TWI429570B - 具有扣合結構之光罩盒 - Google Patents

具有扣合結構之光罩盒 Download PDF

Info

Publication number
TWI429570B
TWI429570B TW101110221A TW101110221A TWI429570B TW I429570 B TWI429570 B TW I429570B TW 101110221 A TW101110221 A TW 101110221A TW 101110221 A TW101110221 A TW 101110221A TW I429570 B TWI429570 B TW I429570B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
structure according
cover body
fastening structure
photomask
latching block
Prior art date
Application number
TW101110221A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201339067A (zh
Inventor
Chih Ming Lin
Kuan Lun Pan
Original Assignee
Gudeng Prec Ind Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Gudeng Prec Ind Co Ltd filed Critical Gudeng Prec Ind Co Ltd
Priority to TW101110221A priority Critical patent/TWI429570B/zh
Priority to US13/492,418 priority patent/US8870014B2/en
Priority to DE102012105237A priority patent/DE102012105237A1/de
Priority to SG2012045175A priority patent/SG193683A1/en
Publication of TW201339067A publication Critical patent/TW201339067A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI429570B publication Critical patent/TWI429570B/zh

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D45/00—Clamping or other pressure-applying devices for securing or retaining closure members
    • B65D45/02—Clamping or other pressure-applying devices for securing or retaining closure members for applying axial pressure to engage closure with sealing surface
    • B65D45/16—Clips, hooks, or clamps which are removable, or which remain connected either with the closure or with the container when the container is open, e.g. C-shaped
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/66—Containers specially adapted for masks, mask blanks or pellicles; Preparation thereof
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D43/00—Lids or covers for rigid or semi-rigid containers
    • B65D43/02—Removable lids or covers
    • B65D43/08—Removable lids or covers having a peripheral flange fitting over the rim of the container

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)
  • Respiratory Apparatuses And Protective Means (AREA)
  • Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)

