JP2006245375A

JP2006245375A - レチクル収納容器、収納室、レチクル搬送設備、及び露光装置

Info

Publication number: JP2006245375A
Application number: JP2005060202A
Authority: JP
Inventors: Yukiharu Okubo; 至晴大久保
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 2005-03-04
Filing date: 2005-03-04
Publication date: 2006-09-14

Abstract

【課題】フィルタに捕らえられたレチクル収納容器内のゴミが、再びレチクル収納容器内に戻る可能性が少ないレチクル収納容器を提供する。
【解決手段】ロードロック室３内の圧力を真空状態から大気圧とするときのみにフィルタ遮蔽装置６ａによりフィルタ１ｆを遮蔽し、ロードロック室３内の圧力を大気圧から真空状態とするときのみにフィルタ遮蔽装置６ｂによりフィルタ１ｅを遮蔽する。このようにすることにより、フィルタ１ｅはレチクル収納容器１への流入気体専用のフィルタとして働き、フィルタ１ｆはレチクル収納容器１からの流出気体専用のフィルタとして働く。従って、レチクル収納容器１から流出する気体に含まれるゴミはフィルタ１ｆにより捕捉されるが、気体はフィルタ１ｆを通しては流入しないので、フィルタ１ｆにより捕捉されたゴミが、再びレチクル収納容器１内に戻ることを防止することができる。
【選択図】図３

Description

本発明は、レチクルを収納して大気環境と真空環境の間を移動するレチクル収納容器、このレチクル収納容器を取り扱うための収納室、この収納室を有するレチクル搬送設備、及びこのレチクル搬送設備を有する露光装置に関するものである。

近年、半導体集積回路の微細化に伴い、光の回折限界によって制限される光学系の解像力を向上させるために、従来の紫外線に代えてこれより短い波長（１１〜１４ｎｍ）のＥＵＶ光を使用した投影リソグラフィ技術が開発されている。この技術は、最近ではＥＵＶ（Extreme UltraViolet）リソグラフィと呼ばれており、従来の波長１９０ｎｍ程度の光線を用いた光リソグラフィでは実現不可能な、７０ｎｍ以下の解像力を得られる技術として期待されている。

ＥＵＶ光は空気によっても吸収されるため、その鏡筒内は高度の真空に保つ必要があり、レチクルの搬送系には特別な工夫が必要である。又、このようなＥＵＶ露光装置に使用されるレチクルとしても反射型のものが使用される。通常の可視光又は紫外線を使用した露光装置におけるレチクルにおいては、パターン面を保護するためにペリクルと称する透明な薄膜が使用される。しかしながら、ＥＵＶ露光装置においては、前述のように透明な材料がないので、ペリクルを形成することができず、パターン面がむき出しになる。よって、レチクルの搬送時や保管時においては、別の手段により、パターン面に異物が付着しないように保護する必要がある。

さらに、レチクルを搬送する場合には、レチクルを直接搬送装置により搬送すると、レチクルと搬送装置との接触によりパターン面を傷つけたり、パターン面以外の部分とのこすれによってゴミが発生したりする恐れがある。従って、レチクルは収納容器に収納した状態として、この収納容器を搬送する方式が考えられている。

このようなレチクル収納容器の例を図７に示す。通常クリーンフィルタポッド（ＣＦＰ）と呼ばれるレチクル収納容器５１は、上蓋５１ａと下蓋５１ｂとからなり、下蓋５１ｂの上にレチクル５２を載置した状態で上蓋５１ａを下蓋５１ｂに被せ、レチクル５２をレチクル収納容器内５１に格納する。なお、下蓋５１ｂには、２つの対となった位置決めピン５１ｃが四隅にそれぞれ設けられており、この位置決めピン５１ｃにより、レチクル５２を保持する際にレチクル５２の平面方向の位置決めを行う。また、３箇所にレチクル保持用突起５１ｄが設けられており、このレチクル保持用突起５１ｄにより、レチクル５２を３点支持するようになっている。上蓋５１ａには、フィルタ５１ｅが設けられ、フィルタ５１ｅを通して気体がレチクル収納容器５１の内部と外部の間を流通可能となっている。

前述のように、ＥＵＶ露光装置本体は高度の真空中に置かれ、付帯設備であるレチクル検査装置等も高度の真空中に置かれる場合がある。よって、外部からレチクル５２をこれらの装置まで搬送する搬送装置においては、搬送の途中でレチクル収納容器５１とその中に収納されたレチクル５２を大気圧環境下から高度の真空環境下に、又、逆に高度の真空環境下から大気圧環境下に移行させる必要があり、このような機能を有する設備を通常ロードロック室と呼んでいる。

すなわち、レチクル収納容器５１がロードロック室に収納された状態で、ロードロック室内を大気圧から高度の真空状態に、又は逆に高度の真空状態から大気圧に変えることにより、前述の環境の移行を行っている。そのためには、レチクル収納容器５１の内部と外部の間を気体が通過できるようにしておく必要があるが、単に開口を設けるだけでは、その開口から外部のゴミがレチクル収納容器５１内に浸入する恐れがある。よって、フィルタ５１ｅを設けることにより、レチクル収納容器５１内へのゴミの浸入を防止しながら、レチクル収納容器５１の内部と外部の間を気体が通過できるようにしている。

