TW202204231A - 具有導位構件的光罩盒 - Google Patents

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Abstract

一種具有導位構件的光罩盒，其包含：一底座、一上蓋及複數導位構件，上蓋蓋合於底座而形成一輪廓大致呈矩形的盒體，盒體具有一容置光罩的存放空間，導位構件沿一蓋合方向分別設置於上蓋二側邊或底座的至少二側邊，各導位構件包括一連接部、一導正部及一導引斜面部，連接部連接該上蓋的側邊，導正部的一端連接該連接部且沿蓋合方向延伸，該導正部相反的一端連接導引斜面部，導引斜面部具有朝外部空間延伸的一傾斜面。本發明的具有導位構件的光罩盒解決先前技術中光罩盒的誤差問題，使上蓋及底座能正確蓋合。

Description

具有導位構件的光罩盒
本發明係關於一種用於容置易碎品的載具，更特別的是關於一種具有導位構件的光罩盒。
積體電路及其他半導體裝置的製造領域中，一個重要的製程步驟即為微影(photolithography)。一般而言，微影涉及利用具有特定圖案的光罩使一晶圓表面選擇性地暴露至一輻射源以形成一蝕刻表面層。光罩通常為一非常平坦之透明石英，其包含欲被複製於晶圓上之圖案。因現代積體電路之關鍵元件之尺寸微小，對潔淨度要求極高，故光罩之操作表面應保持不存在可在加工期間損傷該表面或使投射至光阻劑層上之影像扭曲之污染物，否則該二者皆會導致最終產品具有不可接受之品質。
一般而言，光罩係在具有一上蓋及一底座之一標準機械介面(Standard Mechanical Interface Format；SMIF)容器或盒內所形成之一微潔淨室環境中儲存及/或運送。上蓋與底座相配合以形成用於保持光罩之一氣密性密封光罩盒。
在極紫外光微影製程中，光罩盒的開啟、蓋合動作仰賴自動化，而光罩盒的上蓋與底座在蓋合時，機台可能會出現對位誤差，當上蓋無法快速正確地蓋合於底座，上蓋與底座之間可能多次碰撞、磨損，不僅難以保護其儲存的光罩，過程中所產生的微粒亦會使光罩被汙染。因此，需要一種輔助機台導位之裝置。
因此，為解決習知光罩盒的種種問題，本發明提出一種具有導位構件的光罩盒。
為達上述目的及其他目的，本發明提出一種具有導位構件的光罩盒，其包含：一底座，具有複數側邊；一上蓋，具有複數側邊，該上蓋蓋合於該底座而形成一輪廓大致呈矩形的盒體，該盒體具有一容置光罩的存放空間；以及複數導位構件，該複數導位構件沿一蓋合方向分別設置於該上蓋的至少二側邊，各該導位構件包括一連接部、一導正部及一導引斜面部，該連接部連接該上蓋的側邊，該導正部的一端連接該連接部且沿該蓋合方向延伸，該導正部相反的一端連接該導引斜面部，該導引斜面部具有朝外部空間延伸的一傾斜面。
於本發明之一實施例中，該導位構件還具有至少一肋條，自該導正部的內面朝向該存放空間凸伸。
於本發明之一實施例中，該導位構件還具有至少一凸點部，自該導正部的內面朝向該存放空間凸伸。
於本發明之一實施例中，該導位構件數量設置於該上蓋的側邊的兩端。
於本發明之一實施例中，該導位構件為一長條側板。
於本發明之一實施例中，該底座的側邊具有一內縮段，位置對應於該導位構件。
於本發明之一實施例中，該連接部具有一螺絲鎖固孔位。
於本發明之一實施例中，該導正部及該導引斜面部為彈性體。
於本發明之一實施例中，該導位構件還具有一夾持件，設置於該導正部的內面並朝向該存放空間。
於本發明之一實施例中，更包括一外盒，該外盒包括一外盒上蓋及一外盒底座，當該外盒上蓋蓋合於該外盒底座時，該外盒中具有可容納該盒體的安放位置。
本發明又提出一種具有導位構件的光罩盒，其包含：一底座，具有複數側邊；一上蓋，具有複數側邊，該上蓋蓋合於該底座而形成一輪廓大致呈矩形的盒體，該盒體具有一容置光罩的存放空間；以及複數導位構件，沿一蓋合方向分別設置於該底座的至少二側邊，各該導位構件包括一連接部、一導正部及一導引斜面部，該連接部連接該底座的側邊，該導正部的一端連接該連接部，該導正部相反的一端連接該導引斜面部，該導引斜面部具有朝外部空間延伸的一傾斜面。
藉此，本發明的具有導位構件的光罩盒，若上蓋與底座在X軸方向或Y軸方向上的匹配有偏差，上蓋先以導引斜面部的傾斜面接觸底座，並順著傾斜面使底座被引導至接觸導正部，從而在最小接觸的情況下在正確的相對位置迅速完成蓋合。當正確蓋合時，各導位構件限制底座的位置，並且使底座及上蓋無法相對轉動。
