TWM583617U - 運載裝置 - Google Patents

Abstract

一種運載裝置適於容納至少一物件。運載裝置包括一盒體以及至少一夾持件。盒體的至少一側壁具有至少一用以容納物件的至少一邊緣的第一溝槽，第一溝槽具有支撐物件的至少一邊緣的至少一支撐部。夾持件可動地配置於盒體，且夾持件具有至少一夾固部，其中夾持件適於在一第一位置與一第二位置間移動。當夾持件在第一位置時，夾持件的夾固部與對應之第一溝槽的支撐部間之距離係小於夾持件在第二位置時夾持件的夾固部與對應之第一溝槽的支撐部間之距離。

Description

運載裝置

本新型創作是有關於一種運載裝置，且特別是有關於一種用以運載需要穩定度高的片狀或板狀物件的運載裝置。

在半導體產業及光電產業的蓬勃發展下，越來越多半導體元件或光電元件需要運載裝置，以將半導體元件或光電元件於廠區內進行運送。由於像晶圓、晶片、光罩或是玻璃基板等物件都是片狀或板狀的易碎物件，在運載的過程中必須穩固，以避免其受到大幅的搖晃而遭致碰撞並因而產生碎裂或損傷。尤其是積體電路(Integrated Circuit,IC)晶片，通常是先排列成陣列地放置在承載盤(tray)中，然後再將數個承載盤放入一積體電路承載盤卡匣(IC Tray Cassette)或是一彈匣(magazine)內後，在廠區內各工段之間進行傳輸。由於這些晶片在承載盤中時，通常並未進行固定，而傳輸系統在傳輸承載盤卡匣或彈匣的過程中難免會有些搖晃或震動。這些搖晃或震動對於質量較大的承載盤卡匣或彈匣而言或許不致造成太大的影響，但對其中所承載這些質量遠小於承載盤卡匣或彈匣的晶片來說，只要些微的晃動或震動就可 能造成個別晶片由置放位置上跳脫甚或掉落，並且因而造成損傷。因此必須在傳輸過程中設法提供對於搖晃或震動所產生之作用力的緩衝，以避免晶片等物件受到損傷。

另一方面，像是晶圓、光罩等容易因為微粒汙染而影響品質的物品，還需要避免在運送過程中附著灰塵，因此也不能使用紙類或泡棉類等容易產生細屑的材料來作為緩衝。

本新型創作提供一種運載裝置，適於容納至少一物件。運載裝置包括一盒體以及至少一夾持件。盒體的至少一側壁具有至少一用以容納物件的至少一邊緣的第一溝槽，各第一溝槽具有支撐物件的至少一邊緣的至少一支撐部。夾持件可動地配置於盒體，且夾持件具有至少一夾固部，其中夾持件適於在一第一位置與一第二位置間移動。當夾持件在第一位置時，夾持件的夾固部與對應之第一溝槽的支撐部間之距離係小於夾持件在第二位置時夾持件的夾固部與對應之第一溝槽的支撐部間之距離。

