KR20230001152A - 펠리클 보관 케이싱 - Google Patents

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KR20230001152A
KR20230001152A KR1020210083711A KR20210083711A KR20230001152A KR 20230001152 A KR20230001152 A KR 20230001152A KR 1020210083711 A KR1020210083711 A KR 1020210083711A KR 20210083711 A KR20210083711 A KR 20210083711A KR 20230001152 A KR20230001152 A KR 20230001152A
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Abstract

펠리클 보관 케이싱이 개시된다. 케이싱은, 펠리클 수용 공간을 형성하는 외부케이싱, 외부케이싱 내에 배치되며 펠리클이 놓여 지지되는 지지부재, 및 지지부재를 외부케이싱의 내측면 및 바닥면과 이격된 상태로 탄성적으로 지지하는 탄성부재를 구비한다. 케이싱 내에서 펠리클이 스프링에 의해 탄성적으로 지지된 상태로 유지되므로 외부에서 충격이 가해지더라도 펠리클의 손상이 방지된다.

Description

펠리클 보관 케이싱 {Casing for safekeeping Pellicles}
본 발명은 펠리클 보관 케이싱에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 포토마스크를 외부 환경으로부터 보호하는 펠리클의 운반 등의 상황에서 펠리클의 파손이나 손상을 방지하기 위해 안전하게 보관할 수 있는 케이싱에 관한 것이다.
반도체 집적회로를 제작하는 리소그래피 공정에서 ArF 파장을 이용하는 방식은 미세화된 회로 선폭을 구현하는 데에 한계가 있다. 이에 따라 매우 단파장인 13.5㎚ 파장을 주 노광 파장으로 사용하는 극자외선 광을 사용하는 EUV 리소그래피 기술이 차세대 공정으로 주목을 받고 있다. 리소그래피 공정은 패터닝을 위한 원판으로서 포토마스크(Photomask)가 사용되고, 포토마스크 상의 패턴이 웨이퍼(Wafer)에 전사되는데, 만약, 포토마스크 상에 파티클(Particle)이나 이물질 등의 불순물이 부착되어 있으면 이 불순물로 인해 노광 광이 흡수되거나 반사되어 전사된 패턴이 손상될 수 있으며, 이에 따라 반도체 장치의 성능이나 수율의 저하를 초래할 수 있다.
이에 따라, 포토마스크 표면에 불순물이 부착되는 것을 방지하기 위하여 포토마스크에 펠리클(Pellicle)을 부착하는 방법이 사용되고 있다. 도 1 은 일반적인 펠리클의 구조를 도시한 도면이다.
펠리클(10)은 펠리클 박막(12)과 펠리클 지지부(14)를 포함하여 구성된다. 펠리클 박막(12)은 예컨대 실리콘과 금속을 포함하는 재질의 얇은 박막으로 구성되고, 펠리클 지지부(14)는 펠리클 박막(12)을 형성하는 기판의 하부를 식각함으로써 형성된다. 이러한 펠리클(10)은 별도로 제작된 펠리클 프레임(도시되지 않음)상에 접착 등의 방식으로 부착된 후 포토마스크의 표면에 설치된다. 이러한 펠리클(10)에 의하여 포토마스크의 표면이 외부의 공간에 대해 차단됨으로써, 포토마스크가 외부의 불순물 등으로부터 보호된다.
펠리클 박막(12)은 일반적으로 50nm 이하의 극히 얇은 두께를 갖는다. 따라서 펠리클 박막(12)은 외부에서 충격이나 힘이 가해지는 경우 찢어질 우려가 매우 크다. 따라서 펠리클(10)을 외부의 충격으로부터 안전하게 보관하는 것이 매우 중요하다. 또한, 도 1 과 같은 구조의 펠리클(10)의 제작이 완성된 후에, 펠리클(10)은 펠리클 프레임과의 접착 공정을 위해 이송되어야 한다. 펠리클 프레임을 펠리클에 접착하는 공정은 고도의 기술을 요하므로, 일반적으로 펠리클 제작 공정과 제작된 펠리클을 펠리클 프레임에 접착하는 공정은 서로 다른 작업 주체에 의해 이루어지고 있는 것이 일반적인 상황이다. 이에 따라, 완성된 펠리클(10)을 펠리클 프레임 접착 공정을 수행하기 위해 매우 장거리를 이송하는 경우가 일반적이다. 따라서, 펠리클(10)의 이송 중의 파손을 방지하는 것도 펠리클(10)의 안전한 보관에 매우 중요한 고려 사항이다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 외부의 충격으로부터 펠리클을 안전하게 보관할 수 있도록 함으로써 완성된 펠리클을 후속 공정을 위해 이송하는 과정에서 파손을 방지할 수 있는 방안을 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 펠리클 수용 공간을 형성하는 외부케이싱; 상기 외부케이싱 내에 배치되며, 상기 펠리클이 놓여 지지되는 지지부재; 및 상기 지지부재를 상기 외부케이싱의 내측면 및 바닥면과 이격된 상태로 탄성적으로 지지하는 탄성부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 펠리클 보관 케이싱을 제안한다.