為充分瞭解本發明，茲藉由下述具體之實施例，並配合所附之圖式，對本發明做一詳細說明。本領域技術人員可由本說明書所公開的內容瞭解本發明的目的、特徵及功效。須注意的是，本發明可透過其他不同的具體實施例加以施行或應用，本說明書中的各項細節亦可基於不同觀點與應用，在不悖離本發明的精神下進行各種修飾與變更。以下的實施方式將進一步詳細說明本發明的相關技術內容，但所公開的內容並非用以限制本發明的申請專利範圍。說明如後：
如圖1及圖2所示，本發明第一實施例之具有導位構件的光罩盒100，其包含：一底座21、一上蓋22及複數導位構件。
底座21具有複數側邊23。
上蓋22具有複數側邊24，上蓋22蓋合於底座21而形成一輪廓大致呈矩形的盒體2（即俯視下大致為矩形、具有四個側邊），盒體2具有一容置光罩R（參考圖5）的存放空間S。在本實施例中，盒體2的角落為圓角，以降低摩擦、減少碰撞，然而本發明不限於此。
複數導位構件沿上蓋22蓋合的一蓋合方向d分別設置於上蓋22的至少二側邊24。在本實施例中，係設置八個導位構件3a、3b、3c、3d、3e、3f、3g、3h沿上蓋22蓋合的一蓋合方向d分別設置於上蓋22的四側邊24，每側邊的兩端分別設有一個上述的導位構件，每個導位構件鄰近於盒體2的角落。八個導位構件乃為了重量平衡、設計美觀等因素考量，實際上本發明不限於此，可以由其他數量、其他的設置方式。
例如，在一個例子中，導位構件數量為四，分別設置於上蓋22的四側邊24，例如只設置圖1中的導位構件3a、3c、3e、3g，即每個側邊設有一個導位構件，且每個角落分配一個導位構件。
在另一個例子中，導位構件數量為四，分別設置於上蓋22的四側邊24，例如只設置圖1中的導位構件3a、3b、3e、3f，即每個側邊設有一個導位構件，且四個導位構件分別位於盒體2的二對角。
四個導位構件亦可以改設為分別設置為四個側邊的中段，而非鄰近盒體2的角落。
而為了精簡導位構件的數量，本發明的具有導位構件的光罩盒甚至可以最低限度僅設二個導位構件，分別設置於上蓋22的相鄰的二側邊24。二個導位構件可以為只設置圖1中的導位構件3a、3b（集中於一角落），或只設置圖1中的導位構件3a、3c（分別設置於相鄰角落），或只設置圖1中的導位構件3a、3f（分別設置於對角），且本發明不限於此。二個導位構件僅需要能分別協助圖面中X軸方向與Y軸方向的導位即可。
如圖3A所示，各導位構件以導位構件3a為例，其包括一連接部31、一導正部32及一導引斜面部33。連接部31連接上蓋22的側邊24，導正部32的一端連接連接部31且沿蓋合方向d延伸，導正部32相反的一端連接導引斜面部33，導引斜面部33具有朝外部空間延伸的一傾斜面331。
藉此，如圖2所示，當操作上蓋22與底座21相對蓋合時，若上蓋22與底座21在X軸方向或Y軸方向上的匹配有偏差，上蓋22先以導引斜面部33的傾斜面331接觸底座21，並順著傾斜面331使底座21被引導至接觸導正部32（可為底座21或上蓋22任一個相對移動），從而在最小接觸的情況下在正確的相對位置完成蓋合。當正確蓋合時，各導位構件限制底座21的位置，並且使底座21及上蓋22無法相對轉動。較佳地，各導位構件與底座21側邊約有0.2公釐的間隙。各導位構件的材質可為：聚醚醚酮（polyetheretherketone，PEEK）、氟化烴橡膠（Fluorinated Hydrocarbon rubber，KFM）、聚碳酸酯（Polycarbonate，PC）等塑膠材質及鋁、不鏽鋼等等金屬材質，以不易被磨耗的材質為佳。
進一步地，在一個例子中，如圖2及圖3A所示，連接部31具有一螺絲鎖固孔位311，以允許一螺絲C將導位構件鎖固於上蓋22。然而本發明不限於此，導位構件可以採用其他方式連接於上蓋22或底座21，譬如採用卡扣或其他構型方式。
進一步地，在一個例子中，如圖3A所示，導位構件3a還具有至少一肋條321，自導正部32的內面朝向存放空間S凸伸。肋條321可使導位構件3a與底座21可能接觸的面積更小，進一步降低摩擦產生的顆粒。
進一步地，在一個例子中，如圖3B所示，導位構件3a的另一個態樣為：具有至少一凸點部322，自導正部32的內面朝向存放空間S凸伸。凸點部322的功用如同前一個實施態樣的肋條321，用以進一步降低摩擦產生的顆粒。
進一步地，在一個例子中，如圖3C所示，導位構件的另一個態樣為一長條側板4，其取代了在一個側邊的兩端分別設置兩個導位構件的形式，而有更好更穩固的導位效果。
進一步地，如圖2所示，在本實施例中各導位構件3a、3b、3c、3d、3e、3f、3g、3h的連接部31連接於上蓋22的側邊24，而底座21的側邊23具有一內縮段211及一外擴段212。內縮段211位置對應於導位構件3b，內縮段211及外擴段212可協同限制導位構件3b的位置，亦可輔助上蓋22的導位。
