以下、本開示は添付図面を参照して、より完全に説明される。ここで、開示の例示的な実施形態が示される。しかしながら、この開示は、多くの異なる形態で実施され得、本明細書に記載される例示的な実施形態に限定されるものと解釈されてはならない。むしろ、これらの例示的な実施形態は、この開示が徹底的かつ完全なものとなるように提供され、開示の範囲を当業者に完全に伝えるであろう。同様の参照番号は、全体を通して同様の要素を指す。
本明細書で使用される用語は、特定の例示的な実施形態のみを説明する目的であり、開示を限定することを意図するものではない。本明細書で使用されるように、単数形「a」、「an」および「the」は、他の文脈が明確に示されない限り、複数の形も含むように意図される。用語「備えた」および/または「備える」、または「含んだ」および/または「含む」、または「有した」および/または「有する」は、本明細書で使用される場合、特徴、領域、整数、ステップ、操作、要素、および/または構成要素の存在を特定するが、1つ以上の他の特徴、領域、整数、ステップ、操作、要素、および/またはそれらのグループの存在または追加を妨げるものではない。
特に規定されていない限り、本明細書で使用されるすべての用語(技術用語および科学用語を含む)は、本開示が属する当業者に通常理解されるものと同一の意味を有する。さらに理解されることであろうが、一般的に使用される辞書で定義されるような用語は、関連技術および本開示の文脈におけるそれらの意味と一致する意味を有するものと解釈されるべきであり、本明細書でそのように定義されない限り、理想化された、または過剰に形式的な意味で解釈されないであろう。
例示的なEUVレチクルポッド(例えば、ポッドシステム1)は、基部(例えば、内部基部21)およびカバー(例えば、内部蓋22)を含む。いくつかの実施形態では、環状ループパターンを有する少なくとも1つのトレンチ構造が、粒子を捕捉または捕獲するために基部上に提供される。他のいくつかの実施形態では、円形ループ構造を有する少なくとも1つの溝が、粒子を捕捉または捕獲するために基部上に設けられる。したがって、粒子が保持表面とEUVレチクルとの間の領域に移動するリスクは軽減される。ここで、本開示の実施形態の内容および特徴を詳細に説明し、その実施例を添付図面に図示する。本開示の特徴を明確に示すために、要素は、図面において単純化または省略され、構成要素の相対的な比率は、例示的な目的のみのためのものである。
本開示の一実施形態によるEUVレチクルポッドの分解図である図1を参照されたい。EUVレチクルポッド1は、EUVレチクルRを収容するために使用され、EUVレチクルポッド1は、外箱アセンブリ10および内箱アセンブリ20を含む。外箱アセンブリ10は、互いに協働し、内箱アセンブリ20を受け入れるための収容空間13を画定する上部11および下部12を含む。
なお、本実施の形態では、外箱アセンブリ10の上部11及び下部12の各々は、矩形状を含むが、これらに限定されない。上部11と下部12とが互いに係合すると、収容空間13を外箱アセンブリ10の外側から分離する気密状態が形成される。上部11及び下部12は、空気弁に配置されたろ紙のようなろ材を備えた1つまたは複数の空気弁(図面には示されていない)を有することによって例示することができる。空気は、空気バルブを通して収容空間13に入るかまたは出る間、清浄に保つことができる。上部11は、さらに、いくつかの案内要素(図面には示されていない)を有することによって例示することができる。上部11と下部12とが互いに取り付けられているとき、案内要素を用いて、2つの部分11、12の相対位置または内箱アセンブリ20の位置を調整し、補正することができる。下部12は、さらに、内箱アセンブリ20を支持するためのいくつかの支持要素(図面には示されていない)を有することによって例示することができる。上述の要素、それらの構造、およびそれらの配置は、実際の製品ニーズによって決定することができ、本開示では限定されない。
図1及び図2を同時に参照されたい。図2は、図1に示された基部の斜視図であってよい。本実施形態の内箱アセンブリ20は、基部21とカバー22とを備えている。基部21には、上面210と周囲壁215とが設けられている。上面210はカバー22に対向する基部21の表面であり、幾つかの位置決め部材214が上面210上に配置され、これから突出されている。周囲壁215は、基部21の側方側壁であり、上面210と連結し、周囲を取り囲んでいる。
位置決め部材214および基部21は、異なる材料からなる。例えば、基部21が金属材料からなる場合、位置決め部材214は、アブレージョンレジストプラスチック等の低発塵材料からなる。いくつかの実施形態では、位置決め部材214は、ねじによって基部21上に固定され、上面210から突出することができる。位置決め部材214は、矩形のEUVレチクルRの四隅に対応して分布させることができる。いくつかの実施形態では、各位置決め部材214は、EUVレチクルRの位置を案内し、調整するための傾斜した案内面を有している。位置決め部材214の構成を通して、EUVレチクルRのための受け入れスペース23を、基部21上に画定することができる。なお、位置決め部材214の構造、量、固定機構、及び配置は、図2に示す実施形態に限定されない。基部21上の受け入れスペース23を画定することができる他の形態の要素を、位置決め部材214としてここで使用することができる。
基部21の上面210は、保持面211(すなわち、上面210の内部領域)、トレンチ212、および第1の接触面213(すなわち、上面210の外部領域)を含む。いくつかの実施態様によれば、保持面211、トレンチ212、及び第1の接触面213は、上面210の中心から周囲壁215に向かって順次分布される。すなわち、保持面211は、上面210の近接中心にあり、第1の接触面213は、上面210の外部領域にあり、トレンチ212は、その間の中間に位置する。EUVレチクルRは、受け入れスペース23に受け入れられると、保持面211の上に保持される。トレンチ212は、底部が保持面211よりも低い環状ループパターンを有する。本実施形態では、保持面211は、平坦で略平面の表面である。トレンチ212は、保持面211を連続的かつ完全に取り囲み、第1の接触面213は、トレンチ212を連続的かつ完全に取り囲む。したがって、図2に示すように、1つの完全な環状トレンチ212が基部21上に設けられる。
図2および図3を同時に参照されたい。図3は、図1に示された内箱アセンブリおよびEUVレチクルの部分断面図であってもよい。図3には、内箱アセンブリ20の一部のみが示されており、受け取ったEUVレチクルRが示されている。図3の左側は保持面211の中心に近く、図3の右側は内箱アセンブリ20の縁部(周囲壁215が位置する場所)を示す。保持面211、トレンチ212、及び第1当接面213は、上面210の中心から周囲壁215(図3では左から右)に向かって順次分布している。第1の接触面213は、保持面211よりも低く、トレンチ212の底部は、第1の接触面213よりも低い。トレンチ212は、凹部構造であり、最も低い位置に底部を有する。トレンチ212の底部から測定すると、保持面211を接続する側壁は、第1接触面213を接続する側壁よりも背が高い。各側壁は、鋭い角を通してトレンチ212の底部に接続されているか、少なくとも非常に小さく、有意に湾曲していない角部を備えている。
トレンチ212は、粒子を捕捉または捕獲するために使用される。トレンチ212内の粒子が空気の流れによって上昇されると、それらは保持面211に接続する側壁によって遮断されることになる。EUVレチクルRと保持面211との間の領域に移動するか、またはEUVレチクルR上に付着さえする粒子のチャンスを低くすることができ、したがって、保持面211上の汚染を低減することができる。トレンチ212は、別の有益な態様を有する。実用上、第1の接触面213と第2の接触面223との間の気密封止は、プロセス変動の問題(表面処理エラーなど)のために、所望のレベルを達成しない場合がある。2つの接触面213および223の間の所望の気密性が達成されないとき、トレンチ212に向かって粒子を導くために、その間に小さな空気流路が形成される。トレンチ212の2つの側壁は、異なる高さを有するので、粒子は、トレンチ212に捕捉されて保持され、保持面211とEUVレチクルRとの間の領域に移動するのを防止することができる。
