CN109690401A - 具有侧光罩遏制的光罩舱 - Google Patents

Abstract

一种光罩舱，其包含外舱、内舱盖和内底座板。光罩支撑在所述底座上，且包含在由所述内舱盖和所述内舱底座产生的环境内。所述内舱盖可包含多个光罩保持器，其经配置以接触所述光罩的侧壁，并限制所述光罩在水平方向上的移动。

Description

具有侧光罩遏制的光罩舱

优先权

本申请案主张2016年8月27日申请的标题为“具有侧光罩遏制的光罩舱(RETICLEPOD HAVING SIDE CONTAINMENT OF RETICLE)”的第62/380,377号美国临时申请案、2016年10月7日申请的标题为“具有侧光罩遏制的光罩舱(RETICLE POD HAVING SIDECONTAINMENT OF RETICLE)”的第62/405,518号美国临时申请案以及2016年11月15日申请的标题为“具有侧光罩遏制的光罩舱(RETICLE POD HAVING SIDE CONTAINMENT OFRETICLE)”的第62/422,229号美国临时申请案的权益，这些申请案中的每一者以全文引用的方式并入本文中。

技术领域

本发明大体上涉及用于储存、运输、装运和/或处理例如光掩模、光罩和晶片等易碎裝置的容器。更明确地说，本发明涉及一种用于光罩的双遏制舱，其具有并入有光罩保持器的内舱，所述光罩保持器限制或抑制水平方向上的移动，以试图最小化所述舱内的颗粒产生。

背景技术

集成电路和其它半导体装置的制造过程中通常碰到得过程步骤中的一者是光刻。大体上，光刻涉及使用经图案化的模板来使特殊准备的晶片表面选择性地暴露于辐射源，以产生经蚀刻的表面层。通常，经图案化的模板是光罩，其为非常平坦的玻璃板，含有将在所述晶片上再现的图案。举例来说，可通过首先在晶片表面上沉积氮化硅，接着沉积光敏液体聚合物或光致抗蚀剂的涂层来准备所述晶片表面。接下来，紫外线(UV)光照射穿过掩模或光罩的表面或反射回来，以将所要的图案投影到光致抗蚀剂覆盖的晶片上。光致抗蚀剂的暴露于所述光的部分经化学改性，且在晶片随后经受化学介质时保持不受影响，所述化学介质去除未暴露的光致抗蚀剂，从而将经改性的光致抗蚀剂以掩模上的图案的确切形状留在晶片上。所述晶片接着经受蚀刻工艺，其去除氮化物层的暴露部分，从而将氮化物图案以所述掩模的确切设计留在晶片上。此经蚀刻的层，单独或结合其它类似产生的层，表示表征特定集成电路或半导体芯片的“电路”的裝置以及裝置之间的互连件。

对于EUV，来自经图案化的表面的反射与通过深紫外光光刻的光罩特性的发射相反使用。因此，EUV光刻中所使用的反射性光掩模(光罩)比用于常规光刻中的光罩易受污染和损害影响的程度要大得多。鉴于光罩的易损坏特征对归因于滑动摩擦和/或磨损的损害的易感性，在制造、处理、装运、处置、运输或储存期间，光罩与其它表面之间的不必要且非既定的接触是不希望的。

发明内容

本发明大体上涉及用于储存、运输、装运和/或处理例如光掩模、光罩和晶片等易碎裝置的容器，且更明确地说，涉及一种具有内舱的双遏制光罩舱，所述内舱并入有光罩保持器，其限制或抑制X和Y方向上的移动，以试图最小化所述舱内的颗粒产生。如本文所述，光罩保持器经配置以接触容纳在内舱内的光罩的侧壁，且在一些情况下，最小化在Z方向上施加到光罩的顶部表面的负载的量。

在一些实施例中，用于保持光罩的光罩舱包含：底座，其经配置以在其上支撑光罩；盖，其具有顶部表面，且经配置以与所述底座配合；以及一或多个光罩保持器，其各自包含光罩接触部件，所述光罩接触部件经配置以接触光罩的侧壁来限制光罩的移动。每一光罩接触部件包含向外延伸的臂以及向下延伸的支腿，其延伸穿过所述盖，其中在所述臂致动后，所述向下延伸的支腿即刻经配置以在朝光罩的侧壁的方向上移动。在一个实施例中，光罩舱可包含在外舱内，所述外舱具有外舱底座以及经配置以与所述外舱底座配合的外舱盖。所述外舱盖包含内表面以及从所述内表面延伸的至少一个接触垫，使得当光罩舱包含在外舱内时，所述接触垫接触并致动光罩舱的向外延伸的臂，从而致使向下延伸的支腿在朝所述光罩的侧壁的方向上移动。

在其它实施例中，一种保持光罩的方法包含：在具有经配置以在其上支撑光罩的特征的底座上接纳光罩；将盖放在包含光罩的底座上以限定内舱，所述盖包含一或多个光罩保持器，其各自包含光罩接触部件，每一光罩接触部件包含向外延伸的臂，其至少部分地在所述盖的顶表面上方延伸；以及向下延伸的支腿，其延伸穿过所述盖；以及限制所述光罩的动作。