進一步地，在一個例子中，如圖6A及圖6B所示，導位構件6的另一個態樣為：導正部62及導引斜面部63為彈性體。與先前態樣的剛性的導正部32及導引斜面部33不同，導正部62及導引斜面部63具有一定程度的彈性並可因受力而形變，使得當底座21及上蓋22的尺寸有公差時，導位構件6仍可藉由彈性的導正部62及導引斜面部63而夾持、固定底座21及上蓋22。在這個實施例中，彈性的導正部62及導引斜面部63緊密貼合底座21及上蓋22，藉由此種方式減少導位構件6、底座21及上蓋22之間的摩擦。連接部61可為剛性或彈性體，且本發明不限於此。
進一步地，在一個例子中，如圖7A及圖7B所示，導位構件6a的另一個態樣為：導位構件6a包括連接部61、導正部62a及導引斜面部63a。導正部62a及導引斜面部63a不限剛性或彈性體，且導位構件6a還具有一夾持件64，設置於導正部62a的內面並朝向存放空間S。夾持件64為柔軟具有彈性的長條體或表面塗層（例：表面塗佈鐵氟龍），當底座21及上蓋22後，夾持件64夾持固定底座21及上蓋22，使得蓋盒後底座21及上蓋22無Ｘ、Ｙ方向的位移及旋轉位移，藉由此種方式以減少導位構件6a、底座21及上蓋22之間的摩擦。
進一步地，如圖4所示，在本發明第二實施例中，與第一實施例的差別在於，具有導位構件的光罩盒200的各導位構件沿上蓋22蓋合的蓋合方向d分別設置於底座21的至少二側邊23。在本實施例中，各導位構件3a、3b、3c、3d、3e、3f、3g、3h的連接部31係連接於底座21的側邊23，導正部32的一端連接連接部31，導正部32相反的一端連接導引斜面部33，導引斜面部33具有朝外部空間延伸的一傾斜面331（即導引斜面部33朝上）。當上蓋22蓋合時，若在X軸方向或Y軸方向上的匹配有偏差，則上蓋22順著導引斜面部33被導引至正確的定位。
進一步地，如圖5所示，在本發明第三實施例中，具有導位構件的光罩盒300更包括一外盒5，外盒5包括一外盒上蓋52及一外盒底座51，當外盒上蓋52蓋合於外盒底座51時，外盒5中具有可容納上蓋22及底座21形成的盒體2的安放位置，而光罩R容置於盒體2的存放空間S。藉此，使光罩R具有雙重的保護。
本發明在上文中已以實施例揭露，然熟習本項技術者應理解的是，該實施例僅用於描繪本發明，而不應解讀為限制本發明之範圍。應注意的是，舉凡與該實施例等效之變化與置換，均應設為涵蓋於本發明之範疇內。因此，本發明之保護範圍當以申請專利範圍所界定者為準。
100:具有導位構件的光罩盒 200:具有導位構件的光罩盒 300:具有導位構件的光罩盒 2:盒體 21:底座 211:內縮段 212:外擴段 22:上蓋 23:側邊 24:側邊 31:連接部 311:螺絲鎖固孔位 32:導正部 321:肋條 322:凸點部 33:導引斜面部 331:傾斜面 3a:導位構件 3b:導位構件 3c:導位構件 3d:導位構件 3e:導位構件 3f:導位構件 3g:導位構件 3h:導位構件 4:長條側板 5:外盒 51:外盒底座 52:外盒上蓋 6:導位構件 6a:導位構件 61:連接部 62:導正部 62a:導正部 63:導引斜面部 63a:導引斜面部 64:夾持件 C:螺絲 d:蓋合方向 R:光罩 S:存放空間
圖1係為根據本發明第一實施例之具有導位構件的光罩盒之立體外觀示意圖。 圖2係為根據本發明第一實施例之具有導位構件的光罩盒之蓋合示意圖。 圖3A係為根據本發明實施例之導位構件之第一態樣之立體示意圖。 圖3B係為根據本發明實施例之導位構件之第二態樣之立體示意圖。 圖3C係為根據本發明實施例之導位構件之第三態樣之立體示意圖。 圖4係為根據本發明第二實施例之具有導位構件的光罩盒之蓋合示意圖。 圖5係為根據本發明第三實施例之具有導位構件的光罩盒之蓋合示意圖。 圖6A係為根據本發明實施例之導位構件之第四態樣之立體示意圖。 圖6B係為根據本發明實施例之導位構件之第四態樣之剖面示意圖。 圖7A係為根據本發明實施例之導位構件之第五態樣之立體示意圖。 圖7B係為根據本發明實施例之導位構件之第五態樣之剖面示意圖。
100:具有導位構件的光罩盒
21:底座
211:內縮段
212:外擴段
22:上蓋
23:側邊
24:側邊
31:連接部
3a:導位構件
3b:導位構件
3c:導位構件
3d:導位構件
3e:導位構件
3f:導位構件
3g:導位構件
3h:導位構件
C:螺絲
d:蓋合方向
S:存放空間