図3に示すのと同じ断面図であってもよい図4を参照されたい。この実施形態では、基部21は、トレンチ212内、すなわちトレンチ212の底面に配置された付加的なブロック部材217を含む。ブロック部材217のその下端から上端までの高さは、第1の接触面213に接続するトレンチ212の側壁よりも少なくともわずかに高い。カバー22が基部21に係合すると、ブロック部材217の上端が第2の接触面223に強固に接触される。その結果、粒子が保持面211とEUVレチクルRとの間の領域に移動することを防ぐことができるが、一方の実施形態では、ブロック部材217は、トレンチ212に連続的に適合させるように構成された環状ループを有する。いくつかの実施態様において、ブロック部材217は、トレンチ212に連続的に嵌合される円形ループ構造を有する。
図2と図5を同時に参照されたい。図5は、図2に示された基部の断面図であってよい。図2の基部21の断面図は、例えば図2に示す線A−A′に沿って取られている。本実施形態では、基部21の上面210は、トレンチ212と連通する少なくとも1つのくぼ地216をさらに含む。図示の実施形態では、くぼ地216の底部は、トレンチ212の底部よりも低く、保持面211と実質的に平行な方向に広がっている。くぼ地216の幅は、トレンチ212の幅よりも大きい。くぼ地216は、粒子を捕捉または捕獲するためのより大きな面積を有するさらなる凹部構造である。したがって、トレンチ212に加えて、くぼ地216内にも粒子を保持することができる。
内箱アセンブリ20のカバー22については、図6及び図7を参照してさらに詳しく説明すると、図6は、例示的なカバー(例えば、図1に示されるカバー22)の斜視図である。図7は、例示的なカバーの別の斜視図である。カバー22は、基部21と嵌合するように構成されており、凹面221と第2の接触面223とが形成されている。凹面221は、EUVレチクルRを収容するために使用され、第2の接触面223は、第1の接触面213と協働して、例えば、図3に示されるように、気密シールを形成するために使用される。本実施形態では、第1及び第2の接触面213,223は、相対的に粗さの小さい平坦面又は平面であり、接触させたときに互いに協働して密封を行うことができる。
本実施形態では、カバー22は、凹面221と第2の接触面223との間にくぼみ面222を備えている。くぼみ面222は、くぼみ面222と基部21の上面210との間にギャップが保たれるように、第2の接触面223のものとは異なる水平レベルに位置する。より具体的には、くぼみ面222および第2の接触面223がそれぞれ位置する2つの水平レベルは、2つの平行な水平レベルである。図3に示すように、凹み面222と上面210の保持面211との間には隙間が形成され、トレンチ212は第2の接触面223によって部分的に覆われている。カバー22が基部21と係合すると、空気の流れによって隆起した堆積粒子または粒子がトレンチ212およびくぼ地216内に移動することができ、それによってその中に捕捉または捕獲される。
図6及び図7を参照されたい。本実施形態のカバー22は、いくつかのガイド部材224を備えている。ガイド部材224は、カバー22が基部21に係合されると、基部21に向かって延びるように構成されている。基部21に向かって延在するガイド部材224は、例えば図3に示すように、基部21の周囲壁215に弾性的に接触するように構成される。カバー22が基部21と嵌合している間、ガイド部材224は、カバー22と基部21との相対位置を調整し、補正するために使用されるので、両者を正しく係合させることができる。本実施形態では、ガイド部材224をカバー22の四隅に対応するように構成することができる。ただし、ガイド部材224の量および配置は、図6および図7に示す実施形態に限定されない。基部21に向かって延在し、カバー22と基部21との間の結合時に周囲壁215に弾性的に接触する他の形態の要素を、ここではガイド部材224として使用することができる。
本実施形態のカバー22は、位置決め部材214の位置に対応する幾つかの弾性部材225を含む。弾性部材225は、カバー22が基部21に係合され、内箱アセンブリ20が外箱アセンブリ10内に収容されるとき、ワークピース(例えば、EUVレチクルR)に接触して押し付けるように構成される。弾性部材225は、EUVレチクルRの垂直方向への動きを抑制するのに役立ち、それにより、EUVレチクルRが動かないようにし、したがって、構造要素間の摩擦による封じ込め/粒子の発生を抑制する。実際には、外箱アセンブリ10の上部11の内面に幾つかの突出要素(図面には示されていない)を配置することができ、これは弾性部材225の位置に対応して配置することができる。内箱アセンブリ20が外箱アセンブリ10の収容空間13に収容されると、突出された要素が弾性部材225の一端をそれぞれ押圧してもよい。弾性部材225の他端は、結果的にEUVレチクルRに接触させて押し付ける。突出要素の構造および構成は、本例示的な実施形態に示されるものに限定されない。
本実施形態では、カバー22は、少なくとも1つの空気入口226を含み、空気入口226にろ過材料を配置することができる。空気入口226は、空気が凹面221に入るための窓を提供する。空気が空気注入口226を通って凹面221内にパージされると、今度は空気の流れによって運ばれる凹面221内の粒子は、凹面221の外側のトレンチ212に向かって移動し、その結果、粒子はトレンチ212またはくぼ地216内に捕捉または捕獲されることができる。
図8を参照されたい。これは、例えば、図1〜図3に図示されているような、保持面、トレンチ、および第1の接触面の平面図である。前述したように、上面210の保持面211、トレンチ212、および第1の接触面213は、上面210の中心から周囲壁215に向かって順次分布している。図示の実施形態では、トレンチ212は、保持面211を完全かつ連続的に取り囲み、第1の接触面213は、トレンチ212を完全かつ連続的に取り囲む。従って、基部21上には完全な環状トレンチ212が設けられている。しかしながら、本開示は、本明細書に提供される特定の図示に限定されない。例えば、いくつかの実施形態では、完全に囲まれていないトレンチパターンを、例えば、基部21上の追加のデバイス形状を収容するために利用することができる。
本開示のいくつかの実施形態による、保持面、トレンチ、および第1の接触面の平面図である図9を参照されたい。図9に示されるようなEUVレチクルポッドの基部31のうち、保持面311、いくつかのトレンチ構造312、および上面310の第1の接触面313は、保持面311の中心から周囲壁314に向かって順次分布される。トレンチ312は、各々が環状ループの平面プロファイルを有する上面310上に設けられている。いくつかの実施形態では、環状ループ構造は、円形ループ構造を含んでもよい。トレンチ312は、保持面311と第1の接触面313との間に配置され、その各々は、基部31のコーナーに近接する位置決め部材314位置をそれぞれ取り囲む。各トレンチ312の底部は、第1の接触面313および保持面311よりも低い。したがって、各トレンチ312は、凹部構造を備える。位置決め部材314を囲むトレンチ312の各環状ループパターンは、対応する位置で生成された粒子を捕捉または捕獲するために使用されてもよい。トレンチ312内の粒子は、空気の流れによって上昇されるとき、トレンチ312の側壁によって阻止され得る。したがって、保持面311上への粒子の移動を緩和することができ、EUVレチクルR上の粒子汚染を低減することができる。
上述の実施形態によれば、EUVレチクルポッドは、外箱アセンブリおよび内箱アセンブリを含む。外箱アセンブリは、互いに協働し、内箱アセンブリのための収容空間を画定する上部および下部を含む。内箱アセンブリは、基部とカバーとを含む。基部は、上面および周囲の壁を有する。幾つかの位置決め部材が、上面に配置され、上面から突出されて、EUVレチクルのための受け入れスペースを画定する。周囲の壁は、上面を連結し、周囲を取り囲んでいる。上面は、保持面、少なくとも1つのトレンチ、および第1の接触面を含む。EUVレチクルは、受け入れスペースに受け入れられたときに、保持面の上方に保持される。いくつかの実施形態では、トレンチは、環状ループ構造を有し、トレンチの底部は、保持面よりも低い。他のいくつかの実施態様において、溝は、円形ループ構造を有し、溝の底部は、保持面よりも低い。保持面、トレンチ、および第1の接触面は、上面の中心から周囲の壁に向かって順次分布する。カバーは、基部との嵌合に使用され、EUVレチクルのための凹面と、第1の接触面と協働して気密シールを形成するための第2の接触面とを有する。環状ループ構造トレンチ内の粒子を捕捉または捕獲することにより、粒子汚染の問題を軽減することができる。