상기 지지부재는 수평 방향으로 배치된 평판 형태의 바닥면부를 포함한다. 또한 상기 지지부재는 상기 바닥면부의 측면에서 상방으로 연장된 하나 이상의 측면부를 더 포함할 수 있다.
상기 탄성부재는 스프링을 포함하여 구성된다.
일 예로서, 상기 탄성부재는 상기 지지부재와 상기 외부케이싱을 연결하도록 설치된다.
다른 예로서, 펠리클 보관 케이싱은 상기 외부케이싱 내에 상기 외부케이싱으로부터 분리 가능하게 수용되며 상기 지지부재를 수용하는 내부케이싱을 더 포함하며, 상기 탄성부재는 상기 지지부재와 상기 내부케이싱을 연결하도록 설치된다.
상기 외부케이싱의 내에는 상기 내부케이싱이 위치 고정되도록 고정하는 고정수단이 구비되는 것이 바람직하다.
상기 고정수단은 상기 외부케이싱의 및 상기 내부케이싱 중 하나 이상으로부터 돌출되도록 형성된 고정핀으로 구성될 수 있다.
상기 펠리클은 상기 지지부재상에 수평 방향으로 놓여질 수 있다.
상기 지지부재는 그 상면에 상기 펠리클이 수직 방향으로 놓여진 상태에서 상기 펠리클의 하단부를 고정하는 제1브라켓을 구비할 수 있다. 상기 제1브라켓은 상기 지지부재의 상면에서 상방으로 돌출 형성되며, 상기 펠리클의 상기 하단부가 인입되는 제1수용홈을 구비한다.
상기 외부케이싱의 상부 개구는 커버에 의해 덮여진다. 상기 커버는 그 하면에 상기 펠리클이 수직 방향으로 놓여진 상태에서 상기 펠리클의 상단부를 고정하는 제2브라켓을 구비할 수 있다. 상기 제2브라켓은 상기 커버의 하면에서 하방으로 돌출 형성되며, 상기 펠리클의 상기 상단부가 인입되는 제2수용홈을 구비한다.
펠리클 보관 케이싱은, 상기 외부케이싱의 외측면을 감싸도록 설치되는 완충부재를 구비할 수 있다.
펠리클 보관 케이싱은, 상기 외부케이싱의 외측면에 설치된 손잡이를 구비할 수 있다.
본 발명에 따르면, 케이싱 내에서 펠리클이 스프링에 의해 탄성적으로 지지된 상태로 유지된다. 이에 따라 외부에서 충격이 가해지더라도 스프링의 탄성력에 의해 충격이 완충되어 펠리클의 손상이 방지된다.
도 1 은 일반적인 펠리클의 구조를 개략적으로 도시한 도면.
도 2 는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 펠리클 보관 케이싱의 측단면도.
도 3 은 도 2 의 상면도.
도 4 는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 펠리클 보관 케이싱의 측단면도.
도 5 는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 펠리클 보관 케이싱의 측단면도.
도 6 은 도 5 의 일부를 도시한 사시도.
도 7 은 도 6 의 제1브라켓을 확대 도시한 도면.
도 8 은 완충부재와 손잡이를 가 케이싱에 부착된 케이싱의 상면도.
도 9 는 도 8 의 측면도.
이하에서는 첨부 도면을 참조하여 본 발명을 구체적으로 기술한다.
도 2 는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 펠리클 보관 케이싱의 측단면도이고, 도 3 은 도 2 의 상면도이다.
