JPH0662190B2 - 板状物の収納ケ−ス - Google Patents
板状物の収納ケ−スInfo
- Publication number
- JPH0662190B2 JPH0662190B2 JP60016549A JP1654985A JPH0662190B2 JP H0662190 B2 JPH0662190 B2 JP H0662190B2 JP 60016549 A JP60016549 A JP 60016549A JP 1654985 A JP1654985 A JP 1654985A JP H0662190 B2 JPH0662190 B2 JP H0662190B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- case
- plate
- lid
- storage case
- pins
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25H—WORKSHOP EQUIPMENT, e.g. FOR MARKING-OUT WORK; STORAGE MEANS FOR WORKSHOPS
- B25H3/00—Storage means or arrangements for workshops facilitating access to, or handling of, work tools or instruments
- B25H3/006—Storage means specially adapted for one specific hand apparatus, e.g. an electric drill
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Workshop Equipment, Work Benches, Supports, Or Storage Means (AREA)
- Packaging Of Annular Or Rod-Shaped Articles, Wearing Apparel, Cassettes, Or The Like (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はフォトマスク、レチクル等の板状物を収納する
ケースに関し、特に収納する板状物を清浄に保ちかつ損
傷を防止することのできる収納ケースに関するものであ
る。
ケースに関し、特に収納する板状物を清浄に保ちかつ損
傷を防止することのできる収納ケースに関するものであ
る。
［従来の技術］ 半導体装置の製造工程の一つであるフォトリソグラフィ
工程において使用されるフォトマスクやレチクルでは、
表面に塵埃等の異物が付着していると、パターン転写で
の欠陥が生じ易い。また、これらフォトマスクやレチク
ルは基板として石英等のガラス板を使用しているために
衝撃力によって割れや欠け等の損傷が生じ易い。このた
め、これらの板状物を清浄かつ安全に収納するためのケ
ースが必要とされ、種々の構造のものが考えられてい
る。その一例を第８図に示すが、従来のケースは、何れ
も１枚の板状物を単に水平状態を保ってケース内に収納
する構成であり、収納する板状物の清浄性、安全性等に
ついての配慮に欠けており、次のような問題点がある。
工程において使用されるフォトマスクやレチクルでは、
表面に塵埃等の異物が付着していると、パターン転写で
の欠陥が生じ易い。また、これらフォトマスクやレチク
ルは基板として石英等のガラス板を使用しているために
衝撃力によって割れや欠け等の損傷が生じ易い。このた
め、これらの板状物を清浄かつ安全に収納するためのケ
ースが必要とされ、種々の構造のものが考えられてい
る。その一例を第８図に示すが、従来のケースは、何れ
も１枚の板状物を単に水平状態を保ってケース内に収納
する構成であり、収納する板状物の清浄性、安全性等に
ついての配慮に欠けており、次のような問題点がある。
［発明が解決しようとする課題］ （１）第８図に示すように、これまでの収納ケース３０
