KR19980020576U - X-선 반도체 노광장치용 마스크 보관 및 운반 케이스 - Google Patents

Abstract

현재 X-선 반도체 노광장치의 개발이 한창 진행되고 있으며 그 결과가 기대되고 있다. 이 X-선 노광장치중 핵심 기술로 여겨지는 것이 바로 X-선용 마스크의 제작인데 그 제조가 매우 까다롭기 때문이다. 그러나 어렵게 제조된 X-선용 마스크는 특별한 케이스없이 보관되고 있으며 이 또한 향상된 마스크 제조에 나쁜 영향을 주고 있는 게 사실이다. 따라서 이러한 X-선용 마스크 보관 및 운반 케이스가 필요하게 되었으며 실제 X-선용 마스크 제작을 토대로 본 케이스를 고안하게 되었다.

케이스 하부와 상부를 중심으로 아래에 방진재(방진스폰지)로 X-선용 마스크를 보호하고 상부의 홀더가 마스크 쿼츠를 지지하여 주므로 운반 및 보관에 매우 효과적이며 잠금장치의 구조 또한 일반적인 케이스와 달리 X-선용 마스크에 충격을 주지 않게 설계되었다.

본 고안은 깨지기 쉬우며 먼지에 쉽게 오염될 수 있는 X-선 반도체 노광장치용 마스크를 좀더 안전하고 깨끗하게 보관, 운반할 수 있도록 고안한 것으로 이는 현재 연구 단계인 X-선 반도체 노광 분야에서 널리 사용될 수 있을 뿐 아니라 실용화되어서도 사용 가능한 제품으로 생각된다.

Description

X-선 반도체 노광장치용 마스크 보관 및 운반 케이스

제 1 도는 본 고안 케이스의 사용상태도

제 2 도는 본 고안 케이스의 분리사시도

제 3 도는 X-선용 마스크의 평면도 및 측면도

제 4 도는 본 고안 케이스의 평면도 및 측면도

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

1 : 케이스 상부2 : 케이스 하부3 : 홀더

4 : 홀더홈5 : 리드6 : 홀

7 : 돌출벽8 : 잠금장치9 : 잠금장치 가이더

10 : 상부 잠금돌기11 : 잠금장치 홀12 : 방진재(방진스폰지)

13 : 쿼츠(유리판)14 : 패턴15 : X-선용 마스크

16 : ㄱ자홈

본 고안은 X-선 반도체 노광장치의 일부인 X-선 마스크의 보관 및 운반용 케이스에 관한 것으로 현재 제조 후 특별한 케이스없이 보관되거나 운반되어지는 X-선 마스크를 안전하게 보호, 운반하기 위해 착안한 것이다. 현재 X-선 반도체 노광장치의 개발이 한창 진행되고 있으며 그 결과가 기대되고 있다. 이 X-선 노광장치중 핵심 기술로 여겨지는 것이 바로 X-선용 마스크의 제작인데 그 제조가 매우 까다롭기 때문이다. 그러나 어렵게 제조된 X-선용 마스크는 특별한 케이스없이 보관되고 있으며 이 또한 향상된 마스크 제조에 나쁜 영향을 주고 있는 게 사실이다. 따라서 이러한 X-선용 마스크 보관 및 운반 케이스가 필요하게 되었으며 실제 X-선용 마스크 제작을 토대로 본 케이스를 고안하게 되었다.

X-선 마스크는 패턴이 1 대 1의 비로 형성되는데 그 패턴의 크기가 0.25 마이크로미터 이하로 설계되므로 소량의 먼지도 허용되지 않는다. 먼지 1 분자가 수 마이크로미터에 달하기 때문이다. 또한 마스크 중앙의 패턴 부위(14)는 1 마이크론 미터 정도의 매우 얇은 막이므로 미세한 충격에도 보호되어야 한다. 따라서 본 케이스는 방진 플라스틱 소재의 사용 뿐 아니라 바닥 밀착 부위에도 방진재(방진스폰지)(12)를 사용하였다.

잠금장치(8)도 충격 보호를 위해 옆으로 밀어서 잠그는 방식을 고안하였으며 이는 실제 X-선 마스크 케이스를 여닫을 때 X-선 마스크에 미치는 충격을 최소로 하기 위한 것이다.

본 케이스의 구조를 첨부 도안에 따라 설명하면 다음과 같다.

케이스 상부(1)과 하부(2)은 일체로 성형사출하여 접어 사용하도록 하여 힌지부위를 제거하였다. 이는 방진상태에서 사용 시 먼지를 일으키는 작동 부위를 제거한 것 뿐 아니라 제조공정을 줄이는 효과를 가져온다. 일반 힌지는 클린룸에서 미세먼지를 부착시켜 X-선 마스크에 치명적 영향을 미친다.

