JPH08198405A - 基板用カセット - Google Patents
基板用カセットInfo
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- JPH08198405A JPH08198405A JP1146895A JP1146895A JPH08198405A JP H08198405 A JPH08198405 A JP H08198405A JP 1146895 A JP1146895 A JP 1146895A JP 1146895 A JP1146895 A JP 1146895A JP H08198405 A JPH08198405 A JP H08198405A
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/068—Stacking or destacking devices; Means for preventing damage to stacked sheets, e.g. spaces
- B65G49/069—Means for avoiding damage to stacked plate glass, e.g. by interposing paper or powder spacers in the stack
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
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- B65G49/062—Easels, stands or shelves, e.g. castor-shelves, supporting means on vehicles
Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 輸送時の振動等により基板用カセットの接触
箇所での基板の摩耗、打撃による発塵、欠損及び衝突や
急停止の場合でも基板出入口から基板が抜け落ちること
を防止し、しかも、カセットを製造装置のローダー台上
の決められた位置に手間をかけずに容易に設置する。 【構成】 複数の平面状のガラス基板５を収容するカセ
ット本体と、カセット本体の前面にガラス基板５の出し
入れを行うための基板出入口８と、基板出入口８から収
容される複数のガラス基板５を等間隔に空けて平行にガ
イドするガイド７部とを備えてなる基板用カセットにお
いて、基板出入口８側のカセット本体の下面にカセット
本体の前面側を後面側より相対的に高くする突起部１３
を設ける。
箇所での基板の摩耗、打撃による発塵、欠損及び衝突や
急停止の場合でも基板出入口から基板が抜け落ちること
を防止し、しかも、カセットを製造装置のローダー台上
の決められた位置に手間をかけずに容易に設置する。 【構成】 複数の平面状のガラス基板５を収容するカセ
ット本体と、カセット本体の前面にガラス基板５の出し
入れを行うための基板出入口８と、基板出入口８から収
容される複数のガラス基板５を等間隔に空けて平行にガ
イドするガイド７部とを備えてなる基板用カセットにお
いて、基板出入口８側のカセット本体の下面にカセット
本体の前面側を後面側より相対的に高くする突起部１３
を設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、複数の平面状のガラス
基板等を互いに接触しないように等間隔空けて収容する
基板用カセットに関するものである。
基板等を互いに接触しないように等間隔空けて収容する
基板用カセットに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の基板用カセットは、液晶等の各製
造工程である薄膜形成、エッチング、洗浄、輸送、保管
をするため、基板同士が互いに接触しないように収容さ
れる構造となっている。
造工程である薄膜形成、エッチング、洗浄、輸送、保管
をするため、基板同士が互いに接触しないように収容さ
れる構造となっている。
【０００３】この基板用カセットは図５に示すように構
成するものであり、図５において、基板用カセット１
は、箱状の枠体２の上下面の夫々に一辺の中央から対向
する一辺の中央までを直線で結んで十字状のフレーム３
が形成され、上記枠体２の後面にフレーム４が所定間隔
空けて枠体２の下面に対して垂直に形成されている。ま
た、上記枠体２の上面と下面との夫々の４隅を連結する
