TWI652757B - 具有光罩側圍阻之光罩容置盒 - Google Patents

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Abstract

本發明提供一種光罩容置盒，其包括一外部容置盒、一內部容置盒罩蓋及一內部底板。一光罩支撐於該基座上且包含於由該內部容置盒罩蓋及該內部容置盒基座創建的環境內。該內部容置盒罩蓋可包括複數個光罩保持器，其經組態以接觸該光罩之一側壁及限制該光罩在一水平方向上之移動。

Description

具有光罩側圍阻之光罩容置盒
本發明大體上係關於用於儲存、運輸、運送及/或處理諸如光遮罩、光罩及晶圓之易碎裝置的容器。更特定而言，本發明係關於具有併入有光罩保持器之內部容置盒之雙圍阻光罩容置盒，該光罩保持器限制或限定在水平方向上的移動以致力於使容置盒內粒子的產生減至最少。
製造積體電路及其他半導體裝置中通常遇到的處理步驟中之一者係光微影。大體上，光微影涉及使用經圖案化模板將專門製備之晶圓表面選擇性地暴露至輻射源以建立經蝕刻表層。通常，該經圖案化模板為光罩，其為含有待於晶圓上再現之圖案之極扁平玻璃板。舉例而言，該晶圓表面可藉由首先在其上沈積氮化矽接著塗佈光敏式液體聚合物或光阻來製備。接下來，紫外(UV)光照射穿過遮罩或光罩之表面或自該表面反射以將所要圖案投射至光阻覆蓋之晶圓上。光阻之暴露於光之部分經化學修飾且當晶圓隨後遭受化學媒介時保持不受影響，該化學媒介移除使經修飾光阻留在於遮罩上呈精確圖案形狀之晶圓上之未暴露光阻。晶圓隨後經受移除氮化層之經暴露部分從而使氮化圖案留在呈精確遮罩設計之晶圓上之蝕刻製程。此經蝕刻層單獨地或與其他類似創建的層組合表示表徵特定積體電路或半導體晶片之「電路」之裝置及該等裝置之間的互連件。 藉由EUV，使用與穿過深紫外光光微影之光罩特性的透射相反之自經圖案化表面之反射因此，EUV光微影中採用的反射光遮罩(光罩)易受污染物影響且比用於習知光微影中之光罩受到更大程度的損害。鑒於光罩之精密特徵對於因滑動摩擦及/或磨損引起的損害之敏感性，在製造、處理、運送、搬運、運輸或儲存期間，光罩與其他表面之間不必要及非預期的接觸係非所要的。
本發明大體上係關於用於儲存、運輸、運送及/或處理諸如光遮罩、光罩及晶圓之易碎裝置的容器，且更特定而言，係關於具有併入有光罩保持器之內部容置盒之雙圍阻光罩容置盒，該光罩保持器限制或限定在X方向及Y方向上的移動以致力於使容置盒內粒子的產生減至最少。如本文所描述，光罩保持器經組態以接觸容納於內部容置盒內之光罩之側壁，且在一些情況下，使在Z方向上施加至光罩之頂表面之負載的量減至最少。 在一些實施例中，用於固持光罩之光罩容置盒包括：基座，其經組態以在其上支撐光罩；罩蓋，其具有頂表面且經組態以與該基座配合；及一或多個光罩保持器，其各自包括經組態以接觸光罩之側壁以限制光罩之移動的光罩接觸部件。每一光罩接觸部件包括朝外延伸的臂及延伸穿過罩蓋之朝下延伸的腿，其中當致動該臂時，朝下延伸的腿經組態以在朝光罩之側壁之方向上移動。在一個實施例中，光罩容置盒可包含於外部容置盒內，該外部容置盒具有一外部容置盒基座及經組態以與該外部容置盒基座配合之一外部容置盒罩蓋。外部容置盒罩蓋包括內表面及自內表面延伸之至少一個接觸襯墊，使得當光罩容置盒包含於外部容置盒內時，該外部容置盒罩蓋接觸且致動光罩容置盒之朝外延伸的臂，從而引起朝下延伸的腿在朝光罩之側壁之方向上移動。 在其他實施例中，保持光罩之方法包括：在具有經組態以在其上支撐光罩之特徵之基座上接收光罩；將罩蓋置放在包括光罩之基座上以界定內部容置盒，該罩蓋包括一或多個光罩保持器，其各自包括光罩接觸部件，每一光罩接觸部件包括在罩蓋之頂表面上方至少部分地延伸之朝外延伸的臂及延伸穿過罩蓋之朝下延伸的腿；及限制光罩之移動。
如在本說明書及隨附申請專利範圍中所使用，除非文中另外明確指示，否則單數形式「一(a/an)」、「該(the)」包括複數個指示物。除非文中另外明確指示，否則如本說明書及隨附申請專利範圍中所使用，術語「或」通常以其包括「及/或」之意義使用。 應參看圖式閱讀以下詳細描述，其中不同圖式中之類似元件編號相同。詳細描述及未必按比例繪製之圖式描繪說明性實施例且不意欲限制本發明之範疇。所描繪之說明性實施例僅意欲為例示性的。除非有明確相反陳述，否則任何說明性實施例之所選特徵可併入至額外實施例中。 圖1至圖3展示用於儲存及運輸光罩或遮罩12之例示性光罩容置盒10的各種視圖。光罩容置盒10有時可被稱作雙圍阻容置盒或EUV容置盒，且可共用與美國專利第8,613,359號中展示及描述之光罩容置盒的一些類似特徵，該專利出於所有目的以全文引用之方式併入本文中。術語光罩可用於指代石英坯料、光遮罩、EUV遮罩及可用於半導體製造產業中之其他遮罩，該等遮罩易受到微粒及其他物質損害。在一些情況下，光罩12可實質上呈正方形形狀，且可用所需電路圖案(未描繪)蝕刻。雖然參看大體正方形形狀的光罩描述所揭露之光罩容置盒10，但熟習此項技術者將大體上理解，可使用其他形狀之光罩，諸如矩形、多邊形或圓形形狀光罩。 如圖1至圖3中可見，光罩容置盒10包括外部容置盒11，該外部容置盒包括經組態以與外部容置盒基座18配合之外部容置盒罩蓋14，圍封又固持光罩12之內部容置盒15。內部容置盒15包括內部容置盒罩蓋26，該內部容置盒罩蓋經組態以與內部容置盒基座32配合以形成其中包含光罩12的密封環境。外部容置盒罩蓋14可包括設置於內表面上之一或多個接觸襯墊或突起，該一或多個接觸襯墊或突起經組態以接觸及施加向下壓力至設置於內部容置盒之罩蓋中之對應的光罩保持器。此外，在一些情況下，外部容置盒罩蓋14可包括任選機械凸緣22，其便於光罩容置盒10在整個製造設施中之自動化運輸。 現參看圖3，內部容置盒基座32之大小及形狀大體上符合光罩12之大小及形狀，且其在光罩12包含於內部容置盒內時支撐光罩12。內部容置盒基座32包括相對的第一主平行表面34及第二主平行表面36及四個弧形隅角38，且界定接近第一主表面34之周邊之連續接觸密封表面42。