본 발명에 따른 펠리클 보관 케이싱은 외부케이싱(20), 커버(30), 지지부재(60), 및 탄성부재(40)를 포함하여 구성된다.
외부케이싱(20)은 상방이 개구되고 4면의 측벽과 바닥면을 구비한 대략 직육면체 형상의 케이스로 구성된다. 외부케이싱(20)은 펠리클(10)을 수용하기에 충분한 크기의 수용 공간을 갖는다.
커버(30)는 외부케이싱(20)의 상부 개구를 덮는다. 본 실시예에서는 펠리클(10)이 수평 방향으로 외부케이싱(20) 내에 수용되는 예를 보여준다. 도 2 및 3 의 구조에서는 외부케이싱(20)의 개구가 상방에 형성되어 있어 커버(30)가 외부케이싱(20)의 상부에 덮이도록 구성됨으로써 펠리클(10)의 상부에서 하부로 이동되어 외부케이싱(20) 내에 인입되도록 구성되어 있으나, 이와는 달리 예컨대 개구가 외부케이싱(20)의 측방으로 개방되도록 형성되어 커버(30)가 측방에 덮이도록 구성됨으로써 펠리클(10)이 측방에서 외부케이싱(20) 내로 인입되도록 구성될 수도 있다.
지지부재(60)는 외부케이싱(20) 내에 배치되며, 펠리클(10)이 놓여 지지되도록 구성된다. 지지부재(60)는 통상적으로 직사각형의 형상을 갖는 펠리클(10)의 형상에 맞추어 펠리클(10)의 전체 크기보다 다소 큰 크기의 직사각형 판의 형상을 갖도록 형성된다.
탄성부재(40)는 지지부재(60)를 외부케이싱(20)의 내측면 및 바닥면과 이격된 상태로 탄성적으로 지지하는 기능을 한다. 도 2 및 3 의 실시예에서, 탄성부재(40)는 지지부재(60)의 측면과 외부케이싱(20)의 내측면 및 바닥면을 직접적으로 연결하도록 구성된다. 이에 따라 지지부재(60)는 탄성부재(40)에 의하여 외부케이싱(20)의 내부 수용 공간 내에서 외부케이싱(20)에 직접 접하지 않고 부양된 상태로 탄성 지지된다. 탄성부재(40)는 일반적인 스프링으로 구성될 수 있다. 여기에서 스프링은 코일스프링에 국한되지 않고 판스프링 등과 같은 다양한 형태로 구성될 수 있으며, 지지부재(60)와 외부케이싱(20)을 연결하면서 지지부재(60)를 탄성 지지하는 구성에 해당되기만 하면 어떤 형태의 부재도 본원의 탄성부재(40)에 해당될 수 있다.
외부케이싱(20), 커버(30), 지지부재(60), 및 스프링(40)의 재질은 특정 재질에 제한되지 않는다. 일 예로서, 이들은 플라스틱, 금속, 테프론, 합성수지 등의 다양한 종류의 재질로 제작될 수 있다.
이러한 구성에 의하면, 외부의 충격이 보관 케이싱에 가해지는 경우 충격이 탄성부재(40)에 의해 완충된 후 지지부재(60)에 전달된다. 따라서 지지부재(60) 상부에 놓인 펠리클(10)에 완충된 충격이 전달되어 펠리클(10)의 손상이 방지된다.
한편, 도 2 및 3 의 실시예에서는 하나의 지지부재(40)가 외부케이싱(20) 내에 구비된 예를 도시하였으나, 2개 이상의 지지부재(40)가 마련되어 각각 하나씩의 펠리클(10)을 지지하도록 구성할 수 있다. 이때, 복수의 지지부재(40)는 상하방향으로 일정 간격을 두고 평행하게 배치되는 구조로 배치되어, 각각의 지지부재(40)에 하나씩의 펠리클(10)이 놓여지도록 구성될 수 있다. 이 경우에는, 펠리클(10)의 인입 및 인출 작업을 위하여 외부케이싱(20)의 개구는 측방으로 개구되는 것이 바람직하다. 또한 복수의 지지부재(40)가 수용 공간 내의 동일 평면상에 연이어 배치되도록 구성될 수도 있다. 이 경우 수용 공간 내의 하나의 평면에 복수의 펠리클(10)이 지지된다. 또 다른 변형예로서, 도 2 및 3 의 실시예에서는 하나의 지지부재(40)에 하나의 펠리클(10)이 놓여지도록 구성되어 있으나, 지지부재(40)를 펠리클(10)의 크기보다 작은 크기로 제작하여 동일 평면상에 연이어 배치한 후, 연이어 배치된 둘 이상의 지지부재(40)가 하나의 펠리클(10)을 지지하도록 구성할 수도 있다. 나아가, 이와 같은 본 발명의 다양한 변형예들이 혼합되어 적용될 수도 있음은 자명하다.
