KR101880401B1 - 마스크 어셈블리 케이스 - Google Patents

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KR101880401B1
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주식회사 미래솔루텍
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Abstract

본 발명은 마스크 어셈블리를 하부 본체에 정해진 위치에 올려놓았을 때만 수납이 이루어질 수 있게 구성하므로, 마스크 어셈블리가 하부 본체에 잘못 수납되어 파손이나 훼손되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 본 발명은 마스크 어셈블리를 올려놓은 하부 본체에 상부 본체가 결합할 때, 항상 정해진 방향에서만 완전하게 결합하게 하고, 결합 후에는 유동을 방지할 수 있게 할 뿐만 아니라 하부 본체와 상부 본체를 각각 하나의 판형 소재를 깎아서 제작하여 이음새를 없애므로, 하부 본체와 상부 본체의 결합 방향이 잘못 결합하는 것을 방지하여 하부 본체와 상부 본체 사이로 이물 등이 유입을 막아 마스크 어셈블리의 오염 방지와 더불어 마스크 어셈블리 케이스를 쉽게 세정할 수 있다.

Description

마스크 어셈블리 케이스{MASK ASSEMBLY CASE}
본 발명은 마스크 어셈블리 케이스에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 하부 본체와 상부 본체 사이에 탑재하는 마스크 어셈블리가 정해진 위치에 놓이게 하고, 또한 하부 본체와 상부 본체가 잘못 결합하지 않게 할 뿐만 아니라 정해진 위치에 놓인 마스크 어셈블리가 마스크 어셈블리 케이스를 옮기는 도중 파손이나 훼손되지 않도록 한 것이다.
일반적으로 대상물 표면 등에 증착하거나 웨이퍼 상에 일정한 패턴 등을 형성할 때, 아래의 (특허문헌 1) 내지 (특허문헌 3)과 같은, 마스크 어셈블리를 사용한다.
(특허문헌 1) 한국공개특허 제10-2016-0033337호
개구부를 구비하는 프레임과, 적어도 일부가 프레임에 의해 지지되며, 하나 이상의 슬릿이 제 1방향을 따라 연속적으로 형성되는 패턴부가 제 1방향과 상이한 제 2방향으로 적어도 하나 형성되는 마스크와, 개구부를 가로질러 형성되며, 마스크의 적어도 일부를 지지하도록 개구부 상에서 제 2방향으로 연장되어 형성되는 적어도 하나의 지지스틱을 구비하는 증착용 마스크 어셈블리를 개시한다.
(특허문헌 2) 한국공개특허 제10-2017-0049767호
박막 증착용 마스크 어셈블리에 관한 것으로, 마스크 프레임과, 상기 마스크 프레임 상에 결합되며, 복수의 증착 패턴부와, 이웃하는 증착 패턴부 사이에 배치된 리브를 가지는 마스크를 포함하되, 각각의 증착 패턴부는 액티브 영역에 배치되며, 복수의 제 1 개구를 가지는 제 1 증착 패턴부, 상기 액티브 영역의 바깥으로 연장되는 더미 영역에 배치되며, 복수의 제 2 개구를 가지는 제 2 증착 패턴부, 및, 상기 더미 영역의 바깥으로 연장되는 더미 외부 영역에 배치되며, 복수의 그루브를 가지는 제 3 증착 패턴부를 포함한다.
(특허문헌 3) 한국공개특허 제10-2017-0075113호
패턴 형태의 개구부가 형성되는 마스크와, 마스크의 적어도 일부분에 코팅되는 중간층과, 중간층의 적어도 일부분에 코팅되는 자기 조립 단분자막(Self assembled monolayer, SAM)을 포함하는 마스크 어셈블리를 개시한다.
한편, 이처럼 이루어진 마스크 어셈블리는 두께가 얇고 패턴의 허용 오차가 작은 정밀 제품으로 보관과 이동에 세심한 취급과 관리가 필요하다. 이에, 마스크 어셈블리를 안전하고 세심하게 취급과 관리할 수 있는 마스크 어셈블리 케이스 개발이 필요하다.