在一個實例中，整個第一主表面34可具有均一及高度拋光的表面修整度，但此並非為必要的。 在一些情況下，如3圖中所展示，內部容置盒基座32可包括一對光罩導引件46及位於基座32之四個隅角38中之每一者中之光罩接觸件48。在美國專利第8,613,359號中更詳細地展示及描述此類光罩導引件及光罩接觸件，該專利以引用之方式併入本文中。光罩導引件46可用於當光罩12安放在基座32上時導引及對準光罩12。光罩12可擱置在位於基座32之四個隅角38中之每一者的光罩支撐件48上且由其支撐。光罩支撐件48可呈球面球或遠離基座32之第一主表面34延伸的突起形式。在一些實施例中，光罩支撐件48可以相等距離定位在一對光罩導引件46之光罩導引件46中之每一者之間。此外，光罩支撐件48可經組態使得其將光罩12懸掛在內部容置盒基座32之主表面34上方之預定義高度處，從而在光罩與內部容置盒基座之表面34之間產生間隙。在一些情況下，該間隙經標定尺寸以界定光罩12與基座32之間的擴散層或擴散障壁。擴散障壁抑制粒子遷移至間隙中。 內部容置盒罩蓋26經組態以與內部容置盒基座32配合以界定密封環境。內部容置盒罩蓋26之大小及形狀大體上對應於內部容置盒基座32之大小及形狀。在一些情況下，內部容置盒罩蓋26可包括複數個突起或插腳54，該等突起或插腳經設定大小及經組態以藉由界定於基座32之邊緣中之複數個凹口56接收。插腳54及凹口56一起協作以導引及對準基座32上方之罩蓋26且亦當罩蓋26與基座32接合時將罩蓋26保持在恰當位置。 內部容置盒罩蓋26亦併入有一或多個光罩保持器60，其將在本文中更詳細地描述。光罩保持器60有助於減小或防止可產生粒子之光罩之移動。光罩保持器併入至內部容置盒罩蓋26中使得當內部容置盒罩蓋26關閉及包含於外部容置盒內時，光罩保持器約束光罩在X及Y平面中的水平或左右移動以及在Z方向上的移動。回應於藉由設置於外部容置盒罩蓋之內表面上之對應結構在Z方向上施加至保持器之向下力，光罩保持器60接合光罩之側面及/或邊緣。在許多實施例中，內部容置盒罩蓋26包括至少兩個光罩保持器60。舉例而言，在一個實施例中，內部容置盒罩蓋26包括四個光罩保持器60。光罩保持器60之數目及位置可視整個容置盒10的大小及待施加至包含於內部容置盒內之光罩12之負載而變化。 除了光罩保持器60之外，內部容置盒罩蓋26可包括一或多個過濾器64，該等過濾器包括其中所含之過濾介質，用於在內部容置盒罩蓋26與內部容置盒基座32接合時維持及控制內部容置盒內之微環境。 圖4為根據本發明之一實施例的光罩保持器60之近距橫截面視圖。在一些情況下，至多四個此等光罩保持器60可位於容置盒之不同區域處。光罩保持器60A包括延伸穿過設置於罩蓋26中之孔72的插腳68。插腳68可附接至彈性部件76，該彈性部件在罩蓋26之外表面上係可觸及的。彈性部件76可為經組態以將插腳68偏置於回縮位置之彈性圓盤。在回縮位置中，在不存在於Z方向上施加至插腳68之向下力的情況下，插腳68朝上且遠離光罩12定位。形成彈性部件76之圓盤可在插腳68與孔72之間形成密封件以防止微粒物質進入內部容置盒。 插腳68包括兩個凹座78。球面部件或球80a、80b接收於凹座78中之每一者中。球面部件或球80a、80b可由金屬、金屬合金、陶瓷或聚合材料形成。第一球80a可以相對於第二球80b之一角度定位，以使得當光罩保持器60A接合光罩12時，第一球80a與光罩12之上表面82接觸且第二球80b與光罩12之側表面84接觸。回應於藉由設置於外部容置盒罩蓋之內表面上之對應結構提供之向下力的施加，光罩保持器60A接合光罩12。接觸光罩12之上表面82同時接觸光罩之側表面84會將光罩12約束在其邊緣處。由於光罩保持器60A接合光罩12之邊緣84，因此可防止或減小X及Y平面中之左右或水平移動。此外，可減小在Z方向上施加之負載。 圖5為另一光罩保持器160之近距橫截面視圖。在一些情況下，至多四個此類光罩保持器160可位於容置盒之不同區域處以提供至多四個不同接觸點。類似於本文參看圖4所論述之實施例，光罩保持器160包括延伸穿過設置於罩蓋26中之孔172之阻塞物或插腳168。插腳168可附接至彈性部件176，該彈性部件在罩蓋26之外表面上係可觸及的。彈性部件176可為經組態以將插腳168偏置於回縮位置之彈性圓盤。在回縮位置中，插腳168朝上且遠離光罩12定位。形成彈性部件176之圓盤可在插腳168與孔172之間形成密封件以防止微粒物質進入內部容置盒。 光罩接觸部件180耦接至插腳168。光罩接觸部件180可由不鏽鋼或TORLON形成，且具有傾斜接觸表面182。在一些情況下，光罩12之邊緣184可成倒角或斜角。當向插腳168施加向下力以在Z方向上移動插腳時，接觸部件180之傾斜接觸表面182經組態以接觸及約束光罩12之邊緣184。回應於藉由設置於外部容置盒罩蓋之內表面上之對應結構提供之向下力的施加，光罩保持器160接合光罩12。由於光罩保持器160接合光罩12之邊緣184，因此可防止或減小X及Y平面中之左右或水平移動。此外，可減小在Z方向上施加之負載。 圖6A為根據本發明之另一實施例的設置於內部容置盒罩蓋26之內表面28上的另一光罩保持器260的近距視圖。在一些情況下，至多四個此類光罩保持器260可位於容置盒之不同區域處以提供至多四個不同接觸點。圖6B為圖6A中所展示之光罩保持器260之示意性橫截面視圖。如圖6A及圖6B中所展示，光罩保持器260包括彈簧撓曲件或彈簧臂262。使用螺釘264或其他扣件將彈簧臂262固定至罩蓋26之內表面。彈簧臂262經組態以在與插腳268接觸時在Z方向上朝下撓曲。彈簧臂262經組態以自未施加力之鬆弛狀態至施加向下力之第二狀態朝下撓曲，從而在一定張力之下置放彈簧臂262。彈簧臂262經偏置至其鬆弛狀態且僅在由插腳268向其施加向下力時移動。彈簧臂262可由不鏽鋼、鈦、鈦合金、具有形狀記憶屬性之NITINOL及所選擇之彈性聚合物製成。 