附图说明

可结合附图考虑各种说明性实施例的以下描述来更完整地理解本发明，其中：

图1是示范性光罩舱的等角视图。

图2是沿线2-2截取的图1中所示的光罩舱的横截面视图。

图3是图1中所示的光罩舱的分解视图。

图4是根据本发明的实施例的包含光罩保持器的内舱的近距横截面视图。

图5是根据本发明的另一实施例的包含光罩保持器的内舱的近距截面视图。

图6A是根据本发明的另一实施例的包含提供于内舱盖的内表面上的另一光罩保持器的内舱的近距视图。

图6B是图6A中所示的光罩保持器的示意性横截面视图。

图7是根据本发明的实施例的包含又一光罩保持器的盖去除了的内舱的示意性局部横截面图。

图8是根据本发明的又一实施例的示出另一光罩保持器的内舱的示意性截面视图。

图9A示出底板的具有经配置以接纳连杆的套筒的部分的示意图。

图9B示出经配置以接纳在图9A中所示的套筒内的连杆的示意图。

图10A到10D示出在操作中的图8的光罩保持器。

图11是根据本发明的实施例的示出另一光罩保持器的内舱的示意性截面视图。

图12A示出根据本发明的实施例的内舱盖的示意图。

图12B是根据本发明的实施例的光罩保持器的顶部的近距示意图。

图12C是根据本发明的实施例的光罩保持器的示意性局部横截面图。

图13是根据本发明的又一实施例的内舱的透视图。

图14A和14B是根据本发明的另一实施例的光罩保持器的顶部部分的近距透视图。

图15A到15C示出根据本发明的实施例的光罩接触部件的各种视图。

图16A和16B示出根据本发明的实施例的形成光罩保持器的一部分的盖的顶部和底部透视图。

图17A和17B是示出处于第一位置和第二位置的光罩保持器的内舱的局部侧视横截面图。

图18是根据本发明的实施例的内舱的透视图。

图19是根据本发明的实施例的光罩保持器的一部分的近距示意图。

图20A和20B示出根据本发明的实施例的光罩接触部件的不同视图。

图21A和21B示出根据本发明的实施例的形成光罩保持器的一部分的盖的顶部和底部透视图。

图22A和22B示出根据本发明的另一实施例的形成光罩保持器的一部分的盖的顶部和底部透视图。

图23A和23B是示出处于第一位置和第二位置的光罩保持器的内舱的局部侧视横截面图。

图24是示出安置于外舱内的内舱的光罩舱组合件的局部横截面图。

图25是图18中所示的内舱的简化透视图。

图26是根据本发明的又一实施例的内舱的透视图。

图27和28是图26中所示的内舱的一部分的横截面视图。

图29A到29C示出根据本发明的又一实施例的光罩保持器的不同视图。

虽然本发明容许各种修改和替代形式，但是已经借助于例子在图式中示出其特殊性且将进行详细描述。然而，应理解，无意将本发明的方面限于所描述的特定说明性实施例。相反，目的是涵盖属于本发明的精神和范围内的所有修改、等效物以及替代物。

具体实施方式

除非内容另外明确规定，否则如本说明书和所附权利要求书所使用的单数形式“一个(种)(a/an)”和“所述(the)”包括复数形式指示物。如本说明书和所附权利要求书中所使用，术语“或”通常在其意义上用来包含“和/或”，除非内容另外明确规定。

应参考附图来阅读以下详细描述，其中不同附图中的类似元件编号相同。详细描述和附图不一定按比例绘制，其描绘说明性实施例，且无意限制本发明的范围。所描绘的说明性实施例仅既定作为示范性的。任何说明性实施例的选定特征可并入到额外实施例中，除非明确地相反陈述。

图1到3示出用于储存和运输光罩或掩模12的示范性光罩舱10的各种视图。光罩舱10可有时被称作双遏制舱或EUV舱，且可与出于所有目的以全文引用的方式并入本文中的第8,613,359号美国专利中示出和描述的光罩舱共享一些类似特征。术语光罩可用于指代石英板料、光掩模、EUV掩模以及其它掩模，其可用于易受来自颗粒和其它物质的损害影响的半导体制造工业中。在一些情况下，光罩12的形状可为大体上正方形，且可蚀刻有所要的电路图案(未描绘)。虽然参考大体上正方形的光罩来描述所揭示的光罩舱10，但所属领域的技术人员通常将理解，可使用其它形状的光罩，例如矩形、多边形或圆形光罩。

如图1到3中可看出，光罩舱10包含外舱11，其包含外舱盖14，所述外舱盖经配置以与外舱底座18配合，所述外舱底座包围内舱15，所述内舱反过来保持光罩12。内舱15包含内舱盖26，其经配置以与内舱底座32配合，从而形成其中包含光罩12的密封环境。外舱盖14可包含提供于内表面上的一或多个接触垫或突出部分，其经配置以接触提供于内舱的盖中的对应光罩保持器，并向其施加向下压力。另外，在一些情况下，外舱盖14可包含任选的机械凸缘22，其促进将光罩舱10自动运输贯穿制造设施。

现参看图3，内舱底座32具有通常符合光罩12的大小和形状的大小和形状，且在光罩12包含于内舱内时，支撑光罩12。内舱底座32包含将第一和第二主要并行表面34和36以及四个辐射状拐角38对置，且在第一主表面34的周长附近界定连续的接触密封表面42。在一个实例中，整个第一主表面34可具备均匀且高度抛光的表面光洁度，但这不是所需的。

在一些情况下，如图3中所示，内舱底座32可包含一对光罩引导46和光罩接触件48，其位于底座32的四个拐角38中的每一者中。在以引入的方式并入本文中的第8,613,359美国专利中更详细地示出和描述此类光罩引导件和光罩接触件。光罩引导件46可用于在光罩12安放在底座32上时，引导和对准光罩12。光罩12可搁置位于底座32的四个拐角38中的每一者中的光罩支撑件48上，并由所述光罩支撑件支撑。光罩支撑件48可呈远离底座32的第一主表面34延伸的球面球或突出部分的形式。在一些实施例中，光罩支撑件48可在一对光罩引导件46的光罩引导件46中的每一者之间以相等距离定位。另外，光罩支撑件48可经配置以使得它们将光罩12悬吊在内舱底座32的主表面34上方的预定义高度处，从而产生光罩与内舱底座的表面34之间的间隙。在一些情况下，设计所述间隙的尺寸来限定光罩12与底座32之间的扩散层或扩散障壁。所述扩散障壁禁止颗粒迁移到所述间隙中。