특히, 마스크 어셈블리는, [도 1]과 같이, 원판 형상으로 이루어진 경우가 많아 마스크 어셈블리를 정해진 위치에 정해진 방향으로 케이스에 삽입하지 않으면 마스크 어셈블리에 손상이 발생할 수 있다. 즉, 마스크 어셈블리 케이스는 통상 하부 본체와 상부 본체로 구성하고, 하부 본체에 마스크 어셈블리를 올려놓고 그 위에 상부 본체를 덮어서 마감하는 데, 이때 하부 본체에 마스크 어셈블리를 잘못 올려놓거나 뒤집어서 올려놓을 수 있다. 이처럼 마스크 어셈블리를 케이스에 잘못 수납하면 마스크 어셈블리가 파손될 수 있다.
또한, 마스크 어셈블리를 올려놓은 하부 본체에 상부 본체를 결합할 때, 하부 본체와 상부 본체가 제대로 결합하지 않아 이들 사이에 틈이 생기면 이물 등이 안으로 스며들어 마스크 어셈블리를 오염시킬 우려가 있다.
한국공개특허 제10-2016-0033337호 (공개일 : 2016.03.28) 한국공개특허 제10-2017-0049767호 (공개일 : 2017.05.11) 한국공개특허 제10-2017-0075113호 (공개일 : 2017.07.03)
본 발명은 이러한 점을 고려한 것으로, 마스크 어셈블리를 하부 본체에 정해진 위치에 올려놓았을 때만 수납이 이루어질 수 있게 구성하므로, 마스크 어셈블리가 하부 본체에 잘못 수납되어 파손이나 훼손되는 것을 방지할 수 있게 한 마스크 어셈블리 케이스를 제공하는 데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 마스크 어셈블리를 올려놓은 하부 본체에 상부 본체가 결합할 때, 항상 정해진 방향에서만 완전하게 결합하게 하고, 결합 후에는 유동을 방지할 수 있게 구성하므로, 하부 본체와 상부 본체의 결합 방향이 잘못 결합하는 것을 방지하여 하부 본체와 상부 본체 사이로 이물 등이 유입을 막아 마스크 어셈블리가 오염되는 것을 방지할 수 있게 한 마스크 어셈블리 케이스를 제공하는 데 다른 목적이 있다.
그리고, 본 발명은 하부 본체와 상부 본체를 각각 하나의 판형 소재를 깎아서 제작하여 이음새를 없애므로, 하부 본체와 상부 본체를 쉽게 세정할 수 있을 뿐만 아니라 이물 등의 오염 방지 효과를 높일 수 있게 한 마스크 어셈블리 케이스를 제공하는 데 또 다른 목적이 있다.
이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 마스크 어셈블리 케이스는, 원반 형상으로 이루어지고, 가장자리에 위치 확인 홈이 형성된 마스크 어셈블리를 수납하는 마스크 어셈블리 케이스에서, 한쪽에 마스크 어셈블리를 올려놓는 자리면(110)을 형성한 하부 본체(100); 및 상기 하부 본체(100)에 마주하여 전체 가장자리가 끼워져서 결합하며 안을 볼 수 있는 투명한 재질로 이루어진 상부 본체(200)를 포함하되;, 상기 하부 본체(100)에는, 상기 자리면(110)의 가장자리에 마스크 어셈블리를 집을 수 있도록 서로 마주하는 위치에 손가락을 끼울 수 있게 형성한 두 개의 삽입 홈(111), 어느 하나의 삽입 홈(111) 바닥에서 돌출하여 위치 확인 홈에 끼워져서 마스크 어셈블리에 끼워져서 정위치를 확인하기 위한 정위치 확인 돌기(112), 전체 가장자리를 따라서 형성하되, 적어도 한쪽 모서리가 각지게 형성한 단턱(113), 그리고 외부의 한쪽 가장자리에 형성한 손잡이(120)를 포함하고;, 상기 상부 본체(200)는, 상기 자리면(110)과 마주하는 면적 내에 마스크 어셈블리를 눌러서 유동을 방지하게 하기 위한 적어도 하나의 유동 방지 돌기(210), 그리고 상기 유동 방지 돌기(210)를 형성한 면의 가장자리에 상기 단턱(113)에 끼워지도록 가장자리에 형성한 턱 홈(220)을 성형한 것을 특징으로 한다.