は、支持ピン３１や拘束ピン３２によって板状物として
のフォトマスクＭを水平に支持しているため、搬送時に
収納ケース３０に加わる振動によってフォトマスクＭが
収納ケース３０内にて移動し、フォトマスクＭに割れ、
欠けが発生し、支持ピン３１とフォトマスクＭとの接触
部で摩擦による異物が発生し、これがフォトマスクＭの
表面に付着する。
は、支持ピン３１や拘束ピン３２によって板状物として
のフォトマスクＭを水平に支持しているため、搬送時に
収納ケース３０に加わる振動によってフォトマスクＭが
収納ケース３０内にて移動し、フォトマスクＭに割れ、
欠けが発生し、支持ピン３１とフォトマスクＭとの接触
部で摩擦による異物が発生し、これがフォトマスクＭの
表面に付着する。
（２）同図に鎖線で示すように、フォトマスクＭの収
納、取り出しに際して収納ケース３０の周側壁３３とフ
ォトマスクＭとの間に指の入るスペースを設けなければ
ならず、フォトマスクＭの寸法に対して収納ケースが大
型化される。
納、取り出しに際して収納ケース３０の周側壁３３とフ
ォトマスクＭとの間に指の入るスペースを設けなければ
ならず、フォトマスクＭの寸法に対して収納ケースが大
型化される。
（３）収納ケース３０の内部のコーナ部が角状であるた
めコーナ部に埃が溜まり易く、洗浄によってこれを除去
することが困難であり、残留した異物がフォトマスクＭ
へ付着する。
めコーナ部に埃が溜まり易く、洗浄によってこれを除去
することが困難であり、残留した異物がフォトマスクＭ
へ付着する。
（４）収納ケース本体３４と蓋３５との周側壁における
接触部（縁部）で摩擦による塵埃は発生し易く、フォト
マスクＭに異物が付着し易い。
接触部（縁部）で摩擦による塵埃は発生し易く、フォト
マスクＭに異物が付着し易い。
（５）収納ケース３０の蓋３５が約９０度しか開かない
ため、蓋３５を開けた状態での収納ケース全体の安定性
が悪く、フォトマスクＭの収納、取り出しの作業性が悪
い。
ため、蓋３５を開けた状態での収納ケース全体の安定性
が悪く、フォトマスクＭの収納、取り出しの作業性が悪
い。
［発明の目的］ 本発明の目的は、板状物を清浄かつ安全に収納すること
のできる収納ケースを提供することにある。
のできる収納ケースを提供することにある。
また、本発明の他の目的は板状物の収納ケースの小型化
を図ることにある。
を図ることにある。
さらに、本発明の他の目的はケースの洗浄を容易にしケ
ース内での異物の付着を防止できる板状物の収納ケース
を提供することにある。
ース内での異物の付着を防止できる板状物の収納ケース
を提供することにある。
本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は、
本明細書の記述および添付図面からあきらかになるであ
ろう。
本明細書の記述および添付図面からあきらかになるであ
ろう。
［課題を解決するための手段］ 本願において開示される発明の内、代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記の通りである。
を簡単に説明すれば、下記の通りである。
収納ケース内に立設し板状物をその周辺部で支持する複
数本の支持ピンの長さを変え、蓋に押えピンを設けるこ
とによって、板状物を水平方向から傾けた状態で支持・
固定し、前記支持ピンをケース本体の周側壁よりも高く
形成し、前記ケース本体と蓋との接触部分を少なくし蓋
の開閉に伴う発塵を防止する。
数本の支持ピンの長さを変え、蓋に押えピンを設けるこ
とによって、板状物を水平方向から傾けた状態で支持・
固定し、前記支持ピンをケース本体の周側壁よりも高く
形成し、前記ケース本体と蓋との接触部分を少なくし蓋
の開閉に伴う発塵を防止する。
［作用］ （１）板状物を水平方向から傾けた状態で支持し得るよ
うに構成することにより、収納ケースの搬送時における
ケース内での板状物の移動を抑制し、蓋に設けた押えピ
ンによって固定することによって、板状物へ加わる衝撃
を軽減して板状物の割れ、欠け等の損傷を防止し、板状
物とケースとの間の摩擦による発塵を防止して板状物を
安全かつ清浄に収納する。