図10は、本開示のいくつかの実施形態による、基部1001の平面図である。基部1001は、上面と、上面に対向する底面とを含む。基部1001の上面は、内部領域1011および外部領域1013を含んでもよい。いくつかの実施態様において、内部領域1011は、外部領域1013に対して実質的に平面である。図10の線Pは、内部領域1011と外部領域1013との間の分割を示すために使用される。
基部1001には、複数の位置決め構造が設けられている。複数の位置決め構造は、内部領域1011内に配置されてもよい。各位置決め構造は、一対の位置決め部材1014と、一対の位置決め部材1014の間に配置される支持部材1031と、一対の位置決め部材1014および支持部材1031を取り囲むガイドトレンチ構造1032とを含む。
一対の位置決め部材1014は、レチクルポッド内に配置されたワークピースR(例えば、レチクル)のコーナーを位置決めするために使用されてもよい。一対の位置決め部材1014は、それぞれ、内部領域1011の表面から突出する。いくつかの実施形態では、支持部材1031は、(基部の底面からの)位置決め部材1014の高さ未満の(基部の底面からの)高さを有してもよい。いくつかの実施態様において、支持部材1031は、内部領域1011と実質的に同一平面上にあり得る。いくつかの実施態様において、支持部材1031は、内部領域1011よりも大きい高さを有してもよい。しかしながら、内部領域1011からの支持部材1031の突起は、基部1001内のワークピースRの安定性を妨げることはない。
ガイドトレンチ構造1032の壁は、一対の位置決め部材1014および支持部材1031を取り囲む、平面プロファイルのための周囲輪郭を有する。ガイドトレンチ構造1032は、さらに、壁によって囲まれた底部を有する。いくつかの実施態様において、内部領域1011に最も近いガイドトレンチ構造1032の壁の部分は、侵入粒子(例えば、基部に真空引きされる)の方向をすぐに基部の外へ誘導するように構成された丸みを帯びた平面プロファイルを有する。いくつかの実施態様において、ガイドトレンチ構造1032の壁は、互いに連続的に結合された複数の円弧状区域の組み合わせによって形成されてもよい。ガイドトレンチ構造1032の底部は、基部の底面からの内部領域1011の高さ未満の、基部の底面からの高さを有してもよい。いくつかの実施態様において、カバー(例えば、図1に示されるカバー22)の外部領域は、カバーが基部を覆って配置されるときに、基部1001の外部領域1013と物理的に接触してもよい。
図11は、本開示のいくつかの実施形態による、基部1101の平面図である。基部1101は、上面と、上面に対向する底面とを含む。基部1101の上面は、内部領域1111および外部領域1113を含んでもよい。いくつかの実施態様において、内部領域1111は、外部領域1113よりも高い。基部1101は、複数の位置決め構造を含む。複数の位置決め構造は、内部領域1111内に配置されてもよい。各位置決め構造は、一対の位置決め部材1114と、一対の位置決め部材1114の間に配置された支持部材1131と、一対の位置決め部材1114及び支持部材1131を取り囲むガイドトレンチ構造1132とを備えている。
一対の位置決め部材1114は、レチクルポッド内に配置されたワークピースRのコーナーを位置決めするために使用されてもよい。一対の位置決め部材1114は、内部領域1111の表面から突出している。いくつかの実施形態では、支持部材1131は、基部の底面からの位置決め部材1114の高さよりも低い、基部の底面からの高さを有してもよい。いくつかの実施態様において、支持部材1131は、内部領域1111に対して実質的に平面であってもよい。いくつかの実施態様において、支持部材1131は、内部領域1111よりも大きい高さを有してもよい。しかしながら、内部領域1111からの支持部材1131の突起は、基部1101内のレチクルRの安定性を妨げるものではない。
一対の位置決め部材1114および支持部材1131を同時に取り囲むガイドトレンチ構造1132は、丸みを帯びた輪郭を有する壁を有する。ガイドトレンチ構造1132は、さらに、壁によって囲まれた底部を有する。いくつかの実施態様では、内部領域1111に最も近いガイドトレンチ構造1132の壁の部分は、基部1101に真空引きされた粒子の方向をすぐに基部1101の外へ案内する丸みを帯びた平面プロファイルを有する。ガイドトレンチ構造1132の底部は、基部の底面からの内部領域1111の高さ未満の、基部の底面からの高さを有してもよい。ガイドトレンチ構造1132の底部は、基部の底面からの外部領域1113の高さ未満の、基部の底面からの高さを有してもよい。いくつかの実施態様において、カバーの外部領域(例えば、先に図示されたようなカバー21)は、カバーが基部を覆って配置される場合、基部1101の外部領域1113と物理的に接触してもよい。
図12は、本開示のいくつかの実施形態による、基部1201の平面図である。基部1201は、上面と、上面に対向する底面とを含む。基部1201の上面は、内部領域1211および外部領域1213を含んでもよい。いくつかの実施態様において、内部領域1211は、外部領域1213に対して実質的に平面である。他のいくつかの実施態様において、内部領域1211は、外部領域1213よりも高い。
基部1201は、複数の位置決め構造を含む。複数の位置決め構造は、外部領域1213と内部領域1211との間に配置されてもよい。各位置決め構造は、一対の位置決め部材1214と、一対の位置決め部材1214の間に配置される支持部材1231と、一対の位置決め部材1214および支持部材1231を取り囲むガイドトレンチ構造1232とを含む。一対の位置決め部材1214は、レチクルポッド内に配置されたレチクルRのコーナーを位置決めするために使用されてもよい。一対の位置決め部材1214は、それぞれ、内部領域1211の表面から突出する。
いくつかの実施形態では、支持部材1231は、基部の底面からの位置決め部材1214の高さよりも低い、基部の底面からの高さを有してもよい。いくつかの実施態様において、支持部材1231は、内部領域1211に対して実質的に平面であってもよい。いくつかの実施態様において、支持部材1231は、内部領域1211よりも大きい高さを有してもよい。しかしながら、内部領域1211からの支持部材1231の突起は、基部1201内のレチクルRの安定性を妨げるものではない。
一対の位置決め部材1214および支持部材1231を同時に取り囲むガイドトレンチ構造1232の壁は、平面輪郭のために丸い輪郭を有する。ガイドトレンチ構造1232は、さらに、壁によって囲まれた底部を有する。いくつかの実施態様において、内部領域1211に最も近いガイドトレンチ構造1232の壁の部分は、侵入粒子(例えば、基部に真空引きされる)の方向をすぐに基部の外へ誘導するように構成された丸みを帯びた平面プロファイルを有する。ガイドトレンチ構造1232の底部は、基部の底面からの内部領域1211の高さ未満の、基部の底面からの高さを有してもよい。
いくつかの実施態様において、基部1201は、内部領域1211と外部領域1213との間に配置された周辺トレンチ構造1212をさらに含む。幾つかの実施形態において、周辺トレンチ構造1212は、囲んだ平面ループプロファイルを有する。いくつかの実施形態では、位置決め構造は、周辺トレンチ構造1212に沿って形成される。いくつかの実施態様において、周辺トレンチ構造1212は、ガイドトレンチ構造1232と交差する。いくつかの実施態様において、周辺トレンチ構造1212は、ガイドトレンチ構造1232に隣接する。図12の周辺トレンチ構造1212は、内部領域1211と外部領域1213との境界区分を示している。いくつかの実施態様において、外部領域1213の一部の幅W1は、外部領域1213の別の部分の幅W2よりも大きい。一例として、周辺トレンチ構造1212の平面形状のために、異なる部分で外部領域1213に対して異なる幅が存在してもよい。いくつかの実施態様において、周辺トレンチ構造1212の一部は、基部1201の中心に向かってくぼんでいる。いくつかの実施態様において、カバーの外部領域は、カバーが基部を覆って配置されるときに、基部1201の外部領域1213と物理的に接触してもよい。
図13は、本開示のいくつかの実施形態による、基部1301の平面図である。基部1301は、上面と、上面に対向する底面とを含む。基部1301の上面は、内部領域1311および外部領域1313を含んでもよい。いくつかの実施態様において、内部領域1311は、外部領域1313に対して実質的に平面である。他のいくつかの実施態様において、内部領域1311は、外部領域1313よりも高い。
