JP6883544B2 - 水晶振動子加工用パレット - Google Patents
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Description
10 蓋部
10A 第1プレート
10B 第2プレート
11 エッチング孔
11A 係合孔
12 ロック
12A ロック挿通孔
12B 柱部
12C 舌部
12D 板バネ
20 本体部
21 載置部
21A 検査孔
21B 収納孔
22 ロック孔
30 水晶振動子
Claims (2)
- 検査対象の水晶振動子の外径より小さく、検査用の電極を挿通するのに十分な大きさ
を有する検査孔及び前記水晶振動子を収容するのに十分な大きさを有する収納孔を有
する載置部を備える本体部と、
前記載置部に対応する位置に配置され、前記水晶振動子の外径より小さく、エッチン
グ用のイオンビームを通過させるのに十分な大きさを有するエッチング孔を備える蓋
部と、
前記蓋部が前記本体部から離脱することを規制するロックと
を備える水晶振動子加工用パレット。 - 前記載置部は、
前記本体部にマトリックス状に複数個配置される請求項1に記載の水晶振動子加工
用パレット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018118848A JP6883544B2 (ja) | 2018-06-22 | 2018-06-22 | 水晶振動子加工用パレット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018118848A JP6883544B2 (ja) | 2018-06-22 | 2018-06-22 | 水晶振動子加工用パレット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019220916A JP2019220916A (ja) | 2019-12-26 |
JP6883544B2 true JP6883544B2 (ja) | 2021-06-09 |
Family
ID=69097264
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018118848A Active JP6883544B2 (ja) | 2018-06-22 | 2018-06-22 | 水晶振動子加工用パレット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6883544B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008278183A (ja) * | 2007-04-27 | 2008-11-13 | Kyocera Kinseki Corp | 周波数調整用マスク治具 |
-
2018
- 2018-06-22 JP JP2018118848A patent/JP6883544B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019220916A (ja) | 2019-12-26 |
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