｃの肉厚が比較的薄くなるように形成されているため、屈曲部１８Ｃから蓋部材２０に作用する圧力を小さくすることができる。これにより、蓋部材２０が所定の材質（例えば、樹脂）で形成されている場合でも蓋部材２０が破損することを防止できる。
また、各圧力部１８Ａ、１８Ａの肉厚が比較的厚く設定されているため、各圧力部１８Ａ、１８Ａの剛性が向上し、屈曲部１８Ｃに蓋部材２０から圧力が作用したときに、各圧力部１８Ａ、１８Ａの変形を抑制できる。これにより、各圧力部１８Ａ、１８Ａが溝１３の側壁１３Ａ、１３Ａに対してずれてしまうことを防止でき、各圧力部１８Ａ、１８Ａと溝１３の側壁１３Ａ、１３Ａとの間で摩擦力が発生せず、各圧力部１８Ａ、１８Ａに亀裂等の損傷が生じることを防止できる。
さらに、シール部材１８が中心線Ｌに対して左右対称となるように形成されているため、蓋部材２０が底部材１２と合わせられたときに、屈曲部１８に作用する蓋部材２０からの圧力が屈曲部１８Ｃの各部位で略等しくなる。これにより、屈曲部１８Ｃの所定の部位で蓋部材２０との摩擦力が大きくなることを防止でき、屈曲部１８Ｃが損傷してしまうことを防止できる。
また、シール部材１８が中心線Ｌに対して左右対称となるように形成されているため、蓋部材２０がシール部材１８に接触する際には、図５（Ｂ）に示すように、シール部材１８を構成する屈曲部１８Ｃの頂点から接触し、蓋部材２０からの押圧力を受けるに従ってシール部材１８が左右に等しく広がっていき、蓋部材２０とシール部材１８とのシール面が形成される。この結果、蓋部材２０からの押圧力の程度によらず、蓋部材２０とシール部材１８とのシール面（接触面）がずれることがなく、シール面での摩擦によってパーティクルが発生することを防止できる。
また、蓋部材２０が透明な導電性樹脂で構成されているため、内部に収納されたレチクルＲをレチクル収納ケース１０の外部から容易に確認することができるとともに、蓋部材２０を導電性樹脂で構成することにより、埃等が蓋部材２０に付着し易くなり、空間部内に埃が舞うことを防止でき、レチクルＲに埃等が付着してしまうことを確実に防止できる。
一方、レチクルＲをレチクル収納ケース１０から取り出すときには、蓋部材２０を底部材１２に押し付ける。蓋部材２０が底部材１２に押し付けられると、屈曲部１８Ｃがさらに弾性変形し、蓋部材２０と底部材１２との相対距離が小さくなるため、爪部２４Ｂと底部材１２の底部との係合が解除される。
次に、爪部２４Ｂと底部材１２の底部との係合が解除されると、フック部材２４を構成する軸部２４Ａが回転し、この軸部２４Ａの回転と共に爪部２４Ｂも回転する。この状態で、蓋部材２０を底部材１２から取り外すことができ、内部に収納されたレチクルＲを取り出すことができる。
以上のように、本発明のレチクル収納ケース１０によれば、構成が簡易になるとともに、レチクルＲを気密状態で収納することができ、また、レチクルＲを容易に取り出すこともでき、レチクルＲの品質劣化防止の観点から極めて優れた効果を発揮できるものである。
次に、本発明のレチクル収納ケース１０を用いたレチクル流通方法について説明する。
本発明のレチクル収納ケース１０は、高い密封性を有しているので、クリーンルームの外へレチクルＲを持ち出すことができる。そして、このレチクル収納ケース１０を介して、レチクルＲを製造するレチクル製造メーカーからレチクルＲに所定のパターンを形成する描画業者へ、さらに描画業者からレチクルＲのパターンを半導体ウエーハに投影・転写するデバイスメーカーへ転々流通させることにより、１つのレチクル収納ケース１０に統一することができる。これにより、各メーカーや業者は、レチクルＲを収納するための収納ケースを別途用意する必要がない。
また、上記レチクル収納ケース１０にレチクルＲを収納することにより、従来のようにレチクルＲの気密性を高めるために、レチクル収納ケース１０にテープ等を貼り付ける必要がない。このため、レチクルＲを取り出すときにレチクル収納ケース１０に貼り付けられたテープ等を剥がす必要がないため、レチクル収納ケース１０の内部に埃等が舞うことがなく、レチクルＲの品質劣化を防止できる。
次に、本発明のレチクル入替装置及びレチクル管理装置について、詳細に説明する。
図７乃至図１１に示すように、レチクル管理装置３０は、レチクル入替装置３２を備えている。レチクル入替装置３２は、第１クリーンルーム３４を備えている。この第１クリーンルーム３４は、直方体状に構成されており、上壁３４Ｕ及び下壁３４Ｅと、４つの側壁３４Ａ、３４Ｂ、３４Ｃ、３４Ｄとにより、内部空間が気密となるように構成されている。第１クリーンルーム３４の内部には、板状の昇降台（昇降部材）３６が配置されている。この昇降台３６には駆動機構（図示省略、昇降部材）が接続されており、駆動機構の駆動により昇降台３６が上下方向に移動できるようになっている。また、上壁３４Ｕには開口が形成されており、この開口に上昇した昇降台３６が位置するようになっている。このように、昇降台３６は、上壁３４Ｕの一部を構成している。