Description

具有扣合結構之光罩盒
本發明係有關於一種光罩盒，尤指一種具有扣合結構的光罩盒。
光罩(Mask/Reticle)在積體電路製程中是關係整體良率的重要元件，由於作業環境中存在不少的微粒、水氣、或化學溶劑分子等物質，當這些物質附著於光罩表面後，會直接影響光罩在黃光微影製程中的透光率，進而造成半導體元件或液晶顯示元件良率降低；因此，一般光罩的保存或運送通常是存放在光罩盒中，以有效防止微塵粒子或水氣等物質附著於光罩表面。此外，為減少光罩於儲存及運輸期間與微粒、粉塵或有害氣體分子的接觸，半導體廠通常會要求提供儲存及運輸光罩的光罩盒要符合機械標準介面(Standard Mechanical Interface,SMIF)，以確保微粒或有害物質不致進入光罩儲放的環境，進而提高光罩於製程中的潔淨度。
傳統光罩盒包含有可相對罩合的殼罩及底座，並於殼罩周緣設置數個可相對扣掣在底座的鎖扣模組。符合機械標準介面(SMIF)的實施方式是在光罩盒進入製程設備內部時，利用製程設備的機械手臂將殼罩周緣的鎖扣模組向外扳開，以對應卡扣在底座上；惟，前述鎖扣模組包含有鎖固在殼罩上的承座、樞設於承座內的扣臂及用以提供回復力的彈簧，由於該鎖扣模組的零件多且組設方式繁雜，造成製作光罩盒的工時長、成本高，故不符所需；另外，該鎖扣模組之承座、扣臂通常係由塑膠材質所構成，彈簧則屬金屬材質，由於該鎖扣模組的零件並非單一材質，故不易於回收，不符環保要求。
有鑑於此，本發明人為達到上述目的，乃特潛心研究並配合學理之運用，終於提出一種設計合理且有效改善上述缺失之本發明。
本發明之一目的，在於提供一種具有扣合結構之光罩盒，以簡化卡扣元件的組設方式，並降低成本。
為了達成上述之目的，本發明係為一種具有扣合結構之光罩盒，包括一底座、一蓋體及複數卡扣元件，底座用以裝載光罩，底座的底緣具有複數扣槽，蓋體對應罩合在底座上，蓋體之周緣內側具有複數樞接部，卡扣元件對應扣槽設置，各卡扣元件包含卡掣塊及自卡掣塊延伸的彈性臂，彈性臂的另一端係連接樞接部；其中，受外力作用的卡掣塊係離開蓋體之周緣，且在外力移除後，卡掣塊透過彈性臂的彈性回復力而扣抵在扣槽上。
本發明之另一目的，在於提供一種具有扣合結構之光罩盒，其卡扣元件的材質可設為塑膠以利於卡掣塊及彈性臂一體成型，且因卡扣元件不具備有相異材質的彈簧，故利於回收而符合環保。
本發明之再一目的，在於提供一種具有扣合結構之光罩盒，其彈性臂係為凸向蓋體內部的弧形臂，且彈性臂之內側段及外側段的厚度係大於中間段的厚度，以令彈性臂同時具有較佳的強度及彈性回復力。
相較於習知，本發明光罩盒之卡扣元件並不具備金屬彈簧，卡扣元件扣合時，卡掣塊是利用其彈性臂本身的彈性回復力來扣抵在扣槽上，因不需具備金屬彈簧，故可減少扣合時所需要的零件；此外，由於本發明之卡扣元件是採用直接結合在蓋體的樞接部的方式，省卻習知鎖固承座及組設彈簧的工時，進而降低光罩盒成本，更增本發明之實用性。
有關本發明之詳細說明及技術內容，配合圖式說明如下，然而所附圖式僅提供參考與說明用，並非用來對本發明加以限制者。
請參照第一圖至第四圖，係分別為本發明光罩盒之蓋體與卡扣元件的立體分解示意圖、卡扣元件的平面示意圖、蓋體與卡扣元件組合後的部分立體示意圖、及蓋體與底座的組合示意圖；本發明係提供一種具有扣合結構之光罩盒1，其係用以儲放一光罩2。該光罩盒1包括一底座10、一蓋體20、及複數卡扣元件30。
該底座10係用以裝載該光罩2，且該底座10的底緣具有複數扣槽11。
該蓋體20係對應罩合在該底座10上，且該蓋體20之周緣內側係具有複數樞接部21。該些卡扣元件30係結合在該些樞接部21上，並對應該些扣槽11設置。本實施例中，該樞接部21係為一軸柱，惟實際實施時不以此為限。
各該卡扣元件30包含一卡掣塊31及自該卡掣塊31延伸的一彈性臂32，該彈性臂32的另一端係連接在該樞接部21上。於本實施例中，該彈性臂32連接該樞接部21的一端係為一套筒33，此外，該卡扣元件的材質為塑膠，該卡掣塊31及該彈性臂32係為一體成型者。
如第二圖所示，該卡扣元件30更詳細說明該卡扣元件30的結構如後。該卡掣塊31的一端係為用以扣抵該扣槽11的一凸塊311，該卡掣塊31的另一端係設有可供外力作用的一穿孔310；本實施例中，該卡掣塊31的二側分別延伸有一個彈性臂32，該二彈性臂32係呈對稱設置，且位於同一水平線上。