辺と接触する枠体２の側面側に、複数の同一形状のガラ
ス基板５を基板用カセット１内に等間隔に収容するため
の複数の溝６を有するガイド部７が設けられてなるもの
である。
成するものであり、図５において、基板用カセット１
は、箱状の枠体２の上下面の夫々に一辺の中央から対向
する一辺の中央までを直線で結んで十字状のフレーム３
が形成され、上記枠体２の後面にフレーム４が所定間隔
空けて枠体２の下面に対して垂直に形成されている。ま
た、上記枠体２の上面と下面との夫々の４隅を連結する
辺と接触する枠体２の側面側に、複数の同一形状のガラ
ス基板５を基板用カセット１内に等間隔に収容するため
の複数の溝６を有するガイド部７が設けられてなるもの
である。
【０００４】上記基板用カセット１を構成する樹脂は、
使用目的又は構成箇所に応じて強度、耐薬品性、耐熱性
等を有する溶融形成可能な樹脂が選択され、例えばポリ
エーテルイミド、ポリエーテルケトンやポリイミド等が
主成分として選択される。
使用目的又は構成箇所に応じて強度、耐薬品性、耐熱性
等を有する溶融形成可能な樹脂が選択され、例えばポリ
エーテルイミド、ポリエーテルケトンやポリイミド等が
主成分として選択される。
【０００５】上記各溝６間は、ガラス基板５の液晶の各
製造装置の基板搬送用ロボットアーム（図示せず）の厚
みに応じて５〜３０ｍｍの間隔が空けられている。
製造装置の基板搬送用ロボットアーム（図示せず）の厚
みに応じて５〜３０ｍｍの間隔が空けられている。
【０００６】尚、枠体２の前面はガラス基板５を基板用
カセット１に出し入れを行うための基板出入口８であ
る。
カセット１に出し入れを行うための基板出入口８であ
る。
【０００７】次に上記のように構成してなる基板用カセ
ットの使用状況を図６と共に詳細に説明する。まず、ガ
ラス基板５が基板出入口８から溝６に沿ってスライドさ
せて基板用カセット１に収容され、複数のガラス基板５
を収容する場合には、上記基板用出入口８からガラス基
板５が他の溝６に入れられて、該ガラス基板５が所定間
隔空けて重ねられる。
ットの使用状況を図６と共に詳細に説明する。まず、ガ
ラス基板５が基板出入口８から溝６に沿ってスライドさ
せて基板用カセット１に収容され、複数のガラス基板５
を収容する場合には、上記基板用出入口８からガラス基
板５が他の溝６に入れられて、該ガラス基板５が所定間
隔空けて重ねられる。
【０００８】そして、ガラス基板５が収容された基板用
カセット１は図６に示すように、自動或いは手動の搬送
車９の伸縮自在なアーム１０上に基板用カセット１が載
せられて各製造装置１１間輸送される。該搬送車９によ
り次の工程の製造装置１１に移動させると、該アーム１
０がローダー台１２側に引き伸ばされてローダー台１２
上にカセット１が載せ代えられ、上記製造装置１１の基
板搬送用ロボットアームが基板用カセット１の溝６間に
入るように手動により基板用カセット１の位置合わせが
行われる。
カセット１は図６に示すように、自動或いは手動の搬送
車９の伸縮自在なアーム１０上に基板用カセット１が載
せられて各製造装置１１間輸送される。該搬送車９によ
り次の工程の製造装置１１に移動させると、該アーム１
０がローダー台１２側に引き伸ばされてローダー台１２
上にカセット１が載せ代えられ、上記製造装置１１の基
板搬送用ロボットアームが基板用カセット１の溝６間に
入るように手動により基板用カセット１の位置合わせが
行われる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ように構成してなる基板用カセットは、ガラス基板５は
搬送車９のアーム１０に対して平行に収容されているだ
けであるため、搬送車９の輸送時の振動や基板用カセッ
ト１の載せ代え時にアーム１０を引き伸ばして生じるア
ーム９の撓みにより、溝６の遊び範囲内でガラス基板５
が振動し、その振動により基板用カセット１の接触箇所
でのガラス基板５の摩耗、打撃による発塵、欠損が生
じ、強いては基板出入口８からガラス基板５が抜け落ち
て破損するという問題点があった。
ように構成してなる基板用カセットは、ガラス基板５は
搬送車９のアーム１０に対して平行に収容されているだ
けであるため、搬送車９の輸送時の振動や基板用カセッ
ト１の載せ代え時にアーム１０を引き伸ばして生じるア
ーム９の撓みにより、溝６の遊び範囲内でガラス基板５
が振動し、その振動により基板用カセット１の接触箇所
でのガラス基板５の摩耗、打撃による発塵、欠損が生
じ、強いては基板出入口８からガラス基板５が抜け落ち