うに構成することにより、収納ケースの搬送時における
ケース内での板状物の移動を抑制し、蓋に設けた押えピ
ンによって固定することによって、板状物へ加わる衝撃
を軽減して板状物の割れ、欠け等の損傷を防止し、板状
物とケースとの間の摩擦による発塵を防止して板状物を
安全かつ清浄に収納する。
（２）前記支持ピンをケース本体の周側壁よりも高く形
成することにより、板状物の収納、取り出しを容易に
し、併せてケースの小型化を図ることができる。
成することにより、板状物の収納、取り出しを容易に
し、併せてケースの小型化を図ることができる。
（３）ケース本体と蓋との接触部分を少なくし蓋の開閉
に伴う発塵を防止する。
に伴う発塵を防止する。
［実施例］ 第１図は本発明をフォトマスク収納用のケースに適用し
た実施例の破断斜視図、第２図乃至第４図はその平面図
とＸ，Ｙ方向の夫々の断面図である。
た実施例の破断斜視図、第２図乃至第４図はその平面図
とＸ，Ｙ方向の夫々の断面図である。
収納ケース１は帯電防止処理を施した或いは非帯電性の
樹脂等を用いて形成し、平面形状が略正方形をした浅い
皿状のケース本体２と、これよりも若干深い逆皿状の蓋
３とを有し、これらの後側面両端に設けたヒンジ４によ
って蓋３をケース本体２に対して１８０度の角度で開閉
自在としている。このヒンジ４はケース本体２と一体に
形成したロッド５を、蓋３と一体に形成したスリーブ６
に嵌入する構成となっている。また、ケース本体２と蓋
３の前側面両端にはロック部７を設け、閉成状態にある
蓋３をケース本体２に対してロックする。このロック部
７は蓋３の前側面の突条８に対して摺動可能にスライダ
９を取付け、このスライダ９の一部に設けた切欠溝１０
内にケース本体２の舌片１１を嵌合させる構成となって
いる。したがって、スライダ９を左右に移動させること
によって、ケース本体２と蓋３とをロックしあるいはロ
ック解除することができる。
樹脂等を用いて形成し、平面形状が略正方形をした浅い
皿状のケース本体２と、これよりも若干深い逆皿状の蓋
３とを有し、これらの後側面両端に設けたヒンジ４によ
って蓋３をケース本体２に対して１８０度の角度で開閉
自在としている。このヒンジ４はケース本体２と一体に
形成したロッド５を、蓋３と一体に形成したスリーブ６
に嵌入する構成となっている。また、ケース本体２と蓋
３の前側面両端にはロック部７を設け、閉成状態にある
蓋３をケース本体２に対してロックする。このロック部
７は蓋３の前側面の突条８に対して摺動可能にスライダ
９を取付け、このスライダ９の一部に設けた切欠溝１０
内にケース本体２の舌片１１を嵌合させる構成となって
いる。したがって、スライダ９を左右に移動させること
によって、ケース本体２と蓋３とをロックしあるいはロ
ック解除することができる。
前記ケース本体２は周側壁１２の上縁に薄肉部１２ａを
形成し、また蓋３は周側壁１３の下縁に薄肉部１３ａを
形成しており、蓋３の閉成状態で、ケース本体２の薄肉
部１２ａと蓋３の薄肉部１３ａとが接触することがない
ので、蓋３の開閉に伴うケース本体２と蓋３の各周側壁
１２，１３の摩擦接触を防止し、両薄肉部１２ａ，１３
ａによって二重に遮蔽されるので、外部との遮蔽度が向
上する。
形成し、また蓋３は周側壁１３の下縁に薄肉部１３ａを
形成しており、蓋３の閉成状態で、ケース本体２の薄肉
部１２ａと蓋３の薄肉部１３ａとが接触することがない
ので、蓋３の開閉に伴うケース本体２と蓋３の各周側壁
１２，１３の摩擦接触を防止し、両薄肉部１２ａ，１３
ａによって二重に遮蔽されるので、外部との遮蔽度が向
上する。
前記ケース本体２の内部底面四隅には夫々２本の拘束ピ
ン１４，１４を立設し、また各拘束ピン１４，１４間に
は夫々１本の支持ピン１５を立設している。前記拘束ピ
ン１４，１４はケース本体２と蓋３が形成するケース内
部空間の高さよりも若干短い長さに形成し、第２図の如
く収納するフォトマスクＭの四隅に当接してフォトマス
クＭの平面方向（Ｘ，Ｙ方向）の移動を拘束する。
ン１４，１４を立設し、また各拘束ピン１４，１４間に
は夫々１本の支持ピン１５を立設している。前記拘束ピ
ン１４，１４はケース本体２と蓋３が形成するケース内