在本新型創作的一實施例中，上述的夾持件由第一位置移動至第二位置之距離恰等於物件之邊緣的厚度。

在本新型創作的一實施例中，上述的盒體的側壁具有至少一開槽。夾持件滑設於開槽。

在本新型創作的一實施例中，上述的夾持件適於藉由重力而從第二位置移至第一位置。

在本新型創作的一實施例中，還包括至少一復位件，其中復位件連接於夾持件，夾持件適於藉由復位件的復位力而從第二位置移至第一位置。

在本新型創作的一實施例中，上述的復位件為至少一彈性件，且彈性件連接於盒體與夾持件之間。

在本新型創作的一實施例中，上述的夾持件具有一延伸部，延伸部延伸至盒體的一底壁，彈性件連接於延伸部與盒體的底壁之間。

在本新型創作的一實施例中，上述的夾持件適於被一推抵結構推抵而從第一位置移至第二位置。

在本新型創作的一實施例中，上述的夾持件具有一延伸部，延伸部延伸至盒體的一底壁，延伸部適於被推抵結構推抵。

在本新型創作的一實施例中，上述的夾持件及延伸部外露於盒體。

在本新型創作的一實施例中，上述的夾持件具有至少一第二溝槽，上述的夾固部係位於第二溝槽內。

在本新型創作的一實施例中，上述的夾持件位於第二位置時，第二溝槽的底緣係與對應之第一溝槽的底緣位於相同高度處。

在本新型創作的一實施例中，上述的第一溝槽係沿一第一方向延伸，夾持件適於沿垂直於第一方向的一第二方向移動。

基於上述，本新型創作的運載裝置中，在盒體設置了可 動的夾持件，故當被承載的物件的邊緣被支撐於第一溝槽內的支撐部上，且運載裝置處於被輸送的狀態下時，夾持件可移動而使物件的邊緣被夾持在夾持件之夾固部與第一溝槽的支撐部之間，以達到穩固物件的效果。因此，運載裝置在運載及輸送的過程中，能利用夾持件之夾固部與第一溝槽的支撐部共同夾持並固定物件，以降低運載裝置所受到的搖晃及震動等外力作用對其所承載的物件造成的影響，從而避免物件於運載裝置內因為過度晃動或或震動而受到撞擊、由放置位置脫落，並且因此而受損。

為讓本新型創作的上述特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉實施例，並配合所附圖式作詳細說明如下。

2‧‧‧推抵結構

3‧‧‧基座

4‧‧‧定位凸部

6‧‧‧卡合部

10‧‧‧運載裝置

20‧‧‧物件

21‧‧‧邊緣

100‧‧‧盒體

110‧‧‧側壁

111‧‧‧第一溝槽

111a‧‧‧支撐部

112‧‧‧開槽

120‧‧‧頂壁

130‧‧‧底壁

200‧‧‧夾持件

210‧‧‧第二溝槽

210a‧‧‧夾固部

220‧‧‧延伸部

222‧‧‧導引凹槽

30‧‧‧復位件

A‧‧‧容納空間

N1‧‧‧第一方向

N2‧‧‧第二方向

圖1是本新型創作一實施例的運載裝置的立體圖。

圖2是圖1的運載裝置的剖視圖。

圖3是圖2的運載裝置的夾持件夾持物件時的局部放大圖。

圖4是圖2的運載裝置的夾持件未夾持物件時的局部放大圖。

圖1是本新型創作一實施例的運載裝置的立體圖。圖2是圖1的運載裝置的剖視圖。請參考圖1及圖2，本實施例的運載裝置10適於容納物件20，且運載裝置10包括一盒體100以及至 少一夾持件200。本實施例中例示的夾持件200數量為二個，但不以此為限，且兩夾持件200可移動地配置於盒體100的左右兩側。

此外，在本實施例中，物件20繪示的數量為一個，但在其他實施例中，物件20的數量也可以為多個且彼此疊設。物件20可以為晶圓、光罩、玻璃基板等易碎物件，或者也可以是用來承放多片積體電路晶片的承載盤或晶圓框架等承載件，本新型創作不對此加以限制。

盒體100包括一頂壁120、連接於頂壁120且彼此相對的兩側壁110以及連接於兩側壁110且與頂壁120相對的底壁130。頂壁120、兩側壁110以及底壁130共同定義出容納空間A，以容納物件20。

盒體100的兩側壁110各自具有多個用以容納物件20的邊緣21的第一溝槽111，兩側壁110上的多個第一溝槽111彼此相互對應且多個第一溝槽111與底壁130平行設置。也就是說，物件20左右兩側的邊緣21適於分別伸入多個第一溝槽111的其中兩相對應的第一溝槽111。

圖3是圖2的運載裝置的夾持件夾持物件時的局部放大圖。圖4是圖2的運載裝置的夾持件未夾持物件時的局部放大圖。

請參考圖3及圖4，夾持件200可在如圖3所示的第一位置與在如圖4所示的第二位置間移動。每一夾持件200具有至少一夾固部210a。當夾持件200在第一位置時，夾持件200之夾固部210a與對應之第一溝槽111的一支撐部111a間之距離係小於夾 持件200在第二位置時，夾持件200之夾固部210a與對應之第一溝槽111的支撐部111a間之距離。

進一步而言，在本實施例中，夾持件200適於移動至如圖3所示的第一位置而使物件20的邊緣21被夾持於夾持件200之夾固部210a與對應之第一溝槽111的支撐部111a之間；而當夾持件200移動至如圖4所示的第二位置時，夾持件200之夾固部210a即分離於物件20的邊緣21。