특히, 상기 하부 본체(100)와 상부 본체(200)는, 각각, 판형 소재를 깎아서 이음새 없이 제작한 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 삽입 홈(111)은, 상기 자리면(110)보다 깊게 형성한 것을 특징으로 한다.
마지막으로, 상기 하부 본체(100)와 상부 본체(200) 중에서 적어도 상부 본체(200)는, 투명 아크릴인 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 마스크 어셈블리 케이스는 다음과 같은 효과가 있다.
(1) 정위치 확인 돌기를 통해 마스크 어셈블리가 하부 본체에 형성한 자리면에 정확하게 안착하게 하므로, 마스크 어셈블리를 정해진 위치에 올려놓지 않아서 발생할 수 있는 훼손이나 파손을 방지할 수 있다.
(2) 마스크 어셈블리의 가장자리 부분에 두 개의 삽입 홈을 형성하여 손가락을 끼울 수 있게 구성하므로, 하부본체에서 마스크 어셈블리를 쉽게 꺼낼 수 있다. 특히, 상기 삽입 홈은 마스크 어셈블리를 수납한 자리면보다 깊게 형성하므로, 손가락을 마스크 어셈블리 아래까지 쉽게 끼울 수 있어 마스크 어셈블리를 더욱 편리하고 안전하게 잡아서 하부 본체에서 꺼낼 수 있다.
(3) 상부 본체에는 자리면과 마주하는 공간 부분에 적어도 하나의 유동 방지 돌기를 돌출 성형하므로, 이 유동 방지 돌기가 하부 본체에 올려놓은 마스크 어셈블리를 눌러서 마스크 어셈블리 케이스 안에서 움직이거나 유동하는 것을 방지하여 마스크 어셈블리를 더욱 안전하게 보호할 수 있다.
(4) 하부 본체와 상부 본체를 하나의 판형 소재를 깎아서 제작하므로, 하부 본체와 상부 본체에 각각 이음새가 없으므로, 이음새에 이물 등이 끼일 염려가 없어 마스크 어셈블리 케이스를 쉽고 깨끗하게 씻을 수 있을 뿐만 아니라 오염 방지 효과를 높일 수 있다.
(5) 상부 본체와 하부 본체 중에서 적어도 상부 본체를 아크릴과 같이 투명한 재질로 제작하므로, 상부 본체에 탑재한 마스크 어셈블리의 고유 번호 등을 식별할 수 있어 쉽게 작업할 수 있을 뿐만 아니라, 강성이 강한 아크릴 사용으로 외부 충격이나 오염에도 강하다.
(6) 하부 본체에는 가장자리 한쪽에 손잡이를 형성하므로, 작업대 등에 올려놓은 마스크 어셈블리 케이스를 쉽게 잡거나 들 수 있어 편리하게 작업할 수 있다.
[도 1]은 종래 마스크 어셈블리의 일부를 보여주는 사진이다.
[도 2]는 본 발명에 따른 마스크 어셈블리 케이스의 구성을 보여주는 분해 사시도이다.
[도 3]은 본 발명에 따른 하부 본체와 상부 본체의 결합 면을 보여주는 분해 사시도이다.
[도 4]는 본 발명에 따른 하부 본체의 구성을 보여주는 사시도이다.
[도 5]는 본 발명에 따른 하부 본체의 구성을 보여주려고 [도 4]의 "1-1"선을 따라 자른 단면도이다.
