JPH07147315A - 基板搬送装置 - Google Patents
基板搬送装置Info
- Publication number
- JPH07147315A JPH07147315A JP5295874A JP29587493A JPH07147315A JP H07147315 A JPH07147315 A JP H07147315A JP 5295874 A JP5295874 A JP 5295874A JP 29587493 A JP29587493 A JP 29587493A JP H07147315 A JPH07147315 A JP H07147315A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- transfer
- positioning pins
- cassette
- vertical movement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Feeding Of Workpieces (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 基板の位置を補正するための受け渡し機構を
基板の搬送経路中に有する基板搬送装置において、装置
を停止することなく寸法の異なる基板を混在して搬送す
ることができるようにする。 【構成】 基板８の寸法を検出するカセット識別センサ
７と、基板を搬送する搬送アーム２，５と、搬送アーム
と基板受け渡し位置補正機構４との間で基板の受け渡し
をする上下動テーブル３とを備える。基板受け渡し位置
補正機構は、上下動テーブルの移動方向に関して異なる
高さで基板を保持する位置決めピンを有する。カセット
識別センサからの情報により、上下動テーブルの上昇高
さを変えて位置決めピンによって基板を保持する。若し
くは、位置決めピンから上下動テーブルに基板を移載す
る。
基板の搬送経路中に有する基板搬送装置において、装置
を停止することなく寸法の異なる基板を混在して搬送す
ることができるようにする。 【構成】 基板８の寸法を検出するカセット識別センサ
７と、基板を搬送する搬送アーム２，５と、搬送アーム
と基板受け渡し位置補正機構４との間で基板の受け渡し
をする上下動テーブル３とを備える。基板受け渡し位置
補正機構は、上下動テーブルの移動方向に関して異なる
高さで基板を保持する位置決めピンを有する。カセット
識別センサからの情報により、上下動テーブルの上昇高
さを変えて位置決めピンによって基板を保持する。若し
くは、位置決めピンから上下動テーブルに基板を移載す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は基板の搬送装置に関する
ものであり、特に搬送経路中に一時的に基板を保持する
機構を介在する搬送装置において、この基板を保持する
機構で異なる寸法の基板を保持することが可能な基板搬
送装置に関する。
ものであり、特に搬送経路中に一時的に基板を保持する
機構を介在する搬送装置において、この基板を保持する
機構で異なる寸法の基板を保持することが可能な基板搬
送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種の搬送装置は、複数の基板
（半導体ウェハ、液晶パネル用のガラス基板等）を保管
する基板カセット、若しくは他の基板処理装置に対して
基板を１枚ずつ搬入出する第１の搬送アーム、露光装置
の露光ステージ上に対して基板を搬入出する第２の搬送
アーム、第１の搬送アームと第２の搬送アームとの間で
基板を受け渡す基板受け渡し機構等で構成される。この
基板受け渡し機構は、搬送される基板を露光ステージ
上、若しくは基板カセット等に搬入する際におおまかに
位置決め（事前整合）するために設けられたものであ
り、複数配置された位置決めピンで基板の周辺部を保持
する構成となっている。またこの位置決めピンは、基板
の寸法に応じた位置に配置されていた。
（半導体ウェハ、液晶パネル用のガラス基板等）を保管
する基板カセット、若しくは他の基板処理装置に対して
基板を１枚ずつ搬入出する第１の搬送アーム、露光装置
の露光ステージ上に対して基板を搬入出する第２の搬送