基部1301は、複数の位置決め構造を含む。複数の位置決め構造は、内部領域1311内に配置されてもよい。各位置決め構造は、一対の位置決め部材1314と、一対の位置決め部材1314の間に配置される支持部材1331と、一対の位置決め部材1314及び支持部材1331を取り囲むガイドトレンチ構造1332とを含む。一対の位置決め部材1314は、レチクルポッド内に配置されたワークピースRのコーナーを位置決めするために使用されてもよい。一対の位置決め部材1314は、それぞれ、内部領域1311の表面から突出する。
いくつかの実施形態では、支持部材1331は、基部の底面からの位置決め部材1314の高さよりも低い、基部の底面からの高さを有してもよい。いくつかの実施態様において、支持部材1331は、内部領域1311に対して実質的に平面であってもよい。いくつかの実施態様において、支持部材1331は、内部領域1311よりも大きい高さを有してもよい。しかしながら、内部領域1311からの支持部材1331の突起は、基部1301内のワークピースRの安定性を妨げない場合がある。
一対の位置決め部材1314および支持部材1331を取り囲むガイドトレンチ構造1332は、丸みを帯びた平面輪郭を有する壁を有する。ガイドトレンチ構造1332は、さらに、壁によって囲まれた底部を有する。いくつかの実施態様において、内部領域1311に最も近いガイドトレンチ構造1332の壁の部分は、基部に真空引きされた粒子の方向をすぐに基部の外へ導くために丸められる。ガイドトレンチ構造1332の底部は、基部の底面からの内部領域1311の高さ未満の、基部の底面からの高さを有してもよい。
いくつかの実施態様において、基部1301は、内部領域1311と外部領域1313との間に配置された周辺トレンチ構造1312をさらに含む。幾つかの実施形態において、周辺トレンチ構造1312は、囲んだ平面ループプロファイルを有する。図13の周辺トレンチ構造1312は、内部領域1311と外部領域1313との間の構造的分割として機能する。さらに、ガイドトレンチ構造1332は、周辺トレンチ構造1312から離れた位置に配置されてもよい。いくつかの実施態様において、カバーの外部領域は、カバーが基部を覆って配置されるときに、基部1301の外部領域1313と物理的に接触してもよい。
図14A〜14Dは、本開示のいくつかの実施形態による、基部の平面図である。図10における実施形態と同様に、図1における説明図である。図14A、14B、および14Dは、内部領域1411A、1411B、1411D内に配置される位置決め構造を開示する。各位置決め構造は、一対の位置決め部材(例えば、1414A、1414B、および1414D)と、一対の位置決め部材1414A、1414B、および1414Dの間に配置される支持部材(例えば、1431A、1431B、および1431D)と、一対の位置決め部材および支持部材を取り囲むガイドトレンチ構造(例えば、1432A、1432B、および1432D)とを含む。特に、図14A、14B、および14Dに示される実施形態は、ガイドトレンチ構造1432A、1432B、および1432Dのための例示的な平面配置を提供する。
例えば、図14Aにおいて、ガイドトレンチ構造1432Aは、略W字状の構造を有する。
例えば、別の例では、図14Bにおいて、ガイドトレンチ構造1432Bは、略U字状の構造を有する。
図14Dにおいて、ガイドトレンチ構造は、略V字形状の構造1432Dを有する。支持部材1431A、1431B、および1431D、ならびに内部領域1411A、1411B、1411Dの一部は、粒子がガイドトレンチ構造1432A、1432B、および1432D内を連続的に循環するのを妨げるバリアを形成する。
図14A、14B、および14Dに示される実施形態において、位置決め部材1414A、1414B、および1414Dは、バッファ領域(例えば、図15A/Bに描写されるバッファリム1536)内に配置されてもよい。いくつかの実施態様において、バッファリムは、内部領域1411A、1411B、1411D内に配置される。いくつかの実施態様において、バッファリムの高さ(すなわち、リム面と基部の底面との間の距離)は、内部領域1411A、1411B、1411Dの高さよりも小さくてもよい。いくつかの実施形態では、バッファリムの高さは、ガイドトレンチ構造1432A、1432B、および1432Dの底面の高さよりも大きくてもよい。
一方、図14Cは、内部領域1411C内に配置される位置決め構造を示す。この位置決め構造は、一対の位置決め部材1414Cと、一対の位置決め部材1414Cの間に配置される支持部材1431Cと、支持部材1431Cのみを囲むガイドトレンチ構造1432Cとを含む。一対の位置決め部材1414Cの根元は、基部の上面に配置される。いくつかの実施態様において、ガイドトレンチ構造1432Cは、円形の平面形状を有する。他のいくつかの実施形態では、内部領域の中心に最も近いガイドトレンチ構造1432Cの壁の一部は、ワークピースから離れるように粒子をガイドするために、形状が丸くされる。
図14Eは、本開示のいくつかの実施形態による、図14CのB−B´に沿った基部の断面図を示す。いくつかの実施形態では、位置決め部材1414Cは、配置中にレチクルRの案内を可能にするために、レチクルRの位置に向かって内側に向かって減少するヘッドプロファイルを有する。
図示の実施形態では、支持部材1431Cと位置決め部材1414Cとの間のガイドトレンチ構造1432Cは、ガス流路領域Xを実質的に画定する。いくつかの実施形態では、ガイドトレンチ構造1432Cは、所定の閾値以上の断面積Xを有するよう構成される。例えば、いくつかの実施形態では、支持部材1431Cの下方(例えば、支持部材1431Cの中心領域における上面の下方)および位置決め部材1414Cのうちの1つの間(例えば、受け入れられたワークピースRの下の斜線領域Xによって実質的に示されるように)の断面積は、十分なクリアランス閾値を満たすように構成される。1つのことに対して、突出部材間(および受け取ったワークピースRの下)の十分に大きい断面トレンチギャップは、支持部材1431Cの周りのガス流の誘導を促進し、コーナー領域での渦の発生を促進し、それによって、ポッドシステムの動作中の粒子捕捉を強化し得る。いくつかの実施形態では、支持部材1531と位置決め部材1514のうちの1つとの間の断面積Xは、25mm2以上である。
図14Fを参照すると、いくつかの実施形態において、支持部材(例えば、部材1431C)の周囲のトレンチクリアランス領域は、その中心軸に関して決定されてもよい。例えば、ガイドトレンチ領域(例えば、領域X´)の設計基準は、支持部材1431Cの中心軸の一方の側から決定されてもよい。いくつかの実施態様において、支持部材1431Cの断面中心線からの領域X´は、25mm2以下でない。突出部材(例えば、部材1431C、1414C)の各々の高さ、幅、および分離ピッチは、十分なガスチャネル寸法を達成するために設計ルールに従って調整され得、したがって、効果的なガス流誘導および粒子収集能力を保証する。
図15Aは、本開示のいくつかの実施形態による、基部1501の平面図である。基部は、上面と、上面に対向する底面とを含む。基部1501の上面は、内部領域1511および外部領域1513を含んでもよい。いくつかの実施態様において、内部領域1511は、外部領域1513に対して実質的に平面である。他のいくつかの実施態様において、内部領域1511は、外部領域1513よりも高い。
基部1501は、複数の位置決め構造を含む。各位置決め構造は、一対の位置決め部材1514と、一対の位置決め部材1514の間に配置される支持部材1531と、支持部材1531を取り囲むガイドトレンチ構造1532とを含む。一対の位置決め部材1514は、レチクルポッド内に配置されたワークピースRのコーナーを位置決めするために使用されてもよい。一対の位置決め部材1514は、基部1501の上面から突出している。
いくつかの実施形態では、位置決め構造は、ガイドトレンチ構造1532の周囲に形成されたバッファリム1536をさらに含む。いくつかの実施形態では、位置決め構造のバッファリム1536は、内部領域1511よりも低くてもよい。いくつかの実施形態では、一対の位置決め部材1514は、バッファリム1536から突出する。いくつかの実施形態では、位置決め構造のバッファリム1536は、外部領域1513に対して実質的に同一平面上にあり得る。