[도 6]은 본 발명에 따른 마스크 어셈블리 케이스에 마스크 어셈블리를 장착한 경우를 보여주는 사진으로, (a)는 올바르게 탑재한 경우를, (b)는 방향이 잘못된 경우를, (c)는 뒤집어서 장착한 경우를 각각 나타낸다.
[도 7]은 본 발명에 따른 하부 본체와 상부 본체의 결합 상태를 보여주는 사진으로, (a)는 정상적으로 결합한 상태를, (b)는 잘못 결합한 상태를 각각 보여준다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 더욱 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 안 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 최고의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 따라 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
따라서 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 한가지 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원 시점에서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형례가 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
(구성)
본 발명에 따른 마스크 어셈블리 케이스는, [도 2] 내지 [도 5]와 같이, 마스크 어셈블리를 올려놓는 하부 본체(100), 그리고, 이 하부 본체(100)에 결합하며 내부를 볼 수 있는 투명한 재질로 이루어진 상부 본체(200)를 포함한다.
특히, 상기 하부 본체(100)에는 마스크 어셈블리를 올려놓는 자리면(110)의 가장자리에 두 개의 삽입 홈(111)을 형성하여 하부 본체(100)에서 마스크 어셈블리를 쉽게 꺼낼 수 있게 구성하고, 또한 삽입 홈(111)은 자리면(110)보다 깊게 제작하여 손가락으로 쉽게 마스크 어셈블리를 들어 올릴 수 있게 한 것이다.
그리고, 상기 자리면(110)에는 정위치 확인 돌기(112)를 돌출 성형하므로, 마스크 어셈블리를 하부 본체(100)에 올려놓을 때 이 마스크 어셈블리에 형성한 위치 확인 홈이 정위치 확인 돌기(112)에 끼워지게 하여 마스크 어셈블리가 자리면(110)에 잘못 올려놓거나 뒤집어서 올려놓는 것을 방지할 수 있게 한 것이다.
또한, 상기 상부 본체(200)에는 하부 본체(100)에 결합할 때 마스크 어셈블리를 눌러줄 수 있도록 적어도 하나의 유동 방지 돌기(210)를 돌출 성형하므로, 하부 본체(100)에 마스크 어셈블리를 뒤집어서 올려놓더라도 이를 쉽게 알 수 있게 하고, 그리고 하부 본체(100)에 올려놓은 마스크 어셈블리를 눌러서 마스크 어셈블리 케이스 안에서 마스크 어셈블리가 유동하는 것을 방지할 수 있게 한 것이다.
게다가, 상기 하부 본체(100)와 상부 본체(200)는 적어도 일부가 각진 단턱을 가진 단턱을 통해 하나로 결합하게 하므로, 정해진 방향에서만 하부 본체(100)와 상부 본체(200)가 하나로 결합하게 구성하여 잘못 결합하거나 어긋나게 결합하는 것을 방지할 수 있게 한 것이다.
마지막으로, 상기 하부 본체(100)와 상부 본체(200)는 하나의 판형 소재를 깎아서 제작하므로, 이음새를 없애서 이음새로 이물이 침입하거나 끼이는 등 오염이 발생하는 것을 미리 방지할 수 있게 한 것이다.
이하, 이러한 구성에 관해 첨부도면을 참조하여 더욱 상세하게 설명하면 다음과 같다. 여기서, 마스크 어셈블리는, [도 1]과 같이, 원반 형상으로 이루어지며, 한쪽 면에는 미리 정한 형상으로 패턴이 관통 성형되며, 가장자리에는 위치 확인을 위한 홈이 형성된 통상의 기술로 제작한 것을 말한다.
하부 본체(100)는, [도 2] 내지 [도 5]와 같이, 한쪽 면에 자리면(110)을 형성한다. 자리면(110)은 마스크 어셈블리를 올려놓기 위한 자리로, 이 마스크 어셈블리와 같은 형상으로 이루어진다. 즉, 상기 자리면(110)은 전체적으로 원반 형상으로 형성한다.