また、第１クリーンルーム３４の上壁３４Ｕは、２つの係合解除部材３８が相対するように取り付けられている。図９乃至図１１に示すように、係合解除部材３８は、蓋部材２０を底部材１２に押し付ける押圧ヘッド（押圧部）４０と、蓋部材２０に取り付けられたフック部材２４を構成する爪部２４Ｂと係合し爪部２４Ｂを軸部２４Ａと共に回転させると共に蓋部材２０を支持する支持アーム（開放支持部）４２と、で構成されている。
押圧ヘッド４０は、水平方向及び上下方向に移動可能となるように設けられている。押圧ヘッド４０は、２本の押圧片４０Ａ、４０Ａと、押圧片４０Ａ、４０Ａが取付け支持されるベース部４０Ｂと、を備えている。また、各押圧片４０Ａ、４０Ａの先端部には、ゴム等の弾性体で構成された緩衝部材（弾性部材）４０Ｃ、４０Ｃがそれぞれ取り付けられている。押圧ヘッド４０が水平方向に移動するに従い各押圧片４０Ａ、４０Ａも水平方向に移動し、押圧ヘッド４０が上下方向に移動するに従い各押圧片４０Ａ、４０Ａも上下方向に移動する。
支持アーム４２は、ベース部材４０Ｂに設けられた傾斜台４２Ａと、傾斜台４２Ａ上を斜面方向に移動する支持アーム本体４２Ｂと、を備えている。支持アーム本体４２Ｂは、傾斜台４２Ａ上を移動するスライド部４２Ｂ１と、スライド部４２Ｂ１の先端部に取り付けられた係合支持部４２Ｂ２と、で構成されている。また、係合支持部４２Ｂ２の先端部には、爪部２４Ｂに形成された係合片２４Ｄと係合する凸部４２Ｂ３が形成されている。
また、第１クリーンルーム３４を構成し後述の第２クリーンルーム４４と区画する１つの側壁（第１区画部材）３４Ａには、長方形状の第１窓部４６が形成されている。
また、第１クリーンルーム３４には、第２クリーンルーム４４が接続されている。この第２クリーンルーム４４は、直方体状に構成されており、上壁４４Ｕ及び下壁４４Ｅと、４つの側壁４４Ａ、４４Ｂ、４４Ｃ、４４Ｄとにより、内部空間が気密となるように構成されている。なお、第１クリーンルーム３４の側壁３４Ａと第２クリーンルーム４４の側壁（第１区画部材）４４Ｃとは、共通の側壁となっている。
また、第２クリーンルーム４４には、第１窓部４６を開閉する第１開閉シャッタ装置（第１開閉部材）５４が取り付けられている。第１開閉シャッタ装置５４は、第１窓部４６を開閉する平板状の開閉シャッタ本体５４Ａと、開閉シャッタ本体５４Ａを上下に移動させる駆動部５４Ｂと、で構成されている。
第２クリーンルーム４４を構成する側壁であって側壁４４Ｃと相対する側壁（第２区画部材）４４Ａには、同様に、第２窓部４８が形成されている。また、第２クリーンルーム４４には、同様に、第２窓部４８を開閉する第２開閉シャッタ装置（第２開閉部材）５６が取り付けられている。第２開閉シャッタ装置５６は、第２窓部４８を開閉する平板状の開閉シャッタ本体５６Ａと、開閉シャッタ本体５６Ａを上下に移動させる駆動部５６Ｂと、で構成されている。
なお、第１開閉シャッタ装置５４及び第２開閉シャッタ装置５６とは、制御部（図示省略）により制御されて駆動するように構成されている。
また、第２クリーンルーム４４には、アーム部材５０が配置されている。このアーム部材５０は、昇降台３６に載置されたレチクル収納ケース１０を構成する底部材１２に支持されているレチクルＲを、土台部本体５８に載置されたステッパーケースＳを構成する底部材Ｓ２に移動させるためのものであり、レチクルＲを支持する支持板（アーム部材）５０Ａと、支持板５０Ａを第１クリーンルーム３４内から第３クリーンルーム５２内に移動させると共に上下方向にも移動させるリンク機構（アーム部材）５０Ｂと、で構成されている。
また、第２クリーンルーム４４には、第３クリーンルーム５２が接続されている。この第３クリーンルーム５２は、直方体状に構成されており、上壁５２Ｕ及び下壁５２Ｅと、４つの側壁５２Ａ、５２Ｂ、５２Ｃ、５２Ｄとにより、内部空間が気密となるように構成されている。なお、第２クリーンルーム４４の側壁４４Ａと第３クリーンルーム５２の側壁（第２区画部材）５２Ｃとは、共通の側壁となっている。
また、第３クリーンルーム５２には、土台部材５８が配置されている。土台部材５８は、各種のステッパーケースが載置される平板状の土台部本体５８Ａを備えている。この土台部本体５８には駆動機構（図示省略、土台部材）が接続されており、駆動機構の駆動により土台部本体５８が上下方向に移動できるようになっている。
なお、ステッパーケースＳの構成としては、例えば、レチクル収納ケース１０のように、蓋部材２０と底部材１２とで構成され、蓋部材２０を底部材１２に合わせることにより、レチクルＲを収納できるものが好ましい。
また、上壁５２Ｕには開口が形成されており、この開口に上昇した土台部本体５８が位置するようになっている。このように、土台部本体５８は、上壁５２Ｕの一部を構成している。