插腳268類似於本文所描述之插腳68及168。在不存在於Z方向上施加至插腳268之向下力的情況下，插腳268朝上且遠離光罩12定位。可藉由設置於外部容置盒罩蓋之內表面上之對應結構將向下力施加至插腳268。在操作中，插腳268接觸彈簧臂262之遠端270，使彈簧臂262自其鬆弛狀態移動至彈簧臂262接觸光罩12之邊緣272之第二狀態。在一些情況下，光罩12之邊緣272可成倒角或斜角。由於光罩保持器260接合光罩12之邊緣272，因此可防止或減小X及Y平面中之左右或水平移動。在一些情況下，單獨的光罩限動器可設置於頂部罩蓋26之內表面上以約束光罩在Z方向上之豎直移動。然而，由於光罩保持器260限制X及Y方向上之橫向移動，因此可減小在Z方向上施加之負載。 圖7展示其中光罩保持器360耦接至如本文所描述之內部容置盒之基座362之一實施例的示意圖。在一些情況下，至多四個此等光罩保持器360可位於容置盒之不同區域處。圖7展示處於第一位置之第一光罩保持器360a，該第一光罩保持器360a不與光罩之側面接觸。此外，圖7展示處於第二位置之第二光罩保持器360b，其中第二光罩保持器360b接觸光罩12之側面372。類似於參看圖6A及圖6B所描述之實施例，光罩保持器360a、360b中之每一者包含彈簧撓曲件或彈簧臂364。可使用螺釘366或其他扣件將彈簧臂364固定至基座362之內表面。彈簧臂364經組態以在與插腳或固定至如本文所論述之內部容置盒罩蓋之其他結構接觸時在Z方向上朝下撓曲。彈簧臂364經組態以自未施加力之鬆弛狀態至施加一向下力之第二狀態朝下撓曲，從而在一定張力之下置放彈簧臂364。彈簧臂364經偏置至其鬆弛狀態且僅在由插腳或其他結構向其施加向下力時移動。彈簧臂364可由不鏽鋼、鈦、鈦合金、具有形狀記憶屬性之NITINOL及所選擇之彈性聚合物製成。在一些情況下，單獨的光罩限動器可設置於頂部罩蓋26之內表面上以約束光罩在Z方向上之豎直移動。然而，由於光罩保持器360限制X及Y方向上之橫向移動，因此可減小在Z方向上施加之負載。 圖8展示又一光罩保持器460。在一些情況下，至多四個此類光罩保持器460可位於容置盒之不同區域處以提供至多四個不同接觸點。如圖8中所展示，當罩蓋26安放在基座32上時，接觸光罩保持器460之靜止保持插腳或阻塞物468移動光罩保持器以與光罩12之側壁472相接觸。光罩保持器460耦接至罩蓋26且經組態以自不與光罩接觸之第一位置樞轉至保持器460自如圖8中所展示之側面接觸光罩12之第二位置。在一些情況下，可提供設置於頂部罩蓋26之內表面上之單獨的光罩限動器以約束光罩在Z方向上之豎直移動。然而，由於光罩保持器460限制X及Y方向上之橫向移動，因此可減小在Z方向上施加之負載。 圖9A展示內部容置盒罩蓋26之內側之局部視圖。內部容置盒26包括用於接收光罩保持器460之凹座或插口482。如圖9B中所展示，光罩保持器460包括主體490及樞轉臂492。樞轉臂492經組態以接收於插口482內所界定之凹槽中，使得主體490能夠沿由樞轉臂492界定之樞軸軸線自第一位置樞轉至第二位置。在一些情況下，光罩保持器460依賴於重力而保持在第一位置。該光罩保持器經組態以在與插腳468接觸後自第一位置移動至第二位置。在其他情況下，光罩保持器460係彈簧負載的，且經偏置至第一位置。在任一實施例中，與插腳468接觸使得光罩保持器460自其第一位置移動至其接觸光罩之側壁472之第二位置。 圖10A至圖10D展示操作中之光罩保持器460。在使罩蓋26與基座32接觸時，插腳468開始接觸保持器460之邊緣，如圖10A中所展示。在進一步與插腳468接觸後，光罩保持器460開始接觸光罩12之側壁472且最小化光罩12與插腳468之間的間隙。如圖10C中所展示，在插腳468與光罩12之間界定之最小間隙距離處，光罩保持器460可接收於插口482中所界定之狹槽中。如圖10D中所展示，在插腳468與光罩12之間的最大距離處，光罩保持器460並非接收於狹槽中；然而，保持器460與光罩之側壁472之間仍保持接觸。 圖11至圖12C展示光罩保持器560之又一實施例之各種視圖。在一些情況下，至多四個此類光罩保持器560可位於容置盒之不同區域處以提供至多四個不同接觸點。如圖11中最佳所見，光罩保持器560經組態以接觸光罩12之頂表面502及側壁572。由於光罩保持器560接觸光罩12之側壁572，因此可減小施加至頂表面502之負載，且在X、Y及Z方向上約束光罩之移動。 如圖11中所展示，光罩保持器560包括主體562、遠離主體延伸之臂564及諸如隔膜之彈性部件576。在一些情況下，臂564及彈性部件576二者在罩蓋26之外表面上均係可觸及的。在此實施例中，光罩保持器主體562藉由臂564之彈簧力偏置於回縮位置中。將向下力施加至臂564使得主體562在Z方向上移動。 光罩保持器主體562包括兩個凹座578。光罩接觸部件或球580a、580b接收於凹座578中之每一者中。光罩接觸部件或球580a、580b可由金屬、金屬合金、陶瓷或聚合材料形成。第一球580a可以相對於第二球580b之一角度定位，以使得當光罩保持器560接合光罩12時，第一球580a與光罩12之上表面502接觸且第二球580b與光罩12之側壁572接觸。回應於藉由設置於外部容置盒罩蓋之內表面上之對應結構提供之向下力的施加，光罩保持器560接合光罩12。將向下力施加至臂564使得第一光罩接觸部件580a接觸光罩12之頂表面502，接著接觸主體562以朝向光罩12略微朝內樞轉以使第二接觸部件580b與光罩12之側壁572相接觸。光罩12之頂表面502及側壁572處之接觸約束光罩12在X、Y及Z方向上之移動。 圖13展示內部容置盒600。內部容置盒600包括內部容置盒罩蓋602，其經組態以與內部容置盒基座604配合以界定密封環境。光罩可包含於密封環境內。內部容置盒罩蓋602之大小及形狀大體上對應於內部容置盒基座604之大小及形狀。