一般而言，夾持件200之材質可有許多不同的選擇，例如是金屬、工程塑膠等能夠穩定地夾取物件20而且不易變形以防止物件20滑動之材料均可。而若是考慮半導體及光電產業廠區內對潔淨度的要求，則其材質若是能夠具備耐磨耗、不易產生粉塵之特性則更佳。

在上述配置方式之下，盒體100的第一溝槽111延伸範圍內設置了可動的夾持件200，故當被承載的物件20的邊緣21位於第一溝槽111內時，夾持件200可移動而使物件20的邊緣21被夾持在夾持件200的夾固部210a與第一溝槽111的支撐部111a之間，以達到穩固定位物件20的效果。

如此，運載裝置10在運載過程中，能利用夾持件200的夾固部210a與第一溝槽111的支撐部111a共同夾持固定物件20，以降低運載裝置10所受到的外力，從而避免物件20本身或是其上所承放的物品於運載裝置10內產生過度的晃動或震動並因此受到撞擊或是由放置位置脫落。

如圖1及圖2所示，各第一溝槽111係沿一第一方向N1延伸於盒體100之側壁110內側。物件20適於沿第一方向N1進出盒體100的容納空間A。兩夾持件200適於沿一垂直於第一方向N1的第二方向N2移動而抵接物件20的邊緣21。其中第二方向N2與側壁110相互平行。

側壁110具有與夾持件200對應的至少一開槽112，在本實施例中是以左右兩側壁110各設有一個來作範例。各夾持件200滑設於對應的開槽112中，且各兩開槽112與各兩夾持件200皆是對稱地設置於盒體100的兩側。從而，各夾持件200能夠平均地定位於物件20對稱的兩側邊緣21上。在其他實施例中，開槽112可為其他適當形式的設計，本新型創作不對此加以限制。

詳細而言，各夾持件200還具有多個第二溝槽210。每一第二溝槽210均與一第一溝槽111對應，並同樣沿著第一方向N1延伸。物件20的兩邊緣21適於分別經由第一溝槽111伸入對應的第二溝槽210。各第二溝槽210均具有一夾固部210a。在本實施例中，夾固部210a即為第二溝槽210頂部向下的表面。

當夾持件200位於圖3所示的第一位置時，支撐部111a與夾固部210a間的距離係小於當夾持件200位於圖4所示第二位置時，支撐部111a與夾固部210a間的距離。基於此設計，當夾持件200位於如圖3所示的第一位置時，物件20的邊緣21被夾持於對應的第一溝槽111的支撐部111a與第二溝槽210的夾固部210a之間。

當夾持件200位於如圖4所示的第二位置時，支撐部111a與夾固部210a間的距離大於當夾持件200位於圖3所示第一位置時支撐部111a與夾固部210a間的距離。此時邊緣21可在第一溝槽111及第二溝槽210中通行而使物件20可被取放。而當物件20被放入運載裝置10中時，其邊緣21被承載於第一溝槽111的支撐部111a上，且分離於第二溝槽210的夾固部210a。

需說明的是，當運載裝置10中未容置有物件20時，夾持件200上下移動之範圍係可大於或等於物件20之邊緣21的厚度。但當第一溝槽111及第二溝槽210中容置有物件20時，夾持件200由圖3所示的第一位置移動至圖4所示的第二位置之距離就恰等於物件20之邊緣21的厚度了。

另外，當夾持件200位於圖4所示的第二位置時，第二溝槽210的底緣係不高於對應之第一溝槽111的底緣，亦即第二溝槽210的底緣係位於與對應之第一溝槽111的底緣相同高度或略低處(圖4所繪示者為第二溝槽210底緣略低於對應之第一溝槽111底緣之態樣)。如此物件20的邊緣21才能被取放的過程中順利地通過第一溝槽111及第二溝槽210。

此外，本實施例的第二溝槽210的數量與第一溝槽111的數量相同。當然，在其他實施例中，第一溝槽111以及第二溝槽210的形式與數量可視需求而定，本新型創作並不以此為限。

除此之外，在本實施例中，盒體100還具有稱地設置於頂壁120之兩側的定位凸部4，而夾持件200頂端具有對應於定位 凸部4的卡合部6。當夾持件200滑設於開槽112中時，夾持件200的卡合部6會扣住盒體100的定位凸部4，而使夾持件200的移動範圍被正確地限定於第一位置與第二位置之間。