内舱盖26经配置以与内舱底座32配合以限定密封环境。内舱盖26具有通常对应于内舱底座32的大小和形状的大小和形状。在一些情况下，内舱盖26可包含多个突出部分或销54，其大小经设计且经配置以由底座32的边缘中限定的多个凹口56接纳。销54和凹口56一起协作，以引导和对准底座32上的盖26，并且还在盖26与底座32啮合时将盖26保持在合适位置。

内舱盖26还并入有一或多个光罩保持器60，其将在本文更详细地描述。光罩保持器60有助于减少或防止光罩的移动，光罩的移动可产生颗粒。光罩保持器并入到内舱盖26中，使得当内舱盖26闭合且包含在外舱内，光罩保持器限定光罩在X和Y平面内的水平或侧到侧移动以及Z方向上的移动。响应于提供于外舱盖的内表面上的对应结构在Z方向上施加到所述保持器的向下力，光罩保持器60啮合光罩的侧和/或边缘。在许多实施例中，内舱盖26包含至少两个光罩保持器60。举例来说，在一个实施例中，内舱盖26包含四个光罩保持器60。光罩保持器60的数目和位置可依据总舱10的大小以及将施加到包含在内舱内的光罩12的负载而变化。

除光罩保持器60之外，内舱盖26还可包含一或多个过滤器64，其中包含过滤介质，用于在内舱盖26与内舱底座32啮合时，维持和控制内舱内的微环境。

图4是根据本公开的实施例的光罩保持器60的闭合横截面图。在一些情况下，至多四个此类光罩保持器60可位于所述舱的不同区。光罩保持器60A包含销68，其延伸穿过提供于盖26中的孔72。销68可附接到弹性部件76，其可在盖26的外表面上接近。弹性部件76可为弹性圆盘，其经配置以使销68偏置在回缩位置中。在回缩位置中，在不存在在Z方向上施加到销68的向下力的情况下，销68朝上且远离光罩12定位。形成弹性部件76的圆盘可形成销68与孔72之间的密封件，以防止颗粒物质进入内舱。

销68包含两个凹进部分78。球面部件或球80a、80b接纳在凹进部分78中的每一者中。球面部件或球80a、80b可由金属、金属合金、陶瓷或聚合材料形成。第一球80a可相对于第二球80b成一角度定位，使得当光罩保持器60A啮合光罩12时，第一球80a与所述光罩的光罩12的上表面82接触，且第二球80b与光罩12的侧表面84接触。光罩保持器60A响应于外舱盖的内表面上所提供的对应结构所提供的向下力的施加而啮合光罩12。接触光罩12的上表面82，同时接触光罩的侧表面84，将光罩12约束在其边缘。因为光罩保持器60A啮合光罩12的边缘84，所以可防止或减少X和Y平面内的从一侧到另一侧或水平移动。另外，可减少Z方向上所施加的负载。

图5是另一光罩保持器160的闭合横截面图。在一些情况下，至多四个此类光罩保持器160可位于舱的不同区，以提供至多四个不同接触点。类似于本文中参看图4论述的实施例，光罩保持器160包含块状物或销168，其延伸穿过提供于盖26中的孔172。销168可附接到弹性部件176，其可在盖26的外表面上接近。弹性部件176可为弹性圆盘，其经配置以使销168偏置在回缩位置中。在回缩位置中，销168朝上且远离光罩12定位。形成弹性部件176的圆盘可形成销168与孔172之间的密封件，以防止颗粒物质进入内舱。

光罩接触部件180耦合到销168。光罩接触部件180可由不锈钢或TORLON形成，且具有成角的接触面182。在一些情况下，光罩12的边缘184可为倒角或倾斜的。接触部件180的成角接触面182经配置以在将向下力施加到销168以使销在Z方向上移动时，接触并限定光罩12的边缘184。光罩保持器160响应于外舱盖的内表面上所提供的对应结构所提供的向下力的施加而啮合光罩12。因为光罩保持器160啮合光罩12的边缘184，所以可防止或减少X和Y平面内的从一侧到另一侧或水平移动。另外，可减少Z方向上所施加的负载。

图6A是根据本公开的另一实施例的提供于内舱盖26的内表面28上的另一光罩保持器260的近距视图。在一些情况下，至多四个此类光罩保持器260可位于舱的不同区，以提供至多四个不同接触点。图6B是图6A中所示的光罩保持器260的示意性横截面图。如图6A和6B所示，光罩保持器260包含弹簧弯曲部或弹簧臂262。使用螺钉264或其它扣件将弹簧臂262固定到盖26的内表面。弹簧臂262经配置以在被销268接触时，在Z方向上向下弯曲。弹簧臂262经配置以从其中不施加力的松弛状态向下弯曲到其中施加向下力的第二状态，从而使弹簧臂262处于某一张力下。使弹簧臂262偏置到其松弛状态，且仅在销268将向下力施加到其时才移动。弹簧臂262可由不锈钢、钛、钛合金、具有形状记忆特性的NITINOL以及选定弹性聚合物制成。

