TWM583619U - 運載裝置 - Google Patents

Abstract

一種運載裝置適於容納至少一物件。運載裝置包括一盒體、一抬升件以及至少一夾持件。盒體的至少一側壁具有至少一用以容納物件的至少一邊緣的第一溝槽，第一溝槽具有一支撐部。抬升件可動地配置於盒體。夾持件可動地配置於盒體並與抬升件連接，且夾持件具有一夾固部。當抬升件被往上抬升以帶動盒體上升時，抬升件帶動夾持件從一第一位置移至一第二位置。其中，當夾持件在第二位置時，夾持件之夾固部與第一溝槽的支撐部間之距離係小於夾持件在第一位置時夾持件之夾固部與第一溝槽的支撐部間之距離。

Description

運載裝置

本新型創作是有關於一種運載裝置，且特別是有關於一種用以運載需要穩定度高的片狀物件的運載裝置。

在半導體產業或光電產業的蓬勃發展下，越來越多半導體元件或光電元件需要運載裝置，以在廠區內運送這些半導體元件或光電元件。由於像是晶圓、晶片、光罩或是玻璃基板等這些物件幾乎都是片狀的易碎物件，在運載的過程中必須穩固，以避免其受到大幅的搖晃或碰撞而產生碎裂或損傷。特別是積體電路(Integrated Circuit,IC)晶片，通常是先排列成陣列地放置在承載盤(tray)中，然後再將數個承載盤放入一積體電路承載盤卡匣(IC Tray Cassette)或是一彈匣(magazine)內後，在廠區內各工段之間進行傳輸。由於這些晶片在承載盤中時，通常並未進行固定，而傳輸系統在傳輸承載盤卡匣或彈匣的過程中難免會有些搖晃或震動。這些搖晃或震動對於質量較大的承載盤卡匣或彈匣而言或許不致造成太大的影響，但對其中所承載這些質量遠小於承載盤卡匣或彈匣的晶片來說，只要些微的晃動或震動就可能造成 個別晶片由置放位置上跳脫甚或掉落，並且因而造成損傷。因此必須在傳輸過程中設法提供對於搖晃或震動所產生之作用力的緩衝，以避免晶片等物件受到損傷。

另一方面，像是晶圓、光罩等容易因為微粒汙染而影響品質的物品，還需要避免在運送過程中附著灰塵，因此也不能使用紙類或泡棉類等容易產生細屑的材料來作緩衝。

本新型創作的運載裝置適於容納至少一物件。運載裝置包括一盒體、一抬升件以及至少一夾持件。盒體的至少一側壁具有至少一用以容納物件的至少一邊緣的第一溝槽。抬升件可動地配置於盒體。夾持件可動地配置於盒體並與抬升件連接。當抬升件被往上抬升以帶動盒體上升時，抬升件帶動夾持件從一第一位置移至一第二位置。其中，當夾持件在第二位置時，夾持件與第一溝槽的一支撐部之間之距離係小於夾持件在第一位置時夾持件與第一溝槽的該支撐部之間之距離。

在本新型創作的一實施例中，上述的夾持件由第一位置移動至第二位置之距離恰等於物件之邊緣的厚度。

在本新型創作的一實施例中，還包括至少一連桿，其中連桿具有一第一抵接部、一第二抵接部及一樞接部，第一抵接部可轉動地抵靠或樞接於抬升件，第二抵接部可轉動地抵靠或樞接於夾持件，樞接部位於第一抵接部與第二抵接部之間且樞接於盒 體。

在本新型創作的一實施例中，上述的第一抵接部繞著一第一轉動軸線可轉動地抵靠於抬升件，第一轉動軸線平行於第二抵接部的一第二轉動軸線且平行於樞接部的一樞接軸線。

在本新型創作的一實施例中，上述的第一溝槽係沿一第一方向延伸於盒體之側壁內側，且第一轉動軸線平行於第一方向。

在本新型創作的一實施例中，上述的抬升件具有至少一凹槽，第一抵接部可轉動地抵靠於凹槽。

在本新型創作的一實施例中，上述的夾持件連接有一用以使夾持件在未受到連桿之第二抵接部抵壓時可復位至第二位置的復位元件。

在本新型創作的一實施例中，上述的盒體具有至少一滑柱，抬升件的一滑設部具有至少一滑孔並藉由滑孔而滑設於滑柱。

在本新型創作的一實施例中，上述的滑柱頂端具有一限制滑設部的滑動範圍的止擋部。

在本新型創作的一實施例中，上述的盒體的側壁具有至少一開槽。夾持件滑設於開槽。

在本新型創作的一實施例中，上述的夾持件具有至少一第二溝槽，當夾持件位於第一位置時，第一溝槽的支撐部與第二溝槽的一夾固部間的距離係小於當夾持件位於第二位置時，支撐部與夾固部間的距離。