しかしながら、このようなレチクル収納容器５１には以下のような問題点がある。すなわち、レチクル収納容器５１内を大気圧から真空状態にするときにフィルタ５１ｅに捕らえられたレチクル収納容器５１内のゴミが、レチクル収納容器５１内を真空状態から大気圧に戻すとき、流入する気体により再びレチクル収納容器５１内に戻ってしまい、それがレチクル５２に付着して露光転写精度に影響を与える場合がある。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、フィルタに捕らえられたレチクル収納容器内のゴミが、再びレチクル収納容器内に戻る可能性が少ないレチクル収納容器、及びこのレチクル収納容器を取り扱う収納室、さらにはこの収納室を有するレチクル搬送設備を提供することを課題とする。

前記課題を解決するための第１の手段は、レチクルを収納して大気環境と真空環境の間を移動するレチクル収納容器であって、当該容器を通過する気体を濾過するフィルタを複数有することを特徴とするものである。

本手段においては、後に示すように、複数あるフィルタのうち、一部をレチクル収納容器内からレチクル収納容器外への気体の通過の際のフィルタとして使用し、他をレチクル収納容器外からレチクル収納容器内への気体の通過の際のフィルタとして使用することができるので、フィルタに捕らえられたレチクル収納容器内のゴミが、再びレチクル収納容器内に戻る可能性が少ないレチクル収納容器とすることができる。

前記課題を解決するための第２の手段は、前記第１の手段であって、前記フィルタが、第１のメッシュを有する第１群のフィルタと、前記第１のメッシュより粗い第２のメッシュを有する第２群のフィルタからなることを特徴とするものである。

本手段においては、第１群のフィルタを、気体がレチクル収納容器の外部から内部に通過するときのフィルタとして用い、第１群のフィルタを気体がレチクル収納容器の内部から外部に通過するときのフィルタとして用いることにより、レチクル収納容器への細かいゴミの浸入を防止すると共に、レチクル収容容器からは、大きなゴミが外部に排出されることを可能にし、これにより、レチクル収納容器内のゴミを減らすことができる。これは、フィルタに形成される通気口の大きさが異なるからであり、フィルタ特性が異なるからである。又、レチクル収納容器から気体を排出するのに要する時間を短縮することも可能となる。

前記課題を解決するための第３の手段は、レチクルを収納して大気環境と真空環境の間を移動するレチクル収納容器であって、当該容器を通過する気体を濾過するフィルタを有し、一つのフィルタの一部と他の部分とのメッシュの粗さが異なることを特徴とするものである。

本手段においても、後に述べるように、フィルタのうち細かなメッシュを有する部分を、気体がレチクル収納容器の外部から内部に流れる場合のフィルタとして使用し、フィルタのうち粗いメッシュを有する部分を、気体がレチクル収納容器の内部から外部に流れる場合のフィルタとして使用することにより、レチクル収納容器への細かいゴミの浸入を防止すると共に、レチクル収容容器からは、大きなゴミが外部に排出されることを可能にし、これにより、レチクル収納容器内のゴミを減らすことができる。又、レチクル収納容器から気体を排出するのに要する時間を短縮することも可能となる。

前記課題を解決するための第４の手段は、レチクルを収納して大気環境と真空環境の間を移動するレチクル収納容器であって、当該容器を通過する気体を濾過するフィルタと、開口を有し、前記開口には、着脱が可能な蓋を有することを特徴とするものである。

本手段においては、後に述べるように、気体がレチクル収納容器の外部から内部に流れる場合は、開口の蓋を閉めてフィルタを通過させ、気体がレチクル収納容器の内部から外部に流れる場合は、開口の蓋を明けて開口部を通過させることにより、レチクル収納容器への細かいゴミの浸入を防止すると共に、レチクル収容容器からは、大きなゴミが外部に排出されることを可能にし、これにより、レチクル収納容器内のゴミを減らすことができる。又、レチクル収納容器から気体を排出するのに要する時間を短縮することも可能となる。

前記課題を解決するための第５の手段は、前記第１の手段であるレチクル収納容器を収容し、それ自身内部と前記レチクル収納容器内部の圧力を、大気圧から真空状態まで下げたり、真空状態から大気圧まで上げたりする収容室であって、前記圧力を真空状態から大気圧まで上げるときに、前記フィルタのうち、所定のものの気体の流通を遮断する気体流通遮断機構を有することを特徴とするものである。

収納室の圧力を真空状態から大気圧まで上げる場合には、レチクル収納容器のフィルタを通してレチクル収納容器内に気体が流入するが、本手段においては、複数あるフィルタのうち所定のものの気体の流通を遮断することができる。よって、これらのフィルタでは、レチクル収納容器内からレチクル収納容器外に気体が流出するとき捕らえられたゴミがレチクル収納容器内に戻ることが避けられる。