て破損するという問題点があった。
【００１０】さらに、搬送車９から次の工程の製造装置
１１のローダー台１２上に載せ代えて基板用カセット１
の位置決めを手動により調節しなければならないので、
該基板用カセット１の位置決めの調節に手間がかかると
いう問題点があった。
１１のローダー台１２上に載せ代えて基板用カセット１
の位置決めを手動により調節しなければならないので、
該基板用カセット１の位置決めの調節に手間がかかると
いう問題点があった。
【００１１】本発明の基板用カセットは上記のような問
題点を解決したもので、輸送時の振動等により基板用カ
セットの接触箇所での基板の摩耗、打撃による発塵、欠
損及び衝突や急停止の場合でも基板出入口から基板が抜
け落ちることを防止することができ、しかも、カセット
を製造装置のローダー台上の決められた位置に手間をか
けずに容易に設置することができる基板用カセットを提
供することを目的とするものである。
題点を解決したもので、輸送時の振動等により基板用カ
セットの接触箇所での基板の摩耗、打撃による発塵、欠
損及び衝突や急停止の場合でも基板出入口から基板が抜
け落ちることを防止することができ、しかも、カセット
を製造装置のローダー台上の決められた位置に手間をか
けずに容易に設置することができる基板用カセットを提
供することを目的とするものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の基板用カセットは、請求項１記載の発明は、
複数の平面状の基板を収容するカセット本体と、該カセ
ット本体の前面に基板の出し入れを行うための基板出入
口と、該基板出入口から収容される複数の基板を等間隔
に空けて平行にガイドするガイド部とを備えてなる基板
用カセットにおいて、上記基板出入口側のカセット本体
の下面にカセット本体の前面側を後面側より相対的に高
くする突起部を設けてなるものである。
に本発明の基板用カセットは、請求項１記載の発明は、
複数の平面状の基板を収容するカセット本体と、該カセ
ット本体の前面に基板の出し入れを行うための基板出入
口と、該基板出入口から収容される複数の基板を等間隔
に空けて平行にガイドするガイド部とを備えてなる基板
用カセットにおいて、上記基板出入口側のカセット本体
の下面にカセット本体の前面側を後面側より相対的に高
くする突起部を設けてなるものである。
【００１３】また、請求項２記載の発明は、上記請求項
１記載の発明において、上記カセット本体の下面が液晶
等の製造装置のローダー台に対して平行になるととも
に、上記突起部と合致してカセット本体の位置決めを行
うための溝部を上記ローダー台上に形成してなるもので
ある。
１記載の発明において、上記カセット本体の下面が液晶
等の製造装置のローダー台に対して平行になるととも
に、上記突起部と合致してカセット本体の位置決めを行
うための溝部を上記ローダー台上に形成してなるもので
ある。
【００１４】
【作用】本発明は上記構成にて、請求項１記載の発明
は、突起部にてカセット本体の前面側を後面側より相対
的に高くすることにより、基板をカセット本体の前面側
から後面側にかけて傾斜してカセット本体の後面で支持
されるので、搬送時の振動等により基板用カセットの接
触箇所での基板の摩耗、打撃による発塵、欠損及び衝突
や急停止の場合でも基板出入口から基板が抜け落ちるこ
とを防止することができる。
は、突起部にてカセット本体の前面側を後面側より相対
的に高くすることにより、基板をカセット本体の前面側
から後面側にかけて傾斜してカセット本体の後面で支持
されるので、搬送時の振動等により基板用カセットの接
触箇所での基板の摩耗、打撃による発塵、欠損及び衝突
や急停止の場合でも基板出入口から基板が抜け落ちるこ
とを防止することができる。
【００１５】また請求項２記載の発明は、上記請求項１
記載の構成において、カセット本体の突起部とローダー
台の溝部と合致することにより、ローダー台上へのカセ
ットの位置合わせの手間をかけずに容易に設置すること
ができる。
記載の構成において、カセット本体の突起部とローダー
台の溝部と合致することにより、ローダー台上へのカセ
ットの位置合わせの手間をかけずに容易に設置すること
ができる。
【００１６】
【実施例】以下、本発明の基板用カセットの一実施例を
図１乃至図４と共に詳細に説明する。尚、本発明の従来
例の構成と同一部分は同一符号を付し、その説明は省略
する。
図１乃至図４と共に詳細に説明する。尚、本発明の従来