值得注意的是，該彈性臂32包含連接該卡掣塊31的一內側段321、連接該蓋體20之樞接部21的一外側段322、及介於該內側段321與該外側段322之間的一中間段323；其中，該內側段321、該外側段322及該中間段323皆設置呈弧狀，以使該彈性臂32形成一弧形臂，並凸向該蓋體20的內部，此外，該內側段321及該外側段322的厚度係大於該中間段323的厚度，例如可將該內側段321及該外側段322的厚度設為2mm，該中間段323的厚度則設置為1mm，藉此可令該彈性臂32同時具有較佳的強度及彈性回復力。
請同時參照第三圖及第四圖，組設該卡扣元件30時，該套筒33係套合在該樞接部21(軸柱)上，再利用螺帽或其他固定元件(圖未示)鎖固在該軸柱上，藉以防止該套筒33脫出。據此，當該卡掣塊31受外力作用(如使用符合機械標準介面的機械手臂)而移動時，該套筒33可相對於該樞接部21(軸柱)產生轉動。
又，該蓋體20具有貼接該底座10外緣的一內側壁22及間隔設置在該內側壁22外的一外側壁23，該內側壁22及該外側壁23之間係形成有一容置槽200，該樞接部21係位在該容置槽200中。此外，該內側壁22係在該卡掣塊31的對應位置處設有一內缺槽221，該外側壁23係在該卡掣塊31的對應位置處設有一外缺槽231，其中，當該卡掣塊31受外力作用時，該卡掣塊31係自該內缺槽221朝該外缺槽231的方向移動。
請續參照第五圖至第七圖，係分別為本發明光罩盒之卡扣元件使用時的平面示意圖、光罩盒之扣合示意圖、及扣合後的組合剖視圖；將該卡扣元件30結合於該蓋體20後，該蓋體20即可利用該卡扣元件30而扣合在該底座10上。
實際使用時可利用符合機械標準介面的裝置伸入該卡掣塊31的穿孔310中，以便於施力於該卡扣元件30上。接著，受到外力作用的該卡掣塊31係離開該蓋體20之周緣，當外力移除後，該卡掣塊31的凸塊311即透過該彈性臂32的彈性回復力而扣抵在該扣槽11上。
請續參照第八圖及第九圖，係分別為本發明之卡扣元件的另二種實施態樣；第八圖中，卡扣元件30a包含一卡掣塊31a、二彈性臂32a及二套筒33a。該二套筒33a係套合在蓋體20的樞接部21。該彈性臂32a包含連接該卡掣塊31a的一內側段321a、連接該蓋體20之樞接部21的一外側段322a、及介於該內側段321a與該外側段322a之間的一中間段323a。
第八圖與前一實施例不同的地方在於該內側段321a及該外側段322a係設置呈直線狀。該內側段321a係自該卡掣塊31a朝該蓋體20內部的方向斜向設置，該外側段322a則是自該樞接部21a朝該蓋體20內部的方向斜向設置，該中間段323a則是彎折並凸向該蓋體20的內部。
第九圖中，卡扣元件30b包含一卡掣塊31b、一彈性臂32b及一套筒33b，該套筒33b係套合在蓋體20的樞接部21。第九圖與第一實施例不同的地方在於該卡扣元件30b僅設置有一個彈性臂32b，且該彈性臂32b更包含自該套筒33b延伸的一擋抵段34b。當該卡掣塊31b受外力作用而朝該蓋體20外側移動時，該擋抵段34b係朝反向移動，並受該蓋體20b擋抵而具有彈性回復力。
以上所述僅為本發明之較佳實施例，非用以限定本發明之專利範圍，其他運用本發明之專利精神之等效變化，均應俱屬本發明之專利範圍。
1‧‧‧光罩盒
2‧‧‧光罩
10‧‧‧底座
11‧‧‧扣槽
20‧‧‧蓋體
200‧‧‧容置槽
21‧‧‧樞接部
22‧‧‧內側壁
221‧‧‧內缺槽
23‧‧‧外側壁
231‧‧‧外缺槽
30、30a、30b‧‧‧卡扣元件
31、31a、31b‧‧‧卡掣塊
310‧‧‧穿孔
311‧‧‧凸塊
32、32a、32b‧‧‧彈性臂
321‧‧‧內側段
322‧‧‧外側段
323‧‧‧中間段
33、33a、33b‧‧‧套筒
34b‧‧‧擋抵段
第一圖係本發明光罩盒之蓋體與卡扣元件的立體分解示意圖﹔
第二圖本發明之卡扣元件的平面示意圖；
第三圖係本發明之蓋體與卡扣元件組合後的部分立體示意圖；
第四圖係本發明之蓋體與底座的組合示意圖；
第五圖係本發明之光罩盒之卡扣元件使用時的平面示意圖；
第六圖係本發明之光罩盒的扣合示意圖；
第七圖係本發明之光罩盒扣合後的組合剖視圖；
第八圖本發明之卡扣元件的另一實施態樣；
第九圖本發明之卡扣元件的再一實施態樣。
20‧‧‧蓋體
200‧‧‧容置槽
21‧‧‧樞接部
22‧‧‧內側壁
221‧‧‧內缺槽
23‧‧‧外側壁
231‧‧‧外缺槽
30‧‧‧卡扣元件
31‧‧‧卡掣塊
310‧‧‧穿孔
311‧‧‧凸塊
32‧‧‧彈性臂
33‧‧‧套筒