また、レチクル管理装置３０は、レチクル入替装置３２と接続した待機ルーム６０を備えている。この待機ルーム６０は、第１クリームルーム３４と接続されており、上壁６０Ｕと、４つの側壁６０Ａ、６０Ｂ、６０Ｃ、６０Ｄと、で区画されている。なお、第１クリーンルーム３４の側壁３４Ｄと待機ルーム６０の側壁６０Ｂとは、共通の側壁となっている。
また、レチクル入替装置３２が配置されている床の下方には、ストックルーム６２が配置されている。このストックルーム６２は、複数の種類のレチクルＲを、レチクル収納ケース１０に収納された状態で、収容するためのものである。また、待機ルーム６０とストックルーム６２とは、床に形成された開口部６１で連通した状態となっている。
また、待機ルーム６０からストックルーム６２にかけてレール部（移動手段）６６が設けられており、このレール部６６にはレール部６６上を上下方向に移動する運搬台（移動手段）６４が配置されている。なお、運搬台６４は、所定の駆動機構（図示省略、移動手段）により駆動される。
次に、本実施形態のレチクル入替装置３２及びレチクル管理装置３０の作用について説明する。
図７乃至図１１に示すように、所定のレチクルＲが収納されたレチクル収納ケース１０をストックルーム６２の中から選び、運搬台６４に載せる。運搬台６４にレチクル収納ケース１０が載せられると、駆動機構が作動し、運搬台６４をレール部６６に沿って上方向に移動させる。これにより、運搬台６４は、ストックルーム６２から待機ルーム６０に移動させられ、やがて待機ルーム６０を構成する上壁６０Ｕ上に位置する。
待機ルーム６０を構成する上壁６０Ｕ上に位置したレチクル収納ケース１０は、第１クリーンルーム３４の上壁３４Ｕ上に位置している昇降台３６に載せられる。レチクル収納ケース１０が昇降台３６に載せられると、押圧ヘッド４０が水平方向に移動し、２本の押圧片４０Ａ、４０Ａが蓋土台部２０Ａ上に位置する。押圧片４０Ａ、４０Ａが蓋土台部２０Ａ上に位置した状態で、押圧ヘッド４０が下方向に移動し、蓋部材２０を底部材１２に押し付ける。このとき、押圧片４０Ａ、４０Ａが緩衝部材４０Ｃ、４０Ｃを介して蓋土台部２０Ａと接触するため、蓋土台部２０Ａが破損等することがない。また、図１２に示すように、蓋部材２０が底部材１２に押し付けられると、シール部材１８を構成する屈曲部１８Ｃがさらに弾性変形し、蓋部材２０と底部材１２との相対距離が小さくなる。これにより、フック部材２４を構成する爪部２４Ｂと底部材１２の底部との係合が解除する。爪部２４Ｂと底部材１２の底部との係合が解除した後、傾斜台４２Ａをスライドして下方に移動していた支持アーム本体４２Ｂが傾斜台４２Ａ上を上方に移動すると、やがて係合支持部４２Ｂ２の凸部４２Ｂ３が爪部２４Ｂに形成された係合片２４Ｄと係合する。凸部４２Ｂ３が係合片２４Ｄと係合した状態で、支持アーム本体４２Ｂが傾斜台４２Ａ上をそのまま上方に移動すると、爪部２４Ｂが軸部２４Ａの回転と共に回転し、開いた状態となる。爪部２４Ｂが開いた状態で、蓋部材２０は、支持アーム本体４２Ｂにより支持される。これにより、昇降台３６には底部材１２だけが載置された状態となる。
次に、底部材１２が載置された昇降台３６が下方に移動させられる。このとき、第１窓部４６と第２窓部４８とは、第１開閉シャッタ装置５４と第２開閉シャッタ装置５６と、でそれぞれ閉じられている。これにより、第１クリーンルーム３４の内部に空気流が発生せず、底部材１２に載置されたレチクルＲに埃等が付着することを防止できる。昇降台３６が下方に移動すると、第１開閉シャッタ装置５４を構成する開閉シャッタ本体５４Ａが駆動部５４Ｂにより駆動され、第１窓部４６が開けられる。第１窓部４６が開けられると、支持板５０Ａがリンク機構５０Ｂにより移動し、第２クリーンルーム４４から第１窓部４６を通過して第１クリーンルーム３４に進入する。そして、支持板５０Ａが底部材１２から離間した状態で支持されたレチクルＲの下方に移動し、その後、リンク機構５０Ｂにより上方向に移動する。これにより、レチクルＲが支持板５０Ａに支持されるようになる。レチクルＲが支持板５０Ａにより支持されると、再度、支持板５０Ａが第１クリーンルーム３４から第２クリーンルーム４４に移動する。
支持板５０Ａが第１クリーンルーム３４から第２クリーンルーム４４に移動すると、第１開閉シャッタ装置５４を構成する開閉シャッタ本体５４Ａが駆動部５４Ｂにより駆動され、第１窓部４６が閉じられる。第１開閉シャッタ装置５４により第１窓部４６が閉じられると、第２開閉シャッタ装置５６を構成する開閉シャッタ本体５６Ａが駆動部５６Ｂにより駆動され、第２窓部４８が開けられる。このように、第１窓部４６を閉じてから第２窓部４８を開けることにより、第１クリーンルーム３４の内部に空気が流れ込むことがなく、第１クリーンルーム３４内に埃等が舞うことがない。