销268类似于本文所述的销68和168。在Z方向上无向下力施加到销268的情况下，销268朝上且远离光罩12定位。可通过外舱盖的内表面上提供的对应结构将向下力施加到销268。在操作中，销268接触弹簧臂262的远端270，致使弹簧臂262从其松弛状态移动到第二状态，其中弹簧臂262接触光罩12的边缘272。在一些情况下，光罩12的边缘272可为倒角或倾斜的。因为光罩保持器260啮合光罩12的边缘272，所以可防止或减少X和Y平面内的从一侧到另一侧或水平移动。在一些情况下，可在顶盖26的内表面上提供单独的光罩限动器，以限制光罩在Z方向上的垂直移动。然而，因为光罩保持器260限制X和Y方向上的侧向移动，所以Z方向上所施加的负载可减少。

图7示出如本文所述的其中光罩保持器360耦合到内舱的底座362的实施例的示意图。在一些情况下，至多四个此类光罩保持器360可位于所述舱的不同区。图7示出处于第一位置的第一光罩保持器360a，所述第一光罩保持器360a不与光罩的一侧接触。另外，图7示出处于第二位置的第二光罩保持器360b，其中所述第二光罩保持器360b接触光罩12的一侧372。类似于参考图6A和6B描述的实施例，光罩保持器360a、360b中的每一者包含弹簧弯曲部或弹簧臂364。可使用螺钉366或其它扣件将弹簧臂364固定到底座362的内表面。如本文所论述，当被固定到内舱盖的销或其它结构接触时，弹簧臂364经配置以在Z方向上向下弯曲。弹簧臂364经配置以从其中不施加力的松弛状态向下弯曲到其中施加第二状态的第二状态，从而使弹簧臂364处于某一张力下。使弹簧臂364偏置到其松弛状态，且仅在销或其它结构将向下力施加到其时才移动。弹簧臂364可由不锈钢、钛、钛合金、具有形状记忆特性的NITINOL以及选定弹性聚合物制成。在一些情况下，可在顶盖26的内表面上提供单独的光罩限动器，以限制光罩在Z方向上的垂直移动。然而，因为光罩保持器360限制X和Y方向上的侧向移动，所以Z方向上所施加的负载可减少。

图8示出又一光罩保持器460。在一些情况下，至多四个此类光罩保持器460可位于舱的不同区，以提供至多四个不同接触点。如图8所示，当盖26安放在底座32上时，静止保持销或块状物468接触光罩保持器460，以移动光罩保持器来与光罩12的侧壁472接触。光罩保持器460耦合到盖26，且被配置成从其中不存在与光罩的接触的第一位置枢转到其中从如图8所示的侧来看保持器460接触光罩12的第二位置。在一些情况下，可提供顶盖26的内表面上所提供的单独光罩限动器，以限制光罩在Z方向上的垂直移动。然而，因为光罩保持器460限制X和Y方向上的侧向移动，所以Z方向上所施加的负载可减少。

图9A示出内舱盖26的内部的局部视图。内舱26包含凹进部分或套筒482，用于接纳光罩保持器460。如图9B所示，光罩保持器460包含主体490和枢轴臂492。枢轴臂492经配置以接纳在套筒482内所界定的凹槽中，使得主体490能够沿由枢轴臂492界定的枢轴轴线从第一位置枢转到第二位置。在一些情况下，光罩保持器460依靠重力来保持在第一位置中。光罩保持器经配置以在被销468接触后即刻从第一位置移动到第二位置。在其它情况下，光罩保持器460是带负载的弹簧，且偏置到第一位置。在任一实施例中，与销468的接触致使光罩保持器460从其第一位置移动到其中其接触光罩的侧壁472的第二位置。

图10A到10D示出在操作中的光罩保持器460。当盖26与底座32接触时，销468开始接触保持器460的边缘，如图10A所示。在被销468进一步接触后，光罩保持器460开始接触光罩12的侧壁472，且使光罩12与销468之间的间隙最小化。如图10C所示，在销468与光罩12之间所界定的最小间隙距离处，光罩保持器460可接纳在套筒482中所界定的狭槽中。如图10D所示，在销468与光罩12之间的最大距离处，光罩保持器460不接纳在所述狭槽中；然而，保持器460与光罩的侧壁472之间维持接触。

图11-12C示出光罩保持器560的又一实施例的各种视图。在一些情况下，至多四个此类光罩保持器560可位于舱的不同区，以提供至多四个不同接触点。如最佳地在图11中看出，光罩保持器560经配置以接触光罩12的顶部表面502和侧壁572。因为光罩保持器560接触光罩12的侧壁572，所以施加到顶部表面502的负载可减少，且光罩的移动被限制在X、Y以及Z方向上。

如图11所示，光罩保持器560包含主体562、远离所述主体延伸的臂564，以及弹性部件576，例如隔膜。在一些情况下，臂564和弹性部件576两者可在盖26的外表面上接近。在此实施例中，臂564的弹簧力将光罩保持器主体562偏置在回缩位置中。将向下力施加到臂564致使主体562在Z方向上移动。

光罩保持器主体562包含两个凹进部分578。光罩接触部件或球580a、580b接纳在凹进部分578中的每一者中。光罩接触部件或球580a、580b可由金属、金属合金、陶瓷或聚合材料形成。第一球580a可相对于第二球580b成一角度定位，使得当光罩保持器560啮合光罩12时，第一球580a与所述光罩的光罩12的上表面502接触，且第二球580b与光罩12的侧壁572接触。光罩保持器560响应于外舱盖的内表面上所提供的对应结构所提供的向下力的施加而啮合光罩12。将向下力施加到臂564致使第一光罩接触部件580a接触光罩12的顶部表面502，接着接触主体562以朝光罩12稍微向内枢转，以使第二接触部件580b与光罩12的侧壁572接触。光罩12的顶部表面502和侧壁572处的接触约束光罩12在X、Y和Z方向上的移动。