當然，定位凸部4與卡合部6的數量並不以本實施例中所示範者為限。此外，在其他實施例中，盒體100的定位凸部4與夾持件200的卡合部6也可為其他適當形式的設計，本新型創作亦不對此加以限制。

請參考圖2至圖4，在本實施例中，各夾持件200底端還具有一延伸部220。延伸部220由夾持件200底端沿著盒體100的底壁130下表面向內側延伸並外露於盒體100的底面。當盒體100放置於一具有推抵結構2的基座3上時，延伸部220被推抵結構2推抵，而使夾持件200從第一位置移至第二位置。

由於夾持件200鄰近側壁110的部分是外露於盒體100側面的外部，並在盒體100側面底端的外部向底壁130的底面外側延伸出延伸部220的，因此盒體100的底壁130不需要額外開設穿孔讓夾持件200的底端穿越以與延伸部220連接。這樣的設計除了結構簡單外，還可提高整體結構的完整性及剛性。

詳細而言，一般半導體或光電相關產業的產線均使用高度自動化的設備。因此許多機台設備都設置有放置運載裝置以對其中所容置的物件進行取放之裝/卸載埠。該裝/卸載埠即相當於前述的基座3。

而為了能在放置運載裝置時將其正確定位，同時並觸發 取放片等後續動作，裝/卸載埠上通常都設置有一組稱作動態定位銷(Kinematic Coupling Pins,KCP)的組件，這些組件即相當於前述的推抵結構2。而運載裝置底部則須與這些動態定位銷對應設置一組承接結構。

如圖3及圖4所示，延伸部220還具有一導引凹槽222，導引凹槽222即為前述承接結構的一部分。每一導引凹槽222導引並承接一推抵結構2。

當運載裝置10尚未被放置到基座3上而呈懸空狀態時，夾持件200因為受到重力的作用而位於其移動範圍底端之第一位置。此時位於夾持件200底端之延伸部220頂端會與其上方的底壁130底面保持一段距離。

而當運載裝置10開始被放置到基座3上時，推抵結構2開始進入導引凹槽222內。在推抵結構2接觸導引凹槽222之表面並到達定位後，運載裝置10的盒體100會繼續向下移動。此時夾持件200之延伸部220受到推抵結構2向上推抵，因而推動夾持件200相對於盒體100向第一位置上方的第二位置移動。

當運載裝置10被下降至基座3上之放置位置並完全由各推抵結構2共同進行支撐時，夾持件200也到達如圖4所示的第二位置。如前所述，此時物件20的邊緣21不再受到支撐部111a與夾固部210a的夾持固定。於是，此時便可對運載裝置10中的物件20進行取放動作。

又，當運載裝置10在基座3上被放入物件20並要被傳 送至下一個工站時，首先傳送裝置會將其向上移離推抵結構2至呈現懸空狀態。在運載裝置10被向上移動的過程中，夾持件200因為底端的延伸部220不再受推抵結構2推抵，於是便會因為重力的作用而由第二位置相對於盒體100向下移動至第一位置。

而當夾持件200相對於盒體100下降移動到第一位置後，運載裝置10中所承載的物件20之邊緣21就會如圖3所示的一般受到夾持件200的夾固部210a與第一溝槽111的支撐部111a之共同夾置固定，因而可在後續的傳送過程中保持穩固。

夾持件200除了可以靠重力作用而從第二位置移動至第一位置外，在本實施例中，運載裝置10還可設有至少一復位件30。復位件30連接於夾持件200，以在夾持件200的延伸部220與推抵結構2分離時，夾持件200適於藉由復位件30所提供的復位力而從如圖4所示的第二位置移至如圖3所示的第一位置。

復位件30可以有多種不同的形式，例如可以是一簡單地連接附裝於夾持件200的重錘或配重塊，藉以增加重力對夾持件200的作用。或者也可以採用彈性件，並藉由彈性件的彈力來驅動夾持件200。而在本實施例中，則是以一連接於盒體100與夾持件200之延伸部220間的彈簧作為範例。

換言之，當推抵結構2推抵夾持件200的延伸部220時，延伸部220會向上擠壓作為復位件30的彈簧，使得作為復位件30的彈簧產生一向其兩端回復的彈力。同時，夾持件200也從如圖3所示的第一位置移至如圖4所示的第二位置。