第２窓部４８が開けられると、レチクルＲを支持した支持板５０Ａがリンク機構５０Ｂにより移動し、第２窓部４８を通過して、第３クリーンルーム５２に進入する。支持板５０Ａが第３クリーンルーム５２に進入すると、予め待機していた土台部本体５８に載置されたステッパーケースＳ（各露光装置専用のケース）を構成する底部材Ｓ２上にレチクルＲが置かれる。ステッパーケースＳを構成する底部材Ｓ２上にレチクルＲが置かれると、土台部本体５８が上方に移動し、第３クリーンルーム５２の上壁５２Ｕ上に位置する。土台部本体５８が第３クリーンルーム５２の上壁５２Ｕ上に位置すると、蓋部材Ｓ１が被せられ、レチクルＲがステッパーケースＳに収納される。このように、レチクルＲがレチクル収納ケース１０からステッパーケースＳに移し替えられる。
また、レチクルＲがレチクル収納ケース１０からステッパーケースＳに移し替えられると、第２開閉シャッタ装置５６を構成する開閉シャッタ本体５６Ａが駆動部５６Ｂにより駆動され、第２窓部４８が閉じる。
なお、所定のレチクルＲがステッパーケースＳに入れ替えられた後、そのレチクルはデバイスメーカーにより露光装置（図示省略）で使用される。露光装置（図示省略）では、レチクルＲに形成された所定のパターンが半導体ウエーハに投影・転写される。
次に、露光装置で用いられたレチクルＲがレチクル収納ケース１０に収納される作用について説明する。
露光装置で用いられたレチクルＲは、ステッパーケースＳの底部Ｓ２に載置された状態で土台部本体５８に載せられ、土台部本体５８が駆動部機構（図示省略）により駆動されて第３クリーンルーム５２の内部を下方に移動する。
次に、第２開閉シャッタ装置５６を構成する開閉シャッタ本体５６Ａが駆動部５６Ｂにより駆動され、第２窓部４８が開けられる。第２窓部４８が開けられると、支持板５０Ａがリンク機構５０Ｂにより移動し、第２クリーンルーム４４から第２窓部４８を通過して第３クリーンルーム５２に進入する。そして、支持板５０Ａが底部材１２から離間した状態で支持されたレチクルＲの下方に移動し、その後、リンク機構５０Ｂにより上方向に移動する。これにより、レチクルＲが支持板５０Ａに支持されるようになる。レチクルＲが支持板５０Ａにより支持されると、再度、支持板５０Ａが第３クリーンルーム５２から第２クリーンルーム４４に移動する。なお、このとき、第１窓部４６は、閉じられている。
レチクルＲが支持された支持板５０Ａが第３クリーンルーム５２から第２クリーンルーム４４に移動すると、第２開閉シャッタ装置５６を構成する開閉シャッタ本体５６Ａが駆動部５６Ｂにより駆動され、第２窓部４８が閉じられるとともに、第１開閉シャッタ装置５４を構成する開閉シャッタ本体５４Ａが駆動部５４Ｂにより駆動され、第１窓部４６が開けられる。
第１窓部４６が開けられると、支持板５０Ａがリンク機構５０Ｂにより移動し、第２クリーンルーム４４から第１窓部４６を通過して第１クリーンルーム３４に進入する。そして、予め第１クリーンルーム３４の内部を下方に移動し待機していた昇降台３６上の底部材１２にレチクルＲが載せられる。このとき、レチクルＲは、支持部材１４上に載せられて支持されるとともに、位置決め部材１６により位置決めされる。これにより、レチクルＲがステッパーケースＳからレチクル収納ケース１０に移し替えられる。
なお、レチクルＲが底部材１２に載せられると、支持板５０Ａがリンク機構５０Ｂにより移動し、第１クリーンルーム３４から第１窓部４６を通過して第２クリーンルーム４４に戻り、第１窓部４６が閉じられる。
底部材１２にレチクルＲが載せられると、昇降台３６が第１クリーンルーム３４の内部を上昇して、支持アーム本体４２Ｂにより支持された蓋部材２０に合わされ、フック部材２４により蓋部材２０が底部材１２に固定される。これにより、レチクルＲがレチクル収納ケース１０に収納される。レチクルＲがレチクル収納ケース１０に収納されると、レチクル収納ケース１０は運搬台６４に載せられ、ストックルーム６２の所定の場所に収容される。
以上のように、本発明のレチクル入替装置３２及びレチクル管理装置３０によれば、レチクルＲの入替作業を各クリーンルーム３４、４４、５２内で行うことにより、レチクルＲに埃等が付着することを防止でき、レチクルＲの品質が劣化することを防止できる。
また、レチクル入替装置３２の近傍には、複数のレチクルＲをレチクル収納ケース１０に収納された状態で個別に収容するストックルーム６２が設けられているため、レチクル入替装置３２でレチクルＲをレチクル収納ケース１０からステッパーケースＳに入れ替えるときに、必要なレチクルＲをストックルーム６２から迅速かつ容易に取り出すことができる。