도 4 는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 펠리클 보관 케이싱의 측단면도이다. 본 실시예 및 이하의 실시예에서, 도시 및 설명의 편의를 위하여 전술한 실시예에서와 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 구체적인 설명은 생략되며 동일한 참조부호를 사용하여 인용한다.
본 실시예의 펠리클 보관 케이싱은 내부케이싱(50)을 추가로 포함한다. 내부케이싱(50)은 외부케이싱(20) 내에 수용되며, 외부케이싱(20)으로부터 분리 가능하도록 구성된다. 지지부재(60)를 수용하는 수용 공간은 내부케이싱(50) 내부에 형성된다. 즉, 지지부재(60)는 내부케이싱(50)의 내부 공간에 내부케이싱(50)의 측면 및 바닥면으로부터 이격된 상태로 배치되며, 탄성부재(40)는 지지부재(60)의 측단부와 내부케이싱(50)의 측벽을 연결하도록 설치됨으로써 지지부재(60)가 내부케이싱(50)의 내부 공간 내에서 부양된 상태로 지지한다.
한편, 본 실시예의 펠리클 보관 케이싱에는 외부케이싱(20)의 내에서 내부케이싱(50)이 위치 고정되도록 고정하는 고정수단이 마련되어 있다. 고정수단은 외부케이싱의 바닥면으로부터 상방으로 돌출된 제1고정핀(22), 및 내부케이싱(50)의 상단부에서 측방으로 외향 돌출된 제2고정핀(52)을 포함하여 구성된다. 도 4 에 도시된 바와 같이, 제1고정핀(22)은 내부케이싱(50)의 하단부의 외곽부에서 내부케이싱(50)의 측방 이동을 차단하여 내부케이싱(50)의 하부를 외부케이싱(20) 내에서 위치고정한다. 제2고정핀(52)은 그 돌출 길이가 내부케이싱(50)과 외부케이싱(20) 사이의 간격과 동일하도록 구성됨으로써 그 단부가 외부케이싱(20)의 내측벽면에 접하도록 구성되고, 이에 따라 내부케이싱(50)의 상부를 외부케이싱(20) 내에서 위치고정한다.
이러한 구성에 의하면, 내부케이싱(50)을 외부케이싱(20)의 상부 개구를 통해 외부케이싱(20) 내로 인입하거나 외부케이싱(20)으로부터 인출할 수 있다. 따라서 내부케이싱(50) 내의 지지부재(60)에 펠리클(10)을 안착시킨 후에 내부케이싱(50) 자체를 외부케이싱(20) 내로 인입시켜 보관할 수 있다.
본 실시예에서도 전술한 제 1 실시예에서 기술한 변형예들은 모두 적용된다. 즉, 외부케이싱(20)의 개구는 상방이 아닌 측방으로 형성되도록 할 수 있다. 나아가 내부케이싱(20) 자체의 개구도 상방이 아닌 측방으로 형성되도록 할 수도 있다. 또한 내부케이싱(20) 내의 지지부재(40)를 복수로 구성하고, 이때 지지부재(40)를 배치하는 제 1 실시예의 변형예도 본 실시예에 모두 적용될 수 있다.
도 5 는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 펠리클 보관 케이싱의 측단면도이고, 도 6 은 도 5 의 일부를 도시한 사시도이다. 전술한 제 1 실시예 및 제 2 실시예에서는 펠리클(10)이 수평 방향으로 적재되는 구성을 예시하였으나, 본 실시예는 펠리클(10)이 수직 방향으로 적재되는 구성을 예시한다.