Claims (10)

  1. 一種具有導位構件的光罩盒，其包含： 一底座，具有複數側邊； 一上蓋，具有複數側邊，該上蓋蓋合於該底座而形成一輪廓大致呈矩形的盒體，該盒體具有一容置光罩的存放空間；以及 複數導位構件，沿一蓋合方向分別設置於該上蓋的至少二側邊，各該導位構件包括一連接部、一導正部及一導引斜面部，該連接部連接該上蓋的側邊，該導正部的一端連接該連接部且沿該蓋合方向延伸，該導正部相反的一端連接該導引斜面部，該導引斜面部具有朝外部空間延伸的一傾斜面。
  2. 如請求項1所述之具有導位構件的光罩盒，其中該導位構件還具有至少一肋條，自該導正部的內面朝向該存放空間凸伸。
  3. 如請求項1所述之具有導位構件的光罩盒，其中該導位構件還具有至少一凸點部，自該導正部的內面朝向該存放空間凸伸。
  4. 如請求項1所述之具有導位構件的光罩盒，其中該導位構件為一長條側板。
  5. 如請求項1所述之具有導位構件的光罩盒，其中該底座的側邊具有一內縮段，位置對應於該導位構件。
  6. 如請求項1所述之具有導位構件的光罩盒，其中該連接部具有一螺絲鎖固孔位。
  7. 如請求項1所述之具有導位構件的光罩盒，其中該導正部及該導引斜面部為彈性體。
  8. 如請求項1所述之具有導位構件的光罩盒，其中該導位構件還具有一夾持件，設置於該導正部的內面並朝向該存放空間。
  9. 如請求項1至8任一項所述之具有導位構件的光罩盒，更包括一外盒，該外盒包括一外盒上蓋及一外盒底座，當該外盒上蓋蓋合於該外盒底座時，該外盒中具有可容納該盒體的安放位置。
  10. 一種具有導位構件的光罩盒，其包含： 一底座，具有複數側邊； 一上蓋，具有複數側邊，該上蓋蓋合於該底座而形成一輪廓大致呈矩形的盒體，該盒體具有一容置光罩的存放空間；以及 複數導位構件，沿一蓋合方向分別設置於該底座的至少二側邊，各該導位構件包括一連接部、一導正部及一導引斜面部，該連接部連接該底座的側邊，該導正部的一端連接該連接部，該導正部相反的一端連接該導引斜面部，該導引斜面部具有朝外部空間延伸的一傾斜面。
TW109124946A 2020-07-23 2020-07-23 具有導位構件的光罩盒 TWI755795B (zh)

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