前記課題を解決するための第６の手段は、前記第１の手段であるレチクル収納容器を収容し、それ自身内部と前記レチクル収納容器内部の圧力を、大気圧から真空状態まで下げたり、真空状態から大気圧まで上げたりする収容室であって、前記圧力を大気圧から真空状態まで下げるときは、前記フィルタのうち、所定のものの気体の流通を遮断し、前記圧力を真空状態から大気圧まで上げるときは、前記フィルタの前記所定のもの以外の気体の流通を遮断する気体流通遮断機構を有することを特徴とするものである。

本手段においては、気体がレチクル収納容器内からレチクル収納容器外に流出するときに使用するフィルタと、気体がレチクル収納容器外からレチクル収納容器内に流入するときに使用するフィルタを分けて使用しているので、一層効率的に、レチクル収納容器内からレチクル収納容器外に気体が流出するとき捕らえられたゴミがレチクル収納容器内に戻ることが避けられる。

前記課題を解決するための第７の手段は、前記第２の手段であるレチクル収納容器を収容し、それ自身内部と前記レチクル収納容器内部の圧力を、大気圧から真空状態まで下げたり、真空状態から大気圧まで上げたりする収容室であって、前記圧力を真空状態から大気圧まで上げるときは、前記フィルタのうち前記第２群のフィルタの気体の流通を遮断する気体流通遮断機構を有することを特徴とするものである。

本手段においては、レチクル収納容器に気体が流入するときは粗いメッシュのフィルタの気体の流通を遮断するようにしているので、気体は細かいメッシュのフィルタを通して流入し、細かなゴミがレチクル収納容器内に入り込むのを防止することができる。一方、レチクル収納容器から気体が流出するときはこのようなことを行わないので、気体は主として粗いメッシュのフィルタを通って流出することができ、レチクル収納容器内の細かなゴミが外部に排出される。さらに、気体が流出するときには、細かいメッシュのフィルタを通る気体が少ないので、細かいメッシュのフィルタの内側にゴミが捕捉されることが少なくなり、よって、細かいメッシュのフィルタに捕捉されて、気体流入の際に再びレチクル収納容器に戻るごみの量を少なくすることができる。又、レチクル収納容器から気体を排出するのに要する時間を短縮することも可能となる。

前記課題を解決するための第８の手段は、前記第２の手段であるレチクル収納容器を収容し、それ自身内部と前記レチクル収納容器内部の圧力を、大気圧から真空状態まで下げたり、真空状態から大気圧まで上げたりする収容室であって、前記圧力を大気圧から真空状態まで下げるときは、前記フィルタのうち前記第１群のフィルタの気体の流通を遮断し、前記圧力を真空状態から大気圧まで上げるときは、前記フィルタのうち、前記第２群のフィルタの気体の流通を遮断する気体流通遮断機構を有することを特徴とするものである。

本手段においては、前記第７の手段に加え、レチクル収納容器内から気体が流出するときは細かいメッシュのフィルタを遮断して、粗いメッシュのフィルタのみから気体が流出するようにしている。よって、レチクル収納容器内への気体の流入は細かいメッシュのフィルタを通して、レチクル収納容器からの気体の排出は粗いメッシュのフィルタを通して行われることになるので、フィルタに捕捉されたゴミがレチクル収納容器内に戻る可能性が少なくなると共に、小さなゴミのレチクル収納容器内への侵入を防止しながら、レチクル収納容器からの排出を容易にすることができる。

前記課題を解決するための第９の手段は、前記第３の手段であるレチクル収納容器を収容し、それ自身内部と前記レチクル収納容器内部の圧力を、大気圧から真空状態まで下げたり、真空状態から大気圧まで上げたりする収容室であって、前記圧力を真空状態から大気圧まで上げるときは、前記フィルタのうちメッシュの粗い部分の気体の流通を遮断する気体流通遮断機構を有することを特徴とするものである。

本手段においては、レチクル収納容器に気体が流入するときはフィルタのうち粗いメッシュの部分の気体の流通を遮断するようにしているので、気体はフィルタの細かいメッシュの部分を通して流入し、細かなゴミがレチクル収納容器内に入り込むのを防止することができる。一方、レチクル収納容器から気体が流出するときはこのようなことを行わないので、気体は主として粗いメッシュのフィルタを通って流出することができ、レチクル収納容器内の細かなゴミが外部に排出される。又、レチクル収納容器から気体を排出するのに要する時間を短縮することも可能となる。さらに、気体が流出するときには、細かいメッシュのフィルタを通る気体が少ないので、細かいメッシュのフィルタの内側にゴミが捕捉されることが少なくなり、よって、細かいメッシュのフィルタに捕捉されて、気体流入の際に再びレチクル収納容器に戻るごみの量を少なくすることができる。

前記課題を解決するための第１０の手段は、前記第３の手段であるレチクル収納容器を収容し、それ自身内部と前記レチクル収納容器内部の圧力を、大気圧から真空状態まで下げたり、真空状態から大気圧まで上げたりする収容室であって、前記圧力を真空状態から大気圧まで上げるときは、前記フィルタのうちメッシュの粗い部分の気体の流通を遮断し、前記圧力を大気圧から真空状態まで下げるときは、前記フィルタのうちメッシュの細かい部分の気体の流通を遮断する気体流通遮断機構を有することを特徴とするものである。