도 5 에서 지지부재(60)는 바닥면부(63)와 측면부(64)를 포함하여 구성된다. 바닥면부(63)은 수평 방향으로 배치된 평판 형태를 가지며, 이는 실질적으로 도 2 의 지지부재(60)와 동일한 구성이다. 측면부(64)는 바닥면부(63)의 측면에서 상방으로 연장된 측벽 형상을 갖는다. 측면부(64)는 하나 이상이 구비되도록 구성되며, 바람직하게는 바닥면부(63)의 네 모서리에 대응되어 네 개의 측면부(64)가 구비된다. 바닥면부(63)와 측면부(64)는 일체로 형성될 수 있다. 본 실시예에서 측면부(64)는 필수적인 구성은 아니며, 필요에 따라 선택적으로 구성될 수 있다. 그러나, 본 실시예에서는 탄성부재(40)가 바닥면부(63)와 함께 측면부(64)에도 연결되어 외부케이싱(20)에 대해 지지부재(60)를 지지하므로, 측면부(64)에 의하여 더욱 견실한 지지 구조의 구성이 가능하다.
지지부재(60)의 바닥면부(63)에는 펠리클(10)이 수직 방향으로 놓여진 상태에서 펠리클(10)의 하단부를 고정하는 제1브라켓(66)을 구비되어 있다. 제1브라켓(66)은 바닥면부(63)의 상면에서 상방으로 돌출 형성되며, 펠리클(10)의 하단부가 인입되는 제1수용홈을 구비한다. 외부케이싱(20)의 상부에는 커버(30)가 덮여지며, 커버(30)의 하면에는 펠리클(10)이 수직 방향으로 놓여진 상태에서 펠리클(10)의 상단부를 고정하는 제2브라켓(36)이 구비된다. 제2브라켓(36)은 커버(30)의 하면에서 하방으로 돌출 형성되며, 펠리클(10)의 상단부가 인입되는 제2수용홈을 구비한다. 제1브라켓(66)과 제2브라켓(36)은 상호 대응되는 위치에 형성된다. 즉, 펠리클(10)이 수직으로 배치된 상태로 고정될 수 있도록 제2브라켓(36)은 제1브라켓(66)의 직상방에 대응되는 위치에 형성된다. 제1브라켓(66)과 제2브라켓(36)은 각각 복수 개 마련되어 수평 방향으로 일전 간격을 두고 연이어 배치된다. 이에 따라 복수의 펠리클(10)이 지지부재(60)상에 일정 간격을 두고 연이어 배치된 상태로 고정된다.
도 7 은 도 6 의 제1브라켓(66)을 확대 도시한 도면이다. 제1브라켓(66)의 상부는 그 내벽면이 경사면(66a)으로 형성되어 있다. 이에 따라 펠리클(10)의 하단부를 제1브라켓(66)과 결합시키기 위하 제1수용홈 내로 이동 시, 펠리클(10)의 위치가 정확하게 설정되지 않더라도 경사면(66a)을 타고 제1수용홈 내로 원활하게 안착된다. 별도로 도시하진 않았으나, 커버(30)에 형성된 제2브라켓(36)도 이러한 구조를 갖는다.
본 실시예의 펠리클 보관 케이싱은 펠리클(10)이 수직 방향으로 적재되므로 수평 방향 적재 방식에 비해 적재를 위한 펠리클(10)의 인입 및 인출 작업이 용이하게 이루어질 수 있다.
본 실시예에서도 전술한 실시예들에 대한 변형예들이 모두 적용될 수 있다. 예컨대, 도 4 의 실시예에서와 같이 내부케이싱(50)을 별도로 마련하여 지지부재(60)가 내부케이싱(50) 내에 설치되도록 할 수도 있으며, 그 외에 외부케이싱(20) 또는 내부케이싱(50)의 개방 방향의 다양한 변형예 등이 본 실시예에도 적용될 수 있다.
도 8 은 완충부재와 손잡이를 가 케이싱에 부착된 케이싱의 상면도이고, 도 9 는 도 8 의 측면도이다. 도 8 및 도 9 의 구성은 전술한 모든 실시예에 대해 부가되는 구성으로서 적용될 수 있다.
외부케이싱(20) 및 커버(30)의 외측면에는 완충부재(70)가 부가되어 있다. 완충부재(70)는 외부케이싱(20)와 커버(30)의 외측면을 감싸도록 설치되며, 바람직하게는 펠리클 보관 케이싱의 모든 외면을 감싸도록 설치될 수 있으나, 필요에 따라 일부 면 예컨대 커버(30) 부분을 제외한 모든 면에 설치될 수도 있다. 이러한 완충부재(70)에 의해 외부 충격이 더욱 완충되어, 펠리클(10)에 전달되는 충격이 더욱 감쇄된다.