アーム、第１の搬送アームと第２の搬送アームとの間で
基板を受け渡す基板受け渡し機構等で構成される。この
基板受け渡し機構は、搬送される基板を露光ステージ
上、若しくは基板カセット等に搬入する際におおまかに
位置決め（事前整合）するために設けられたものであ
り、複数配置された位置決めピンで基板の周辺部を保持
する構成となっている。またこの位置決めピンは、基板
の寸法に応じた位置に配置されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記の如
き従来の搬送装置においては、位置決めピンが１種類の
寸法の基板にしか対応していないため、搬送する基板の
寸法を変更する場合には装置を停止して、位置決めピン
の位置を変更しなければならない。また、異なる寸法の
基板を混在して搬送する場合には対応することができな
いといった問題が生じる。このため、装置の稼働効率が
低下していた。
き従来の搬送装置においては、位置決めピンが１種類の
寸法の基板にしか対応していないため、搬送する基板の
寸法を変更する場合には装置を停止して、位置決めピン
の位置を変更しなければならない。また、異なる寸法の
基板を混在して搬送する場合には対応することができな
いといった問題が生じる。このため、装置の稼働効率が
低下していた。
【０００４】本発明は上記問題点に鑑み、異なる寸法の
基板に搬送する場合にも効率的に基板を搬送することが
可能な基板搬送装置を提供することを目的とする。
基板に搬送する場合にも効率的に基板を搬送することが
可能な基板搬送装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記問題点解決のため本
発明では、基板保管位置（１）から受け渡し手段（４）
へ基板（８）を搬送する第１の搬送手段（２）と、受け
渡し手段から基板処理位置（６）へ基板を搬送する第２
の搬送手段（５）とを備えた基板搬送装置において、受
け渡し手段は、受け渡し手段の異なる位置（Ａ，Ｂ）に
配置されるとともに、異なる寸法の基板を保持可能な複
数の基板保持手段（１２ａ，１２ｂ）を有し、基板の寸
法を識別する寸法識別手段（７）と；寸法識別手段の情
報に応じて、第１の搬送手段から複数の基板保持手段の
うちの１つへ基板を移載するとともに、複数の基板保持
手段のうちの１つから第２の搬送手段へ基板を移載する
移載手段（３）とを備えることとする。
発明では、基板保管位置（１）から受け渡し手段（４）
へ基板（８）を搬送する第１の搬送手段（２）と、受け
渡し手段から基板処理位置（６）へ基板を搬送する第２
の搬送手段（５）とを備えた基板搬送装置において、受
け渡し手段は、受け渡し手段の異なる位置（Ａ，Ｂ）に
配置されるとともに、異なる寸法の基板を保持可能な複
数の基板保持手段（１２ａ，１２ｂ）を有し、基板の寸
法を識別する寸法識別手段（７）と；寸法識別手段の情
報に応じて、第１の搬送手段から複数の基板保持手段の
うちの１つへ基板を移載するとともに、複数の基板保持
手段のうちの１つから第２の搬送手段へ基板を移載する
移載手段（３）とを備えることとする。
【０００６】
【作用】本発明では、基板の搬送経路中に設けられた受
け渡し手段の異なる位置に、複数の寸法に対応した基板
保持手段を配置し、基板の寸法に応じて基板を保持する
基板保持手段を選択して使用する構成にしたため、基板
の寸法が変更された場合でも装置を停止して基板保持手
段の位置を変更する必要がなくなるほか、異なる寸法の
基板を混在して搬送することが可能となる。
け渡し手段の異なる位置に、複数の寸法に対応した基板
保持手段を配置し、基板の寸法に応じて基板を保持する
基板保持手段を選択して使用する構成にしたため、基板
の寸法が変更された場合でも装置を停止して基板保持手
段の位置を変更する必要がなくなるほか、異なる寸法の
基板を混在して搬送することが可能となる。
【０００７】
【実施例】図１は、本発明の実施例による基板搬送装置
の概略的な構成を示す図である。複数の同寸法の基板８
を収納するカセット１内に搬送アーム２が進入して基板
８を搬出する。尚、カセット１を配置する場所には、カ
セットの種類を識別するカセット識別センサ７が設けら
れ、搬送する基板８の寸法を間接的に認識できるように
なっている。また、カセット識別センサ７で得られた基