いくつかの実施形態では、支持部材1531は、基部の底面からの位置決め部材1514の高さよりも低い、基部の底面からの高さを有してもよい。いくつかの実施態様において、支持部材1531は、内部領域1511に対して実質的に平面であってもよい。いくつかの実施態様において、支持部材1531は、内部領域1511よりも大きい高さを有してもよい。しかしながら、内部領域1511からの支持部材1531の突起は、基部1501内のワークピースRの安定性を妨げることはない。
一対の位置決め部材1514および支持部材1531を囲むガイドトレンチ構造1532は、丸みを帯びた平面輪郭を有する壁を有する。ガイドトレンチ構造1532は、さらに、壁によって囲まれた底部を有する。いくつかの実施態様において、内部領域1511に最も近いガイドトレンチ構造1532の壁の部分は、基部に真空引きされた粒子の方向をすぐに基部の外へ導くために丸められる。ガイドトレンチ構造1532の底部は、基部の底面からの内部領域1511の高さ未満の、基部の底面からの高さを有してもよい。
いくつかの実施態様において、基部1501は、内部領域1511と外部領域1513との間に配置される周辺トレンチ構造1512をさらに含む。幾つかの実施形態において、周辺トレンチ構造1512は、囲んだ平面ループプロファイルを有する。図15Aの周辺トレンチ構造1512は、内部領域1511と外部領域1513との間の分割を示す。いくつかの実施形態では、複数の位置決め構造は、内部領域1511と周辺トレンチ構造1512との間に配置されてもよい。さらに、ガイドトレンチ構造1532は、周辺トレンチ構造1512から離れた位置に配置されてもよい。いくつかの実施態様において、カバーの外部領域は、カバーが基部を覆って配置されるときに、外部領域1513との物理的接触を確立するように構成されてもよい。
いくつかの実施態様において、周辺トレンチ構造1512の平面形状は、基部1501の平面形状に類似してもよい。例示的な実施形態において、基部1501の平面形状は、正方形または長方形などの四角形形状であってもよい。したがって、周辺トレンチ構造1512の平面形状は、正方形や長方形などの四辺形状であってもよい。他のいくつかの実施態様において、周辺トレンチ構造1512の平面形状は、基部1501の平面形状に輪郭形成されてもよい。
図15Bは、本開示のいくつかの実施形態による、図15AのC−C´に沿った基部の断面図である。いくつかの実施形態では、一対の位置決め部材1514は、配置中にレチクルRを案内するために、レチクルRの位置に向かって内側に向かって減少するように形作られたヘッドを有する。いくつかの実施形態では、位置決め構造および外部領域1513のバッファリム1536の高さ(基部の底面から)は、実質的に同じであってもよい。いくつかの実施態様において、ガイドトレンチ構造1532の底部と周辺トレンチ構造1512の底部の高さは、実質的に同じであってもよい。いくつかの実施態様において、内部領域1511と支持部材1531の高さは、実質的に同じであってもよい。いくつかの実施態様において、内部領域1511の高さは、位置決め構造のバッファリム1536の高さ、外部領域1513、ガイドトレンチ構造1532の底部、および周辺トレンチ構造1512の底部よりも大きい。いくつかの実施形態では、位置決め構造および外部領域1513のバッファリム1536の高さは、ガイドトレンチ構造1532の底部および周辺トレンチ構造1512の底部の高さよりも大きい。
図示の実施形態では、支持部材1531の周囲のガイドトレンチ構造1532および位置決め部材1514の各々の周囲のバッファリム1536は、互いに流体連通して配置され、協働して、階段断面プロファイルを生成する。いくつかの実施形態では、支持部材1531の下方(例えば、支持部材1531の中心領域における上面の下方)および位置決め部材1514のうちの1つの間(例えば、受け入れられたワークピースRの下の斜線領域によって実質的に示されるように)の断面積は、十分なクリアランス閾値を満たすように構成される。一例を挙げると、突出部材間(および受け取ったワークピースRの下)の十分に大きい断面トレンチギャップは、支持部材1531の周りのガス流の誘導を促進し、コーナー領域での渦の発生を促進し、それによって、ポッドシステムの動作中の粒子捕捉を強化し得る。いくつかの実施形態では、支持部材1531と位置決め部材1514のうちの1つとの間の断面積は、25mm2以上である。
図16は、本開示のいくつかの実施形態による、基部1601の平面図である。基部は、上面と、上面に対向する底面とを含む。基部1601の上面は、内部領域1611および外部領域1613を含んでもよい。いくつかの実施態様において、内部領域1611は、外部領域1613に対して実質的に平面である。他のいくつかの実施態様において、内部領域1611は、外部領域1613よりも高い。基部1601は、複数の位置決め構造を含む。
各位置決め構造は、一対の位置決め部材1614と、一対の位置決め部材1614の間に配置される支持部材1631と、支持部材1631を取り囲むガイドトレンチ構造1632とを含む。一対の位置決め部材1614は、レチクルポッド内に配置されたワークピースRのコーナーを位置決めするために使用されてもよい。一対の位置決め部材1614は、それぞれ、基部1601の上面から突出する。
いくつかの実施形態では、位置決め構造は、ガイドトレンチ構造1632の周囲に形成されたバッファリム1636をさらに含む。いくつかの実施形態では、位置決め構造のバッファリム1636は、内部領域1611よりも低くてもよい。いくつかの実施形態では、位置決め構造のバッファリム1636は、外部領域1613に対して平面であってもよい。いくつかの実施形態では、一対の位置決め部材1614は、バッファリム1636から突出する。いくつかの実施形態では、支持部材1631は、基部の底面からの位置決め部材1614の高さよりも低い、基部の底面からの高さを有してもよい。いくつかの実施態様において、支持部材1631は、内部領域1611に対して実質的に平面であってもよい。いくつかの実施態様において、支持部材1631は、内部領域1611よりも大きい高さを有してもよい。しかしながら、内部領域1611からの支持部材1631の突起は、基部1601内のワークピースRの安定性を妨げない場合がある。
一対の位置決め部材1614および支持部材1631を囲むガイドトレンチ構造1632は、丸みを帯びた輪郭を有する壁を有する。ガイドトレンチ構造1632は、さらに、壁によって囲まれた底部を有する。いくつかの実施態様において、内部領域1611に最も近いガイドトレンチ構造1632の壁の部分は、基部に真空引きされた粒子の方向をすぐに基部の外へ誘導するために丸められる。ガイドトレンチ構造1632の底部は、基部1601の底面からの内部領域1611の高さ未満の、基部1601の底面からの高さを有してもよい。いくつかの実施態様において、基部1601は、内部領域1611と外部領域1613との間に配置される周辺トレンチ構造1612をさらに含む。幾つかの実施形態において、周辺トレンチ構造1612は、囲んだ平面ループプロファイルを有する。
図16の周辺トレンチ構造1612は、内部領域1611と外部領域1613との間の物理的分割を提供する。いくつかの実施形態では、複数の位置決め構造は、内部領域1611と周辺トレンチ構造1612との間に配置されてもよい。さらに、ガイドトレンチ構造1632の一部は、周辺トレンチ構造1612と交差してもよい。いくつかの実施態様において、ガイドトレンチ構造1632の部分は、周辺トレンチ構造1612に隣接する。いくつかの実施態様において、カバーの外部領域は、カバーが基部1601を覆って配置されるときに、外部領域1613と物理的に接触してもよい。
いくつかの実施態様において、周辺トレンチ構造1612の平面形状は、基部1601の平面形状と異なってもよい。例示的な実施形態では、基部1601の平面形状は、正方形または長方形などの四角形形状であってもよい。一方、周辺トレンチ構造1612の平面形状は、鋭角の存在を防止するために多角形形状であってもよい。このようにして、周辺トレンチ構造1612の角に粒子が捕捉される確率が低減される。
図17は、本開示のいくつかの実施形態による、基部1701の平面図である。基部は、上面と、上面に対向する底面とを含む。基部の上面は、内部領域1711および外部領域1713を含んでもよい。いくつかの実施態様において、内部領域1711は、外部領域1713に対して実質的に平面である。他のいくつかの実施態様において、内部領域1711は、外部領域1713よりも高い。
