TWI628507B - 用於沈積之遮罩總成 - Google Patents

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Abstract

一種沈積遮罩總成包含：一遮罩，在該遮罩中形成有一沈積圖案；以及一遮罩框架，固定至該遮罩之一邊緣；一開口，形成於該遮罩框架之一中心處。彼此面對的該遮罩之該邊緣之一第一表面與鄰近該開口之該遮罩框架之一第一表面被焊接至彼此。

Description

用於沈積之遮罩總成
本發明係關於一種沈積遮罩總成。
例如有機發光二極體(organic light emitting diode；OLED)顯示器等顯示裝置係藉由在一基板上沈積一薄膜而製成。一種用於沈積該顯示裝置之一薄膜之沈積遮罩總成通常係利用一種應用光刻法之蝕刻方法以及一種使用光刻法及電解法之電成型方法(electroforming)而製成。此種沈積遮罩總成係位於欲在上面形成一目標物體(例如一顯示元件)之基板上，且經由該沈積遮罩將一沈積目標傳遞至該基板，進而沈積一所期望類型之圖案於該基板上。
在此背景技術部分中所揭露之上述資訊僅用於增強對本發明背景之理解，因此其可包含不形成在本國對於此項技術中之通常知識者而言所習知之先前技術之資訊。
本發明之實施例致力於提供一種具有以下優點之沈積遮罩總成：其能夠防止由朝一遮罩之一頂面突出之一焊縫(weld bead)對附著至該頂面之一基板造成損壞；且能夠防止由該遮罩與一遮罩框架間之焊接 對形成於該遮罩中之一沈積圖案造成損壞。
一實施例提供一種沈積遮罩總成，包含：一遮罩，在該遮罩中形成有一沈積圖案；以及一遮罩框架，固定至該遮罩之一邊緣；一開口，形成於該遮罩框架之一中心處，其中彼此面對的該遮罩之該邊緣之一第一表面與鄰近該開口之該遮罩框架之一第一表面被焊接至彼此。
複數個焊接孔可被形成，而該等焊接孔延伸貫穿該遮罩框架之該第一表面。
該等焊接孔可沿該開口之一圓周而形成。
該開口可具有一四邊形形狀。
該遮罩框架可更包含一第二表面，該第二表面自該遮罩框架之該第一表面向下延伸。
該第二表面可沿該開口之該圓周來形成一封閉曲線。
該遮罩框架可更包含一第三表面，該第三表面面對該遮罩框架之該第二表面。
當沿遠離該開口之一方向觀察時，該第三表面可形成於該第二表面以外。
一焊條插入槽(welding rod insertion groove)可形成於該遮罩框架之該第二表面與該第三表面之間，該焊條插入槽用於容納一焊條，其中該第二表面與該第三表面面對彼此。
根據一實施例之該沈積遮罩總成可防止由朝一遮罩之一頂面突出之一焊縫(weld bead)對附著至該頂面之一基板造成損壞，且可防 止由該遮罩與一遮罩框架間之焊接對形成於該遮罩中之一沈積圖案造成損壞。
100‧‧‧遮罩
110‧‧‧沈積圖案
120‧‧‧邊緣
121‧‧‧第一表面
130‧‧‧開口
200‧‧‧遮罩框架
210‧‧‧焊接孔
220‧‧‧焊條插入槽
230‧‧‧邊緣
231‧‧‧第一表面
232‧‧‧第二表面
233‧‧‧第三表面
300‧‧‧焊縫
400‧‧‧基板
500‧‧‧沈積裝置
600‧‧‧焊條
第1圖係為根據一實施例之一種沈積遮罩總成之俯視圖；第2圖係為根據一實施例之該沈積遮罩總成之側視圖；第3圖至第5圖顯示如第2圖所示之一遮罩與一遮罩框架之一耦合過程；以及第6圖係為根據一實施例，顯示如何利用該沈積遮罩總成執行一沈積過程之狀態圖。
以下，將參照附圖詳細闡述本發明之某些實施例，以使熟習此項技術者可易於實踐本發明。如熟習此項技術者將知，在不背離本發明之精神或範圍之條件下，可以各種方式對所述之實施例進行潤飾。在圖式及本說明書中，為清晰闡述本發明，省略其中與本發明不相關之部件或元件之說明，且本說明書通篇中，一般藉由相同之參考編號表示相同或類似之構成元件。
此外，為達成更佳之理解並易於說明，可任意顯示圖式中所示之每一組件之尺寸及厚度，然而本發明並非僅限於此。
在圖式中，為清晰起見，可誇大層、膜、面板、區域等之厚度。在圖式中，為達成更佳之理解並易於說明，可誇大某些層及區域之厚 度。此外，在闡述一層、一膜、一板或類似之部件之一第一部分排列於一第二部件之「上(on)」或「上方(over)」時，係指該第一部件可直接排列於該第二部件上或上方，抑或該第一部件與第二部件之間可存在一第三部件，而不僅限於以重力方向為基準之其上側。
此外，本說明書通篇中，在闡述一部件「包含(comprising)」或「包含(including)」各構成元件時，除非特別另外定義，否則係指該部件可更包含其他構成元件。
一般而言，在一遮罩總成中，一遮罩與一遮罩框架被焊接成固定至彼此，且一焊縫朝該遮罩之一上側突出。因此，在一沈積製程中，當一基板附著至一遮罩之一上表面時，該突出之焊縫會損壞該基板。此外，在焊接該遮罩與該遮罩框架之操作中，焊接碎屑可能會損壞沈積圖案。