실제 X-선 마스크의 구조는 제 3 도와 같이 5㎜ 두께의 얇은 쿼츠(유리판)(13)에 패턴(14)되어 있는 실리콘 웨이퍼가 부착된 구조인데 이를 케이스에 쉽게 보관하기에는 너무 얇아서 케이스 하부(2)에 홀(6)을 만들어 마스크(15)를 꺼내고 넣기에 용이하게 하였다. 또한 케이스 하부(2) 아래에 X-선 마스크 크기와 동일한 126.6㎜ × 126.6㎜ 의 두께 2㎜의 방진제(먼지방지)스폰지(12)가 놓이게 되어 소량의 충격에도 보호되도록 설계되었다. 마스크 장착시 마스크 일부(3㎜)가 바닥 턱보다 올라오게 되어있어 쉽게 정렬 및 꺼낼 수 있다. 케이스 하부(2)의 돌출벽(7)는 바닥부위보다 위로 돌출되어있어 장착시 마스크를 쉽게 정렬하도록 해준다.

또한 케이스 상부(1)를 닫을 때 X-선 마스크 보호와 지지(잡아주기)를 위한 케이스 상부(1)의 마스크 홀더(3)가 있어 상부와 X-선 마스크를 완전히 밀착시키게 해준다. 케이스 상부의 홀더(3)로 방진제(방진스폰지)를 사용하는 것은 극히 작지만 떨어질지도 모르는 방진제 성분으로부터 X-선 마스크를 보호하기 위해 물리적 구조의 홀더(3)를 사용하였다.

이는 정사각형 프레임에서 뻗어 나온 방사상의 4개 리드(5)가 X-선 마스크 쿼츠(13)부위를 눌러주게 되며 이 리드는 바깥으로 쉽게 눕혀지도록 되어있어 실제 X-선 마스크 쿼츠 부위에 고른 힘을 줌과 동시에 무리한 힘이 가해지지 않도록 설계되었다.

케이스 상부(1)가 닫혔을 때 상부 잠금돌기(10)가 아래 잠금장치 홈(11)에 들어가게 되며 잠금장치(8)를 왼쪽으로 밀면 케이스가 잠기게 된다. 즉 삼각 사다리꼴 모양의 긴 기둥형의 잠금장치 가이더(9)를 따라 좌우로 움직이도록 설계된 잠금장치(8)가 잠금돌기(10)와 잠금장치 홀(11)과 일치하였을 때 왼쪽으로 이동시키면 케이스상부(1)와 케이스하부(2)가 잠궈지는 구조이다.

이러한 잠금장치(8) 또한 여닫을 때 발생될 수 있는 X-선 마스크 패턴(14)부위의 깨짐을 고려한 것이다. 케이스 상부 윗면에 4개의 ㄱ자 홈(16)은 여러 케이스를 포개어 놓을 수 있도록 한다. 제 1 도에서 실제 X-선 마스크가 케이스에 들어가 있는 상태를 보여주는 그림이다. 제 2 도에서는 4개로 이루어진 케이스의 분리 사시도를 보이고 있다. 제 3 도는 현재 사용되는 X-선 마스크의 도면이며 제 4 도는 본 X-선용 마스크 케이스의 평면도와 측면도를 나타내고 있다.

현재 연구중인 X-선 반도체 노광장치에서 가장 중요하다고 할 수 있는 X-선용 마스크에서 최적의 흡수체와 X-선 투과박막의 개발도 중요하나 어렵게 만들어낸 마스크의 안전한 보관 또한 매우 중요하다고 할 수 있다. X-선용 마스크 보관 및 운반 케이스는 앞으로 이 분야에서 적지 않은 역할을 할 것으로 기대된다.

이상에서와 같이 본 고안은 X-선 마스크를 먼지 및 충격에서 보호하여 X-선 마스크를 안전하게 보관 및 운반할 수 있는 유용한 장치인 것이다.

Claims (1)

1. 케이스 상부의 사각 방사형으로 뻗어있는 홀더(3)와 하부의 바닥의 방진재(방진스폰지)(12), 돌출벽(7)이 있어 X-선용 마스크를 보호하며 상부 잠금돌기(10)가 하부 잠금장치 홀(11)로 들어오는 잠금기능을 가지며 케이스를 위아래로 포개어 놓을 수 있도록 4개의 ㄱ자 홈(16)이 있는 X-선용 마스크 보관 및 운반 케이스.