在本新型創作的一實施例中，上述的夾持件位於第一位 置時，支撐部與夾固部間的距離恰等於物件之邊緣的厚度。

在本新型創作的一實施例中，上述的夾持件位於第二位置時，第二溝槽的底緣係與對應之第一溝槽的底緣位於相同高度處。

在本新型創作的一實施例中，上述的第一溝槽係沿一第一方向延伸，夾持件適於沿垂直於第一方向的一第二方向移動。

基於上述，在本新型創作的運載裝置中，在盒體設置了抬升件以及與抬升件連接並可受其驅動的夾持件，故當傳輸系統抓住承載有物件的運載裝置之抬升件而將運載裝置吊起並進行傳輸時，夾持件可隨著抬升件的上升而被帶動，使得位於運載裝置的第一溝槽與第二溝槽內之物件的邊緣被夾持在側壁上的第一溝槽的支撐部與夾持件上的第二溝槽的夾固部之間，以達到固定物件的效果。因此，運載裝置在運載及傳輸的過程中，能利用夾持件的夾固部與第一溝槽的支撐部共同夾持並固定物件，以降低運載裝置所受到的搖晃及震動等外力作用對其所承載的物件造成的影響，從而避免物件於運載裝置內因為過度晃動或震動而受到撞擊、由放置位置脫落，並且因此而受損。

為讓本新型創作的上述特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉實施例，並配合所附圖式作詳細說明如下。

10‧‧‧運載裝置

20‧‧‧物件

21‧‧‧邊緣

100‧‧‧盒體

110‧‧‧側壁

111‧‧‧第一溝槽

111a‧‧‧支撐部

112‧‧‧開槽

120‧‧‧頂壁

130‧‧‧底壁

140‧‧‧滑柱

142‧‧‧止擋部

200‧‧‧夾持件

210‧‧‧第二溝槽

210a‧‧‧夾固部

300‧‧‧抬升件

320‧‧‧凹槽

340‧‧‧滑設部

340a‧‧‧滑孔

400‧‧‧連桿

410‧‧‧第一抵接部

420‧‧‧第二抵接部

430‧‧‧樞接部

A‧‧‧容納空間

A1‧‧‧第一轉動軸線

A2‧‧‧第二轉動軸線

A3‧‧‧樞接軸線

N1‧‧‧第一方向

N2‧‧‧第二方向

圖1是本新型創作一實施例的運載裝置的立體圖。

圖2是圖1的運載裝置的剖視圖。

圖3是圖2的運載裝置的夾持件夾持物件時的局部放大圖。

圖4是圖2的運載裝置的夾持件未夾持物件時的局部放大圖。

圖1是本新型創作一實施例的運載裝置的立體圖。圖2是圖1的運載裝置的剖視圖。請參考圖1及圖2，本實施例的運載裝置10包括一盒體100、至少一夾持件200以及一抬升件300，運載裝置10適於容納至少一物件20。

在本實施例之圖式中，物件20繪示的數量為一個，但在其他實施例中，物件20的數量也可以為多個且多個物件20彼此疊設。物件20為承載件，例如是晶圓框架、或晶片載盤等，或者也可以是晶圓、光罩、玻璃基板或其他易碎物件本身，本新型創作不對此加以限制。

盒體100包括一頂壁120、連接於頂壁120且彼此相對的兩側壁110以及連接於兩側壁110且與頂壁120相對的一底壁130。頂壁120、兩側壁110以及底壁130共同定義出容納空間A，以容納物件20。

盒體100的兩側壁110內側各自具有多個用以容納物件20的邊緣21的第一溝槽111。兩側壁110上的第一溝槽111彼此相互對應，且各第一溝槽111與底壁130平行設置。也就是說， 物件20的邊緣21適於伸入多個第一溝槽111的其中兩相對應的第一溝槽111。