また、ストックルーム６２はレチクル入替装置３２が設置された床の下方に形成されているため、床下のスペースを有効に活用することができる。これにより、膨大なレチクルＲの保管をクリーンルーム内で行うとクリーンルームのスペースの拡張が必要となり管理維持コストが大幅に高くなるが、本発明のように床下に形成されたストックルーム６２にレチクルＲを保管することによりレチクルＲの維持管理コストを大幅に低減することができるとともに、クリーンルームの空いたスペースを他の用途に有効に利用することができる。
また、露光装置にレチクルＲを保管するためのライブラリを設ける必要がなくなり、露光装置を小型化することができると共に露光装置の製造コストを大幅に低減することができる。
なお、レチクル収納ケース１０に収納されたレチクルＲに専用のＩＤナンバを設け、また、レチクル収納ケース１０にも専用のＩＤナンバを設け、判定装置（図示省略、判定手段）より両者が合致するか否かを判定し、その判定結果を表示するモニタ（図示省略、表示手段）等に表示させてもよい。これにより、ユーザがモニタを確認するだけで、レチクルＲとレチクル収納ケース１０とが一致しているか否かを瞬時に判別することができる。この結果、レチクルＲとレチクル収納ケース１０とが対応した状態でレチクルＲを保管することができ、レチクルＲの管理機能を高めることができる。
次に、本発明の第１実施形態に係るレチクル収納ケースとシール部材の変形例について説明する。
図１４及び図１５に示すように、変形例となるシール部材７０は、中空状に形成されており、平面視にて略四角形状となるように連続して形成されている。また、シール部材７０は、一対の圧力部７２Ａと、各圧力部７２Ａ、７２Ａ同士を接続した薄肉部７２Ｂと、で構成されている。ここで、各圧力部７２Ａ、７２Ａは、後端部から先端部に向かって徐々に薄肉となるように形成されている。また、薄肉部７２Ｂの上部は、後述するレチクル収納ケース７４（図１６参照）の蓋部材７６と接触する部位であり、湾曲状となるように形成されている。この薄肉部７２Ｂの厚みＴは、０．２ｍｍ以上０．６ｍｍ以下となるように形成されており、特に０．３ｍｍとすることが好ましい。また、シール部材７０は、シール部材７０の厚み方向に切断した断面の高さ方向に延びる中心線Ｌに関して左右対称となるように形成されている。
このシール部材７０は、フッ素ゴムなどのエラストマー材料（ゴム）で構成されている。このフッ素ゴムとして、主鎖が完全にフッ素化されているパーフルオロフッ素ゴム（ＦＦＫＭ）、主鎖の一部に炭素−水素結合が存在する通常のフッ素ゴム（ＦＫＭ）、押出成形等が可能なフッ素系熱可塑性エラストマーなどが、耐熱性やガスの発生が低いという観点から好ましい。
また、図１６に示すように、変形例となるレチクル収納ケース７４を構成する底部材７８の外縁部近傍には溝８０が形成されている。この溝８０の溝幅方向の中央部には、凸部８２が形成されている。また、レチクル収納ケース７４の他の構成については、上述した第１実施形態に係るレチクル収納ケースの構成と同様であるため、説明を省略する。なお、このレチクル収納ケース７４は、ポリカーボネード等の樹脂で構成されている。
次に、変形例となるシール部材７０がレチクル収納ケース７４の底部材７８に装着されるときの作用について説明する。図１６（Ａ）に示すように、シール部材７０の各圧力部７２Ａ、７２Ａが溝８０に形成された凸部８２を挟むようにして溝８０に装着される。このとき、各圧力部７２Ａ、７２Ａの後端部から先端部に向かって徐々に薄肉となっているため、シール部材７０を溝８０に挿入し易くすることができる。シール部材７０が溝８０に装着された状態では、各圧力部７２Ａ、７２Ａの後端部が凸部８２と溝幅方向に対向する溝側壁７８Ａ、７８Ａに所定の圧力が反力として作用する。これにより、シール部材７０が溝８０から脱落することを防止できるとともに、レチクル収納ケース７４を洗浄等した際に溝８０の内部に洗浄液が浸入することを防止できる。
次に、レチクル収納ケース７４の蓋部材７６が底部材７８に取り付けられるときの作用について説明する。図１６（Ｂ）に示すように、蓋部材７６が底部材７８に合わせられてそのまま蓋部材７６が下方に押下げられると、シール部材７０の薄肉部７２Ｂが弾性変形して溝幅方向に押し広げられる。これにより、シール部材７０の上部と蓋部材７６とが所定の反力が作用した状態で接触しているため、空間部の気密を維持することができる。また、シール部材７０は中心線Ｌに関して左右対称となるように形成されているため、薄肉部７２Ｂが蓋部材７６に接触したときに薄肉部７２Ｂが蓋部材７６に対して殆どずれることがなく、パーティクルの発生を効果的に抑制できる。
また、薄肉部７２Ｂがゴムで構成されており、かつ、その厚みＴが０．２ｍｍ以上０．６ｍｍ以下であるため、空間部の気密性を確保することができるとともに、薄肉部７２Ｂが蓋部材７６に及ぼす圧縮反力を小さくすることができ蓋部材７６に反り等が発生することを防止できる。このように、空間部の気密性の確保と蓋部材７６の反り等の発生防止とを両立させることができる。