部空間の高さよりも若干短い長さに形成し、第２図の如
く収納するフォトマスクＭの四隅に当接してフォトマス
クＭの平面方向（Ｘ，Ｙ方向）の移動を拘束する。
また、支持ピン１５は、上端がケース本体２の周側壁１
２よりも高くなるようにケース内部空間の高さの略半分
程度の長さとし、フォトマスクＭの裏面四隅に当接して
これを支持する。
２よりも高くなるようにケース内部空間の高さの略半分
程度の長さとし、フォトマスクＭの裏面四隅に当接して
これを支持する。
なお、本実施例ではケース前側（第４図中右側）の２本
の支持ピン１５ａと後側（第４図中左側）の２本の支持
ピン１５ｂの長さを変えて（前側を短くする）、フォト
マスクＭを傾けた状態で支持している。
の支持ピン１５ａと後側（第４図中左側）の２本の支持
ピン１５ｂの長さを変えて（前側を短くする）、フォト
マスクＭを傾けた状態で支持している。
前記蓋３の内底面四隅には前記支持ピン１５に対応する
位置に押えピン１６を下方に向けて立設している。これ
ら押えピン１６の長さは、対応する支持ピン１５ａ，１
５ｂの長さに応じて変化し、具体的にはケース内部空間
の高さから対応する前記支持ピン１５の長さおよびフォ
トマスクＭの厚さを差し引いた長さとする。
位置に押えピン１６を下方に向けて立設している。これ
ら押えピン１６の長さは、対応する支持ピン１５ａ，１
５ｂの長さに応じて変化し、具体的にはケース内部空間
の高さから対応する前記支持ピン１５の長さおよびフォ
トマスクＭの厚さを差し引いた長さとする。
これら押えピン１６は蓋３の閉成状態ではフォトマスク
Ｍの上面に当接し、支持ピン１５とでフォトマスクＭの
鉛直方向の移動を拘束する。
Ｍの上面に当接し、支持ピン１５とでフォトマスクＭの
鉛直方向の移動を拘束する。
ここで、前記拘束ピン１４、支持ピン１５、押えピン１
６は、その基部及び先端部を曲面に形成し、ケース本体
２、蓋３内部の各コーナ部も曲面に形成する。また、前
記支持ピン１５及び押えピン１６はフォトマスクＭのパ
ターン面部（有効面部）Ｍａから外れた位置に設けるこ
とはいうまでもない。
６は、その基部及び先端部を曲面に形成し、ケース本体
２、蓋３内部の各コーナ部も曲面に形成する。また、前
記支持ピン１５及び押えピン１６はフォトマスクＭのパ
ターン面部（有効面部）Ｍａから外れた位置に設けるこ
とはいうまでもない。
さらに、前記ケース本体２の底面四隅にはＬ字状の足部
１７を一体に形成し、また蓋３の上面四隅には先端が半
球形をした柱状の係止ピン１８を突設している。この係
止ピン１８の高さは足部１７の角部がケース本体２の下
面に形成する凹部１７ａに合わせた高さとし、第５図の
ように複数個のケース１を積み重ねたときに係止ピン１
８と足部１７とが係合してケース１相互の横ずれを防止
する。また、第６図に示すように、蓋３を開いた状態で
は係止ピン１８が接地して蓋３を支え、収納ケース１全
体を安定させている。
１７を一体に形成し、また蓋３の上面四隅には先端が半
球形をした柱状の係止ピン１８を突設している。この係
止ピン１８の高さは足部１７の角部がケース本体２の下
面に形成する凹部１７ａに合わせた高さとし、第５図の
ように複数個のケース１を積み重ねたときに係止ピン１
８と足部１７とが係合してケース１相互の横ずれを防止
する。また、第６図に示すように、蓋３を開いた状態で
は係止ピン１８が接地して蓋３を支え、収納ケース１全
体を安定させている。
本実施例の収納ケース１では、次の作用効果を奏する。
（１）収納されたフォトマスクＭは、第３図及び第４図
のように支持ピン１５と押えピン１６によって垂直方向
に拘束され、拘束ピン１４によって水平方向に拘束され
るため、収納ケース１内での移動は規制される。このと
き、支持ピン１５ａ，１５ｂの長さを変えてフォトマス
クＭを水平よりも傾けていることにより、各ピン１４，
１５，１６フォトマスクＭ間に多少の寸法差が生じてい
る場合でも、フォトマスクＭは、重力の水平分力によっ
て水平方向（第４図中右方）に付勢されるため移動が規
制され、収納ケース１の搬送時におけるフォトマスクＭ
がガタつくのを抑制できる。