例の構成と同一部分は同一符号を付し、その説明は省略
する。
【００１７】本発明の基板用カセットの第１の実施例は
図１乃至図２に示すように構成するものであり、図１に
おいて、従来の基板用カセット１の構成に、さらに基板
出入口８側の枠体２の下面に基板用カセット１の前面側
が後面側より相対的に高くなるように複数（本実施例で
は２個）の突起部１３を設けてなるものである。
図１乃至図２に示すように構成するものであり、図１に
おいて、従来の基板用カセット１の構成に、さらに基板
出入口８側の枠体２の下面に基板用カセット１の前面側
が後面側より相対的に高くなるように複数（本実施例で
は２個）の突起部１３を設けてなるものである。
【００１８】上記突起部１３は枠体２の下面に夫々対称
になる位置に設け、該突起部１３の長さは５〜２００ｍ
ｍ程度であり、上記基板用カセット１の傾斜角度は５〜
１５度の範囲内にするのが好ましい。該突起部１３の長
さ及び基板用カセット１の傾斜角は、ガラス基板５のサ
イズ、厚さ及び振動や衝撃の大きさに応じて決定され
る。
になる位置に設け、該突起部１３の長さは５〜２００ｍ
ｍ程度であり、上記基板用カセット１の傾斜角度は５〜
１５度の範囲内にするのが好ましい。該突起部１３の長
さ及び基板用カセット１の傾斜角は、ガラス基板５のサ
イズ、厚さ及び振動や衝撃の大きさに応じて決定され
る。
【００１９】また図２に示すように、上記基板用カセッ
ト１の下面が従来の液晶の製造装置等のローダー１２台
に対して平行になるとともに、上記基板用カセット１の
突起部１３と合致する溝部１４をローダー台１２の所定
の位置に形成してなるものである。
ト１の下面が従来の液晶の製造装置等のローダー１２台
に対して平行になるとともに、上記基板用カセット１の
突起部１３と合致する溝部１４をローダー台１２の所定
の位置に形成してなるものである。
【００２０】次に、上記のように構成してなる本発明の
基板用カセットの第１の実施例の使用状況を図２と共に
詳細に説明する。まず、平面上に基板用カセット１を設
置すると、突起部１３の高さだけ基板用カセット１の前
面側が後面側より相対的に高くなった状態となり、そし
て、基板出入口８からガラス基板５をガイド部の溝６に
沿ってスライドさせて基板用カセット１に収容し、該溝
６が枠体２の前面から後面にかけて傾斜されているの
で、上記収納されたガラス基板５はフレーム４に当接す
るまでスライドしてカセット１内に収容させる。従っ
て、ガラス基板５はフレーム４に当接して固定されるた
め、静止した状態を保つ。
基板用カセットの第１の実施例の使用状況を図２と共に
詳細に説明する。まず、平面上に基板用カセット１を設
置すると、突起部１３の高さだけ基板用カセット１の前
面側が後面側より相対的に高くなった状態となり、そし
て、基板出入口８からガラス基板５をガイド部の溝６に
沿ってスライドさせて基板用カセット１に収容し、該溝
６が枠体２の前面から後面にかけて傾斜されているの
で、上記収納されたガラス基板５はフレーム４に当接す
るまでスライドしてカセット１内に収容させる。従っ
て、ガラス基板５はフレーム４に当接して固定されるた
め、静止した状態を保つ。
【００２１】また、複数枚のガラス基板５を収容したい
場合には、その他の溝６にさらに基板出入口８から新た
なガラス基板５を入れ、上記のようにガラス基板５がフ
レーム４に当接するまでスライドして、夫々のガラス基
板５が所定間隔空けて重ねられた状態となる。
場合には、その他の溝６にさらに基板出入口８から新た
なガラス基板５を入れ、上記のようにガラス基板５がフ
レーム４に当接するまでスライドして、夫々のガラス基
板５が所定間隔空けて重ねられた状態となる。
【００２２】そして、ガラス基板５が収容された基板用
カセット１は図２に示すように、自動或いは手動の搬送
車９の伸縮自在なアーム１０上に基板用カセット１が載
せられて各製造装置１１間輸送される。
カセット１は図２に示すように、自動或いは手動の搬送
車９の伸縮自在なアーム１０上に基板用カセット１が載
せられて各製造装置１１間輸送される。
【００２３】該搬送車９により次の工程の製造装置１１
に移動する際の振動により基板用カセット１の接触箇所
でのガラス基板５の摩耗、打撃による発塵、欠損及び衝
突や急停止の場合でも基板出入口６からガラス基板５が
抜け落ちないように、上記基板用カセット１の前面から
後面にガラス基板５を傾斜させて、基板出入口６と逆方
向に片寄せられているので、搬送時の振動がガラス基板
５に伝わりにくくなっている。