图13示出内舱600。内舱600包含内舱盖602，其经配置以与内舱底座604配对，来界定密封环境。光罩可包含在密封环境内。内舱盖602具有通常对应于内舱底座604的大小和形状的大小和形状。在一些情况下，内舱盖602可包含多个突起或销608，其大小经设定且经配置以由底座604的边缘中所定义的多个对应凹进部分或凹口609接纳。销608和凹口609一起协作，以引导和对准底座604上的盖602，并且还在盖602与底座604啮合时将盖602保持在合适位置。

内舱盖602还并入有一组或多组光罩保持器610和614。光罩保持器610和614有助于减少或防止光罩的移动，光罩的移动可产生颗粒。所述组光罩保持器610和614并入到内舱盖602中，使得当内舱盖602闭合时，光罩保持器共同约束光罩在X和Y平面内的水平或从一侧到另一侧的移动以及Z方向上的移动。响应于外舱盖的内表面上所提供的对应结构在Z方向上施加到保持器的向下力，光罩保持器610啮合光罩的侧和/或边缘。响应于外舱盖的内表面上所提供的对应结构所施加的向下力，光罩保持器614接触光罩保持器的顶部表面。然而，因为光罩保持器610从侧面约束光罩，所以光罩保持器614施加到光罩的顶部表面的力的量可减小。另外，当内舱600闭合，且包含在外舱内时，在侧光罩保持器610接触光罩12的侧表面和/或边缘之前，光罩保持器614接触光罩12的顶部表面。提供与光罩12的顶部表面的初始接触使光罩稳定，并在由侧光罩保持器610约束之前，阻止其在X和/或Y平面内偏移。

光罩保持器610、614的数目和位置可依据总舱的大小以及将施加到包含在内舱内的光罩的负载而变化。在一些情况下，将经配置以接触光罩的顶部表面的光罩保持器与经配置以从光罩的一侧或边缘接触所述光罩的光罩保持器组合可为有用的。在其它情况下，内舱盖可包含光罩保持器，其经配置以接触光罩的一侧或边缘，且可消除经配置以接触光罩的顶部表面的光罩保持器。在一些实施例中，如图13中所示，内舱盖602可包含两对光罩保持器，每一光罩保持器经配置以从所述侧接触光罩；以及至少一对光罩保持器，其中每一光罩保持器经配置以接触光罩的顶部表面。经配置以用于侧接触的每对光罩保持器610位于内舱盖602上，使得它们一起工作来限制光罩的拐角在X和Y平面内移动。

除光罩保持器610和614之外，内舱盖602可包含一或多个过滤器，其中包含过滤介质，用于在内舱盖602与内舱底座604啮合时，维持和控制内舱内的微环境。

图14A和14B示出经配置以从光罩的一侧约束光罩的光罩保持器610的一部分的不同视图。如图14A和14B中可看出，光罩保持器610包含光罩接触部件616、弹性部件618和盖620，其所有可从内舱盖602外部接近。光罩接触部件616和弹性部件618通过盖620保持在适当的位置，所述盖通过一或多个扣件(例如一对螺钉)固定到内舱盖602。弹性部件618可为弹性圆盘或隔膜，其经配置以使光罩接触部件616偏置到回缩或非接触位置。另外，如本文先前所论述，形成弹性部件618的圆盘可充当密封件，且可帮助防止颗粒物质进入内舱。在回缩位置中，光罩接触部件616定位成远离光罩12并与所述光罩不接触。弹性部件618和光罩接触部件616经配置以响应在Z方向上向下力的施加，其准许光罩接触部件616从其中光罩接触部件616不与光罩接触的第一回缩位置移动到其中光罩接触部件616接触容纳于内舱内的光罩的一侧的第二位置。在一些情况下，内舱盖602还可包含一或多个凹进部分622，其用于接纳光罩接触部件616的一部分。在Z方向上向光罩接触部件616施加向下力后，光罩接触部件616的一部分即刻接纳在凹进部分622中。凹进部分622将稳定力提供到光罩接触部件616，以防止光罩接触部件616在X和Y平面内滑动。

图15A-15C示出光罩接触部件616的不同视图。光罩接触部件616可为由聚合物、聚合物掺合物、金属或金属合金制成的单个一体式条。光罩接触部件616可经机械加工或射出成型，取决于从其制造的材料。在一些情况下，如可看到，光罩接触部件616包含横向延伸的臂626，包含至少一个向下延伸的指形件628。另外，光罩接触部件616包含向下延伸的支腿630，其具有经配置以接触光罩的一侧的平滑向外延伸的面632。指形件628中的每一者经配置以接纳在为此目的而形成于内舱盖602中的对应凹进部分622中，并将向下力施加到所述对应凹进部分。在一些情况下，如图15A-15C所示，指形件628中的每一者包含成角或倾斜边缘。指形件628中的每一者上所提供的成角或倾斜边缘设计成增加指形件628与凹进部分622的表面之间的摩擦量，使得光罩接触部件616抵抗X和Y平面内的从一侧到另一侧的移动。指形件628与凹进部分的表面之间的此相互作用可降低支腿630远离光罩滑动的可能性。在一些情况下，如所示出，支腿630可包含用于与保持弹性部件618相互作用的凹槽634。

图16A和16B示出盖620的顶部和底部视图。在使用中，盖620安置在光罩接触部件616和弹性部件618之上，并与之接触。罩620包含支架或交叉杆部件634，其接触并约束光罩接触部件616在X和Y平面内的从一侧到另一侧的移动，以及限制光罩接触部件616在Z方向上的任何潜在的向上和向下移动。在一些情况下，支架634具有Y形状或叉骨形，但所属领域的技术人员可轻易地认识到其它配置。在一些情况下，盖620可包含：圆形脊线638，其接触弹性部件618并向其施加压力；以及一或多个孔口，其用以接纳一或多个对应扣件来将盖620固定到内舱盖602。