本手段においては、前記第９の手段に加え、レチクル収納容器内から気体が流出するときはフィルタの細かいメッシュの部分を遮断して、フィルタの粗いメッシュの部分のみから気体が流出するようにしている。よって、レチクル収納容器内への気体の流入は、フィルタの細かいメッシュの部分を通して、レチクル収納容器からの気体の排出は、フィルタの粗いメッシュの部分を通して行われることになるので、フィルタに捕捉されたゴミがレチクル収納容器内に戻る可能性が少なくなると共に、小さなゴミのレチクル収納容器内への侵入を防止しながら、レチクル収納容器からの排出を容易にすることができる。

前記課題を解決するための第１１の手段は、前記第４の手段であるレチクル収納容器を収容し、それ自身内部と前記レチクル収納容器内部の圧力を、大気圧から真空状態まで下げたり、真空状態から大気圧まで上げたりする収容室であって、前記圧力を大気圧から真空状態まで下げるときに、前記蓋を外して前記開口を通しての気体の流通を可能にする蓋着脱機構を有することを特徴とするものである。

本手段においては、レチクル収納容器から気体が流出するときに開口を覆う蓋を外すようにしているので、気体は殆どフィルタを通らず開口を通って流出し、レチクル収納容器内のゴミが外部に排出されやすくなる。一方、レチクル収納容器に気体が流入するときには、開口が蓋で覆われているので、気体はフィルタを通って流入し、ゴミの浸入が防止される。又、レチクル収納容器から気体を排出するのに要する時間を短縮することも可能となる。さらに、気体が流出するときには、フィルタを通る気体がほとんど無いので、フィルタの内側にゴミが捕捉されることが少なくなり、よって、フィルタに捕捉されて、気体流入の際に再びレチクル収納容器に戻るごみの量を少なくすることができる。

なお、これら第５の手段から第１１の手段である収納室は、前記第１の手段から第４の手段であるレチクル収納容器を専属的に扱うものに限らず、従来のレチクル収納容器やその他の収納容器をも併せて扱うことができるものであってもよいことは言うまでもない。

前記課題を解決するための第１２の手段は、レチクルを、真空環境下に置かれた設備と大気環境下の間で搬送するレチクル搬送設備であって、前記第５の手段から第１１の手段のうちいずれかの収納室を有することを特徴とするものである。

本手段においては、レチクル収納容器内にゴミが少ない状態で、レチクルを搬送することができる。

前記課題を解決するための第１２の手段は、前記第１２の手段であるレチクル搬送設備と、前記レチクル搬送設備から搬送されたレチクルを設置するレチクルステージと、前記レチクルのパターンを感応基板に投影する投影光学系を備えたことを特徴とする露光装置である。

本手段においては、レチクル表面に付着するゴミが少ない状態で、露光を行うことができる。

本発明によれば、フィルタに捕らえられたレチクル収納容器内のゴミが、再びレチクル収納容器内に戻る可能性が少ないレチクル収納容器、及びこのレチクル収納容器を取り扱う収納室、さらにはこの収納室を有するレチクル搬送設備を提供することができる。

以下、本発明の実施の形態の例を、図を用いて説明する。図１は、本発明の実施の形態であるレチクル収納容器の第１の例を示す概要図である。通常クリーンフィルタポッド（ＣＦＰ）と呼ばれるレチクル収納容器１は、上蓋１ａと下蓋１ｂとからなり、下蓋１ｂの上にレチクル２を載置した状態で上蓋１ａを下蓋１ｂに被せ、レチクル２をレチクル収納容器１内に格納する。なお、下蓋１ｂには、２つの対となった位置決めピン１ｃが四隅にそれぞれ設けられており、この位置決めピン１ｃにより、レチクル２を保持する際にレチクル２の平面方向の位置決めを行う。また、３箇所にレチクル保持用突起１ｄが設けられており、このレチクル保持用突起１ｄにより、レチクル２を３点支持するようになっている。

上蓋１ａには、２つのフィルタ１ｅ、１ｆが設けられ、フィルタ１ｅ、１ｆを通して気体がレチクル収納容器１の内部と外部の間を流通可能となっている。

図２は、このようなレチクル収納容器１を、本発明の実施の形態の第１の例であるロードロック室と呼ばれる収納室に収納した状態を示す概念図である。なお、以下の図において、本欄における前出の図に示された構成要素と同じ構成要素には、同じ符号を付してその説明を省略することがある。

ロードロック室３には、Ｎ_２ラインより窒素を導入するための遮断弁４と、ロードロック室３内の気体を排出して、ロードロック室３内を高度の真空状態にするための真空ポンプ５が付属している。なお、ロードロック室３には、図示しない２つの扉が設けられており、ロードロック室３は、第１の扉を介して大気環境下につながり、第２の扉を通して高度の真空環境下につながっている。