在一些情況下，內部容置盒罩蓋602可包括複數個突起或插腳608，該等突起或插腳經設定大小及經組態以藉由基座604之邊緣中所界定之複數個對應的凹座或凹口609接收。插腳608及凹口609一起協作以導引及對準基座604上方之罩蓋602，且亦在罩蓋602與基座604接合時將罩蓋602保持在恰當位置。 內部容置盒罩蓋602亦併入有光罩保持器610及614之一或多個集合。光罩保持器610及614有助於減小或防止可產生粒子之光罩之移動。光罩保持器610及614之集合經併入至內部容置盒罩蓋602中，使得當內部容置盒罩蓋602關閉時，光罩保持器共同約束光罩除了在Z方向之外在X及Y平面中的水平或左右移動。回應於藉由設置於外部容置盒罩蓋之內表面上之對應結構在Z方向上施加至保持器之向下力，光罩保持器610接合光罩之側面及/或邊緣。回應於藉由設置於外部容置盒罩蓋之內表面上之對應結構施加之向下力，光罩保持器614接觸光罩保持器之上表面。然而，由於光罩保持器610自側面約束光罩，因此可減小由光罩保持器614施加至光罩之頂表面之力的量。此外，當內部容置盒600關閉且包含於外部容置盒內時，光罩保持器614在側面光罩保持器610接觸光罩12之側表面及/或邊緣之前接觸光罩12之頂表面。提供與光罩12之頂表面的初步接觸使光罩穩定且防止其在由側面光罩保持器610遏制之前在X及/或Y平面中移位。 光罩保持器610、614之數目及位置可視整個容置盒的大小及待施加至包含於內部容置盒內之光罩而變化。在一些情況下，其可適用於將經組態以接觸光罩之頂表面之光罩保持器與經組態以自光罩之側面或邊緣接觸光罩之光罩保持器相組合。在其他情況下，內部容置盒罩蓋可包括經組態以接觸光罩之側面或邊緣之光罩保持器且可除去經組態以接觸光罩之頂表面之光罩保持器。在一些實施例中，如圖13中所展示，內部容置盒罩蓋602可包括：兩對光罩保持器，每一光罩保持器經組態以自側面接觸光罩；及至少一對光罩保持器，其中每一光罩保持器經組態以接觸光罩之頂表面。經組態用於側面接觸之每一對光罩保持器610定位於內部容置盒罩蓋602上，使得其一起工作以約束光罩之隅角在X及Y平面中之移動。 除了光罩保持器610及614之外，內部容置盒罩蓋602可包括一或多個過濾器，該等過濾器包括其中所含之過濾介質，用於在內部容置盒罩蓋602與內部容置盒基座604接合時維持及控制內部容置盒內之微環境。 圖14A及圖14B展示經組態以自光罩之側面遏制光罩之光罩保持器610之一部分的不同視圖。如圖14A及圖14B中可見，光罩保持器610包括光罩接觸部件616、彈性部件618及頂帽620，以上各者均可自內部容置盒罩蓋602外部觸及。光罩接觸部件616及彈性部件618藉由頂帽620保持在恰當位置，該頂帽藉由一或多個扣件(諸如一對螺釘)固定至內部容置盒罩蓋602。彈性部件618可為經組態以將光罩接觸部件616偏置至回縮或非接觸位置之彈性圓盤或隔膜。此外，如本文先前所論述，形成彈性部件618之圓盤可充當密封件且可幫助防止微粒物質進入內部容置盒。在回縮位置中，光罩接觸部件616經定位遠離光罩12且不與該光罩接觸。彈性部件618及光罩接觸部件616二者經組態以對在Z方向上施加向下力作出回應，從而容許光罩接觸部件616自光罩接觸部件616不與光罩接觸之第一回縮位置移動至光罩接觸部件616接觸容納於內部容置盒內之光罩之側面之第二位置。在一些情況下，內部容置盒罩蓋602亦可包含用於接收光罩接觸部件616之一部分的一或多個凹座622。當在Z方向上施加向下力至光罩接觸部件616時，光罩接觸部件616之一部分接收於凹槽622中。凹座622向光罩接觸部件616提供穩定的力以防止光罩接觸部件616在X及Y平面中滑動。 圖15A至圖15C展示光罩接觸部件616之不同視圖。光罩接觸部件616可為由聚合物、聚合物摻合物、金屬或金屬合金製成的單個整體件。光罩接觸部件616可經機械加工或射出模製，視製成其之材料而定。在一些情況下，如所見，光罩接觸件部件616包括橫向延伸臂626，其包括至少一個朝下延伸的指狀物628。此外，光罩接觸部件616包括朝下延伸腿630，其具有經組態以接觸光罩之側面之平滑的朝外延伸面632。指狀物628中之每一者經組態以接收於出於彼目的而形成於內部容置盒罩蓋602中之對應凹座622中且向該對應的凹座施加向下力。在一些情況下，如圖15A至圖15C所展示，指狀物628中之每一者包括傾斜或斜角邊緣。設置於指狀物628中之每一者上之傾斜或斜角邊緣經設計成增加指狀物628與凹座622之表面之間的摩擦的量，使得光罩接觸部件616抵抗X及Y平面中之左右移動。指狀物628與凹座之表面之間的此相互作用可減小腿630滑動遠離光罩之可能性。在一些情況下，如所展示，腿630可包括凹槽634，其用於與彈性部件618相互作用。 圖16A及圖16B展示頂帽620之俯視圖及仰視圖。在使用時，頂帽620安置於光罩接觸部件616及彈性部件618上方且與其接觸。頂帽620包括托架或交叉撐部件634，其接觸及限制光罩接觸部件616在X及Y平面中之左右移動，以及限制光罩接觸部件616在Z方向之任何潛在的朝上及朝下移動。在一些情況下，托架634為Y形或為叉形，但熟習此項技術者可易於識別其他組態。在一些情況下，頂帽620可包括接觸彈性部件618及向其施加壓力之環形脊線638，及用以接收一或多個對應扣件以將頂帽620固定至內部容置盒罩蓋602之一或多個孔隙。 圖17A及圖17B展示包括光罩保持器610之內部容置盒600之橫截面視圖。圖17A展示處於第一非接觸位置之光罩保持器610，且圖17B展示處於第二接觸位置之光罩保持器610，其中在於Z方向上向臂626施加向下力後，光罩接觸部件616之腿630已與光罩12之側表面644相接觸。在向光罩接觸部件616之臂626施加向下力後，光罩接觸部件616繞第一旋轉軸646樞轉或旋轉，使得指狀物628朝下移動以接收於凹座622中，且亦使得腿630朝向側表面644向前樞轉。