參照第1圖及第2圖，在遮罩總成之製造操作中，根據一實施例之一沈積遮罩總成可防止損壞在一遮罩中形成之一沈積圖案。亦可防止由在焊接一遮罩與一遮罩框架時所形成之一焊縫損壞作為一目標物體而接受沈積之基板。
本發明之一實施例之沈積遮罩總成包含一遮罩100以及一遮罩框架200。
參照第1圖，遮罩100可具有一四邊形板狀形狀。然而，遮罩100可具有各種形狀，而並非僅限於此。
在此種情形中，一沈積圖案110形成於遮罩100中。在沈積圖案110中，延伸貫穿該遮罩表面之複數個開口以一預定形式形成於該遮罩表面中。藉由經由該沈積圖案沈積精細沈積物體於該基板上，可於作為一目 標物體而接受沈積之一基板上形成呈一所期望類型之圖案形式的一薄膜。
在此種情形中，遮罩100之一邊緣120固定至遮罩框架200。在一沈積製程中，遮罩100被牢固地固定至遮罩框架200以使形成於遮罩100中之沈積圖案110不被移動。
根據一實施例，遮罩100之邊緣120之一第一表面121耦合至遮罩框架200之一第一表面231。具體而言，遮罩100之邊緣120之第一表面121耦合至面對其第一表面121之遮罩框架200之第一表面231。
遮罩100之邊緣120藉由焊接而耦合至遮罩框架200。根據一實施例，遮罩100之邊緣120之第一表面121焊接至遮罩框架200之第一表面231。
複數個焊接孔210沿遮罩框架200之第一表面231形成於遮罩框架200中。
參照第3圖及第4圖，焊接孔210被形成為延伸貫穿遮罩框架200之第一表面231。經由焊接孔210而被暴露出之遮罩100之邊緣120之第一表面121藉由利用一焊條600而焊接於遮罩框架200之一下側。
如第2圖所示，藉由焊接而形成一焊縫300，該焊縫300朝遮罩框架200之下側突出。
參照第1圖及第2圖，遮罩200可具有一四邊形框架形形狀。換言之，遮罩框架200可係為一框架型，在其中心處具有一四邊形開口130。
遮罩100之邊緣120固定至遮罩框架200，以使遮罩100之沈積圖案110經由遮罩框架200之開口130而被暴露出。換言之，遮罩100之邊緣120固定至開口130之一邊緣230。
參照第2圖，一第二表面232被形成為自遮罩框架200之第一表面231向下延伸。
遮罩框架200之第二表面232用於防止沈積圖案110被焊接時產生之火花損壞。換言之，遮罩框架200之第二表面232作為一防護以防止焊接火花散射至沈積圖案110。
具體而言，藉由形成遮罩框架200之第二表面232，可防止由焊接產生之焊接火花穿過遮罩框架200之開口130而飛至遮罩100之沈積圖案110。
在此種情形中，遮罩框架200之第二表面232可沿開口130之一圓周形成一封閉曲線。具體而言，第二表面232被形成為包圍開口130之圓周。藉此，可防止焊接火花穿過開口而飛至沈積圖案110。
根據一實施例，遮罩框架200可更包含一第三表面233，該第三表面233面對第二表面232。在此種情形中，第三表面233形成於第二表面232之外。
與第二表面232一樣，第三表面233可沿第二表面232之一圓周形成一封閉曲線。
如第2圖所示，藉由使第二表面232與第三表面233面對彼此，可形成一焊條插入槽220以容納焊條600。
藉由形成焊條插入槽220，可防止由焊接產生之焊接火花及類似物沿一側向(例如遮罩框架200之一外部方向)散射。
在此種情形中，焊條插入槽220可形成為平行於焊接孔210。焊條插入槽220(如第2圖所示)被形成為具有一預定厚度。具體而言，焊 條插入槽220具有一足夠之厚度，以防止焊條產生之火花及類似物散射至遮罩100之沈積圖案110。
第3圖至第5圖顯示將遮罩100固定至遮罩框架200之操作。
在第3圖及第4圖中，遮罩100之邊緣120位於遮罩框架200之開口130之邊緣230之一上側處。
接著，如第5圖所示，藉由穿過孔210執行焊接，遮罩100之邊緣120之第一表面耦合至開口130之第一表面231。
在此種情形中，當焊接遮罩100之第一表面121時，形成焊縫300且焊縫300朝遮罩100之下側突出。換言之，如第6圖所示，焊縫300被形成為朝與一基板400接觸之遮罩100之一頂面之一相反方向突出。
參照第6圖，在一基板中形成一薄膜之製程包含以下步驟：使基板400接觸遮罩100之頂面；以及自一沈積裝置500沈積一精細沈積材料於基板400上之遮罩100之下側。
在此種情形中，因在基板400與遮罩100之頂面之間不存在焊縫300，故可防止由焊縫300導致之此種基板損壞。
在根據本發明實施例之沈積遮罩總成中，當遮罩100焊接至遮罩框架200時，焊縫被形成為突出至遮罩100之下側，俾可在沈積操作中防止基板損壞。此外，可防止遮罩100之沈積圖案110被焊接產生之火花及類似物損壞。
儘管已結合某些實施例闡述了本發明，然而應理解，本發明並非僅限於所揭露之實施例，而是相反，旨在涵蓋包含於隨附申請專利範圍之精神及範圍內之各種潤飾及等效設置。