특히, 상기 자리면(110)의 가장자리에는, [도 2] 내지 [도 4]와 같이, 두 개의 삽입 홈(111)을 형성한다. 삽입 홈(111)은 상기 자리면(110)에 올려놓은 마스크 어셈블리를 손가락 등으로 잡고서 쉽게 빼낼 수 있게 하기 위한 홈을 말한다.
본 발명의 바람직한 실시예에서, 상기 삽입 홈(111)은, [도 5]와 같이, 자리면(110)의 깊이보다 깊게 형성하는 것이 바람직하다. 이는, 삽입 홈(111)에 손을 끼웠을 때 손끝이 마스크 어셈블리 하부까지 끼워넣을 수 있게 구성하므로, 손으로 마스크 어셈블리를 쉽게 잡아서 자리면(110)에서 빼낼 수 있게 하기 위함이다.
또한, 상기 삽입 홈(111) 중에서 적어도 하나에는, [도 2] 내지 [도 5]와 같이, 바닥에서 정위치 확인 돌기(112)를 돌출 성형한다. 정위치 확인 돌기(112)는 자리면(110)에 마스크 어셈블리를 올려놓을 때 이 마스크 어셈블리에 형성한 위치 확인 홈이 끼워지게 하여 마스크 어셈블리가 정해진 위치에 놓였는가 확인하기 위함이다. 즉, [도 6(a)]와 같이 마스크 어셈블리가 자리면에 올바르게 놓이게 되면 정상적으로 정위치 확인 돌기에 확인 홈이 끼워지나, [도 6(b)]와 같이 마스크 어셈블리가 확인 홈이 형성되지 않은 쪽이 정위치 확인 돌기에 걸쳐지게 올려놓거나, [도 6(c)]와 같이 마스크 어셈블리를 뒤집어서 자리면에 올려놓으면 마스크 어셈블리가 자리면에 정확하게 안착하지 않게 하기 위함이다.
한편, 상기 하부 본체(100)에는, [도 2] 내지 [도 5]와 같이, 전체 가장자리에 단턱(113)을 형성한다. 단턱(113)은 후술할 상부 본체(200)에 끼워지게 하여 하부 본체(100)와 상부 본체(200)를 결합하게 하기 위한 턱을 말한다. 특히, 하부 본체(100)에는, 도 4]와 같이 이처럼 형성한 단턱(113)의 모서리 중에서 적어도 한 곳을 각진 단턱(113a)을 형성함으로써, 하부 본체(100)에 상부 본체(200)를 결합할 때 정해진 방향으로 결합할 수 있게 하기 위함이다. 물론, 상기 단턱(113)은 다각형 형상으로 형성하되 적어도 한 변이 길이가 다른 다각형 형태로 형성하거나, 곡선 형태로 형성하되 적어도 일부가 직선 형태로 형성하는 등 다양한 형태로 제작할 수 있음을 본 발명이 속한 기술 분야의 종사자라면 누구든지 쉽게 알 수 있을 것이다.
마지막으로, 상기 하부 본체(100)는, [도 2] 내지 [도 4]와 같이, 외부에 손잡이(120)를 형성한다. 이때, 손잡이(120)는 밖으로 돌출하게 한쪽 가장자리에 형성함으로써,돌출된 손잡이(120)를 잡고 본 발명에 따른 마스크 어셈블리 케이스를 운반하거나 잡을 수 있게 구성한다.
상부 본체(200)는, [도 3]과 같이, 상술한 자리면(110)과 마주하는 한쪽 면에 적어도 하나의 유동 방지 돌기(210)를 돌출 성형한다. 유동 방지 돌기(210)는 마스크 어셈블리를 올려놓은 하부 본체(100) 위에 상부 본체(200)를 결합할 때, 마스크 어셈블리를 눌러서 자리면(110) 안에서 유동하지 않게 하기 위함이다. 또한, 상기 유동 방지 돌기(210)는 자리면(110)에 마스크 어셈블리가 뒤집어서 올려놓았을 때도 더는 눌리지 않게 하여 잘못 올려놓았음을 쉽게 알 수 있는 길이만큼 돌출 성형하는 것이 바람직하다.