當腿630接觸如圖17B中所展示之光罩644之側表面時，繞第一旋轉軸646之旋轉停止。第二旋轉軸648藉由光罩12將腿630往回推而產生。然而，光罩12將腿630往回推的動作之回復動作促使額外的力施加至接收於凹座622中之指狀物628上，從而進一步增強及穩定光罩接觸部件616與光罩12之間的接觸點。此外，旋轉軸646係可撓的，且自旋轉軸646變成旋轉軸648。旋轉軸自第一旋轉軸646變成第二旋轉軸648之此種移位或變化係由彈性部件618提供。彈性部件618提供足夠量的可撓性，使得當腿630在第二旋轉軸648處接觸光罩12之側表面644時第一旋轉軸646可在X平面中移位。回應於腿630與側表面644之間的接觸，彈性部件618撓曲以幫助腿630與光罩12之間的主側面接觸防止光罩12在X及/或Y平面中之移動。返回參看圖13，藉由接觸光罩12之側表面644在X及Y平面中約束光罩12可減小在Z方向上所需的可由額外光罩保持器614施加之負載的量。 圖18展示根據本發明之另一實施例的內部容置盒700。內部容置盒700包括內部容置盒罩蓋702，其經組態以與內部容置盒基座704配合以界定密封環境。光罩可包含於密封環境內。內部容置盒罩蓋702之大小及形狀大體上對應於內部容置盒基座704之大小及形狀。在一些情況下，內部容置盒罩蓋702可包括複數個突起或插腳708，該等突起或插腳經設定大小及經組態以藉由基座704之邊緣中所界定之複數個對應凹座或凹口709接收。插腳708及凹口709一起協作以導引及對準基座704上方之罩蓋702。此外，當罩蓋702與基座704接合時，插腳708及凹口709將罩蓋702保持在恰當位置。 內部容置盒罩蓋702亦併入有光罩保持器710及714之一或多個集合。光罩保持器710及714有助於減小或防止可產生粒子之光罩之移動。光罩保持器710及714經併入至內部容置盒罩蓋702中，使得當內部容置盒罩蓋702關閉時，光罩保持器共同約束光罩除了在Z方向之外在X及Y平面中的水平或左右移動。回應於藉由設置於外部容置盒罩蓋之內表面上之對應結構在Z方向上施加至保持器之向下力，光罩保持器710接合光罩之側面及/或邊緣。回應於藉由設置於外部容置盒罩蓋之內表面上之對應結構施加之向下力，光罩保持器714接觸光罩保持器之頂表面。然而，由於光罩保持器710自側面約束光罩，因此可減小由光罩保持器714施加至光罩之頂表面之力的量。此外，當內部容置盒700關閉且包含於外部容置盒內時，光罩保持器714在側面光罩保持器710接觸光罩12之側表面及/或邊緣之前接觸光罩12之頂表面。提供與光罩12之頂表面的初步接觸使光罩穩定且防止其在由側面光罩保持器710遏制之前在X及/或Y平面中移位。 光罩保持器710、714之數目及位置可視整個容置盒的大小及待施加至包含於內部容置盒內之光罩而變化。在一些情況下，其可適用於將經組態以接觸光罩之頂表面之光罩保持器與經組態以自光罩之側面或邊緣接觸光罩之光罩保持器相組合。在其他情況下，內部容置盒罩蓋702可包括經組態以接觸光罩之側面或邊緣之光罩保持器且可除去經組態以接觸光罩之頂表面之光罩保持器。在一些實施例中，如圖18中所展示，內部容置盒罩蓋702可包括：兩對光罩保持器710，其各自經組態以自側面接觸光罩；及至少一對光罩保持器714，其經組態以接觸光罩之頂表面。在一些情況下，經組態用於側面接觸之每一對光罩保持器710定位於內部容置盒罩蓋702上，使得其一起工作以約束光罩之隅角在X及Y平面中之移動。 除了光罩保持器710及714之外，內部容置盒罩蓋702可包括一或多個過濾器，該等過濾器包括其中所含之過濾介質，用於在內部容置盒罩蓋702與內部容置盒基座704接合時維持及控制內部容置盒內之微環境。 圖19展示經組態以自光罩之側面遏制光罩之光罩保持器710之一部分的不同視圖。如圖19中可見，光罩保持器710包括光罩接觸部件716、彈性部件718 (展示於圖23A及圖23B中)及頂帽720，以上各者均可自內部容置盒罩蓋702外部觸及。光罩接觸部件716及彈性部件718藉由頂帽720保持在恰當位置，該頂帽藉由一或多個扣件(諸如螺釘)固定至內部容置盒罩蓋702。彈性部件718可為經組態以將光罩接觸部件716偏置至回縮或非接觸位置之彈性圓盤或隔膜。此外，如本文先前所論述，形成彈性部件718之圓盤可充當密封件且可幫助防止微粒物質進入內部容置盒。在回縮位置中，光罩接觸部件716經定位遠離光罩且與不該光罩接觸。彈性部件718及光罩接觸部件716二者經組態以對在Z方向施加向下力作出回應，從而容許光罩接觸部件716自光罩接觸部件716不與光罩接觸之第一回縮位置移動至光罩接觸部件716接觸容納於內部容置盒內之光罩之側面之第二位置。在一些情況下，內部容置盒罩蓋702亦可包含用於接收光罩接觸部件716之一部分的一或多個凹座722。當在Z方向上施加向下力至光罩接觸部件716時，光罩接觸部件716之一部分接收於凹座722中。凹座722向光罩接觸部件716提供穩定的力以防止光罩接觸部件716在X及Y平面中左右滑動。 圖20A及圖20B展示光罩接觸部件716之不同視圖。光罩接觸部件716可為由聚合物、聚合物摻合物、金屬或金屬合金製成的單個整體件。光罩接觸部件716可經機械加工或射出模製，視製成其之材料而定。在一些情況下，如所見，光罩接觸部件716包括橫向延伸臂726及與該橫向延伸臂726形成T形之橫樑728。橫樑728包括第一朝下延伸的肩部730a，其與第二朝下延伸的肩部730b相間隔開。在一些情況下，朝下延伸的肩部730a、730b沿橫樑728之整個寬度延伸，但此並非為必要的。在其他情況下，朝下延伸的肩部730a、730b可自橫樑728之寬度的百分之二十五至百分之七十五延伸。此外，光罩接觸部件716包括朝下延伸的腿732，其具有經組態以接觸光罩之側面之光滑的朝外延伸的面733。 肩部730a、730b中之每一者經組態以接收於出於彼目的而形成於內部容置盒罩蓋702中之對應凹座722中且向該對應凹座施加向下力。