Claims (11)

  1. 一種具有扣合結構之光罩盒，包括:
    一底座，用以裝載所述光罩，該底座的底緣具有複數扣槽；
    一蓋體，對應罩合在該底座上，該蓋體之周緣內側係具有複數樞接部；以及
    複數卡扣元件，對應該些扣槽設置，各該卡扣元件包含一卡掣塊及自該卡掣塊延伸的一彈性臂，該彈性臂的另一端係連接該樞接部；
    其中，受外力作用的該卡掣塊係離開該蓋體之周緣，且在外力移除後，該卡掣塊係透過該彈性臂的彈性回復力而扣抵在該扣槽上。
  2. 如請求項1所述之具有扣合結構之光罩盒，其中該蓋體具有貼接該底座外緣的一內側壁及間隔設置在該內側壁外的一外側壁，該內側壁及該外側壁係形成有一容置槽，該樞接部係位在該容置槽中。
  3. 如請求項2所述之具有扣合結構之光罩盒，其中該內側壁係在該卡掣塊的對應位置處設有一內缺槽，該外側壁係在該卡掣塊的對應位置處設有一外缺槽，該卡掣塊係受外力作用而自該內缺槽朝該外缺槽的方向移動。
  4. 如請求項1所述之具有扣合結構之光罩盒，其中該彈性臂為一弧形臂，並凸向該蓋體的內部。
  5. 如請求項1所述之具有扣合結構之光罩盒，其中該卡掣塊的二側分別延伸有一彈性臂，該二彈性臂係呈對稱設置，且位於同一水平線上。
  6. 如請求項1或5所述之具有扣合結構之光罩盒，其中該彈性臂包含連接該卡掣塊的一內側段、連接該樞接部的一外側段、及介於該內側段與該外側段之間的一中間段，該內側段及該外側段的厚度係大於該中間段的厚度。
  7. 如請求項6所述之具有扣合結構之光罩盒，其中該內側段係自該卡掣塊朝該蓋體內部的方向斜向設置，該外側段則是自該樞接部朝該蓋體內部的方向斜向設置，該中間段則是彎折並凸向該蓋體的內部。
  8. 如請求項1或5所述之具有扣合結構之光罩盒，其中該樞接部係為一軸柱，該彈性臂連接該樞接部的一端係為一套筒，該套筒係套合該軸柱，並可相對於該軸柱產生轉動。
  9. 如請求項8所述之具有扣合結構之光罩盒，其中該彈性臂更包含自該套筒延伸的一擋抵段，該卡掣塊受外力作用而朝該蓋體外側移動時，該擋抵段係朝反向移動，並受該蓋體擋抵而具有彈性回復力。
  10. 如請求項1所述之具有扣合結構之光罩盒，其中該卡掣塊的一端係為用以扣抵該扣槽的一凸塊，該卡掣塊的另一端係設有可供外力作用的一穿孔。
  11. 如請求項1所述之具有扣合結構之光罩盒，其中該卡扣元件的材質係為塑膠，且該卡掣塊及該彈性臂係為一體成型。
TW101110221A 2012-03-23 2012-03-23 具有扣合結構之光罩盒 TWI429570B (zh)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW101110221A TWI429570B (zh) 2012-03-23 2012-03-23 具有扣合結構之光罩盒
US13/492,418 US8870014B2 (en) 2012-03-23 2012-06-08 Mask box having a buckling structure
DE102012105237A DE102012105237A1 (de) 2012-03-23 2012-06-15 Behälter für Fotomasken mit einem biegbaren Gebilde
SG2012045175A SG193683A1 (en) 2012-03-23 2012-06-18 Mask box having a buckling structure