レチクル収納容器１を大気環境下から真空環境下に移送する場合には、第１の扉を開けてレチクル収納容器１をロードロック室３内に搬入し、その後第１の扉を閉じて、真空ポンプ５によりロードロック室３内の気体を排気する。ロードロック室３内が高度の真空状態となったとき、第２の扉を開けて、レチクル収納容器１を真空環境下に移送する。逆に、レチクル収納容器１を真空環境下から大気環境下に移送する場合には、第２の扉を開けてレチクル収納容器１をロードロック室３内に搬入し、その後第２の扉を閉じて、遮断弁４を開とし、窒素をロードロック室３内に導入する。ロードロック室３内が大気圧となったとき、第１の扉を開けて、レチクル収納容器１を大気環境下に移送する。

ロードロック室３には、フィルタ遮蔽装置６ａが設けられており、駆動装置７ａにより上下駆動され、フィルタ遮蔽装置６ａが下に下がったとき、フィルタ１ｆを遮蔽して気体の流通を遮断するようになっている。フィルタ１ｅとフィルタ１ｆのメッシュが実質的に同一とみなせる場合には、ロードロック室３内の圧力を真空状態から大気圧とするときのみにフィルタ遮蔽装置６ａによりフィルタ１ｆを遮蔽する。このとき、ロードロック室３内の気体がレチクル収納容器１の内部に流入するが、その気体はフィルタ１ｅのみを通って流れることになり、フィルタ１ｆには流れない。よって、それ以前にフィルタ１ｆに捕捉されたゴミがフィルタ１ｆから離れて再びレチクル収納容器１内に戻ることがなくなる。ロードロック室３内の圧力を大気圧から真空状態とするときには、フィルタ遮蔽装置６ａによりフィルタ１ｆは遮蔽されないので、レチクル収納容器１内の気体はフィルタ１ｆを通ってロードロック室３内に排出される。なお、フィルタ１ｅの作用は従来のフィルタ５１ｅと同じである。

フィルタ１ｅのメッシュとフィルタ１ｆのメッシュを実質的に変える場合には、フィルタ１ｆのメッシュをフィルタ１ｅのメッシュより粗くしておく、そして、ロードロック室３内の圧力を真空状態から大気圧とするときのみにフィルタ遮蔽装置６ａによりフィルタ１ｆを遮蔽する。このとき、ロードロック室３内の気体がレチクル収納容器１の内部に流入するが、その気体はメッシュの細かいフィルタ１ｅのみを通って流れることになり、メッシュの粗いフィルタ１ｆを通っては流れないので、小さなゴミのレチクル収納容器１内への浸入を防止することができる。又、それ以前にフィルタ１ｆで捕捉されたゴミがレチクル収納容器１内に戻ることを防止することができる。

一方、ロードロック室３内の圧力を大気圧から真空状態とするときには、フィルタ１ｆは遮蔽されていないので、レチクル収納容器１内の気体はフィルタ１ｅとフィルタ１ｆを通して排出されるが、その多くはメッシュの粗いフィルタ１ｆを通して流れるので、レチクル収納容器１内の小さなゴミをレチクル収納容器１の外に排出しやすい。又、フィルタ１ｅを通して流れる気体が少ないので、フィルタ１ｅの内側で捕捉されるゴミを少なくすることができ、フィルタ１ｅの内側で捕捉され、ロードロック室３内の圧力を大気圧から真空状態とするときに、気体の流入に伴ってレチクル収納容器１内に戻るごみの量を少なくすることができる。

図３は、本発明の第１の実施の形態であるレチクル収納容器１を、本発明の実施の形態の第２の例であるロードロック室に収納した状態を示す概念図である。図３に示すロードロック室３は、図２に示すものとは、フィルタ遮蔽装置６ａと同様なフィルタ遮蔽装置６ｂが設けられており、駆動装置７ａと同様な駆動装置７ｂにより上下駆動され、フィルタ遮蔽装置６ｂが下に下がったとき、フィルタ１ｅを遮蔽して気体の流通を遮断するようになっているところのみが異なっている。

そして、フィルタ１ｅとフィルタ１ｆのメッシュが実質的に同一とみなせる場合には、ロードロック室３内の圧力を真空状態から大気圧とするときのみにフィルタ遮蔽装置６ａによりフィルタ１ｆを遮蔽し、ロードロック室３内の圧力を大気圧から真空状態とするときのみにフィルタ遮蔽装置６ｂによりフィルタ１ｅを遮蔽する。このようにすることにより、フィルタ１ｅはレチクル収納容器１への流入気体専用のフィルタとして働き、フィルタ１ｆはレチクル収納容器１からの流出気体専用のフィルタとして働く。従って、レチクル収納容器１から流出する気体に含まれるゴミはフィルタ１ｆにより捕捉されるが、気体はフィルタ１ｆを通しては流入しないので、フィルタ１ｆにより捕捉されたゴミが、再びレチクル収納容器１内に戻ることを防止することができる。さらに、フィルタ１ｅからは気体が流出しないので、フィルタ１ｅの内側にゴミが捕捉されることが無く、よって、フィルタ１ｅを通して気体が流入するときに、フィルタ１ｅに捕捉されたゴミが再びレチクル収納容器１内に戻ることを防止できる。