在一些情況下，如圖20A及圖20B所展示，肩部730a、730b中之每一者包括傾斜或斜角邊緣。設置於肩部730a、730b中之每一者上之傾斜或斜角邊緣經設計成增加肩部730a、730b與凹座722之表面之間的摩擦的量，使得光罩接觸部件716抵抗X及Y平面中之左右移動。肩部730a、730b與凹座722之表面之間的此相互作用在與光罩接觸時可減小腿732滑動遠離光罩滑動之可能性。在一些情況下，如所展示，腿732可包括凹槽735，其用於與彈性部件718相互作用。 圖21A及圖21B展示根據一個實施例的頂帽720A之俯視圖及仰視圖。在使用時，頂帽720A安置於光罩接觸部件716及彈性部件718上方且與其接觸。頂帽720A包括兩個大體上圓形或C形托架部件736，其接觸及限制彼此鄰近定位之兩個光罩接觸部件716之左右移動。在一些情況下，如圖21B中最佳地查看，托架部件736中之每一者包括接觸彈性部件718且向其施加壓力之環形脊線738。此外，頂帽包括用於接收諸如螺釘之扣件之孔隙740，其與托架部件736中之每一者相間隔開。托架部件736及孔隙740相對於彼此定位，使得可藉由繪製穿過其中心點中之每一者之線來界定一三角形。圖22A及圖22B展示類似頂帽720B。主要的不同在於，歸因於製造差異，頂帽720B比頂帽720A更堅固。一般熟習此項技術者將易於認識到，頂帽720B之功能及部件之間的關係保持不變。 圖23A及圖23B展示包括光罩保持器710之內部容置盒700之橫截面視圖。圖23A展示處於第一非接觸位置之光罩保持器710，且圖23B展示處於第二接觸位置之光罩保持器710，其中在於Z方向上向臂726及/或橫樑728施加向下力後，光罩接觸部件716之腿732已與光罩12之側表面744相接觸。在向光罩接觸部件716之臂726及/或橫樑728施加向下力後，光罩接觸部件716繞第一旋轉軸746樞轉或旋轉，使肩部730a、730b (其中僅730a在圖式中可見)朝下移動以接收於凹座中，且亦使腿732朝向光罩12之側表面744向前樞轉。當腿732接觸如圖23B中所展示之光罩12之側表面744時，繞第一旋轉軸746之旋轉停止。第二旋轉軸748藉由光罩12將腿732往回推而產生。然而，光罩12將腿732往回推的動作之回復動作促使額外的力施加至接收於凹座722中之肩部730a、730b上，從而進一步增強及穩定光罩接觸部件716與光罩12之間的接觸點。此外，旋轉軸746係可撓的，且自旋轉軸746變成旋轉軸748。旋轉軸自第一旋轉軸746變成第二旋轉軸748之此種移位或變化係由彈性部件718提供。彈性部件718提供足夠量的可撓性，使得當腿732在第二旋轉軸748處接觸光罩12之側表面744時第一旋轉軸746可在X平面中移位。回應於腿732與側表面744之間的接觸，彈性部件718撓曲以幫助腿732與光罩12之間的主側面接觸防止光罩12在X及/或Y平面之中移動。返回參看圖18，藉由接觸光罩12之側表面744在X及Y平面中約束光罩12可減小在Z方向上所需的可由額外光罩保持器714施加之負載的量。 圖24為展示包含於外部容置盒800內形成雙容置盒總成之內部容置盒700之局部橫截面視圖。外部容置盒800包括外部容置盒罩蓋802及外部容置盒基座804。外部容置盒罩蓋802包括至少一個接觸部件或襯墊806，當內部容置盒700包含於外部容置盒內時，該至少一個接觸部件或襯墊接觸光罩接觸部件716之臂726及/或橫樑728且在Z方向上向其施加向下壓力。經併入至外部容置盒罩蓋802中之接觸部件或襯墊806的數目以一對一方式與光罩接觸部件716的數目相對應。在 Z方向上向臂726及/或橫樑728施加向下力促使光罩接觸部件716接合光罩12之側表面744，從而約束及/或防止光罩12在X及Y平面中之左右移動。返回參看圖18，藉由接觸光罩12之側表面744在X及Y平面中約束光罩12可減小在Z方向上所需之可由額外光罩保持器714施加之負載的量。 圖25為圖19中所展示之內部容置盒700之簡化視圖，其展示定位插腳708a、708b、708c及708d彼此之間的相對位置。插腳708a至708d中之每一者鄰近內部容置盒700之隅角712而定位。如圖25中所展示且如本文先前所描述，插腳708a至708d中之每一者接收於基座704中所界定之對應凹座中。舉例而言，如圖25中可見，插腳708a接收於對應凹座709a中且插腳708c接收於凹座709c中。如本文先前所描述，對應插腳及凹座一起協作以導引及對準基座704上方之罩蓋702，且亦在罩蓋702與基座704接合時將罩蓋702保持在恰當位置。此外，插腳及凹座相對於彼此之位置增加抵抗罩蓋702在X及Y平面中相對於基座704之移動且亦有助於抵抗罩蓋702相對於基座之任何旋轉移動。 如圖25中可見，插腳708a、708b之第一集合及其等對應凹座(其中僅凹座709a可見)定位於由第一軸l界定之第一豎直平面中。至少第三插腳708c及對應凹座709c定位於由第二軸M界定之第二豎直平面中。第四插腳708d及其對應凹座係視任選的。在一些情況下，由第二軸m界定之第二豎直平面以範圍自約60度至約110度的角α將由第一軸l界定之第一豎直平面二等分，且更特定而言，以範圍自約60度至約90度的角α將該第一豎直平面二等分。在其他情況下，由第二軸m界定之第二豎直平面以正交或90度角將由第一軸l界定之第一豎直平面二等分。將第三插腳708c及凹座709c置放於相對於由插腳之第一集合界定之第一軸線或平面成角度或在一些情況下正交的軸線上或平面中會限制罩蓋702相對於基座在軸線1之兩個方向上之移動。此外，相對於凹座之寬度選擇插腳的寬度使得當罩蓋702安放於基座704上且諸如插腳708a之插腳接收於諸如709a之對應凹座中時，罩蓋702抵抗旋轉移動。此種對罩蓋702在X及Y平面中相對於基座704之移動的抵抗亦可藉由將三個插腳708a、708b及708c及其等對應的凹座置放成相對於彼此成中心而實現。 