而當運載裝置10被移離基座3而使得夾持件200的延伸部220不再受到推抵結構2推抵時，作為復位件30的彈簧原先因為被壓縮而產生的彈力便成為推動夾持件200由如圖4所示的第二位置回復至如圖3所示的第一位置的復位力。同時，夾持件200由於受到彈簧的推動，因此也可以提昇其對物件20的夾固效果。

在此必須說明的是，在本實施例中，至少一復位件30的數量與夾持件200相同，但在其他實施例中，運載裝置10也可以具有多個復位件30，本新型創作並不以此為限。

綜上所述，本新型創作的運載裝置中，在盒體設置了可動的夾持件，故當被承載的物件的邊緣被支撐於第一溝槽內的支撐部上，且運載裝置處於被輸送的狀態下時，夾持件可移動而使物件的邊緣被夾持在夾持件之夾固部與第一溝槽的支撐部之間，以達到穩固物件的效果。因此，運載裝置在運載及輸送的過程中，能利用夾持件之夾固部與第一溝槽的支撐部共同夾持並固定物件，以降低運載裝置所受到的搖晃及震動等外力作用對其所承載的物件造成的影響，從而避免物件於運載裝置內因為過度晃動或震動而受到撞擊、由放置位置脫落，並且因此而受損。

雖然本新型創作已以實施例揭露如上，然其並非用以限定本新型創作，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本新型創作的精神和範圍內，當可作些許的更動與潤飾，故本新型創作的保護範圍當視後附的申請專利範圍所界定者為準。

Claims (13)

1. 一種運載裝置，適於容納至少一物件，包括：一盒體，其中該盒體的至少一側壁具有至少一用以容納該至少一物件的至少一邊緣的第一溝槽，各該第一溝槽具有支撐該至少一邊緣的至少一支撐部；以及至少一夾持件，可動地配置於該盒體，且該至少一夾持件具有至少一夾固部，其中該至少一夾持件適於在一第一位置與一第二位置間移動，當該至少一夾持件在該第一位置時，該至少一夾持件的該夾固部與對應之該至少一第一溝槽的該支撐部間之距離係小於該至少一夾持件在該第二位置時該至少一夾持件的該夾固部與對應之該至少一第一溝槽的該支撐部間之距離。
2. 如申請專利範圍第1項所述的運載裝置，其中該至少一夾持件由該第一位置移動至該第二位置之距離恰等於該物件之該至少一邊緣的厚度。
3. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的運載裝置，其中該盒體的該至少一側壁具有至少一開槽，該至少一夾持件滑設於該至少一開槽。
4. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的運載裝置，其中該至少一夾持件適於藉由重力而從該第二位置移至該第一位置。
5. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的運載裝置，包括至少一復位件，其中該至少一復位件連接於該至少一夾持件，該至少一夾持件適於藉由該至少一復位件的復位力而從該第二位置移至該第一位置。
6. 如申請專利範圍第5項所述的運載裝置，其中該至少一復位件為至少一彈性件，且該至少一彈性件連接於該盒體與該至少一夾持件之間。
7. 如申請專利範圍第6項所述的運載裝置，其中該至少一夾持件具有一延伸部，該延伸部延伸至該盒體的一底壁，該至少一彈性件連接於該延伸部與該盒體的該底壁之間。
8. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的運載裝置，其中該至少一夾持件適於被一推抵結構推抵而從該第一位置移至該第二位置。
9. 如申請專利範圍第8項所述的運載裝置，其中該至少一夾持件具有一延伸部，該延伸部延伸至該盒體的一底壁，該延伸部適於被該推抵結構推抵。
10. 如申請專利範圍第9項所述的運載裝置，其中該至少一夾持件及該延伸部外露於該盒體。
11. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的運載裝置，其中該至少一夾持件具有至少一第二溝槽，該至少一夾固部係位於該至少一第二溝槽內。
12. 如申請專利範圍第11項所述的運載裝置，其中該至少一夾持件位於該第二位置時，該至少一第二溝槽的底緣係與對應之該至少一第一溝槽的底緣位於相同高度處。
13. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的運載裝置，其中該第一溝槽係沿一第一方向延伸，該至少一夾持件適於沿垂直於該第一方向的一第二方向移動。