板の寸法の情報は上下動テーブル３に出力され、上下動
アーム３は、カセット識別センサ７で得られた基板の寸
法の情報に基づいて上昇する高さを変える。
の概略的な構成を示す図である。複数の同寸法の基板８
を収納するカセット１内に搬送アーム２が進入して基板
８を搬出する。尚、カセット１を配置する場所には、カ
セットの種類を識別するカセット識別センサ７が設けら
れ、搬送する基板８の寸法を間接的に認識できるように
なっている。また、カセット識別センサ７で得られた基
板の寸法の情報は上下動テーブル３に出力され、上下動
アーム３は、カセット識別センサ７で得られた基板の寸
法の情報に基づいて上昇する高さを変える。
【０００８】搬送アーム２は基板８を載置して上下動テ
ーブル３まで移動し、上下動テーブル３は搬送アーム２
から基板を受け取る。この搬送アーム２の基板８を載置
する面は例えばコの字型をしており、このコの字で囲ま
れた空間に上下動アーム３が進入して基板８を受け取る
構成となっている。上下動アーム３は、基板８を受け取
った後、上昇して基板受け渡し位置補正機構４に基板を
受け渡す。この基板受け渡し位置補正機構４は、図２
（ａ）に示すような構成になっている。これは、基板の
寸法が２種類の場合の例であり、例えば寸法Ｘの基板と
寸法Ｙの基板（Ｘ＜Ｙ）を保持するための基板受け渡し
位置補正機構を示している。即ち、ベース１０に対して
矢印の方向に移動可能な駆動アーム１１ａ，１１ｂが取
り付けられ、この駆動アーム１１ａ，１１ｂのそれぞれ
に位置決めピン１２ａ，１２ｂが設けられている。この
位置決めピン１２ａは寸法Ｘの基板を保持するためのも
のであり、位置決めピン１２ａどうしの間隔は、寸法Ｘ
より若干大きめから若干小さめの範囲で連続的に変化す
るようになっている。また、位置決めピン１２ｂは寸法
Ｙの基板を保持するためのものであり、位置決めピン１
２ｂどうしの間隔は、寸法Ｙより若干大きめから若干小
さめの範囲で連続的に変化するようになっている。位置
決めピン１２ａと１２ｂの基板を保持する部分は、上下
動テーブル３の上下動方向に対して異なる位置に配置さ
れている。つまり、位置決めピン１２ａは位置決めピン
１２ｂの間隔より狭い間隔で、上下動方向の位置Ａに配
置され、位置決めピン１２ｂは上下動方向の位置Ｂに配
置されている。各位置決めピン１２ａ，１２ｂは、不図
示の駆動装置で駆動アーム１１ａ，１１ｂを駆動するこ
とにより、基板８を保持する。この様子を図２（ｂ），
（ｃ）に示す。
ーブル３まで移動し、上下動テーブル３は搬送アーム２
から基板を受け取る。この搬送アーム２の基板８を載置
する面は例えばコの字型をしており、このコの字で囲ま
れた空間に上下動アーム３が進入して基板８を受け取る
構成となっている。上下動アーム３は、基板８を受け取
った後、上昇して基板受け渡し位置補正機構４に基板を
受け渡す。この基板受け渡し位置補正機構４は、図２
（ａ）に示すような構成になっている。これは、基板の
寸法が２種類の場合の例であり、例えば寸法Ｘの基板と
寸法Ｙの基板（Ｘ＜Ｙ）を保持するための基板受け渡し
位置補正機構を示している。即ち、ベース１０に対して
矢印の方向に移動可能な駆動アーム１１ａ，１１ｂが取
り付けられ、この駆動アーム１１ａ，１１ｂのそれぞれ
に位置決めピン１２ａ，１２ｂが設けられている。この
位置決めピン１２ａは寸法Ｘの基板を保持するためのも
のであり、位置決めピン１２ａどうしの間隔は、寸法Ｘ
より若干大きめから若干小さめの範囲で連続的に変化す
るようになっている。また、位置決めピン１２ｂは寸法
Ｙの基板を保持するためのものであり、位置決めピン１
２ｂどうしの間隔は、寸法Ｙより若干大きめから若干小
さめの範囲で連続的に変化するようになっている。位置
決めピン１２ａと１２ｂの基板を保持する部分は、上下
動テーブル３の上下動方向に対して異なる位置に配置さ
れている。つまり、位置決めピン１２ａは位置決めピン
１２ｂの間隔より狭い間隔で、上下動方向の位置Ａに配
置され、位置決めピン１２ｂは上下動方向の位置Ｂに配
置されている。各位置決めピン１２ａ，１２ｂは、不図
示の駆動装置で駆動アーム１１ａ，１１ｂを駆動するこ
とにより、基板８を保持する。この様子を図２（ｂ），
（ｃ）に示す。
【０００９】例えば、カセット識別センサ７で得られた