외부케이싱(30)의 외측면에는 손잡이(80)가 설치되어 있다. 손잡이(80)는 외부케이싱(30) 운반 및 이동 시 작업자가 편리하게 작업을 할 수 있는 방안을 제공한다.
이상에서는 도면을 참조하여 본 발명의 구조를 통하여 본 발명을 구체적으로 설명하였으나, 제시된 구조는 단지 본 발명의 예시 및 설명을 하기 위한 목적에서 사용된 것이며 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로, 본 발명의 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 구조로부터 다양한 변형 및 균등한 타 구조가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이고, 본 발명의 진정한 기술력 보호범위는 특허청구범위의 기술적 사항에 의해 정해져야 할 것이다.
10 : 펠리클 20 : 외부케이싱
30 : 커버 40 : 스프링
50 : 내부케이싱 60 : 지지부재
70 : 완충부재 80 : 손잡이

Claims (15)

  1. 펠리클 수용 공간을 형성하는 외부케이싱;
    상기 외부케이싱 내에 배치되며, 상기 펠리클이 놓여 지지되는 지지부재; 및
    상기 지지부재를 상기 외부케이싱의 내측면 및 바닥면과 이격된 상태로 탄성적으로 지지하는 탄성부재;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 펠리클 보관 케이싱.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 지지부재는 수평 방향으로 배치된 평판 형태의 바닥면부를 포함하는 것을 특징으로 하는 펠리클 보관 케이싱.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 지지부재는 상기 바닥면부의 측면에서 상방으로 연장된 하나 이상의 측면부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 펠리클 보관 케이싱.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 탄성부재는 스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 펠리클 보관 케이싱.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 탄성부재는 상기 지지부재와 상기 외부케이싱을 연결하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 펠리클 보관 케이싱.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 외부케이싱 내에 상기 외부케이싱으로부터 분리 가능하게 수용되며, 상기 지지부재를 수용하는 내부케이싱;
    을 더 포함하며,
    상기 탄성부재는 상기 지지부재와 상기 내부케이싱을 연결하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 펠리클 보관 케이싱.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 외부케이싱의 내에서 상기 내부케이싱이 위치 고정되도록 고정하는 고정수단;
    을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 펠리클 보관 케이싱.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 고정수단은 상기 외부케이싱의 및 상기 내부케이싱 중 하나 이상으로부터 돌출되도록 형성된 고정핀을 포함하는 것을 특징으로 하는 펠리클 보관 케이싱.
  9. 제 5 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 펠리클은 상기 지지부재상에 수평 방향으로 놓여지는 것을 특징으로 하는 펠리클 보관 케이싱.
  10. 제 5 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 지지부재는 그 상면에 상기 펠리클이 수직 방향으로 놓여진 상태에서 상기 펠리클의 하단부를 고정하는 제1브라켓을 구비하는 것을 특징으로 하는 펠리클 보관 케이싱.
  11. 제 11 항에 있어서,
    상기 제1브라켓은 상기 지지부재의 상면에서 상방으로 돌출 형성되며, 상기 펠리클의 상기 하단부가 인입되는 제1수용홈을 구비하는 것을 특징으로 하는 펠리클 보관 케이싱.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 외부케이싱의 상부 개구를 덮는 커버;
    를 더 포함하며,
    상기 커버는 그 하면에 상기 펠리클이 수직 방향으로 놓여진 상태에서 상기 펠리클의 상단부를 고정하는 제2브라켓을 구비하는 것을 특징으로 하는 펠리클 보관 케이싱.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 제2브라켓은 상기 커버의 하면에서 하방으로 돌출 형성되며, 상기 펠리클의 상기 상단부가 인입되는 제2수용홈을 구비하는 것을 특징으로 하는 펠리클 보관 케이싱.
  14. 제 1 항에 있어서,
    상기 외부케이싱의 외측면을 감싸도록 설치되는 완충부재;
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 펠리클 보관 케이싱.
  15. 제 1 항에 있어서,
    상기 외부케이싱의 외측면에 설치된 손잡이;
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 펠리클 보관 케이싱.
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