逆に、薄肉部の厚みが０．６ｍｍよりも厚くなれば、薄肉部が蓋部材又は底部材に及ぼす圧縮反力が大きくなり蓋部材又は底部材に反り等が発生し易くするため問題となる。また、薄肉部の厚みが０．２ｍｍよりも薄くなれば、薄肉部自体の剛性や反発性が不足し、蓋部材又は底部材に及ぼす圧縮反力は小さくなりすぎて空間部の気密性を確保することができないという問題がある。
次に、変形例となるシール部材のパーティクル性能を試す試験について説明する。図１７に示すように、試験機８４の内部空間８６に空気圧シリンダ８８からの空気圧により上下に移動する押圧部材９０を設け、この押圧部材９０にはレチクル収納ケース７４の蓋部材７６と同じ材質の樹脂板９２を貼り付けた。また、内部空間８６の底面にはテーブル９４を設け、このテーブル９４の上面にレチクル収納ケース７４の底部材７８に形成された４個の溝８０を取り付け、各溝８０に上記変形例となるシール部材７０をそれぞれ装着した。そして、空気圧シリンダ８８を１万回動作させ、樹脂板９２により各シール部材７０を押圧した。このとき、樹脂板９２がシール部材７０に接触してから約１．５ｍｍだけシール部材７０を圧縮変形させ、その後、樹脂板９２を引き上げてシール部材７０の弾性変形を開放するという動作を１万回繰り返した。このとき発生したパーティクルを内部空間８６の底部に設けた供給路９６から外部に導き、吸引式のパーティクルカウンタ（図示省略、吸引量２．８３Ｌ／ｍｉｎ）によりその個数を測定した。なお、内部空間８６には０．０１μｍのフィルタ９８を介して空気を供給した。
本試験は、変形例となるシール部材７０を溝８０に装着した発明品装着状態の他に、シール部材を溝８０に装着しない未装着状態と、図１３（Ｂ）に示す従来のシール部材Ｎを溝８０に装着した従来品装着状態も、同様の条件を用いて試験した。
ここで、本試験で用いた変形例となるシール部材７０は、フッ素ゴム（ビニリデンフルオライド／エキサフルオロプロピレン／テトラフルオロエチレン３元系フッ素ゴム：ダイキン社製Ｇ９２１）、架橋剤、カーボンブラックなどの充填材を加えてオープンロールで混練し、ゴムコンパウンドを生成した。これを金型に充填し、１６５℃、１５分間加熱架橋成形を行った後、１８０℃、１２時間二次加硫してシール部材を成形した。
上記パーティクル性能を試す試験の結果は、以下の表１に示す通りである。
Figure 2006103795
 上記表１に示すように、発明品装着状態では６６個のパーティクルが発生しているが、未装着状態でも６６個のパーティクルが発生しており、実質、シール部材から発生するパーティクルはゼロに近いレベルになっていることが判明した。一方、従来品装着状態では２２６５個のパーティクルが発生しており、本発明品となるシール部材を用いた場合には、従来のシール部材を用いた場合と比較して、パーティクルを大幅に低減できることが判明した。
次に、変形例となるシール部材のシール性能を試す試験について説明する。
図１８に示すように、レチクル収納ケース７４の底部材７８に相当する受け部材８１を用い、この受け部材８１に溝８３を形成して変形例となるシール部材７０を装着させた。そして、レチクル収納ケース７４の蓋部材７６に相当する被せ部材８５を用い、被せ部材８５と受け部材８１とを合わせて、内部の空間部８７が気密となるように設定した。内部の空間部８７には、ガラス基板８９を配置させた。なお、被せ部材８５には貫通路９１を形成し、その貫通路９１に負圧計９３と圧力調整バルブ９５と真空ポンプ９７を接続した。本試験では、圧力調整バルブ９５を開放し、真空ポンプ９７を作動させて空間部８７の圧力を−５００Ｐａ程度まで真空引きし、その後、圧力調整バルブ９５を閉じた状態を維持し、負圧計９３により空間部８７の圧力を測定する。負圧計９３による測定は、真空ポンプ９７を作動させて空間部８７の圧力を−５００Ｐａ程度まで真空引きし、その後、圧力調整バルブ９５を閉じた状態とした直後と、それから１週間後の合計２回を実施した。
上記シール性能を試す試験の結果は、以下の表２に示す通りである。
Figure 2006103795
 上記表２に示すように、本発明のシール部材７０を用いれば、空間部８７の圧力を略一定に維持できることが判明した。
以上の２つの試験結果により、本発明であるシール部材７０によれば、パーティクルの発生を抑制することができるとともに、空間部のシール性を確保することができ、パーティクル性とシール性とを両立できることが判明した。