に移動する際の振動により基板用カセット１の接触箇所
でのガラス基板５の摩耗、打撃による発塵、欠損及び衝
突や急停止の場合でも基板出入口６からガラス基板５が
抜け落ちないように、上記基板用カセット１の前面から
後面にガラス基板５を傾斜させて、基板出入口６と逆方
向に片寄せられているので、搬送時の振動がガラス基板
５に伝わりにくくなっている。
【００２４】また、搬送車９により次の工程の製造装置
１１に移動させて、上記アーム１０上に載せられた基板
用カセット１をアーム１０を引き伸ばして製造装置１１
のローダー台１２上に載せ代える際に生じるアーム１０
の撓みにより、上記ガラス基板５の摩耗、打撃による発
塵、欠損及び基板出入口６からガラス基板５が抜け落ち
ないように、上記のような構成となっている。
１１に移動させて、上記アーム１０上に載せられた基板
用カセット１をアーム１０を引き伸ばして製造装置１１
のローダー台１２上に載せ代える際に生じるアーム１０
の撓みにより、上記ガラス基板５の摩耗、打撃による発
塵、欠損及び基板出入口６からガラス基板５が抜け落ち
ないように、上記のような構成となっている。
【００２５】さらに、上記基板用カセット１をローダー
台１２上に載せ代える際に、該基板用カセット１の突起
部１３とローダー台１２の溝部１４とを合致するように
基板用カセット１を載せ代えることにより、上記ローダ
ー台１２への基板用カセット１の位置合わせが手間をか
けずに容易に設置することができる。
台１２上に載せ代える際に、該基板用カセット１の突起
部１３とローダー台１２の溝部１４とを合致するように
基板用カセット１を載せ代えることにより、上記ローダ
ー台１２への基板用カセット１の位置合わせが手間をか
けずに容易に設置することができる。
【００２６】本発明の基板用カセットの第２の実施例は
図３に示すように構成するものであり、尚、本発明の第
１の実施例の構成と同一部分は同一符号を付し、その説
明は省略する。図３において、上記第１の実施例のカセ
ット１の突起部１３を円錐状の突起部１５に形成し、上
記第１の実施例のローダー台１２の溝部１４を該突起部
１５と合致する大きさの円錐状に溝部１６を形成してな
るものである。
図３に示すように構成するものであり、尚、本発明の第
１の実施例の構成と同一部分は同一符号を付し、その説
明は省略する。図３において、上記第１の実施例のカセ
ット１の突起部１３を円錐状の突起部１５に形成し、上
記第１の実施例のローダー台１２の溝部１４を該突起部
１５と合致する大きさの円錐状に溝部１６を形成してな
るものである。
【００２７】上記第２の実施例のように構成することに
より、基板用カセット１をローダー台１２上に載せ代え
る位置合わせ際、溝部１６の範囲内に基板用カセット１
の突起部１５を挿入し、該基板用カセット１の自重によ
り円錐状の溝部１６の中心に円錐状の突起部１５が滑る
ようにローダー台１２への基板用カセット１の位置合わ
せを行うことにより、上記第１の実施例のローダー台１
２への基板用カセット１の位置合わせよりも簡単で且つ
正確に位置合わせすることができる。
より、基板用カセット１をローダー台１２上に載せ代え
る位置合わせ際、溝部１６の範囲内に基板用カセット１
の突起部１５を挿入し、該基板用カセット１の自重によ
り円錐状の溝部１６の中心に円錐状の突起部１５が滑る
ようにローダー台１２への基板用カセット１の位置合わ
せを行うことにより、上記第１の実施例のローダー台１
２への基板用カセット１の位置合わせよりも簡単で且つ
正確に位置合わせすることができる。
【００２８】本発明の基板用カセットの第３の実施例は
図４に示すように構成するものであり、尚、本発明の第
１の実施例の構成と同一部分は同一符号を付し、その説
明は省略する。図４において、上記第１の実施例の突起
部１３を矩形状の突起部１７に形成し、上記第１の実施
例のローダー台１２の溝部１４を矩形状の溝部１８に形
成し、該溝部１８の幅の一方を突起部１７の幅の一方と
略等しく、該溝部１８の幅の他方を突起部１７の幅の他
方より大きく形成し、該溝部１８内に挿入された突起部
１７を一方の溝部１８の側面１９に押圧する押圧手段２
０をバネ付設してなるものである。
図４に示すように構成するものであり、尚、本発明の第
１の実施例の構成と同一部分は同一符号を付し、その説
明は省略する。図４において、上記第１の実施例の突起
部１３を矩形状の突起部１７に形成し、上記第１の実施
例のローダー台１２の溝部１４を矩形状の溝部１８に形
成し、該溝部１８の幅の一方を突起部１７の幅の一方と