Claims (5)

  1. 一種沈積遮罩總成，包含：一遮罩，在該遮罩中形成一沈積圖案；一遮罩框架，固定該遮罩之一邊緣，其中該遮罩框架包含一第一表面、自該第一表面向下延伸之一第二表面、及面對該第二表面之一第三表面；一開口，形成於該遮罩框架之一中心處；複數個焊接孔，該等焊接孔被形成並延伸貫穿該遮罩框架之該第一表面；以及一焊條插入槽，用於容納一焊條，且該焊條插入槽係形成於該遮罩框架之該第二表面與該第三表面之間；其中，該焊條插入槽係連接至該等焊接孔中之至少一個，且該焊條插入槽係被開口於該等焊接孔中之至少一個之相反方向；其中，彼此面對的該遮罩之該邊緣之一第一表面與鄰近該開口之該遮罩框架之該第一表面被焊接至彼此。
  2. 如請求項1所述之沈積遮罩總成，其中該等焊接孔係沿該開口之一圓周而形成。
  3. 如請求項2所述之沈積遮罩總成，其中該開口具有一四邊形形狀。
  4. 如請求項2所述之沈積遮罩總成，其中該第二表面係沿該開口之該圓周來形成一封閉曲線。
  5. 如請求項1所述之沈積遮罩總成，其中當沿遠離該開口之一方向觀察時，該第三表面係形成於該第二表面以外。
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