每一第一溝槽111具有一支撐部111a。支撐部111a即為運載裝置10用以容納物件20的邊緣21之第一溝槽111底部的上表面。當物件20被容置在運載裝置10內的時候，物件20的邊緣21就是被支撐在支撐部111a上的。

抬升件300可移動地配置於盒體100的頂壁120上。夾持件200的數量繪示為二個，但不以此為限。兩夾持件200可移動地配置於盒體100的左右兩側，並分別藉由一連桿400與抬升件300連接。

圖3是圖2的運載裝置的夾持件夾持物件時的局部放大圖。圖4是圖2的運載裝置的夾持件未夾持物件時的局部放大圖。

請參考圖3及圖4，夾持件200在如圖3所示的第一位置與在如圖4所示的第二位置間移動。當夾持件200在如圖3所示的第一位置時，夾持件200與第一溝槽111的支撐部111a之間之距離係小於夾持件200在如圖4所示的第二位置時，夾持件200與第一溝槽111的支撐部111a之間之距離。

進一步而言，在本實施例中，當抬升件300被往上抬升時，盒體100先會因為受到重力的作用而留在原來的位置，直到抬升件300達到其在盒體100上方活動範圍的頂端而無法再相對於盒體100向上移動之後，盒體100才會開始被抬升件300帶動上升。

在抬升件300被往上抬升，而盒體100因為重力的作用而尚未隨抬升件300上升的這個階段，夾持件200被抬升件300帶動而移動至圖3所示的第一位置而使物件20的邊緣21被夾持於夾持件200與第一溝槽111的支撐部111a之間。

而當運載動作完成，運載裝置10被降下至一置放位置(未繪示)上後，首先運載系統的抓取裝置會繼續下降以使抬升件300下降至其活動範圍的最底端而不再被抬升。在這個過程中，夾持件200適於隨著抬升件300的下降而移動至圖4所示的第二位置以分離於物件20的邊緣21。

夾持件200之材質可有許多不同的選擇，例如是金屬、塑膠或其它材質等，只要能夠穩定地夾取物件20，且具有足夠的摩擦力以防止物件20滑動即可。當然，如果考慮到半導體或光電等高科技廠房對於潔淨度方面的要求，則其材質若是能採用具有耐磨耗、不易產生微粒污染特性者更佳。

在上述配置方式之下，當被承載的物件20的邊緣21位於第一溝槽111內時，夾持件200隨著抬升件300上升而被帶動，使物件20的邊緣21被夾持在夾持件200與第一溝槽111的支撐部111a之間，以達到定位及穩固物件20的效果。

因此，運載裝置10在運載過程中，能利用夾持件200與第一溝槽111的支撐部111a固定物件20，以吸收或降低運載裝置10所受到的外力作用，從而避免物件20於運載裝置10內產生過度的晃動或震動並因此受到撞擊或是由放置位置脫落。

如圖1及圖2所示，第一溝槽111係沿第一方向N1延伸於盒體100之側壁110內側。物件20適於沿第一方向N1進出盒體100的容納空間A。兩夾持件200則適於沿垂直於第一方向N1的一第二方向N2移動而抵接物件20的邊緣21，其中第二方向N2與側壁110相互平行。

側壁110具有對應於兩夾持件200的至少一開槽112，本實施例所示範者為左右側各有一個。各夾持件200滑設於對應的開槽112中，且兩開槽112與兩夾持件200皆對稱地設置於盒體100的兩側。從而，兩夾持件200能夠平均地定位於物件20的邊緣21上對稱的兩側。在其他實施例中，開槽112可為其他適當形式的設計，本新型創作不對此加以限制。

詳細而言，各夾持件200還具有多個第二溝槽210。每一第二溝槽210均與一第一溝槽111對應，並同樣沿著第一方向N1延伸，且物件20的兩邊緣21適於伸入兩相對應的第二溝槽210。各第二溝槽210分別具有一夾固部210a。在本實施例中，夾固部210a即為第二溝槽210頂部向下的表面。

當夾持件200位於圖3所示的第一位置時，支撐部111a與夾固部210a間的距離係小於當夾持件200位於圖4所示第二位置時，支撐部111a與夾固部210a間的距離。基於此設計，當夾持件200位於圖3所示的第一位置時，物件20的邊緣21被夾持於對應的第一溝槽111的支撐部111a與第二溝槽210的夾固部210a之間。