基部1701は、複数の位置決め構造を含む。各位置決め構造は、一対の位置決め部材1714と、一対の位置決め部材1714の間に配置される支持部材1731と、支持部材1731を取り囲むガイドトレンチ構造1732とを含む。一対の位置決め部材1714は、レチクルポッド内に配置されたワークピースRのコーナーを位置決めするために使用されてもよい。一対の位置決め部材1714は、上面から突出している。いくつかの実施形態では、位置決め構造は、ガイドトレンチ構造1732の周囲に形成されたバッファリム1736をさらに含む。いくつかの実施形態では、位置決め構造のバッファリム1736は、内部領域1711よりも低くてもよい。いくつかの実施形態では、位置決め構造のバッファリム1736は、外部領域1713に対して平面であってもよい。いくつかの実施形態では、一対の位置決め部材1714は、バッファリム1736から突出している。いくつかの実施形態では、支持部材1731は、基部の底面からの位置決め部材1714の高さよりも低い、基部の底面からの高さを有してもよい。いくつかの実施態様において、支持部材1731は、内部領域1711に対して実質的に平面であってもよい。いくつかの実施態様において、支持部材1731は、内部領域1711よりも大きい高さを有してもよい。しかしながら、内部領域1711からの支持部材1731の突起は、基部1701内のワークピースRの安定性を妨げることはない。
ガイドトレンチ構造1732は、一対の位置決め部材1714および支持部材1731を取り囲むように周囲の輪郭を有する壁を有する。ガイドトレンチ構造1732は、さらに、壁によって囲まれた底部を有する。いくつかの実施態様において、内部領域1711に最も近いガイドトレンチ構造1732の壁の部分は、基部に真空引きされた粒子の方向をすぐに基部の外へ誘導するために丸められる。ガイドトレンチ構造1732の底部は、基部1701の底面からの内部領域1711の高さ未満の、基部の底面からの高さを有してもよい。いくつかの実施態様において、基部1701は、内部領域1711と外部領域1713との間に配置された周辺トレンチ構造1712をさらに含む。幾つかの実施形態において、周辺トレンチ構造1712は、囲んだ平面ループプロファイルを有する。
図17の周辺トレンチ構造1712は、内部領域1711と外部領域1713との間の物理的分割を提供する。いくつかの実施形態では、複数の位置決め構造は、内部領域1711と周辺トレンチ構造1712との間に配置されてもよい。さらに、ガイドトレンチ構造1732の一部は、周辺トレンチ構造1712と交差してもよい。いくつかの実施態様において、ガイドトレンチ構造1732の部分は、周辺トレンチ構造1712に隣接する。いくつかの実施態様において、カバーの外部領域は、カバーが基部を覆って配置されるときに、外部領域1713と物理的に接触してもよい。
いくつかの実施態様において、周辺トレンチ構造1712の平面形状は、基部1701の平面形状と異なってもよい。例示的な実施形態において、基部1701の平面形状は、正方形または長方形などの四角形形状であってもよい。一方、周辺トレンチ構造1712の平面形状は、角を有することを防止するために環状形状であってもよい。このようにして、周辺トレンチ構造1712の角に粒子が捕捉される確率が低下する。
図18は、本開示のいくつかの実施形態による、基部1801の平面図である。基部は、上面と、上面に対向する底面とを含む。基部の上面は、内部領域1811および外部領域1813を含んでもよい。いくつかの実施態様において、内部領域1811は、外部領域1813に対して実質的に平面である。他のいくつかの実施態様において、内部領域1811は、外部領域1813よりも高い。
基部1801は、複数の位置決め構造を含む。各位置決め構造は、一対の位置決め部材1814と、一対の位置決め部材1814の間に配置される支持部材1831と、支持部材1831を取り囲むガイドトレンチ構造1832とを含む。一対の位置決め部材1814は、レチクルポッド内に配置されたワークピースRのコーナーを位置決めするために使用されてもよい。一対の位置決め部材1814は、上面から突出する。いくつかの実施形態では、位置決め構造は、ガイドトレンチ構造1832の周囲に形成されたバッファリム1836をさらに含む。いくつかの実施形態では、位置決め構造のバッファリム1836は、内部領域1811よりも低くてもよい。このようにして、位置決め構造のバッファリム1836と内部領域1811との間の壁1837が形成される。壁1837は、平面プロファイルで丸くされてもよい。壁1837は、さらに、粒子がワークピースRに到達するのを防止するために使用され、壁1837の丸みを帯びた形状は、基部1801から局所ガス流方向を誘導するようにさらに構成される。いくつかの実施形態では、位置決め構造のバッファリム1836は、外部領域1813に対して平面であってもよい。いくつかの実施形態では、一対の位置決め部材1814は、それぞれ、バッファリム1836から突出する。いくつかの実施形態では、支持部材1831は、基部の底面からの位置決め部材1814の高さよりも低い、基部の底面からの高さを有してもよい。いくつかの実施態様において、支持部材1831は、内部領域1811に対して実質的に平面であってもよい。いくつかの実施態様において、支持部材1831は、内部領域1811よりも大きい高さを有してもよい。しかしながら、内部領域1811からの支持部材1831の突起は、基部1801内のワークピースRの安定性を妨げない。
ガイドトレンチ構造1832は、一対の位置決め部材1814および支持部材1831を取り囲むように、周囲の輪郭を有する壁を有する。ガイドトレンチ構造1832は、壁によって囲まれた底部をさらに有する。いくつかの実施態様において、内部領域1811に最も近いガイドトレンチ構造1832の壁の部分は、壁1837と同様に、基部に真空引きされる粒子の方向をすぐに基部の外へガイドするために丸められる。ガイドトレンチ構造1832の底部は、基部1801の底面からの内部領域1811の高さ未満の、基部の底面からの高さを有してもよい。いくつかの実施態様において、基部1801は、内部領域1811と外部領域1813との間に配置される周辺トレンチ構造1812をさらに含む。幾つかの実施形態において、周辺トレンチ構造1812は、囲んだ平面ループプロファイルを有する。図18の周辺トレンチ構造1812は、内部領域1811と外部領域1813との間の分割を形成する。
いくつかの実施形態では、複数の位置決め構造は、内部領域1811と周辺トレンチ構造1812との間に配置されてもよい。さらに、ガイドトレンチ構造1832の一部は、周辺トレンチ構造1812と交差してもよい。いくつかの実施態様において、ガイドトレンチ構造1832の部分は、周辺トレンチ構造1812に隣接する。いくつかの実施態様において、カバーの外部領域は、カバーが基部を覆って配置されるときに、外部領域1813と物理的に接触してもよい。いくつかの実施態様において、周辺トレンチ構造1812の平面形状は、基部1801の平面形状と異なってもよい。例示的な実施形態において、基部1801の平面形状は、正方形または長方形などの四角形形状であってもよい。一方、周辺トレンチ構造1812の平面形状は、角を有することを防止するために環状形状であってもよい。このようにして、周辺トレンチ構造1812の角に粒子が捕捉される確率が低減される。
図19は、本開示のいくつかの実施形態による、基部1901の平面図である。基部は、上面と、上面に対向する底面とを含む。基部の上面は、内部領域1911および外部領域1913を含んでもよい。いくつかの実施態様において、内部領域1911は、外部領域1913に対して実質的に平面である。他のいくつかの実施態様において、内部領域1911は、外部領域1913よりも高い。