基板８ａの寸法がＸである場合、図２（ｂ）に示すよう
に、上下動テーブル３は基板受け渡し位置補正機構４の
位置Ａに、基板８ａが位置するまで上昇する。次に基板
受け渡し位置補正機構４は、駆動アーム１１ａ，１１ｂ
を移動して位置決めピン１２ａで基板８ａを保持し、上
下動テーブル３から基板を受け取る。基板受け渡し位置
補正機構４による基板８ａの位置の補正が終了すると、
上下動テーブル３が再度基板を受け取り、下降して図１
の搬送アーム５に基板を移載する。尚、この搬送アーム
５は搬送アーム２と同様の構成で、上下動アーム３から
受け取った基板を露光用ステージ６上に搬送する。
基板８ａの寸法がＸである場合、図２（ｂ）に示すよう
に、上下動テーブル３は基板受け渡し位置補正機構４の
位置Ａに、基板８ａが位置するまで上昇する。次に基板
受け渡し位置補正機構４は、駆動アーム１１ａ，１１ｂ
を移動して位置決めピン１２ａで基板８ａを保持し、上
下動テーブル３から基板を受け取る。基板受け渡し位置
補正機構４による基板８ａの位置の補正が終了すると、
上下動テーブル３が再度基板を受け取り、下降して図１
の搬送アーム５に基板を移載する。尚、この搬送アーム
５は搬送アーム２と同様の構成で、上下動アーム３から
受け取った基板を露光用ステージ６上に搬送する。
【００１０】一方、カセット識別センサ７で得られた基
板８ｂの寸法がＹである場合、図２（ｃ）に示すよう
に、上下動テーブル３は基板受け渡し位置補正機構４の
位置Ｂに、基板８ｂが位置するまで上昇する。そして、
基板受け渡し位置補正機構４は、駆動アーム１１ａ、１
１ｂを移動して位置決めピン１２ｂで基板８ｂを保持
し、上下動テーブル３から基板を受け取る。その後は、
上述と同様である。
板８ｂの寸法がＹである場合、図２（ｃ）に示すよう
に、上下動テーブル３は基板受け渡し位置補正機構４の
位置Ｂに、基板８ｂが位置するまで上昇する。そして、
基板受け渡し位置補正機構４は、駆動アーム１１ａ、１
１ｂを移動して位置決めピン１２ｂで基板８ｂを保持
し、上下動テーブル３から基板を受け取る。その後は、
上述と同様である。
【００１１】上記実施例は、カセット１から露光用ステ
ージ６へ基板８を移動する例を示したが、逆に露光用ス
テージ６からカセット１へ基板８を搬送する場合も上述
した例と同様に行うことができる。また、基板受け渡し
位置補正機構４の位置決めピンが１種類の寸法の基板に
つき２個ずつ、合計４個設けた例を示したが、使用する
基板の寸法や形状により任意に位置決めピンの数を選択
できることは言うまでもない。
ージ６へ基板８を移動する例を示したが、逆に露光用ス
テージ６からカセット１へ基板８を搬送する場合も上述
した例と同様に行うことができる。また、基板受け渡し
位置補正機構４の位置決めピンが１種類の寸法の基板に
つき２個ずつ、合計４個設けた例を示したが、使用する
基板の寸法や形状により任意に位置決めピンの数を選択
できることは言うまでもない。
【００１２】さらに、基板を複数枚収納したカセット１
から基板を搬送し、カセットの種類をカセット識別セン
サ７によって識別する構成としたが、外部の他の装置か
ら基板を１枚ずつ搬送装置内に搬入し、搬送アーム２に
よって受け取るような構成にし、搬送経路中に設けられ
た光センサ等を用いて搬送アーム２（または５）上に載
置された基板の通過時間を検出するようにして基板の寸
法を検出する構成にしても構わない。この光センサは、
カセットを使用する場合でもカセット識別センサ７の代
わりに用いることも可能である。
から基板を搬送し、カセットの種類をカセット識別セン
サ７によって識別する構成としたが、外部の他の装置か
ら基板を１枚ずつ搬送装置内に搬入し、搬送アーム２に
よって受け取るような構成にし、搬送経路中に設けられ
た光センサ等を用いて搬送アーム２（または５）上に載
置された基板の通過時間を検出するようにして基板の寸
法を検出する構成にしても構わない。この光センサは、
カセットを使用する場合でもカセット識別センサ７の代
わりに用いることも可能である。
【００１３】
【発明の効果】以上のように本発明では、基板の搬送経
路中に設けられた受け渡し手段の、移載手段の移動方向
に関して異なる位置（高さ）に複数の寸法に対応した基
板保持手段を配置し、基板の寸法に応じて基板を保持す
る基板保持手段を選択して使用する構成にしたため、基
