JP4299104B2 - ウエーハ搬送機構 - Google Patents
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Description
ウエーハは搬送装置に非接触の状態で吸着保持されるので、ウエーハが吸着面を移動する、あるいは吸着面から脱落するなどの問題が発生しやすい。したがって、防止するためには突起部材などのずれ防止手段が必要になる。
ベルヌーイパッドを用い、ずれ防止突起などを備えた非接触搬送装置は、突起部材がじゃまになり、ウエーハを従来のカセットに搬出入するのには用いることができないので、例えばウエーハの研削装置においては、カセット及びコインスタックキャリアそれぞれに対応した搬送装置を備えなければならず、装置が大掛かりで複雑になる。
4:保持部
6:可動アーム(移動手段)
14:保持体本体
14a:弧状部
16:吸着パッド
18:摩擦部材
W:ウエーハ
Claims (5)
- ウエーハを保持する保持部を備えたウエーハ搬送機構であって、該保持部が、保持体本体と、該保持体本体に配設され噴射空気によって負圧を生成しウエーハを非接触状態で吸着する複数個の吸着パッドと、該保持体本体に配設され吸着されたウエーハに当接する摩擦面を有した摩擦部材と、を備え、
該吸着パッドが、円形の凹部と、この凹部の円形の周壁の接線方向に空気を噴射する噴射口とを備え、該噴射空気によって凹部内に形成される旋回流により該凹部の開口側に負圧が生成されるとともに、
該噴射口の向きが該摩擦部材に噴射空気が当たらない回避する方向に向けられていることを特徴とするウエーハ搬送機構。 - 該保持体本体が、対向する一対の弧状部を有したC字形平板状に形成され、この一対の弧状部を結ぶ基部が保持本体を移動させる移動手段に連結され、 該吸着パッドが、該弧状部の各々に間隔をおいて、少なくとも2個、一対の弧状部の間を通り該基部を通る軸線を中心に対称の位置に配設され、該摩擦部材が、該弧状部各々の吸着パッドと吸着パッドの間に配設されている、請求項1記載のウエーハ搬送機構。
- 該摩擦部材が、導電性を有する合成ゴムによって形成されている、請求項1又は2記載のウエーハ搬送機構。
- 該移動手段が可動アームを備え、この可動アームの先端に、該保持体本体が水平方向に位置した該軸線を中心に回動を自在に取り付けられている、請求項2又は3記載のウエーハ搬送機構。
- 該ウエーハが、シリコンウエーハ、リチームタンタレートウエーハ、サファイヤーウエーハ、紙ウエーハ、シート状ウエーハを含む、請求項1から4までのいずれかに記載のウエーハ搬送機構。
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