图17A和17B示出包含光罩保持器610的内舱600的横截面图。图17A示出处于第一非接触位置的光罩保持器610，且图17B示出处于第二接触位置的光罩保持器610，在第二接触位置中，在Z方向上向臂626施加向下力后，已即刻使光罩接触部件616的支腿630与光罩12的侧表面644接触。在将向下力施加到光罩接触部件616的臂626后，光罩接触部件616即刻围绕第一旋转轴646枢转或旋转，致使指形件628向下移动，以接纳在凹进部分622中，并且还致使支腿630朝侧表面644向前枢转。当支腿630接触光罩644的侧表面时，如图17B所示，围绕第一旋转轴646的旋转停止。第二旋转轴648由光罩12在支腿630上向后推而产生。然而，光罩12在支腿630上向后推的动作的返回动作致使额外的力放置在接纳在凹进部分622中的指形件628上，从而进一步加强和稳定光罩接触部件616与光罩12之间的接触点。另外，旋转轴646是灵活的，且从旋转轴646改变为旋转轴648。旋转轴从第一旋转轴646到第二旋转轴648的此移位或改变由弹性部件618提供。弹性部件618提供足够量的的灵活性，使得当支腿630在第二旋转轴648处接触光罩12的侧表面644时，第一旋转轴646可在X平面内移位。响应于支腿630与侧表面644之间的接触，弹性部件618弯曲来帮助支腿630与光罩12之间的主要侧接触，从而防止光罩12在X和/或Y平面内移动。返回参看图13，通过接触光罩12的侧表面644来在X和Y平面内约束光罩12可减少Z方向上需要的可由额外光罩保持器614施加的负载的量。

图18示出根据本发明的另一实施例的内舱700。内舱700包含内舱盖702，其经配置以与内舱底座704配对，来界定密封环境。光罩可包含在密封环境内。内舱盖702具有通常对应于内舱底座704的大小和形状的大小和形状。在一些情况下，内舱盖702可包含多个突起或销708，其大小经设定且经配置以由底座704的边缘中所定义的多个对应凹进部分或凹口709接纳。销708和凹口709一起协作，以将盖702引导和对准在底座704之上。另外，当盖702与底座704啮合时，销708和凹口709将盖702保持在合适的位置。

内舱盖702还并入有一组或多组光罩保持器710和714。光罩保持器710和714有助于减少或防止光罩的移动，光罩的移动可产生颗粒。光罩保持器710和714并入到内舱盖702中，使得当内舱盖702闭合时，光罩保持器共同约束除Z方向之外光罩在X和Y平面内的水平或从一侧到另一侧的移动。响应于提供于外舱盖的内表面上的对应结构在Z方向上施加到所述保持器的向下力，光罩保持器710啮合光罩的侧和/或或边缘。响应于外舱盖的内表面上所提供的对应结构所施加的向下力，光罩保持器714接触光罩保持器的顶部表面。然而，因为光罩保持器710从侧面约束光罩，所以光罩保持器714施加到光罩的顶部表面的力的量可减小。另外，当内舱700闭合，且包含在外舱内时，在侧光罩保持器710接触光罩12的侧表面和/或边缘之前，光罩保持器714接触光罩12的顶部表面。提供与光罩12的顶部表面的初始接触使光罩稳定，并在由侧光罩保持器710约束之前，阻止其在X和/或Y平面内偏移。

光罩保持器710、714的数目和位置可依据总舱的大小以及将施加到包含在内舱内的光罩的负载而变化。在一些情况下，将经配置以接触光罩的顶部表面的光罩保持器与经配置以从光罩的一侧或边缘接触所述光罩的光罩保持器组合可为有用的。在其它情况下，内舱盖702可包含光罩保持器，其经配置以接触光罩的一侧或边缘，且可消除经配置以接触光罩的顶部表面的光罩保持器。在一些实施例中，如图18中所示，内舱盖702可包含：两对光罩保持器710，各自经配置以从所述侧接触光罩；以及至少一对光罩保持器714，其经配置以接触所述光罩的顶部表面。在一些情况下，经配置以用于侧接触的每对光罩保持器710位于内舱盖702上，使得它们一起工作来限制光罩的拐角在X和Y平面内移动。

除光罩保持器710和714之外，内舱盖702可包含一或多个过滤器，其中包含过滤介质，用于在内舱盖702与内舱底座704啮合时，维持和控制内舱内的微环境。

图19示出经配置以从光罩的一侧约束光罩的光罩保持器710的一部分的不同视图。如图19中可看出，光罩保持器710包含光罩接触部件716、弹性部件718(图23A和23B中所示)和盖720，其所有可从内舱盖702外部接近。光罩接触部件716和弹性部件718通过盖720保持在适当的位置，所述盖通过一或多个扣件(例如螺钉)固定到内舱盖702。弹性部件718可为弹性圆盘或隔膜，其经配置以使光罩接触部件716偏置到回缩或非接触位置。另外，如本文先前所论述，形成弹性部件718的圆盘可充当密封件，且可帮助防止颗粒物质进入内舱。在回缩位置中，光罩接触部件716定位成远离光罩并与所述光罩不接触。弹性部件718和光罩接触部件716两者经配置以响应向下力在Z方向上的施加，其准许光罩接触部件716从其中光罩接触部件716不与光罩接触的第一回缩位置移动到其中光罩接触部件716接触容纳于内舱内的光罩的一侧的第二位置。在一些情况下，内舱盖702还可包含一或多个凹进部分722，其用于接纳光罩接触部件716的一部分。在Z方向上向光罩接触部件716施加向下力后，光罩接触部件716的一部分即刻接纳在凹进部分722中。凹进部分722将稳定力提供到光罩接触部件716，以防止光罩接触部件716在X和Y平面内从一侧到另一侧滑动。