當夾持件200位於圖4所示的第二位置時，支撐部111a與夾固部210a間的距離大於當夾持件200位於圖3所示第一位置時支撐部111a與夾固部210a間的距離。此時物件20的邊緣21可在第一溝槽111及第二溝槽210中通行而被取放。而當物件20被放入運載裝置10中時，其邊緣21被承載於第一溝槽111的支撐部111a上，且分離於第二溝槽210的夾固部210a。

需說明的是，當運載裝置10中未容置有物件20時，夾持件200上下移動之範圍係可大於或等於物件20之邊緣21的厚度。但當第一溝槽111及第二溝槽210中容置有物件20時，夾持件200由圖3所示的第一位置移動至圖4所示的第二位置之距離就恰等於物件20之邊緣21的厚度了。

而當夾持件200位於第二位置時，第二溝槽210的底緣係不高於對應之第一溝槽111的底緣，亦即第二溝槽210的底緣係位於與對應之第一溝槽111的底緣相同高度或略低處(圖4所繪示者為第二溝槽210底緣略低於對應之第一溝槽111底緣之態樣)。如此物件20的邊緣21才能被取放的過程中順利地通過第一溝槽111及第二溝槽210。

此外，本實施例的第二溝槽210的數量與第一溝槽111的數量相同。當然，在其他實施例中，第一溝槽111以及第二溝槽210的形式與數量可視需求而定，本新型創作並不以此為限。

以下具體說明本實施例的抬升件300帶動夾持件200的方式。運載裝置10包括至少一連桿400。在本實施例中，連桿400 的數量繪示為二個，但並不以此為限，且二連桿400設置在盒體100的頂壁120上。

詳細地說，各連桿400具有一第一抵接部410、一第二抵接部420及一樞接部430。第一抵接部410可轉動地抵靠抬升件300，第二抵接部420樞接於對應的夾持件200，而樞接部430樞接於盒體100的頂壁120上且位於第一抵接部410與第二抵接部420之間。

需說明的是，在未繪示的實施例中，第一抵接部410也能夠樞接於抬升件300，第二抵接部420也能夠可轉動地抵靠於對應的夾持件200，且夾持件200還可連接有一復位元件，例如一復位彈簧(圖未示)，以使夾持件200在未受到連桿400之第二抵接部420抵壓時可復位至圖4所示的第二位置，本新型創作並不以此為限。

請參考圖3及圖4，抬升件300還具有至少一凹槽320。在本實施例中，凹槽320的數量為左右各一個，但並不以此為限。連桿400的第一抵接部410是繞著一第一轉動軸線A1可轉動地抵靠於抬升件300的凹槽320。

詳細而言，此第一轉動軸線A1平行於第二抵接部420的一第二轉動軸線A2，也平行於樞接部430的一樞接軸線A3，且第一轉動軸線A1平行於第一方向N1而垂直於第二方向N2，以使抬升件300順利地帶動夾持件200沿著垂直於第一方向N1的第二方向N2作動。

換言之，當抬升件300被抬升時，抬升件300帶動連桿400以樞接部430為轉動中心而相對於盒體100轉動，並且藉由連桿400帶動夾持件200沿著第二方向N2下滑並抵接物件20的邊緣21，進而讓物件20的邊緣21被夾持於對應的第一溝槽111的支撐部111a與第二溝槽210的夾固部210a之間而被定位。

另一方面，盒體100上具有至少一滑柱140，且各滑柱140的頂端具有一止擋部142。抬升件300還具有一滑設部340，且抬升件300的滑設部340具有對應於盒體100的滑柱140的至少一滑孔340a。

抬升件300藉由滑設部340的滑孔340a而滑設於盒體100之對應的滑柱140，且使抬升件300的滑設部340的滑動範圍被限制於盒體100與止擋部142之間。

綜上所述，本新型創作的運載裝置中，在盒體設置了可動的抬升件以及與抬升件連接而可與抬升件連動的夾持件，故當被承載的物件的邊緣位於第一溝槽及第二溝槽內時，夾持件可隨著抬升件的上升而被帶動，使物件的邊緣被夾持在側壁上的第一溝槽的支撐部與夾持件上的第二溝槽的夾固部之間，以達到固定物件的效果。因此，運載裝置在運載及傳輸的過程中，能利用夾持件的夾固部與第一溝槽的支撐部共同夾持並固定物件，以降低運載裝置所受到的搖晃及震動等外力作用對其所承載的物件造成的影響，從而避免物件於運載裝置內因為過度晃動或震動而受到撞擊、由放置位置脫落，並且因此而受損。