のように支持ピン１５と押えピン１６によって垂直方向
に拘束され、拘束ピン１４によって水平方向に拘束され
るため、収納ケース１内での移動は規制される。このと
き、支持ピン１５ａ，１５ｂの長さを変えてフォトマス
クＭを水平よりも傾けていることにより、各ピン１４，
１５，１６フォトマスクＭ間に多少の寸法差が生じてい
る場合でも、フォトマスクＭは、重力の水平分力によっ
て水平方向（第４図中右方）に付勢されるため移動が規
制され、収納ケース１の搬送時におけるフォトマスクＭ
がガタつくのを抑制できる。
従って、収納ケース１内での移動によるフォトマスクＭ
の割れ、欠け等の損傷を防止し、フォトマスクＭとケー
スとの間の摩擦による塵埃の発生を抑制する。
の割れ、欠け等の損傷を防止し、フォトマスクＭとケー
スとの間の摩擦による塵埃の発生を抑制する。
（２）フォトマスクＭは、第７図のように、作業者が指
でフォトマスクＭの側面を支持してケース本体２の支持
ピン１５上に載置する。このとき、ケース本体２の周側
壁よりも支持ピン１５が高い位置設定となっているの
で、指がケース本体２の周側壁に接触せず載置操作が容
易である。同様に収納ケース１からフォトマスクＭを取
り出す場合も操作が容易となる。
でフォトマスクＭの側面を支持してケース本体２の支持
ピン１５上に載置する。このとき、ケース本体２の周側
壁よりも支持ピン１５が高い位置設定となっているの
で、指がケース本体２の周側壁に接触せず載置操作が容
易である。同様に収納ケース１からフォトマスクＭを取
り出す場合も操作が容易となる。
（３）周側壁を低くしたことにより周側壁の高い従来ケ
ース本体（同図に二点鎖線で示す）の場合と比較する
と、フォトマスクＭ周辺に指を入れるスペースを設ける
必要もなく、その分収納ケース１を小型にできる。
ース本体（同図に二点鎖線で示す）の場合と比較する
と、フォトマスクＭ周辺に指を入れるスペースを設ける
必要もなく、その分収納ケース１を小型にできる。
（４）ケース本体２と蓋３の各周側壁１２，１３には薄
肉部１２ａ，１３ａを形成し、蓋３の開閉に際し、薄肉
部１２ａ，１３ａが接触しない構造となっているので、
薄肉部１２ａ，１３ａが重なりあって内部を気密に近い
状態に保ちながらケース本体２と蓋３との摩擦部分を低
減し、摩耗粉等の異物の発生を防止する。
肉部１２ａ，１３ａを形成し、蓋３の開閉に際し、薄肉
部１２ａ，１３ａが接触しない構造となっているので、
薄肉部１２ａ，１３ａが重なりあって内部を気密に近い
状態に保ちながらケース本体２と蓋３との摩擦部分を低
減し、摩耗粉等の異物の発生を防止する。
（５）収納ケース１の洗浄に際しては、収納ケース１内
部のコーナ部や各ピン１４，１５，１６の基部を曲面で
形成したので、コーナ部の洗浄が容易となり異物が残存
することがない。
部のコーナ部や各ピン１４，１５，１６の基部を曲面で
形成したので、コーナ部の洗浄が容易となり異物が残存
することがない。
（６）蓋３のヒンジ４は１８０度の回動が可能であり、
フォトマスクＭの収納、取り出しの操作を容易となる。
なお、蓋３の開状態では１８０度開き略水平となった蓋
３を係止ピン１８によって支持するので、蓋３或いはケ
ース本体２がガタつくことはない。
フォトマスクＭの収納、取り出しの操作を容易となる。
なお、蓋３の開状態では１８０度開き略水平となった蓋
３を係止ピン１８によって支持するので、蓋３或いはケ
ース本体２がガタつくことはない。
（７）蓋のロック部はスライド方式であるので、板状物
の衝撃を与えることもない。
の衝撃を与えることもない。
以上本発明者によってなされた発明を実施例にもとづき
具体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。たとえば、支持ピンに
よる板状物の傾きは左右方向でもよく、あるいは前後方
向と左右方向を合わせた方向でもよい。また、各ピンは
別体に形成したものを接着等により取付けてもよい。
具体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。たとえば、支持ピンに