图20A和20B示出光罩接触部件716的不同视图。光罩接触部件716可为由聚合物、聚合物掺合物、金属或金属合金制成的单个一体式条。光罩接触部件716可经机械加工或射出成型，取决于从其制造的材料。在一些情况下，如可看到，光罩接触部件716包含横向延伸的臂726，以及与所述横向延伸的臂726形成T形的横向部件728。横向部件728包含第一向下延伸的肩部730a，其与第二向下延伸的肩部730b隔开。在一些情况下，向下延伸的肩部730a、730b沿横向部件728的整个宽度延伸，但这不是要求的。在其它情况下，向下延伸的肩部730a、730b可从横向部件728的宽度的百分之二十五延伸到百分之七十五。另外，光罩接触部件716包含向下延伸的支腿732，其具有经配置以接触光罩的一侧的平滑向外延伸的面733。

肩部730a、730b中的每一者经配置以接纳在为此目的而形成于内舱盖702中的对应凹进部分722中，并将向下力施加到所述对应凹进部分。在一些情况下，如图20A和20B所示，肩部730a、730b中的每一者包含成角或倾斜边缘。肩部730a、730b中的每一者上所提供的成角或倾斜边缘设计成增加肩部730a、730b与凹进部分722的表面之间的摩擦的量，使得光罩接触部件716抵抗X和Y平面内的从一侧到另一侧的移动。肩部730a、730b与凹进部分722的表面之间的此相互作用可减少当与光罩接触时，支腿732远离光罩滑动的可能性。在一些情况下，如所示出，支腿732可包含用于与保持弹性部件718相互作用的凹槽735。

图21A和21B示出根据一个实施例的盖720A的俯视和仰视图。在使用中，盖720A安置在光罩接触部件716和弹性部件718之上，并与之接触。盖720A包含两个大体上圆形或C形的支架部件736，其接触彼此邻近定位的两个光罩接触部件716，并重新训练从一侧到另一侧的移动。在一些情况下，如图21B中最佳看到，支架部件736中的每一者包含圆形脊线738，其接触弹性部件718，并向其施加压力。另外，所述罩包含孔口740，用于接纳扣件，例如与支架部件736中的每一者隔开的螺钉。支架部件736和孔口740相对于彼此定位，使得三角形可由穿过其中心点中的每一者的绘制线界定。图22A和22B示出类似的罩720B。基本差别在于归因于制造差异，盖720B比盖720A坚固。所属领域的一般技术人员将容易认识到，盖720B的功能以及零件之间的关系保持相同。

图23A和23B示出包含光罩保持器710的内舱700的横截面图。图23A示出处于第一非接触位置的光罩保持器710，且图23B示出处于第二接触位置的光罩保持器710，在第二接触位置中，在Z方向上向臂726和/或横向部件728施加向下力后，已即刻使光罩接触部件716的支腿732与光罩12的侧表面744接触。在将向下力施加到光罩接触部件716的臂726和/或横向部件728后，光罩接触部件716即刻围绕第一旋转轴746枢转或旋转，致使肩部730a、730b(其中仅730a在图中可见)向下移动，以接纳在凹进部分中，并且还致使支腿732朝光罩12的侧表面744向前枢转。当支腿732接触光罩12的侧表面744时，如图23B所示，围绕第一旋转轴746的旋转停止。第二旋转轴748由光罩12在支腿732上向后推而产生。然而，光罩12在支腿732上向后推的动作的返回动作致使额外的力放置在接纳在凹进部分722中的肩部730a、730b上，从而进一步加强和稳定光罩接触部件716与光罩716之间的接触点。另外，旋转轴746是灵活的，且从旋转轴746改变为旋转轴748。旋转轴从第一旋转轴746到第二旋转轴748的此移位或改变由弹性部件718提供。弹性部件718提供足够量的的灵活性，使得当支腿732在第二旋转轴748处接触光罩12的侧表面744时，第一旋转轴746可在X平面内移位。响应于支腿732与侧表面744之间的接触，弹性部件718弯曲来帮助支腿732与光罩12之间的主要侧接触，从而防止光罩12在X和/或Y平面内移动。返回参看图18，通过接触光罩12的侧表面744来在X和Y平面内约束光罩12可减少Z方向上需要的可由额外光罩保持器714施加的负载的量。

图24是示出包含于外舱800内从而形成双舱组合件的内舱700的局部横截面图。外舱800包含外舱盖802和外舱底座804。外舱盖802包含至少一个接触部件或垫806，其在内舱700包含于外舱内时，接触光罩接触部件716的臂726和/或横向部件728，并在Z方向上向其施加向下压力。并入外舱盖802中的接触部件或垫806所述以一对一方式与光罩接触部件716的数目对应。在Z方向上向臂726和/或横向部件728的向下施加力致使光罩接触部件716啮合光罩12的侧表面744，从而限制和/或防止光罩12在X和Y平面内从一侧到另一侧移动。返回参看图18，通过接触光罩12的侧表面744来在X和Y平面内约束光罩12可减少Z方向上需要的可由额外光罩保持器714施加的负载的量。

图25是图19中所示的内舱700的简化视图，其示出定位销708a、708b、708c和708d彼此的相对位置。销708a-708d中的每一者邻近内舱700的拐角712定位。如图25所示且如本文先前所描述，销708a-708d中的每一者接纳在底座704中所界定的对应凹进部分。举例来说，如图25中可看出，销708a接纳在对应凹进部分709a中，且销708c接纳在凹进部分709c中。如本文先前所描述，对应的销和凹进部分一起协作，来将盖702引导和对准在底座704之上，并且还在盖702与底座704啮合时，使盖702保持在合适的位置。另外，销和凹进部分相对于彼此的定位额外抵抗盖702在X和Y平面内相对于底座704的移动，并且还帮助抵抗盖702相对于底座的任何旋转移动。