板の寸法が変更された場合でも装置を停止して基板保持
手段の位置を変更する必要がなくなる。このため、異な
る寸法の基板を混在して搬送することが可能となり、基
板搬送装置の稼働効率が向上する。
路中に設けられた受け渡し手段の、移載手段の移動方向
に関して異なる位置（高さ）に複数の寸法に対応した基
板保持手段を配置し、基板の寸法に応じて基板を保持す
る基板保持手段を選択して使用する構成にしたため、基
板の寸法が変更された場合でも装置を停止して基板保持
手段の位置を変更する必要がなくなる。このため、異な
る寸法の基板を混在して搬送することが可能となり、基
板搬送装置の稼働効率が向上する。
【図１】本発明の実施例による基板搬送装置の概略的な
構成を示す図
構成を示す図
【図２】本発明の実施例による基板搬送装置における基
板の受け渡しの様子を示す図
板の受け渡しの様子を示す図
１ カセット ２，５ 搬送アーム ３ 上下動テーブル ４ 基板受け渡し位置補正機構 ６ 露光用ステージ ７ カセット識別センサ ８，８ａ，８ｂ 基板 １１ａ，１１ｂ 駆動アーム １２ａ，１２ｂ 位置決めピン
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/027
Claims (3)
- 【請求項１】 基板保管位置から受け渡し手段へ基板を
搬送する第１の搬送手段と、前記受け渡し手段から基板
処理位置へ前記基板を搬送する第２の搬送手段とを備え
た基板搬送装置において、 前記受け渡し手段は、該受け渡し手段の異なる位置に配
置されるとともに、異なる寸法の前記基板を保持可能な
複数の基板保持手段を有し、 前記基板の寸法を識別する寸法識別手段と；前記寸法識
別手段の情報に応じて、前記第１の搬送手段から前記複
数の基板保持手段のうちの１つへ前記基板を移載すると
ともに、該複数の基板保持手段のうちの１つから前記第
２の搬送手段へ前記基板を移載する移載手段とを備えた
ことを特徴とする基板搬送装置。 - 【請求項２】 前記寸法識別手段は、前記基板の複数を
保管する基板保管手段の種類を識別することを含む請求
項１に記載の基板搬送装置。 - 【請求項３】 前記基板保管位置は、前記基板搬送装置
の外部に配置された装置を含むことを特徴とする請求項
１に記載の基板搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5295874A JPH07147315A (ja) | 1993-11-26 | 1993-11-26 | 基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5295874A JPH07147315A (ja) | 1993-11-26 | 1993-11-26 | 基板搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07147315A true JPH07147315A (ja) | 1995-06-06 |
Family
ID=17826300
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5295874A Pending JPH07147315A (ja) | 1993-11-26 | 1993-11-26 | 基板搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07147315A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008300389A (ja) * | 2007-05-29 | 2008-12-11 | Orc Mfg Co Ltd | 基板搬送装置 |
-
1993
- 1993-11-26 JP JP5295874A patent/JPH07147315A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008300389A (ja) * | 2007-05-29 | 2008-12-11 | Orc Mfg Co Ltd | 基板搬送装置 |
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