基部1901は、複数の位置決め構造を含む。各位置決め構造は、一対の位置決め部材1914と、一対の位置決め部材1914の間に配置される支持部材1931と、支持部材1931を取り囲むガイドトレンチ構造1932とを含む。一対の位置決め部材1914は、レチクルポッド内に配置されたワークピースRのコーナーを位置決めするために使用されてもよい。一対の位置決め部材1914は、上面から突出している。いくつかの実施形態では、位置決め構造は、ガイドトレンチ構造1932の周囲に形成されたバッファリム1936をさらに含む。いくつかの実施形態では、位置決め構造のバッファリム1936は、内部領域1911よりも低くてもよい。このようにして、位置決め構造のバッファリム1936と内部領域1911との間に壁1937が形成される。壁1937は、平面プロファイルで丸くされてもよい。壁1937は、さらに、粒子がワークピースRに到達するのを防止するために使用され、壁1937の丸い形状は、さらに、基部1901から方向を導くために使用される。例示的な実施形態において、壁1937は、円弧形状プロファイルを有するように形成される。いくつかの実施形態では、位置決め構造のバッファリム1936は、外部領域1913に対して平面であってもよい。いくつかの実施形態では、一対の位置決め部材1914は、バッファリム1936から突出する。いくつかの実施形態では、支持部材1931は、基部の底面からの位置決め部材1914の高さよりも低い、基部の底面からの高さを有してもよい。いくつかの実施態様において、支持部材1931は、内部領域1911に対して実質的に平面であってもよい。いくつかの実施態様において、支持部材1931は、内部領域1911よりも大きい高さを有してもよい。しかしながら、内部領域1911からの支持部材1931の突起は、基部1901内のワークピースRの安定性を妨げることはない。
ガイドトレンチ構造1932は、一対の位置決め部材1914および支持部材1931を取り囲むように、周囲の輪郭を有する壁を有する。ガイドトレンチ構造1932は、さらに、壁によって囲まれた底部を有する。いくつかの実施態様において、内部領域1911に最も近いガイドトレンチ構造1932の壁の部分は、基部に真空引きされた粒子の方向をすぐに基部のら外へ誘導するために丸められる。ガイドトレンチ構造1932の底部は、基部の底面からの内部領域1911の高さ未満の、基部の底面からの高さを有してもよい。いくつかの実施態様において、基部1901は、内部領域1911と外部領域1913との間に配置される周辺トレンチ構造1912をさらに含む。
図19の周辺トレンチ構造1912は、内部領域1911と外部領域1913との間の分割を形成する。幾つかの実施形態において、周辺トレンチ構造1912は、囲んだ平面ループプロファイルを有する。いくつかの実施形態では、複数の位置決め構造は、内部領域1911と周辺トレンチ構造1912との間に配置されてもよい。さらに、ガイドトレンチ構造1932は、周辺トレンチ構造1912から離れた位置に配置されてもよい。いくつかの実施態様において、カバーの外部領域は、カバーが基部を覆って配置されるときに、外部領域1913と物理的に接触してもよい。いくつかの実施態様において、周辺トレンチ構造1912の平面形状は、基部1901の平面形状に類似してもよい。例示的な実施形態において、基部1901の平面形状は、正方形または長方形などの四角形形状であってもよい。したがって、周辺トレンチ構造1912の平面形状は、正方形や長方形などの四辺形状であってもよい。
図20は、本開示のいくつかの実施形態による、基部2001の平面図である。基部は、上面と、上面に対向する底面とを含む。基部の上面は、内部領域2011および外部領域2013を含んでもよい。いくつかの実施態様において、内部領域2011は、外部領域2013に対して実質的に平面である。他のいくつかの実施態様において、内部領域2011は、外部領域2013よりも高い。
基部2001は、複数の位置決め構造を含む。各位置決め構造は、一対の位置決め部材2014と、一対の位置決め部材2014の間に配置される支持部材2031と、支持部材2031を取り囲むガイドトレンチ構造2032とを含む。一対の位置決め部材2014は、レチクルポッド内に配置されたワークピースRのコーナーを位置決めするために使用されてもよい。一対の位置決め部材2014は、上面から突出している。いくつかの実施形態では、位置決め構造は、ガイドトレンチ構造2032の周囲に形成されたバッファリム2036をさらに含む。いくつかの実施態様において、位置決め構造のバッファリム2036は、内部領域2011よりも低くてもよい。このようにして、位置決め構造のバッファリム2036と内部領域2011との間に壁2037が形成される。壁2037は、平面プロファイルで丸くされてもよい。壁2037は、さらに、粒子がワークピースRに到達するのを防止するために使用され、壁2037の丸い形状は、さらに、基部2001から方向を導くために使用される。いくつかの実施態様において、位置決め構造のバッファリム2036は、外部領域2013に対して平面であってもよい。いくつかの実施形態では、一対の位置決め部材2014は、バッファリム2036から突出している。いくつかの実施形態では、支持部材2031は、基部の底面からの位置決め部材2014の高さよりも低い、基部の底面からの高さを有してもよい。いくつかの実施態様において、支持部材2031は、内部領域2011に対して実質的に平面であってもよい。いくつかの実施態様において、支持部材2031は、内部領域2011よりも大きい高さを有してもよい。しかしながら、内部領域2011からの支持部材2031の突起は、基部2001内のワークピースRの安定性を妨げることはない。
ガイドトレンチ構造2032は、一対の位置決め部材2014および支持部材2031を取り囲むように、周囲の輪郭を有する壁を有する。ガイドトレンチ構造2032は、さらに、壁によって囲まれた底部を有する。いくつかの実施態様において、内部領域2011に最も近いガイドトレンチ構造2032の壁の部分は、壁2037と同様に、基部に真空引きされた粒子の方向をすぐに基部の外へ誘導するために丸められる。ガイドトレンチ構造2032の底部は、基部2001の底面からの内部領域2011の高さ未満の、基部の底面からの高さを有してもよい。
いくつかの実施態様において、基部2001は、内部領域2011と外部領域2013との間に配置された周辺トレンチ構造2012をさらに含む。一部の実施形態において、周辺トレンチ構造2012は、囲んだ平面ループプロファイルを有する。図20の周辺トレンチ構造2012は、内部領域2011と外部領域2013との間の分割を示す。いくつかの実施態様において、複数の位置決め構造は、内部領域2011と周辺トレンチ構造2012との間に配置されてもよい。さらに、ガイドトレンチ構造2032の一部は、周辺トレンチ構造2012と交差してもよい。いくつかの実施態様において、ガイドトレンチ構造2032の部分は、周辺トレンチ構造2012に隣接する。さらに、ガイドトレンチ構造2032は、内部領域2011から距離を置いていてもよい。位置決め構造のバッファリム2036は、ガイドトレンチ構造2032と内部領域2011との間に配置される。いくつかの実施態様において、カバーの外部領域は、カバーが基部を覆って配置されるときに、外部領域2013と物理的に接触してもよい。
いくつかの実施態様において、周辺トレンチ構造2012の平面形状は、基部2001の平面形状と異なってもよい。例示的な実施形態において、基部2001の平面形状は、正方形または長方形などの四辺形形状であってもよい。一方、周辺トレンチ構造2012の平面形状は、角を有することを防止するために環状形状であってもよい。このようにして、周辺トレンチ構造2012の角に粒子が捕捉される確率が低減される。
図21は、本開示のいくつかの実施形態による、基部2101の平面図である。基部は、上面と、上面に対向する底面とを含む。基部の上面は、内部領域2111および外部領域2113を含んでもよい。いくつかの実施態様において、内部領域2111は、外部領域2113に対して実質的に平面である。他のいくつかの実施態様において、内部領域2111は、外部領域2113よりも高い。基部2101は、複数の位置決め構造を含む。位置決め構造は、楕円の平面形状を有してもよい。
各位置決め構造は、一対の位置決め部材2114と、一対の位置決め部材2114の間に配置される支持部材2131と、支持部材2131を取り囲むガイドトレンチ構造2132とを含む。一対の位置決め部材2014は、レチクルポッド内に配置されたワークピースRのコーナーを位置決めするために使用されてもよい。一対の位置決め部材2114は、上面から突出している。いくつかの実施形態では、位置決め構造は、ガイドトレンチ構造2132の周囲に形成されたバッファリム2136をさらに含む。いくつかの実施形態では、位置決め構造のバッファリム2136は、内部領域2111よりも低くてもよい。このようにして、位置決め構造のバッファリム2136と内部領域2111との間に壁2137が形成される。壁2137は、平面プロファイルで丸くされてもよい。壁2137は、さらに、粒子がワークピースRに到達するのを防止するために使用され、壁2137の丸くなった平面プロファイルは、さらに、基部2101から方向を導くために使用される。いくつかの実施形態では、位置決め構造のバッファリム2136は、外部領域2113に対して平面であってもよい。いくつかの実施形態では、一対の位置決め部材2114は、バッファリム2136から突出している。いくつかの実施形態では、支持部材2131は、基部の底面からの位置決め部材2114の高さよりも低い、基部の底面からの高さを有してもよい。いくつかの実施態様において、支持部材2131は、内部領域2111に対して実質的に平面であってもよい。いくつかの実施態様において、支持部材2131は、内部領域2111よりも大きい高さを有してもよい。しかしながら、内部領域2111からの支持部材2131の突起は、基部2101内のワークピースRの安定性を妨げることはない。