よる板状物の傾きは左右方向でもよく、あるいは前後方
向と左右方向を合わせた方向でもよい。また、各ピンは
別体に形成したものを接着等により取付けてもよい。
以上の説明では本発明をフォトマスクの収納ケースに適
用した場合について説明したが、それに限定されるもの
ではなく、レチクル、ウェーハ等の埃や異物の付着を防
止しかつ損傷を防止することが求められる全ての板状物
の収納用ケースに、本発明を適用することができる。
用した場合について説明したが、それに限定されるもの
ではなく、レチクル、ウェーハ等の埃や異物の付着を防
止しかつ損傷を防止することが求められる全ての板状物
の収納用ケースに、本発明を適用することができる。
［発明の効果］ （１）収納ケース内に立設した複数本の支持ピンの長さ
を変えて、収納する板状物（フォトマスク）を傾けた状
態で支持し、蓋に設けた押えピンにて固定するので、収
納ケース搬送中における板状物のガタつきを抑制し、板
状物の割れ、欠け等の損傷を防止することが可能とな
り、板状物とケースとの間の摩擦を抑制して摩耗粉等の
異物の発生を抑制する。
を変えて、収納する板状物（フォトマスク）を傾けた状
態で支持し、蓋に設けた押えピンにて固定するので、収
納ケース搬送中における板状物のガタつきを抑制し、板
状物の割れ、欠け等の損傷を防止することが可能とな
り、板状物とケースとの間の摩擦を抑制して摩耗粉等の
異物の発生を抑制する。
（２）支持ピンをケース本体の周側壁よりも高くしてい
るので、支持ピン上への板状物の載置、取り出し等の操
作が容易となり、かつこれに伴って操作時に指を入れる
ためのスペースが不要となり収納ケースの小型化を達成
できる。
るので、支持ピン上への板状物の載置、取り出し等の操
作が容易となり、かつこれに伴って操作時に指を入れる
ためのスペースが不要となり収納ケースの小型化を達成
できる。
（３）ケース本体と蓋の各周側壁に薄肉部を形成し、両
薄肉部が相互に接触しないため、蓋の開閉に伴う発塵を
防止することができる。
薄肉部が相互に接触しないため、蓋の開閉に伴う発塵を
防止することができる。
（４）収納ケース内のコーナ部や各ピンの基部を曲面に
形成したので、コーナー部の洗浄が容易となり、異物が
コーナ部に残存し板状物へ付着するのを防止できる。
形成したので、コーナー部の洗浄が容易となり、異物が
コーナ部に残存し板状物へ付着するのを防止できる。
（５）蓋を開閉させるヒンジは１８０度作動するので、
板状物の取扱が容易となる。
板状物の取扱が容易となる。
第１図は本発明の一実施例を一部を破断して示す斜視
図、 第２図はその一部を破断して示す平面図、 第３図は第２図のＸＸ線に沿う断面図、 第４図は第２図のＹＹ線に沿う断面図、 第５図はケースを積み重ねた状態を一部を破断して示す
正面図、 第６図は蓋を開いた状態を示す正面図、 第７図は板状物の操作状態を示す断面図、 第８図は従来構造の収納ケースを説明するための正面図
である。 １…収納ケース、２…ケース本体、３…蓋、４…ヒン
ジ、７…ロック部、１２，１３…周側壁、１２ａ，１３
ａ…薄肉部、１４…拘束ピン、１５…支持ピン、１６…
押えピン、１７…足部、１８…係止ピン、Ｍ…フォトマ
スク。
図、 第２図はその一部を破断して示す平面図、 第３図は第２図のＸＸ線に沿う断面図、 第４図は第２図のＹＹ線に沿う断面図、 第５図はケースを積み重ねた状態を一部を破断して示す
正面図、 第６図は蓋を開いた状態を示す正面図、 第７図は板状物の操作状態を示す断面図、 第８図は従来構造の収納ケースを説明するための正面図
である。 １…収納ケース、２…ケース本体、３…蓋、４…ヒン
ジ、７…ロック部、１２，１３…周側壁、１２ａ，１３
ａ…薄肉部、１４…拘束ピン、１５…支持ピン、１６…
押えピン、１７…足部、１８…係止ピン、Ｍ…フォトマ
スク。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 熊田 成人 東京都小平市上水本町1450番地 株式会社 日立製作所武蔵工場内 (72)発明者 万田 純一 東京都小平市上水本町1450番地 株式会社 日立製作所武蔵工場内 (56)参考文献 実開 昭58−20534（ＪＰ，Ｕ)