雖然本新型創作已以實施例揭露如上，然其並非用以限定本新型創作，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本新型創作的精神和範圍內，當可作些許的更動與潤飾，故本新型創作的保護範圍當視後附的申請專利範圍所界定者為準。

Claims (14)

1. 一種運載裝置，適於容納至少一物件，包括：一盒體，其中該盒體的至少一側壁具有至少一用以容納該至少一物件的至少一邊緣的第一溝槽，該第一溝槽具有一支撐部；一抬升件，可動地配置於該盒體；以及至少一夾持件，可動地配置於該盒體並與該抬升件連接，且該至少一夾持件具有一夾固部，當該抬升件被往上抬升以帶動該盒體上升時，該抬升件帶動該至少一夾持件從一第一位置移至一第二位置，其中，當該至少一夾持件在該第二位置時，該至少一夾持件之該夾固部與該至少一第一溝槽的該支撐部間之距離係小於該至少一夾持件在該第一位置時該至少一夾持件之該夾固部與該至少一第一溝槽的該支撐部間之距離。
2. 如申請專利範圍第1項所述的運載裝置，其中該至少一夾持件由該第一位置移動至該第二位置之距離恰等於該物件之該至少一邊緣的厚度。
3. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的運載裝置，包括至少一連桿，其中該至少一連桿具有一第一抵接部、一第二抵接部及一樞接部，該第一抵接部可轉動地抵靠或樞接於該抬升件，該第二抵接部可轉動地抵靠或樞接於該至少一夾持件，該樞接部位於該第一抵接部與該第二抵接部之間且樞接於該盒體。
4. 如申請專利範圍第3項所述的運載裝置，其中該第一抵接部繞著一第一轉動軸線可轉動地抵靠於該抬升件，該第一轉動軸線平行於該第二抵接部的一第二轉動軸線且平行於該樞接部的一樞接軸線。
5. 如申請專利範圍第4項所述的運載裝置，其中該至少一第一溝槽係沿一第一方向延伸於該盒體之該至少一側壁內側，且該第一轉動軸線平行於該第一方向。
6. 如申請專利範圍第3項所述的運載裝置，其中該抬升件具有至少一凹槽，該第一抵接部可轉動地抵靠於該凹槽。
7. 如申請專利範圍第3項所述的運載裝置，其中該至少一夾持件連接有一用以使該至少一夾持件在未受到該至少一連桿之該第二抵接部抵壓時可復位至該第二位置的復位元件。
8. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的運載裝置，其中該盒體具有至少一滑柱，該抬升件的一滑設部具有至少一滑孔並藉由該至少一滑孔而滑設於該至少一滑柱。
9. 如申請專利範圍第8項所述的運載裝置，其中該至少一滑柱頂端具有一限制該滑設部的滑動範圍的止擋部。
10. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的運載裝置，其中該盒體的該至少一側壁具有至少一開槽，該至少一夾持件滑設於該至少一開槽。
11. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的運載裝置，其中該至少一夾持件具有至少一第二溝槽，當該至少一夾持件位於該第一位置時，該至少一第一溝槽的該支撐部與該至少一第二溝槽的一夾固部間的距離係小於該至少一夾持件位於該第二位置時該支撐部與該夾固部間的距離。
12. 如申請專利範圍第11項所述的運載裝置，其中該至少一夾持件位於該第一位置時，該支撐部與該夾固部間的距離恰等於該物件之該至少一邊緣的厚度。
13. 如申請專利範圍第11項所述的運載裝置，其中該至少一夾持件位於該第二位置時，該至少一第二溝槽的底緣係與對應之該至少一第一溝槽的底緣位於相同高度處。
14. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的運載裝置，其中該第一溝槽係沿一第一方向延伸，該至少一夾持件適於沿垂直於該第一方向的一第二方向移動。