本発明の第１実施形態に係るレチクル収納ケースの斜め上方から観た斜視図である。 本発明の第１実施形態に係るレチクル収納ケースの斜め下方から観た斜視図である。 本発明の第１実施形態に係るレチクル収納ケースの組立分解図である。 本発明の第１実施形態に係るレチクル収納ケースに用いられるシール部材の断面図である。 （Ａ）は本発明の第１実施形態に係るレチクル収納ケースに用いられるシール部材が底部材に形成された溝に配置された状態を示す断面図であり、（Ｂ）はそのシール部材に蓋部材が接触し押圧された状態を示す断面図である。 （Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）ともに、本発明の第１実施形態に係るレチクル収納ケースに用いられるシール部材の変形例となるシール部材の断面図である。 本発明の第１実施形態に係るレチクル管理装置の斜視図である。 本発明の第１実施形態に係るレチクル管理装置を構成するレチクル入替装置の斜視図である。 本発明の第１実施形態に係るレチクル入替装置を構成する係合解除部材の斜視図である。 本発明の第１実施形態に係るレチクル入替装置を構成する係合解除部材によるフック部材を解除する前の状態を示した図である。 本発明の第１実施形態に係るレチクル入替装置を構成する係合解除部材によるフック部材を解除する後の状態を示した図である。 爪部と底部材の底部との係合が解除されるときのシール部材の弾性変形を示した断面図である。 （Ａ）、（Ｂ）ともに従来のシール部材を溝に装着したときの断面図である。 本発明の第１実施形態に係るレチクル収納ケースに用いられるシール部材の変形例の平面図である。 図１４のＡ−Ａ間の断面図である。 （Ａ）は本発明の第１実施形態に係るレチクル収納ケースに用いられるシール部材の変形例が底部材に形成された溝に配置された状態を示す断面図であり、（Ｂ）はそのシール部材の変形例に蓋部材が接触し押圧された状態を示す断面図である。 パーティクル性能試験に用いた試験機の構成図である。 シール性能試験に用いた試験機の構成図である。
符号の説明
１０ レチクル収納ケース（ガラス基板収納ケース）
１２ 底部材（部材）
１３ 溝
１３Ａ 溝の側壁
１３Ｂ 溝の開口縁
１４ 支持部材
１６ 位置決め部材
１８ シール部材
１８Ａ 圧力部
１８Ｃ 屈曲部
１８Ｄ 第１突出部（突出部）
１８Ｅ 第２突出部（突出部）
１８Ｆ 突起部
２０ 蓋部材（部材）
２４ フック部材
２４Ａ 軸部
２４Ｂ 爪部
３０ レチクル管理装置
３２ レチクル入替装置
３４ 第１クリーンルーム
３４Ａ 側壁（第１区画部材）
４４Ａ 側壁（第２区画部材）
３６ 昇降台（昇降部材）
３８ 係合解除部材
４０ 押圧ヘッド
４０Ｃ 緩衝部材（弾性部材）
４２ 支持アーム（開放支持部）
４４ 第２クリーンルーム
４６ 第１窓部（第１開口部）
４８ 第２窓部（第２開口部）
５０ アーム部材
５２ 第３クリーンルーム
５４ 第１開閉シャッタ装置（第１開閉部材）
５６ 第２開閉シャッタ装置（第２開閉部材）
５８ 土台部材
６０ 待機ルーム
６２ ストックルーム
６４ 運搬台（移動手段）
６６ レール部（移動手段）
７０ シール部材
７２Ａ 圧力部
７２Ｂ 薄肉部
７４ レチクル収納ケース（ガラス基板収納ケース）
７６ 蓋部材
７８ 底部材
８０ 溝
８２ 凸部
Ｒ レチクル
Ｓ ステッパーケース

Claims (21)

  1. ガラス基板を収納するためのガラス基板収納ケースであって、
    前記ガラス基板が載置される底部材と、
    前記底部材に載置された前記ガラス基板を覆うように前記底部材に合わせられ前記底部材との間に空間部を形成する蓋部材と、
    前記底部材又は／及び前記蓋部材に設けられ、前記蓋部材が前記底部材に合わせられた状態で前記空間部を気密にするシール部材と、
    前記蓋部材に設けられ、前記底部材に引っ掛けられて前記蓋部材が前記底部材に合わせられた状態を維持するフック部材と、
    を有することを特徴とするガラス基板収納ケース。
  2. 前記フック部材は、前記蓋部材に回転可能に設けられた軸部と、前記軸部を回転軸として回転し前記底部材の底部と係合する爪部と、を有することを特徴とする請求項１に記載のガラス基板収納ケース。
  3. 前記シール部材は前記蓋部材又は／及び前記底部材に形成された溝に配置され、
    前記シール部材は、前記溝に挿入され前記溝の側壁を押圧する一対の圧力部と、前記各圧力部同士を接続し前記蓋部材が前記底部材に合わせられるときに前記蓋部材又は前記底部材と接触し弾性変形する屈曲部と、を有し、
    前記各圧力部の肉厚が前記屈曲部の肉厚と比較して厚くなるように形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のガラス基板収納ケース。
  4. 前記屈曲部から前記各圧力部までの少なくとも一部には、突起部が設けられていることを特徴とする請求項３に記載のガラス基板収納ケース。
  5. 前記屈曲部から前記各圧力部に亘って肉厚が徐々に厚くなるように形成されていることを特徴とする請求項４に記載のガラス基板収納ケース。
  6. 前記蓋部材又は／及び前記底部材には凸部を有する溝が形成され、
    前記シール部材は、ゴムで構成され、