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW101110221A TWI429570B (zh) 2012-03-23 2012-03-23 具有扣合結構之光罩盒

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201339067A TW201339067A (zh) 2013-10-01
TWI429570B true TWI429570B (zh) 2014-03-11

Family

ID=49112126

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW101110221A TWI429570B (zh) 2012-03-23 2012-03-23 具有扣合結構之光罩盒

Country Status (4)

Country Link
US (1) US8870014B2 (zh)
DE (1) DE102012105237A1 (zh)
SG (1) SG193683A1 (zh)
TW (1) TWI429570B (zh)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108375872B (zh) * 2017-01-25 2022-04-15 家登精密工业股份有限公司 极紫外光光罩容器
DE102017111753A1 (de) 2017-05-30 2018-12-06 Schoeller Allibert Gmbh Behälter mit Deckelverschlussverriegelung
CN107792522A (zh) * 2017-11-09 2018-03-13 江门市辉捷塑胶五金制造有限公司 一种新型一按式保鮮盒
WO2019099035A1 (en) * 2017-11-17 2019-05-23 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Protective packaging
US20230014864A1 (en) * 2019-12-24 2023-01-19 Entegris, Inc. Reticle pod having retention through baseplate
US20210300635A1 (en) * 2020-03-24 2021-09-30 Gudeng Precision Industrial Co., Ltd Container system
TWI755795B (zh) * 2020-07-23 2022-02-21 家登精密工業股份有限公司 具有導位構件的光罩盒
WO2023204991A1 (en) * 2022-04-19 2023-10-26 Entegris, Inc. Reticle container having rotating connector with spring force latching

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4344646A (en) * 1980-05-27 1982-08-17 Woodstream Corporation Detachable latch
US6825916B2 (en) * 2002-07-05 2004-11-30 Entegris, Inc. Reticle carrier with positioning cover
US7400383B2 (en) * 2005-04-04 2008-07-15 Entegris, Inc. Environmental control in a reticle SMIF pod
TWI317339B (en) * 2006-12-22 2009-11-21 Ind Tech Res Inst A latch mechanism of clean container

Also Published As

Publication number Publication date
US20130248399A1 (en) 2013-09-26
SG193683A1 (en) 2013-10-30
US8870014B2 (en) 2014-10-28
TW201339067A (zh) 2013-10-01
DE102012105237A1 (de) 2013-09-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI429570B (zh) 具有扣合結構之光罩盒
TWI383931B (zh) 光罩基底收容箱、光罩基底之收容方法及光罩基底收容體
KR102233092B1 (ko) 2개의 캠 프로파일을 갖는 래칭 메커니즘을 갖는 기판 컨테이너
US8437119B2 (en) Electrical junction box
US9214754B2 (en) Holding device used for electrical connector
US7641071B2 (en) Fastening structure of clean container
TWI627117B (zh) Substrate storage container
KR20140092548A (ko) 웨이퍼 보관 장치
JP2005320028A (ja) リテーナ及び基板収納容器
KR102131473B1 (ko) 기판 수납 용기
US20060166542A1 (en) IC socket
JP6106271B2 (ja) 基板収納容器
JP2008265761A (ja) レチクルケース
JP5843190B2 (ja) マスクケースのマスク係止具
TWI691445B (zh) 基板收納容器
US20090114563A1 (en) Reticle storage apparatus and semiconductor element storage apparatus
US20140313652A1 (en) Latch structure
JP2016092274A (ja) 保持具及び雑音電流吸収具
WO2018179859A1 (ja) 半導体ウェハ容器
US20090127159A1 (en) Storage apparatus
CN211573940U (zh) 连接件
US20220238362A1 (en) Reticle pod with quick-release support mechanism
JP2018158662A (ja) 車載機器用の筐体および車載機器
US20090116937A1 (en) Storage apparatus and filter module therein
CN101209761A (zh) 洁净容器扣合结构