上記のような作用に鑑み、フィルタ１ｅとフィルタ１ｆのメッシュが実質的に異なるときは、フィルタ１ｆのメッシュをフィルタ１ｅのメッシュより粗くしておくようにする。このようにすると、小さなゴミはレチクル収納容器１内に入りにくくなり、かつ、レチクル収納容器１からは排出されやすくなる。又、レチクル収納容器から気体を排出するのに要する時間を短縮することも可能となる。

なお、上記第１と第２の実施の形態においては、フィルタとしてはフィルタ１ｅとフィルタ１ｆの２個を設けたが、フィルタ１ｅとフィルタ１ｆの少なくとも一方を複数のフィルタの集合体としても同様の作用を行わせることができることは言うまでもない。この場合にはフィルタは３個以上となる。フィルタ遮蔽装置と駆動装置は、個々のフィルタに対して１個ずつ設けてもよいし、複数のフィルタに対して１個としてもよい。その他、いろいろの組み合わせができるが、フィルタ１ｅの作用を行わせるフィルタに対してフィルタ遮蔽装置６ｂと同じ動作、フィルタ１ｆの作用を行わせるフィルタに対してフィルタ遮蔽装置６ａと同じ動作をさせるようにすればよい。

なお、以上の実施の形態においては、フィルタ１ｅとフィルタ１ｆを全く別のフィルタとしているが、一つのフィルタの中央部に気体の流通しない部分を設けその両側を実質的に別のフィルタとして使用しても、同様の作用効果が得られることはいうまでもなく、このようなものは、２つのフィルタであるとみなすことができる。同様、一つのフィルタに気体の流通しない部分を設け、気体の流通する３つ以上の場所を有するようにしたものも、３つ以上のフィルタとみなすことができる。

図４は、本発明の実施の形態の第２の例であるレチクル収納容器１を、本発明の実施の形態の第３の例であるロードロック室に収納した状態を示す概念図である。このレチクル収納容器１は、図１、図２、図３に示したものとは、フィルタ１ｆの代わりに開口１ｇが設けられ、この開口１ｇを塞ぐように蓋８が設けられている点が異なっている。そしてこの蓋８は、上蓋１ａに設けられた支柱９に取り付けられたバネ１０により、下側に付勢されている。よって、通常の状態では、開口１ｇは蓋８により塞がれた状態となっている。

一方、図４に示すロードロック室３には、フィルタ遮蔽装置６ａの代わりに摘み機構１１が設けられ、駆動装置７ａの代わりに駆動装置１２が設けられている点が図１に示すものと異なっている。摘み機構１１は駆動装置１２により駆動されて上下すると共に、蓋８に設けられた凹部を挟み込み、バネ１０の付勢力に抗して蓋８を上に持ち上げる作用を奏する。蓋８が摘み機構１１により持ち上げられると、開口１ｇが開いた状態となり、開口１ｇを通した気体の流通が可能となる。

ロードロック室３内の圧力を真空状態から大気圧とするときは、蓋８により開口１ｇを塞いだままにしておく。このとき、ロードロック室３内の気体がレチクル収納容器１の内部に流入するが、その気体はフィルタ１ｅを通って流れる。よって、レチクル収納容器１内へのゴミの浸入を防止することができる。一方、ロードロック室３内の圧力を大気圧から真空状態とするときには、摘み機構１１により蓋８を持ち上げ、開口１ｇが開いた状態とする。すると、レチクル収納容器１内の気体は、ほぼ全部が開口１ｇを通して排出される。従って、レチクル収納容器１内の小さなゴミのみからず大きなゴミもレチクル収納容器１外に排出することができる。

なお、図４に示す構成に加え、図３に示すようにフィルタ１ｅを遮蔽するフィルタ遮蔽装置６ｂ、駆動装置７ｂを設け、ロードロック室３内の圧力を大気圧から真空状態とするときにフィルタ１ｅを遮蔽するようにしてもよいが、図４に示す構成の場合は、このようなことをしなくてもフィルタ１ｅを通して流出する気体はほとんどないので、通常このようなことは必要ではない。勿論、本発明の範囲は、このようなものをも含むものである。

図５は、本発明の実施の形態の第３の例であるレチクル収納容器１を、本発明の実施の形態の第４の例であるロードロック室に収納した状態を示す概念図である。図１に示すレチクル収納容器１においては、一つのフィルタ１ｈが設けられているのみであるが、フィルタ１ｈがメッシュの異なる２つのフィルタ部分１ｈ１と１ｈ２とに別れ、フィルタ部分１ｈ１におけるメッシュよりも、フィルタ部分１ｈ２におけるメッシュが粗くなっている。ロードロック室３の構造は、図３に示したものと実質的に同じであり、フィルタ遮蔽装置６ａが駆動装置７ａに駆動されて上下運動を行い、フィルタ部分１ｈ２を通過する気体を遮断するように構成されていると共に、フィルタ遮蔽装置６ｂが駆動装置７ｂに駆動されて上下運動を行い、フィルタ部分１ｈ１を通過する気体を遮断するように構成されている。