略等しく、該溝部１８の幅の他方を突起部１７の幅の他
方より大きく形成し、該溝部１８内に挿入された突起部
１７を一方の溝部１８の側面１９に押圧する押圧手段２
０をバネ付設してなるものである。
【００２９】上記第３の実施例のように構成することに
より、基板用カセット１をローダー台１２上に載せ代え
て位置合わせする際、基板用カセット１の突起部１７を
ローダー台１２の溝部１８に挿入し、その挿入した突起
部１７を溝部１８の側面１９側に押圧手段２０にて押圧
することにより、上記第１の実施例のローダー台１２へ
の基板用カセット１の位置合わせよりも簡単で且つ正確
に位置合わせすることができる。
より、基板用カセット１をローダー台１２上に載せ代え
て位置合わせする際、基板用カセット１の突起部１７を
ローダー台１２の溝部１８に挿入し、その挿入した突起
部１７を溝部１８の側面１９側に押圧手段２０にて押圧
することにより、上記第１の実施例のローダー台１２へ
の基板用カセット１の位置合わせよりも簡単で且つ正確
に位置合わせすることができる。
【００３０】尚、上記実施例においては、突起部１３，
１５，１９を２カ所設けていたが、基板用カセット１が
安定に設置できるのであれば、突起部１３，１５，１９
を１個若しくは複数個設けてもよく、また、基板用カセ
ット１の傾斜角度は輸送時よる振動や衝撃の大きさ、ガ
ラス基板５のサイズや厚みにより決定されるものであ
り、上記実施例だけに限定されるわけではない。
１５，１９を２カ所設けていたが、基板用カセット１が
安定に設置できるのであれば、突起部１３，１５，１９
を１個若しくは複数個設けてもよく、また、基板用カセ
ット１の傾斜角度は輸送時よる振動や衝撃の大きさ、ガ
ラス基板５のサイズや厚みにより決定されるものであ
り、上記実施例だけに限定されるわけではない。
【００３１】
【発明の効果】本発明の基板用カセットは上記のような
構成であるから、請求項１記載の発明は、突起部にてカ
セット本体の前面側を後面側より相対的に高くすること
により、基板をカセット本体の前面側から後面側にかけ
て傾斜してカセット本体の後面で支持されるので、搬送
時の振動等により基板用カセットの接触箇所での基板の
摩耗、打撃による発塵、欠損及び衝突や急停止の場合で
も基板出入口から基板が抜け落ちることを防止すること
ができる。
構成であるから、請求項１記載の発明は、突起部にてカ
セット本体の前面側を後面側より相対的に高くすること
により、基板をカセット本体の前面側から後面側にかけ
て傾斜してカセット本体の後面で支持されるので、搬送
時の振動等により基板用カセットの接触箇所での基板の
摩耗、打撃による発塵、欠損及び衝突や急停止の場合で
も基板出入口から基板が抜け落ちることを防止すること
ができる。
【００３２】また請求項２記載の発明は、上記請求項１
記載の効果に加えて、さらにカセット本体の突起部とロ
ーダー台の溝部と合致することにより、ローダー台上へ
のカセットの位置合わせの手間をかけずに容易に設置す
ることができる。
記載の効果に加えて、さらにカセット本体の突起部とロ
ーダー台の溝部と合致することにより、ローダー台上へ
のカセットの位置合わせの手間をかけずに容易に設置す
ることができる。
【図１】本発明の基板用カセットの第１の実施例を示す
概略斜視図である。
概略斜視図である。
【図２】図１に示すカセットを搬送車から製造装置のロ
ーダー台上に載せ代える状態の概略側面図である。
ーダー台上に載せ代える状態の概略側面図である。
【図３】本発明の基板用カセットの第２の実施例を示す
カセットの突起部とローダー台の溝部とを合致した状態
の概略側面図である。
カセットの突起部とローダー台の溝部とを合致した状態
の概略側面図である。
【図４】本発明の基板用カセットの第３の実施例を示す
カセットの突起部とローダー台の溝部とを合致した状態
の概略側面図である。
カセットの突起部とローダー台の溝部とを合致した状態
の概略側面図である。
【図５】従来の基板用カセットの概略斜視図である。
【図６】図５に示すカセットを搬送車から製造装置のロ
ーダー台上に載せ代える状態の概略側面図である。
ーダー台上に載せ代える状態の概略側面図である。
１ 基板用カセット ５ ガラス基板 ８ 基板出入口 １１ 製造装置 １２ ローダー台 １３ 突起部 １４ 溝部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ６５Ｇ 57/00 Ｃ Ｈ０１Ｌ 21/027 21/68 Ｖ
Claims (2)