Claims (3)
- 【請求項１】ケース本体と、これに対して開閉される蓋
とを有し、ケース本体に立設した複数の支持ピンによっ
て収納する板状物をその周辺部にて支持し、ケース本体
に立設した複数の拘束ピンによって水平方向の移動を規
制する板状物を収納するためのケースであって、 前記蓋に前記支持ピンと対をなす複数の押えピンを対向
して立設し、収納する板状物の垂直方向の移動を規制
し、前記支持ピン及び押えピンの長さを変えて板状物を
水平状態から傾けて支持する構造とし、ケース本体に立
設する支持ピンの上端をケース本体の周側壁よりも高い
位置に設定し、ケース本体と蓋の周側壁の縁部に夫々薄
肉部を形成し、薄肉部相互の接触を防止したことを特徴
とする板状物の収納ケース。 - 【請求項２】ケース本体、蓋の内部コーナ部及び各ピン
の基部、先端を曲面形状に構成してなる特許請求の範囲
第１項記載の板状物の収納ケース。 - 【請求項３】ケース本体に対し、蓋が１８０度回動可能
に構成してなる特許請求の範囲第１項又は第２項に記載
の板状物の収納ケース。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60016549A JPH0662190B2 (ja) | 1985-02-01 | 1985-02-01 | 板状物の収納ケ−ス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60016549A JPH0662190B2 (ja) | 1985-02-01 | 1985-02-01 | 板状物の収納ケ−ス |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61190471A JPS61190471A (ja) | 1986-08-25 |
| JPH0662190B2 true JPH0662190B2 (ja) | 1994-08-17 |
Family
ID=11919352
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60016549A Expired - Lifetime JPH0662190B2 (ja) | 1985-02-01 | 1985-02-01 | 板状物の収納ケ−ス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0662190B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5248033A (en) * | 1991-05-14 | 1993-09-28 | Fluoroware, Inc. | Hinged tilt box with inclined portion |
| JP4601932B2 (ja) * | 2003-09-16 | 2010-12-22 | 大日本印刷株式会社 | 基板収納ケース |
| JP5392807B2 (ja) | 2007-06-05 | 2014-01-22 | サカセ化学工業株式会社 | 電子部品の運搬ケース |
| JP2009227304A (ja) * | 2008-03-24 | 2009-10-08 | E-Sun Precision Industrial Co Ltd | 堆積導電作用を有するマスク移載容器 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5820534U (ja) * | 1981-07-31 | 1983-02-08 | 昭和電工株式会社 | ウエハ−容器 |
-
1985
- 1985-02-01 JP JP60016549A patent/JPH0662190B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61190471A (ja) | 1986-08-25 |
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