ロードロック室３内の圧力を真空状態から大気圧とするときのみにフィルタ遮蔽装置６ａによりフィルタ部分１ｈ２を遮蔽し、ロードロック室３内の圧力を大気圧から真空状態とするときのみにフィルタ遮蔽装置６ｂによりフィルタ部分１ｈ１を遮蔽する。このようにすることにより、フィルタ部分１ｈ１はレチクル収納容器１への流入気体専用のフィルタとして働き、フィルタ部分１ｈ２はレチクル収納容器１からの流出気体専用のフィルタとして働く。従って、レチクル収納容器１から流出する気体に含まれるゴミはフィルタ部分１ｈ２により捕捉されるが、気体はフィルタ部分１ｈ２を通しては流入しないので、フィルタ部分１ｈ２により捕捉されたゴミが、再びレチクル収納容器１内に戻ることを、防止することができる。又、フィルタ部分１ｈ１のメッシュが細かくフィルタ部分１ｈ２のメッシュが粗くされているので、小さなゴミはレチクル収納容器１内に入りにくくなり、かつ、レチクル収納容器１からは排出されやすくなる。

なお、図５に示すロードロック室３の構成からフィルタ遮蔽装置６ｂと駆動装置７ｂを取り外せば、実質的に図２に示した実施の形態と同様の作用を行わせることができ、同様の効果が得られることは説明を要しないであろう。

さらに、図５に示す例において、フィルタ１ｈをメッシュの異なる部分に区分せず、１枚のフィルタとすれば、レチクル収納容器１自身は従来公知のものと同様のものとなる。しかし、フィルタ遮蔽装置６ａとフィルタ遮蔽装置６ｂに図５の説明において行ったと同様の作用をさせることにより、フィルタ１ｈのフィルタ遮蔽装置６ｂによって遮蔽される部分をレチクル収納容器１への気体流入専用のフィルタ、フィルタ１ｈのフィルタ遮蔽装置６ａによって遮蔽される部分をレチクル収納容器１からの気体流出専用のフィルタとして使用することができる。よって、レチクル収納容器１からの気体の流出時にフィルタ１ｈによって捕捉されたゴミが、再びレチクル収納容器１内に戻ることを防止できる。

図６に、本発明の実施の形態の１例であるレチクル搬送装置の例を示す。レチクル収納容器１に収納されたレチクル２は、大気ロボット１３によりロードロック室３内に搬送される。その際、ロードロック室３の扉３ａを開放してレチクル収納容器１を受け入れ、その後、扉３ａを閉じて、ロードロック室３内を真空状態にする。ロードロック室３内が真空状態となったところで扉３ｂを開放し、真空雰囲気化に設置された真空ロボット１４により、レチクル収納容器１を露光装置１５内のレチクルステージ１５ａ上に搬送する。露光装置１５、レチクルステージ１５ａは真空雰囲気化に設置されている。レチクルステージ１５ａ上において、レチクル２はレチクル収納容器１から取り出されて使用されるが、この部分は本発明と直接の関係がないので説明を省略する。

レチクルステージ１５ａからレチクル２を収納したレチクル収納容器１を外部に取り出す場合には、扉３ｂを開放し、真空ロボット１４によりレチクルステージ１５ａ上のレチクル２をロードロック室３内に搬送して扉３ｂを閉じる。そして、ロードロック室３内に窒素を導入し、ロードロック室３内の圧力を大気圧まで上げる。ロードロック室３内の圧力が大気圧となったところで扉３ａを開放し、大気ロボット１３によりレチクル２を大気圧雰囲気中に取り出す。

この実施の形態においては、ロードロック室３として本発明の収納室を使用し、本発明のレチクル収納容器を取り扱って、前述のような作用効果を奏することができるようにしている。よって、レチクル収納容器１内のゴミを少なくした状態でレチクル収納容器１とレチクル２を搬送可能である。

この例においては、レチクル２を収納したレチクル収納容器１を露光装置１５に搬送しているが、レチクル２を収納したレチクル収納容器１を、真空雰囲気化にあるレチクル検査装置等の設備に搬送する場合にも同様な搬送装置を使用することができる。

本発明の実施の形態であるレチクル収納容器の第１の例を示す概要図である。本発明の実施の形態であるレチクル収納容器を、本発明の実施の形態である収納室に収納した状態を示す概念図である。本発明の実施の形態であるレチクル収納容器を、本発明の実施の形態であるロードロック室に収納した状態を示す概念図である。本発明の実施の形態であるレチクル収納容器を、本発明の実施の形態であるロードロック室に収納した状態を示す概念図である。本発明の実施の形態であるレチクル収納容器１を、本発明の実施の形態であるロードロック室に収納した状態を示す概念図である。本発明の実施の形態の１例であるレチクル搬送装置の例を示す図である。従来のレチクル収納容器の例を示す図である。