    前記シール部材は、前記凸部を挟むように前記溝に挿入され前記凸部と対向する溝側壁を押圧する一対の圧力部と、前記各圧力部同士を接続し前記蓋部材が前記底部材に合わせられるときに前記蓋部材又は前記底部材と接触する部位が湾曲状に形成され前記蓋部材が前記底部材に合わせられるときに前記蓋部材又は前記底部材と接触して弾性変形する薄肉部と、を有することを特徴とする請求項１又は２に記載のガラス基板収納ケース。
  7. 前記薄肉部の厚みは、０．２ｍｍ以上０．６ｍｍ以下であることを特徴とする請求項６に記載のガラス基板収納ケース。
  8. 前記圧力部の溝底面と接触する先端部に向かって徐々に薄肉となっていることを特徴とする請求項６又は７に記載のガラス基板収納ケース。
  9. 前記シール部材は、前記シール部材の厚み方向に切断した断面の高さ方向に延びる中心線に関して対称となるように形成されていることを特徴とする請求項６乃至８のいずれか１項に記載のガラス基板収納ケース。
  10. 請求項１乃至９のいずれか１項に記載のガラス基板収納ケースに収納されたガラス基板を別のステッパーケースに入れ替えるガラス基板入替装置であって、
    上下方向に移動可能に設けられ前記ガラス基板収納ケースが載置される昇降部材と、
    前記昇降部材に載置された前記ガラス基板収納ケースの前記底部材への前記フック部材の引っ掛けを解除すると共に、前記蓋部材を下方から支持する係合解除部材と、
    前記ステッパーケースが載置された土台部材と、
    前記昇降部材上の前記底部材に載置された前記ガラス基板を前記底部材から取り出し前記ステッパーケース側に移動させるアーム部材と、
    を有することを特徴とするガラス基板入替装置。
  11. 前記係合解除部材は、前記蓋部材を前記底部材に押し付けて前記シール部材を弾性変形させ前記爪部と前記底部材との係合を解除する押圧部と、前記底部材との係合を解除された前記爪部を前記軸部の回りに回転させながら引き上げると共に前記蓋部材を支持する開放支持部と、を有することを特徴とする請求項１０に記載のガラス基板入替装置。
  12. ガラス基板を管理するガラス基板管理装置であって、
    請求項１０又は１１に記載のガラス基板入替装置と、
    前記ガラス基板入替装置が設置された床の下方に形成されたストックルームと、を有することを特徴とするガラス基板管理装置。
  13. 請求項１乃至９のいずれか１項に記載のガラス基板収納ケースを用いて、前記ガラス基板を製造するガラス基板製造メーカーから前記ガラス基板に所定のパターンを形成する描画業者へ、さらに前記描画業者から前記ガラス基板のパターンを半導体ウエーハに投影・転写するデバイスメーカーへ流通させることを特徴とするガラス基板流通方法。
  14. 弾性体で構成され各部材間の接合面に形成された溝に装着されるシール部材であって、
    前記シール部材が前記溝に装着されたときに前記溝の側壁を押圧する一対の圧力部と、前記一対の圧力部を接続する屈曲部と、を有し、
    前記各圧力部同士の離間距離が縮められて前記溝に装着されることを特徴とするシール部材。
  15. 前記屈曲部から前記各圧力部に亘って肉厚が徐々に厚くなるように形成されていることを特徴とする請求項１４に記載のシール部材。
  16. 前記屈曲部から前記各圧力部までの少なくとも一部には、突起部が設けられていることを特徴とする請求項１４又は１５に記載のシール部材。
  17. ゴムで構成され各部材間の接合面に形成された溝の凸部を挟むように前記溝に装着されるシール部材であって、
    前記シール部材が前記溝に装着されたときに前記凸部と対向する溝側壁を押圧する一対の圧力部と、前記各圧力部同士を接続し各部材の一方又は他方と接触する部位が湾曲状に形成され前記各部材の一方又は他方と接触して弾性変形する薄肉部と、を有することを特徴とするシール部材。
  18. 前記薄肉部の厚みは、０．２ｍｍ以上０．６ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１７に記載のシール部材。
  19. 前記圧力部の溝底面と接触する先端部に向かって徐々に薄肉となっていることを特徴とする請求項１７又は１８に記載のシール部材。
  20. 前記シール部材の厚み方向に切断した断面の高さ方向に延びる中心線に関して対称となるように形成されていることを特徴とする請求項１７乃至１９のいずれか１項に記載のシール部材。
  21. 請求項１４乃至２０のいずれか１項に記載のシール部材が前記溝に装着されてシールするシール構造であって、
    前記溝の開口部が広くなるように、前記溝の開口縁が面取りされていることを特徴とする記載のシール構造。
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