본 발명의 바람직한 실시예에서, 상기 유동 방지 돌기(210)는, [도 3]과 같이, 자리면(110)과 대응하는 면적 내에 형성함으로써, 이들 유동 방지 돌기(210)가 마스크 어셈블리를 위에서 눌러줄 수 있게 구성하는 것이 좋다.
마지막으로, 상기 상부 본체(200)는, [도 3]과 같이, 가장자리에 턱 홈(220)을 형성한다. 턱 홈(220)은 하부 본체(100) 위에서 상부 본체(200)를 겹쳐서 하나로 결합할 때 상술한 단턱(113) 부분이 끼워져서 하나로 결합하게 하는 부분을 말한다. 이에, 상기 턱 홈(220)은 상기 단턱(113)을 수용할 수 있는 형태로 형성하고, 특히 표준 오차 내에서 강제로 끼워서 결합하거나 분리할 수 있게 구성하는 것이 바람직하다. 이처럼 이루어진 턱 홈(220)은, [도 7(a)]와 같이 하부 본체와 상부 본체가 정상적으로 결합되면 하나로 결합이 되나, [도 7(b0)]와 같이 각진 단턱 부분이 맞지 않으면 제대로 결합이 되지 않는다.
이상과 같이 본 발명은 하부 본체에 올려놓을 때 마스크 어셈블리가 정해진 자리에 위치할 수 있게 하고, 하부 본체를 닫아서 마감할 때 마스크 어셈블리를 눌러서 자리면에서 요동하지 않게 하면서 정해진 방향으로 하부 본체와 상부 본체가 하나로 결합하게 된다.
한편, 본 발명의 바람직한 실시예에서, 상기 하부 본체와 상부 본체는 각각 판형 소재를 깎아서 형성하는 것이 바람직하다. 이는, 판형 소재를 깎아서 제작함에 따라 이음새 부분을 없앨 수 있고, 이는 이음새 사이에 이물이 끼거나 이물이 안으로 유입하는 것을 방지하기 위함이다. 이에, 하부 본체와 상부 본체를 세척할 때도 편리할 뿐만 아니라 오염 방지 효과를 높일 수 있게 된다.
또한, 상기 하부 본체(100)와 상부 본체 중에서 적어도 상부 본체는 투명한 아크릴로 제작하는 것이 바람직하다. 이는, 본 발명에 따른 마스크 어셈블리 케이스 안에 집어넣은 마스크 어셈블리에 식각한 제품명이나 고유 번호 등을 어셈블리 케이스를 닫은 상태에서도 쉽게 알 수 있게 하기 위함이다. 바람직하게는 하부 본체와 상부 본체를 각각 투명한 재질로 제작하는 것이 가장 좋다.
100 : 하부 본체
110 : 자리면
111 : 삽입 홈
112 : 정위치 확인 돌기
113 : 단턱
113a : 각진 단턱
200 : 상부 본체
210 : 유동 방지 돌기
220 : 턱 홈

Claims (4)

  1. 원반 형상으로 이루어지고, 가장자리에 위치 확인 홈이 형성된 마스크 어셈블리를 수납하는 마스크 어셈블리 케이스에서,
    한쪽에 마스크 어셈블리를 올려놓는 자리면(110)을 형성한 하부 본체(100); 및 상기 하부 본체(100)에 마주하여 전체 가장자리가 끼워져서 결합하며 안을 볼 수 있는 투명한 재질로 이루어진 상부 본체(200)를 포함하되,
    상기 하부 본체(100)에는, 상기 자리면(110)의 가장자리에 마스크 어셈블리를 집을 수 있도록 서로 마주하는 위치에 손가락을 끼울 수 있게 형성한 두 개의 삽입 홈(111), 어느 하나의 삽입 홈(111) 바닥에서 돌출하여 위치 확인 홈에 끼워져서 마스크 어셈블리에 끼워져서 정위치를 확인하기 위한 정위치 확인 돌기(112), 전체 가장자리를 따라서 형성하되, 적어도 한쪽 모서리가 각지게 형성한 단턱(113), 그리고 외부의 한쪽 가장자리에 형성한 손잡이(120)를 포함하고,
    상기 상부 본체(200)는, 상기 자리면(110)과 마주하는 면적 내에 마스크 어셈블리를 눌러서 유동을 방지하게 하기 위한 적어도 하나의 유동 방지 돌기(210), 그리고 상기 유동 방지 돌기(210)를 형성한 면의 가장자리에 상기 단턱(113)에 끼워지도록 가장자리에 형성한 턱 홈(220)을 성형하며,
    상기 하부 본체(100)와 상부 본체(200)는, 각각, 판형 소재를 깎아서 이음새 없이 제작한 것을 특징으로 하는 마스크 어셈블리 케이스.