- 【請求項１】 複数の平面状の基板を収容するカセット
本体と、該カセット本体の前面に基板の出し入れを行う
ための基板出入口と、該基板出入口から収容される複数
の基板を等間隔に空けて平行にガイドするガイド部とを
備えてなる基板用カセットにおいて、 上記基板出入口側のカセット本体の下面にカセット本体
の前面側を後面側より相対的に高くする突起部を設けて
なることを特徴とする基板用カセット。 - 【請求項２】 上記カセット本体の下面が液晶等の製造
装置のローダー台に対して平行になるとともに、上記突
起部と合致してカセット本体の位置決めを行うための溝
部をローダー台上に形成してなることを特徴とする請求
項１記載の基板用カセット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1146895A JPH08198405A (ja) | 1995-01-27 | 1995-01-27 | 基板用カセット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1146895A JPH08198405A (ja) | 1995-01-27 | 1995-01-27 | 基板用カセット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08198405A true JPH08198405A (ja) | 1996-08-06 |
Family
ID=11778917
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1146895A Pending JPH08198405A (ja) | 1995-01-27 | 1995-01-27 | 基板用カセット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08198405A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001102437A (ja) * | 1999-09-30 | 2001-04-13 | Yodogawa Kasei Kk | 基板用カセット |
| US6321898B1 (en) | 1999-01-08 | 2001-11-27 | Nec Corporation | Display panel transporting apparatus and a display panel transporting unit |
| US6769948B1 (en) | 1999-01-08 | 2004-08-03 | Nec Lcd Technologies, Ltd. | Method of fabricating a display panel and method of relocating a display panel |
| WO2007122874A1 (ja) * | 2006-04-18 | 2007-11-01 | Sharp Kabushiki Kaisha | カセット |
-
1995
- 1995-01-27 JP JP1146895A patent/JPH08198405A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6321898B1 (en) | 1999-01-08 | 2001-11-27 | Nec Corporation | Display panel transporting apparatus and a display panel transporting unit |
| US6769948B1 (en) | 1999-01-08 | 2004-08-03 | Nec Lcd Technologies, Ltd. | Method of fabricating a display panel and method of relocating a display panel |
| JP2001102437A (ja) * | 1999-09-30 | 2001-04-13 | Yodogawa Kasei Kk | 基板用カセット |
| WO2007122874A1 (ja) * | 2006-04-18 | 2007-11-01 | Sharp Kabushiki Kaisha | カセット |
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