ガイドトレンチ構造2132は、一対の位置決め部材2114および支持部材2131を取り囲むように周囲の輪郭を有する壁を有する。ガイドトレンチ構造2132は、さらに、壁によって囲まれた底部を有する。いくつかの実施態様において、内部領域2111に最も近いガイドトレンチ構造2132の壁の部分は、壁2137と同様に、基部に真空引きされた粒子の方向をすぐに基部の外へ誘導するために丸められる。ガイドトレンチ構造2132の底部は、基部2101の底面からの内部領域2111の高さ未満の、基部の底面からの高さを有してもよい。いくつかの実施態様において、基部2101は、内部領域2111と外部領域2013との間に配置された周辺トレンチ構造2112をさらに含む。幾つかの実施形態において、周辺トレンチ構造2112は、囲んだ平面ループプロファイルを有する。
図21の周辺トレンチ構造2112は、内部領域2111と外部領域2113との間の分割を形成する。いくつかの実施形態では、複数の位置決め構造は、内部領域2111と周辺トレンチ構造2112との間に配置されてもよい。さらに、ガイドトレンチ構造2132の一部は、周辺トレンチ構造2112と交差してもよい。いくつかの実施態様において、ガイドトレンチ構造2132の部分は、周辺トレンチ構造2112に隣接する。さらに、ガイドトレンチ構造2132は、内部領域2111から距離を置いて配置されてもよい。位置決め構造のバッファリム2136は、ガイドトレンチ構造2132と内部領域2111との間にある。いくつかの実施態様において、カバーの外部領域は、カバーが基部を覆って配置されるときに、外部領域2113と物理的に接触してもよい。
いくつかの実施態様において、周辺トレンチ構造2112の平面形状は、基部2101の平面形状と異なってもよい。例示的な実施形態において、基部2101の平面形状は、正方形または長方形などの四角形形状であってもよい。一方、周辺トレンチ構造2112の平面形状は、角を有することを防止するために環状形状であってもよい。このようにして、周辺トレンチ構造2112の角に粒子が捕捉される確率が低下する。
上述の実施形態の全てにおいて、基部の要素は、互いに交換可能であってもよい。実施形態では、基部の中心に最も近く形成されたガイドトレンチ構造の壁は、不要な粒子を基部から誘導するために、丸みを帯びた平面プロファイルで構成されてもよい。いくつかの実施態様において、ガイドトレンチ構造は、支持部材のみがガイドトレンチ構造によって囲まれた形状の円形ループである。いくつかの実施形態では、ガイドトレンチ構造は、支持部材と一対の位置決め部材とがガイドトレンチ構造によって囲まれている、互いに連続的に結合された複数の円弧状壁の組み合わせによって形成される。いくつかの実施態様において、ガイドトレンチ構造は、基部の内部領域内に形成される。いくつかの実施態様において、ガイドトレンチ構造は、基部の内部領域と外部領域との間に形成される。いくつかの実施態様において、ガイドトレンチ構造は、内部領域から離れた位置にあり、バッファリムは、ガイドトレンチ構造と基部の内部領域との間に配置される。他のいくつかの実施形態では、ガイドトレンチ構造は、周辺トレンチ構造から離れた位置にあり、バッファリムは、ガイドトレンチ構造と周辺トレンチ構造との間に配置される。ガイドトレンチ構造と同様に、実施形態における周辺トレンチ構造の形状も交換可能である。いくつかの実施態様において、周辺トレンチ構造は、基部の形状に従う。いくつかの実施態様において、周辺トレンチ構造は、正方形又は長方形のような四角形の形状を有する。他のいくつかの実施態様において、周辺トレンチ構造は、多角形の形状を有する。さらなる実施形態では、周辺トレンチ構造は、粒子保持を引き起こし得るコーナーを減少させるために、環状形状を有する。さらなる実施形態では、周辺トレンチ構造は、基部の平面形状に等高線をなす平面形状を有する。さらなる実施形態では、周辺トレンチ構造の部分は、基部の中心に向かってくぼんでいる。
従って、本開示の一態様は、上面を有する基部と、上面に配置され、上面から突出する複数の位置決め部材とを備えるワークピースを受け入れるためのポッドを提供する。上面は、上面に定義される保持面からなり、ワークピースが受領されたときにそのワークピースが移動する、周辺トレンチ構造周辺トレンチ構造が、周辺トレンチ構造の底が、保持面よりも低く、第1の接触面、周辺トレンチ構造、及び第1の接触面が、上面の縁に向かって中央から順次分布し、第1の接触面よりも下にあり、かつ、周辺トレンチ構造の底が、第1の接触面よりも低くなる。
幾つかの実施形態において、囲んだ平面ループプロファイルを有する周辺トレンチ構造は、保持面を囲む。
いくつかの実施形態では、囲んだ平面ループプロファイルを有する周辺トレンチ構造は、位置決め部材の対を囲む。
いくつかの実施形態では、基部は、複数の位置決め部材の対の間に配置された支持部材と、支持部材を取り囲むガイドトレンチ構造とをさらに含む。
いくつかの実施形態では、ガイドトレンチ構造は、さらに、一対の位置決め部材の周囲に延在する。
いくつかの実施形態では、ガイドトレンチ構造は、保持面と周辺トレンチ構造との間に配置される。
いくつかの実施態様では、ガイドトレンチ構造は、第1の接触面と保持面との間に配置され、周辺トレンチ構造と交差している。
いくつかの実施態様において、保持面に最も近いガイドトレンチ構造の壁の一部は丸められる。
従って、本開示の別の態様は、上面および上面に対向する底面を有する基部と、内部領域の周囲に配置される位置決め構造とを備えるワークピースを受け入れるためのポッドを提供する。基部の上面は、基部の中央部分に形成された内部領域と、内部領域を取り囲む外部領域とを含む。前記位置決め構造は、前記上面から突出する一対の位置決め部材と、前記一対の位置決め部材の間に配置される支持部材と、前記支持部材を囲むガイドトレンチ構造とを備える。
いくつかの実施態様において、底面からの外部領域の高さは、底面からの内部領域の高さよりも大きくない。
いくつかの実施態様において、基部の上面は、内部領域と外部領域との間に配置された周辺トレンチ構造をさらに含む。基部の底面からの周辺トレンチ構造の底部の高さは、底面からの外部領域の高さおよび底面からの内部領域の高さ未満である。
いくつかの実施態様において、ガイドトレンチ構造は、内部領域と周辺トレンチ構造との間に配置される。
いくつかの実施態様において、ガイドトレンチ構造は、周辺トレンチ構造と交差する。
いくつかの実施形態では、ガイドトレンチ構造は、さらに、一対の位置決め部材の周囲に延在する。
いくつかの実施態様において、支持部材を囲むガイドトレンチ構造の平面パターンは、丸みを帯びた輪郭を有する。
したがって、本開示の別の態様は、複数の角部を有する基部と、複数の角部のうちの1つの周囲に配置され、基部から突出する一対の位置決め部材と、一対の位置決め部材の間に配置される支持部材と、丸みを帯びた平面輪郭を有する支持部材の周囲に配置されるガイドトレンチ構造とを備えるポッドを提供する。
いくつかの実施態様において、基部の内部領域は、基部の外部領域よりも大きい高さを有する。
いくつかの実施形態では、一対の位置決め部材は、基部の外部領域から突出する。
いくつかの実施態様において、ガイドトレンチ構造は、基部の外部領域に形成される。
いくつかの実施態様において、ポッドは、ガイドトレンチ構造と内部領域との間に配置されたバッファリムをさらに含む。
「第1」及び「第2」のような詳細な明細書及びクレームにおいて使用される順序数は、必ずしもそれらの優先順位順序又は上下方向を示すものではなく、逆に、それらは単に異なる要素を区別することを意図しているに過ぎない。開示の範囲または精神から逸脱することなく、本開示の構造に対して種々の修正および変形を行うことができることは、当業者には明らかである。以上のことを考慮すると、本開示は、本開示の修正および変形をカバーするものであり、ただし、それらが以下の請求の範囲に含まれることを前提とする。