符号の説明

１…レチクル収納容器、１ａ…上蓋、１ｂ…下蓋、１ｃ…位置決めピン、１ｄ…レチクル保持用突起、１ｅ…フィルタ、１ｆ…フィルタ、１ｇ…開口、１ｈ…フィルタ、１ｈ１…フィルタ部分、１ｈ２…フィルタ部分、２…レチクル、３…ロードロック室、３ａ…扉、３ｂ…扉、４…遮断弁、５…真空ポンプ、６ａ…フィルタ遮蔽装置、６ｂ…フィルタ遮蔽装置、７ａ…駆動装置、７ｂ…駆動装置、８…蓋、９…支柱、１０…バネ、１１…摘み機構、１２…駆動装置、１３…大気ロボット、１４…真空ロボット、１５…露光装置、１５ａ…レチクルステージ

Claims

レチクルを収納して大気環境と真空環境の間を移動するレチクル収納容器であって、当該容器を通過する気体を濾過するフィルタを複数有することを特徴とするレチクル収納容器。
請求項１に記載のレチクル収納容器であって、前記フィルタが、第１のメッシュを有する第１群のフィルタと、前記第１のメッシュより粗い第２のメッシュを有する第２群のフィルタからなることを特徴とするレチクル収納容器。
レチクルを収納して大気環境と真空環境の間を移動するレチクル収納容器であって、当該容器を通過する気体を濾過するフィルタを有し、一つのフィルタの一部と他の部分とのメッシュ粗さが異なることを特徴とするレチクル収納容器。
レチクルを収納して大気環境と真空環境の間を移動するレチクル収納容器であって、当該容器を通過する気体を濾過するフィルタと、開口を有し、前記開口には、着脱が可能な蓋を有することを特徴とするレチクル収納容器。
請求項１に記載のレチクル収納容器を収容し、それ自身内部と前記レチクル収納容器内部の圧力を、大気圧から真空状態まで下げたり、真空状態から大気圧まで上げたりする収容室であって、前記圧力を真空状態から大気圧まで上げるときに、前記フィルタのうち、所定のものの気体の流通を遮断する気体流通遮断機構を有することを特徴とする収容室。
請求項１に記載のレチクル収納容器を収容し、それ自身内部と前記レチクル収納容器内部の圧力を、大気圧から真空状態まで下げたり、真空状態から大気圧まで上げたりする収容室であって、前記圧力を大気圧から真空状態まで下げるときは、前記フィルタのうち、所定のものの気体の流通を遮断し、前記圧力を真空状態から大気圧まで上げるときは、前記フィルタの前記所定のもの以外の気体の流通を遮断する気体流通遮断機構を有することを特徴とする収容室。
請求項２に記載のレチクル収納容器を収容し、それ自身内部と前記レチクル収納容器内部の圧力を、大気圧から真空状態まで下げたり、真空状態から大気圧まで上げたりする収容室であって、前記圧力を真空状態から大気圧まで上げるときは、前記フィルタのうち前記第２群のフィルタの気体の流通を遮断する気体流通遮断機構を有することを特徴とする収容室。
請求項２に記載のレチクル収納容器を収容し、それ自身内部と前記レチクル収納容器内部の圧力を、大気圧から真空状態まで下げたり、真空状態から大気圧まで上げたりする収容室であって、前記圧力を大気圧から真空状態まで下げるときは、前記フィルタのうち前記第１群のフィルタの気体の流通を遮断し、前記圧力を真空状態から大気圧まで上げるときは、前記フィルタのうち、前記第２群のフィルタの気体の流通を遮断する気体流通遮断機構を有することを特徴とする収容室。
請求項３に記載のレチクル収納容器を収容し、それ自身内部と前記レチクル収納容器内部の圧力を、大気圧から真空状態まで下げたり、真空状態から大気圧まで上げたりする収容室であって、前記圧力を真空状態から大気圧まで上げるときは、前記フィルタのうちメッシュの粗い部分の気体の流通を遮断する気体流通遮断機構を有することを特徴とする収容室。
請求項３に記載のレチクル収納容器を収容し、それ自身内部と前記レチクル収納容器内部の圧力を、大気圧から真空状態まで下げたり、真空状態から大気圧まで上げたりする収容室であって、前記圧力を真空状態から大気圧まで上げるときは、前記フィルタのうちメッシュの粗い部分の気体の流通を遮断し、前記圧力を大気圧から真空状態まで下げるときは、前記フィルタのうちメッシュの細かい部分の気体の流通を遮断する気体流通遮断機構を有することを特徴とする収容室。
請求項４に記載のレチクル収納容器を収容し、それ自身内部と前記レチクル収納容器内部の圧力を、大気圧から真空状態まで下げたり、真空状態から大気圧まで上げたりする収容室であって、前記圧力を大気圧から真空状態まで下げるときに、前記蓋を外して前記開口を通しての気体の流通を可能にする蓋着脱機構を有することを特徴とする収容室。
レチクルを、真空環境下に置かれた設備と大気環境下の間で搬送するレチクル搬送設備であって、請求項５から請求項１１のうちいずれか１項に記載の収納室を有することを特徴とするレチクル搬送設備。
請求項１２に記載のレチクル搬送設備と、前記レチクル搬送設備から搬送されたレチクルを設置するレチクルステージと、前記レチクルのパターンを感応基板に投影する投影光学系を備えたことを特徴とする露光装置。