圖26至圖29C係關於本發明之又一實施例。圖26為根據其他實施例之包括一或多個光罩保持器810之內部容置盒800的透視圖。內部容置盒800包括內部容置盒罩蓋802，其經組態以與內部容置盒基座804配合以界定密封環境。光罩可包含於密封環境內。內部容置盒罩蓋802之大小及形狀大體上對應於內部容置盒基座804之大小及形狀。在一些情況下，內部容置盒罩蓋802可包括複數個突起或插腳，該等突起或插腳經設定大小及經組態以藉由基座804之邊緣中所界定之複數個對應凹座或凹口接收。插腳及凹口一起協作以導引及對準基座804上方之罩蓋802，且亦在罩蓋802與基座804接合時將罩蓋802保持在恰當位置。 如圖26中所展示，內部容置盒罩蓋802亦併入有一或多對光罩保持器810。光罩保持器810有助於減小或防止可產生粒子之光罩之移動。光罩保持器810之數目及位置可視整個容置盒的大小及待施加至包含於內部容置盒內之光罩之負載而變化。光罩保持器810經併入至內部容置盒罩蓋802中，使得當內部容置盒罩蓋802關閉時，光罩保持器共同約束光罩除了在Z方向之外在X及Y平面中的水平或左右移動。每一光罩保持器810經組態以接觸光罩之側表面。每一對光罩保持器810定位於內部容置盒罩蓋802上，使得兩個光罩保持器810一起工作以約束光罩之隅角在X及Y平面中的移動。在一些實施例中，如所展示，回應於藉由設置於外部容置盒罩蓋之內表面上之對應結構在Z方向上施加至保持器之向下力，光罩保持器810接合光罩之側面。不同於本文所描述之先前實施例，光罩保持器810並不有意接觸光罩之頂表面。 圖27及圖28為包括光罩保持器810之內部容置盒之不同橫截面視圖，且圖29A至圖29C為個別光罩保持器810之不同視圖。每一光罩保持器810包括臂814及主體部分816。臂延伸之方向垂直於主體部分816延伸之方向。舉例而言，在一些情況下，臂814在X或Y方向上延伸且主體部分816在Z方向上延伸。回應於藉由設置於外部容置盒罩蓋之內表面上之對應結構在Z方向上施加向下力至臂814，主體部分816接觸光罩12之側表面818。一旦發生側面接觸，光罩將出現一些定心，但滑動期間的力將為最小的。光罩與光罩保持器之間的摩擦亦限制光罩在運輸期間在X及Y方向上之運動。在一些情況下，如圖27中所展示，主體部分816可包括肩部部分820，其定位於光罩之頂表面上方以視需要限制光罩在Z方向上之移動。肩部部分820並不意欲接觸光罩12之頂表面。確切而言，回應於撞擊事件，肩部部分820視需要限制光罩12在Z方向上之移動。此外，光罩保持器810可包括密封件824，其包圍主體部分816且可幫助防止微粒物質進入內部容置盒。 因此，在已描述之本發明之若干說明性實施例之情況下，熟習此項技術者將易於理解，其他實施例可在此隨附申請專利範圍之範疇內製作及使用。此文件所涵蓋之本發明之諸多優點已在前文之描述中進行闡述。然而，將理解，本發明在許多方面僅為說明性的。可在不超出本發明之範疇的情況下在細節上作出改變，尤其係關於部件的形狀、大小及佈置方面。本發明之範疇當然係以表達隨附申請專利範圍之語言而界定的。
1‧‧‧第一軸線
10‧‧‧光罩容置盒
11‧‧‧外部容置盒
12‧‧‧光罩/遮罩
14‧‧‧外部容置盒罩蓋
15‧‧‧內部容置盒
18‧‧‧外部容置盒基座
22‧‧‧機械凸緣
26‧‧‧內部容置盒罩蓋
32‧‧‧內部容置盒基座
34‧‧‧第一主平行表面
36‧‧‧第二主平行表面
38‧‧‧弧形隅角
42‧‧‧密封表面
46‧‧‧光罩導引件
48‧‧‧光罩接觸件
54‧‧‧突起部/插腳
56‧‧‧凹口
60‧‧‧光罩保持器
60A‧‧‧光罩保持器
68‧‧‧插腳
72‧‧‧孔
76‧‧‧彈性部件
78‧‧‧凹座
80a‧‧‧球
80b‧‧‧球
82‧‧‧上表面
84‧‧‧側表面/邊緣
160‧‧‧光罩保持器
168‧‧‧區塊/插腳
172‧‧‧孔
176‧‧‧彈性部件
180‧‧‧光罩接觸部件
182‧‧‧傾斜接觸表面
184‧‧‧邊緣
260‧‧‧光罩保持器
262‧‧‧彈簧撓曲件/彈簧臂
264‧‧‧螺釘
268‧‧‧插腳
270‧‧‧末端
272‧‧‧邊緣
360‧‧‧光罩保持器
360a‧‧‧第一光罩保持器
360b‧‧‧第二光罩保持器
362‧‧‧基座
364‧‧‧彈簧撓曲件/彈簧臂
366‧‧‧螺釘
372‧‧‧側面
460‧‧‧光罩保持器
468‧‧‧插腳
472‧‧‧側壁
482‧‧‧凹座/插口
490‧‧‧主體
492‧‧‧樞轉臂
502‧‧‧頂表面
560‧‧‧光罩保持器
562‧‧‧主體
564‧‧‧臂
572‧‧‧側壁
576‧‧‧彈性部件
578‧‧‧凹座
580a‧‧‧球
580b‧‧‧球
600‧‧‧內部容置盒
602‧‧‧內部容置盒罩蓋
604‧‧‧內部容置盒基座
608‧‧‧突起部/插腳
609‧‧‧凹座/凹口
610‧‧‧光罩保持器
614‧‧‧光罩保持器
616‧‧‧光罩接觸部件
618‧‧‧彈性部件
620‧‧‧頂帽
622‧‧‧凹座
626‧‧‧臂
628‧‧‧指狀物
630‧‧‧腿
632‧‧‧面
634‧‧‧凹槽/托架/交叉撐部件
638‧‧‧環形脊線
644‧‧‧側表面
646‧‧‧第一旋轉軸
648‧‧‧第二旋轉軸
700‧‧‧內部容置盒
702‧‧‧內部容置盒罩蓋
704‧‧‧內部容置盒基座
708‧‧‧突起/插腳
708a‧‧‧定位插腳
708b‧‧‧定位插腳
708c‧‧‧定位插腳
708d‧‧‧定位插腳
709‧‧‧凹座/凹口
709a‧‧‧凹座
709c‧‧‧凹座
710‧‧‧光罩保持器
712‧‧‧隅角
714‧‧‧光罩保持器
716‧‧‧光罩接觸部件
718‧‧‧彈性部件
720‧‧‧頂帽
720A‧‧‧頂帽
720B‧‧‧頂帽
722‧‧‧凹座
726‧‧‧臂
728‧‧‧橫樑
730a‧‧‧肩部
730b‧‧‧肩部
732‧‧‧腿
733‧‧‧面
735‧‧‧凹槽
736‧‧‧托架部件
738‧‧‧環形脊線
740‧‧‧孔隙