  2. 삭제
  3. 제1 항에서,
    상기 삽입 홈(111)은,
    상기 자리면(110)보다 깊게 형성한 것을 특징으로 하는 마스크 어셈블리 케이스.
  4. 제1 항에서,
    상기 하부 본체(100)와 상부 본체(200) 중에서 적어도 상부 본체(200)는,
    투명 아크릴인 것을 특징으로 하는 마스크 어셈블리 케이스.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113555302A (zh) * 2020-04-24 2021-10-26 家登精密工业股份有限公司 用来装载工件的容器

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980020576U (ko) * 1996-10-15 1998-07-15 이규한 X-선 반도체 노광장치용 마스크 보관 및 운반 케이스
KR20070030253A (ko) * 2002-02-22 2007-03-15 에이에스엠엘 홀딩 엔.브이. 레티클을 보호하기 위해 2개 파트 커버 및 박스를 사용하는시스템
KR100711825B1 (ko) * 2006-04-14 2007-05-02 주식회사 에스앤에스텍 블랭크 마스크 포장용기
KR20090030420A (ko) * 2007-09-20 2009-03-25 최귀송 평판 표시패널 운반용 트레이
KR20150144974A (ko) * 2014-06-18 2015-12-29 세양전자 주식회사 투시부를 포함하는 포토마스크 케이스
KR20160033337A (ko) 2014-09-17 2016-03-28 삼성디스플레이 주식회사 증착용 마스크 어셈블리, 이를 포함하는 증착 장치 및 증착 방법
KR20170049767A (ko) 2015-10-28 2017-05-11 삼성디스플레이 주식회사 마스크 어셈블리, 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법
KR20170075113A (ko) 2015-12-22 2017-07-03 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착용 마스크 어셈블리

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980020576U (ko) * 1996-10-15 1998-07-15 이규한 X-선 반도체 노광장치용 마스크 보관 및 운반 케이스
KR20070030253A (ko) * 2002-02-22 2007-03-15 에이에스엠엘 홀딩 엔.브이. 레티클을 보호하기 위해 2개 파트 커버 및 박스를 사용하는시스템
KR100711825B1 (ko) * 2006-04-14 2007-05-02 주식회사 에스앤에스텍 블랭크 마스크 포장용기
KR20090030420A (ko) * 2007-09-20 2009-03-25 최귀송 평판 표시패널 운반용 트레이
KR20150144974A (ko) * 2014-06-18 2015-12-29 세양전자 주식회사 투시부를 포함하는 포토마스크 케이스
KR20160033337A (ko) 2014-09-17 2016-03-28 삼성디스플레이 주식회사 증착용 마스크 어셈블리, 이를 포함하는 증착 장치 및 증착 방법
KR20170049767A (ko) 2015-10-28 2017-05-11 삼성디스플레이 주식회사 마스크 어셈블리, 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법
KR20170075113A (ko) 2015-12-22 2017-07-03 삼성디스플레이 주식회사 박막 증착용 마스크 어셈블리

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113555302A (zh) * 2020-04-24 2021-10-26 家登精密工业股份有限公司 用来装载工件的容器

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