744‧‧‧側表面
746‧‧‧第一旋轉軸
748‧‧‧第二旋轉軸
800‧‧‧外部容置盒/內部容置盒
802‧‧‧外部容置盒罩蓋/內部容置盒罩蓋
804‧‧‧外部容置盒基座/內部容置盒基座
806‧‧‧接觸部件/襯墊
810‧‧‧光罩保持器
814‧‧‧臂
816‧‧‧主體部分
818‧‧‧側表面
820‧‧‧肩部部分
824‧‧‧密封件
M‧‧‧第二軸
可結合隨附圖式考慮各種說明性實施例的以下描述來更全面地理解本發明，其中： 圖1為例示性光罩容置盒之等角視圖。 圖2為圖1中所展示之沿線2-2截取之光罩容置盒之橫截面視圖。 圖3為圖1中所展示之光罩容置盒之分解視圖。 圖4為根據本發明之一實施例的包括光罩保持器之內部容置盒的近距橫截面視圖。 圖5為根據本發明之另一實施例的包括光罩保持器之內部容置盒的近距橫截面視圖。 圖6A為根據本發明之另一實施例的包括設置於內部容置盒罩蓋之內表面上的另一光罩保持器之內部容置盒的近距視圖。 圖6B為圖6A中所展示之光罩保持器之示意性橫截面視圖。 圖7為根據本發明之一實施例的移除了罩蓋且包括又一光罩保持器之內部容置盒的示意性局部橫截面視圖。 圖8為根據本發明之又一實施例的展示另一光罩保持器之內部容置盒的示意性橫截面視圖。 圖9A展示具有經組態以接收鏈節(link)之插口之底板中之一部分的示意圖。 圖9B展示經組態以接收於圖9A中所展示之插口內之鏈節的示意圖。 圖10A至圖10D展示圖8之處於操作中之光罩保持器。 圖11為根據本發明之一實施例的展示再一光罩保持器之內部容置盒的示意性橫截面視圖。 圖12A展示根據本發明之一實施例的內部容置盒罩蓋的示意圖。 圖12B為根據本發明之一實施例的光罩保持器之頂部的近距示意圖。 圖12C為根據本發明之一實施例的光罩保持器之示意性局部橫截面視圖。 圖13為根據本發明之又一實施例的內部容置盒的透視圖。 圖14A及圖14B為根據本發明之另一個實施例的光罩保持器之頂部的近距透視圖。 圖15A至圖15C展示根據本發明之一實施例的光罩接觸部件的各種視圖。 圖16A及圖16B展示根據本發明之一實施例的形成光罩保持器之一部分的頂帽的頂部及底部透視圖。 圖17A及圖17B為內部容置盒之局部側面橫截面視圖，其展示處於第一位置及第二位置之光罩保持器。 圖18為根據本發明之一實施例的內部容置盒的透視圖。 圖19為根據本發明之一實施例的光罩保持器之一部分的近距示意圖。 圖20A及圖20B展示根據本發明之一實施例的光罩接觸部件的不同視圖。 圖21A及圖21B展示根據本發明之一實施例的形成光罩保持器之部一分的頂帽的頂部及底部透視圖。 圖22A及圖22B展示根據本發明之另一實施例的形成光罩保持器之一部分的頂帽的頂部及底部透視圖。 圖23A及圖23B為內部容置盒的局部側面橫截面視圖，其展示處於第一位置及第二位置之光罩保持器。 圖24為光罩容置盒總成之局部橫截面視圖，其展示安置於外部容置盒內之內部容置盒。 圖25為圖18中所展示之內部容置盒之簡化透視圖。 圖26為根據本發明之又一實施例的內部容置盒的透視圖。 圖27及圖28為圖26中所展示之內部容置盒之一部分的橫截面視圖。 圖29A至圖29C為根據本發明之又一實施例的光罩保持器的不同視圖。 儘管本發明容許各種修改及替代性形式，但其細節已藉助於實例在圖式中展示且將加以詳細描述。然而，應理解，並不意圖將本發明之態樣限制於所描述之特定說明性實施例。相反，意圖為涵蓋屬於本發明之精神及範疇內的所有修改、等效物及替代例。

Claims (10)

  1. 一種用於固持一光罩之光罩容置盒，其包含：一基座，其經組態以在其上支撐一光罩；一罩蓋，其具有一頂表面且經組態以與該基座配合；及一或多個光罩保持器，其各自包括經組態以接觸一光罩之一側壁以限制該光罩之移動之一光罩接觸部件，每一光罩接觸部件包括一朝外延伸的臂及延伸穿過該罩蓋的一朝下延伸的腿，其中在致動該臂時，該朝下延伸的腿經組態以在朝向一光罩之一側壁之一方向上移動。
  2. 如請求項1之光罩容置盒，其中該光罩接觸部件進一步經組態以接觸一光罩之一頂表面。
  3. 如請求項1之光罩容置盒，其進一步包含經組態以接觸一光罩之一頂表面之一或多個額外光罩保持器。
  4. 如請求項1之光罩容置盒，其中該一或多個光罩保持器中之每一者進一步包含一彈性部件，其中該彈性部件將該光罩接觸部件偏置於一非接觸位置。
  5. 如請求項1之光罩容置盒，其中該一或多個光罩保持器中之每一者包括固定至該罩蓋之一頂帽。
  6. 如請求項1之光罩容置盒，其中該朝外延伸的臂包含至少一個朝下延伸的部件。
  7. 如請求項6之光罩容置盒，其中該罩蓋進一步包含一凹座，其經組態以在致動該朝外延伸的臂時接收該至少一個朝下延伸的部件。
  8. 如請求項1之光罩容置盒，其中該光罩容置盒包含於一外部容置盒內，該外部容置盒具有一外部容置盒基座及經組態以與該外部容置盒基座配合之一外部容置盒罩蓋，該外部容置盒罩蓋具有一內表面及自該內表面延伸之至少一個接觸襯墊，以使得該外部容置盒接觸且致動該光罩容置盒之該朝外延伸的臂，從而使該朝下延伸的腿在朝向該光罩之該側壁之一方向上移動。
  9. 一種保持一光罩之方法，其包含：在具有經組態以在其上支撐該光罩之特徵的一基座上接收一光罩；將一罩蓋置放在包括該光罩之該基座上以界定一內部容置盒，該罩蓋包括一或多個光罩保持器，其各自包括一光罩接觸部件，每一光罩接觸部件包括在該罩蓋之頂表面上方至少部分地延伸之一朝外延伸的臂及延伸穿過該罩蓋之一朝下延伸的腿；及限制該光罩之移動。
  10. 如請求項9之方法，其進一步包含將該內部容置盒圍封在包括一外部容置盒罩蓋及一外部容置盒基座之一外部容置盒內，該外部罩蓋包括設置於一內表面上之一或多個接觸部件，其中當該內部容置盒經圍封於該外部容置盒內時，每一接觸部件接觸該一或多個光罩保持器之一對應光罩保持器且向其施加一向下力。
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