如图25中可看出，第一组销708a、708b及其对应凹进部分(其中仅凹进部分709a可见)位于由第一轴l界定的第一垂直平面内。至少一第三销708c和对应凹进部分709c位于由第二轴M界定的第二垂直平面内。第四销708d及其对应的凹进部分是任选的。在一些情况下，由第二轴m界定的第二垂直平面以范围从约60度到约110度的角度α，且更确切地说，以范围从约60度到约90度的角度α，等分由第一轴l界定的第一垂直平面。在其它情况下，由第二轴m界定的第二垂直平面以正交或90度角度等分由第一轴l界定的第一垂直平面。将第三销708c和凹进部分709c放置在相对于由第一组销界定的第一轴或平面成角度或在一些情况下正交的轴上或平面内限制了盖702在l轴的两个方向上相对于底座的移动。另外，选择销的宽度相对于凹进部分的宽度，使得当盖702安放在底座704上，且销(例如销708a)接纳在对应凹进部分(例如709a)中时，盖702被抵抗无法进行旋转移动。对盖702在X和Y平面内相对于底座704的移动的此抵抗还可通过将三个销708a、708b和708c及其对应的凹进部分相对于彼此放置在中心来实现。

图26-29C涉及本公开的又一实施例。图26是根据另外其它实施例的包含一或多个光罩保持器810的内舱800的透视图。内舱800包含内舱盖802，其经配置以与内舱底座804配对，来界定密封环境。光罩可包含在密封环境内。内舱盖802具有通常对应于内舱底座804的大小和形状的大小和形状。在一些情况下，内舱盖802可包含多个突起或或销，其大小经设定且经配置以由底座804的边缘中所定义的多个对应凹进部分或凹口接纳。所述销和凹口一起协作，以将盖802引导和对准在底座804之上，并且还在盖802与底座804啮合时，将盖802保持在合适位置。

如图26中所示，内舱盖802还并入有一对或多对光罩保持器810。光罩保持器810有助于减少或防止光罩的移动，光罩的移动可产生颗粒。光罩保持器810的数目和位置可依据总舱的大小以及将施加到包含在内舱内的光罩的负载而变化。光罩保持器810并入到内舱盖802中，使得当内舱盖802闭合时，光罩保持器共同约束除Z方向之外光罩在X和Y平面内的水平或从一侧到另一侧的移动。每一光罩保持器810经配置以接触光罩的侧表面。每对光罩保持器810位于内舱盖802上，使得两个光罩光罩保持器810一起工作来限制光罩的拐角在X和Y平面内移动。在一些实施例中，如所示出，响应于提供于外舱盖的内表面上的对应结构在Z方向上施加到所述保持器的向下力，光罩保持器810啮合光罩的侧。不同于本文先前所述的实施例，光罩保持器810不会有意接触光罩的顶部表面。

图27和28是包含光罩保持器810的内舱的不同横截面图，且图29A-29C是个别光罩保持器810的不同视图。每一光罩保持器810包含臂814和主体部分816。所述臂在垂直于主体部分816延伸的方向的方向上延伸。举例来说，在一些情况下，臂814在X或Y方向上延伸，且主体部分816在Z方向上延伸。响应于提供于外舱盖的内表面上的对应结构在Z方向上施加到臂814的向下力，主体部分816接触光罩12的侧表面818。在侧接触后，光罩的某一中心调整将发生，但滑动期间的力将最小。光罩与光罩保持器之间的摩擦还在运送期间限制光罩在X和Y方向上的运动。在一些情况下，如图27所示，主体端口816可包含肩部部分820，其位于光罩的顶部表面上方，以根据需要限制光罩在Z方向上的移动。肩部部分820无意接触光罩12的顶部表面。实际上，肩部部分820响应于冲击事件，根据需要限制光罩12在Z方向上的移动。另外，光罩保持器810可包含环绕主体部分816的密封件824，且其可有助于防止颗粒物质进入内舱。

已这样描述了本公开的若干说明性实施例，所属领域的技术人员将容易了解，可在所附权利要求书的范围内，制作和使用其它实施例。前面的描述中已经陈述了本文献所涵盖的本公开的大量优点。然而，将理解，本公开在许多方面仅为说明性的。可在细节上进行改变，特别是在零件的形状、大小和排列上进行改变，而不超过本公开的范围。当然，本公开的范围是以表达所附权利要求书的语言来定义。

Claims (19)

1.一种用于固持光罩的光罩舱，其包括：

底座，其经配置以支撑其上的光罩；

盖，其具有顶部表面，且经配置以与所述底座配对；以及

一或多个光罩保持器，其各自包含光罩接触部件，其经配置以接触光罩的侧壁，来限制所述光罩的移动，每一光罩接触部件包含向外延伸的臂和延伸穿过所述盖的向下延伸的支腿，其中在所述臂致动后，所述向下延伸的支腿经配置以在朝光罩的侧壁的方向上移动。

2.根据权利要求1所述的光罩舱，其中所述光罩接触部件限制所述光罩在水平方向上的移动。

3.根据权利要求2所述的光罩舱，其中所述光罩接触部件限制垂直方向上的移动。

4.根据权利要求1所述的光罩舱，其中所述光罩接触部件进一步经配置以接触光罩的顶部表面。

5.根据权利要求1所述的光罩舱，其进一步包括一或多个额外光罩保持器，所述光罩保持器经配置以接触光罩的顶部表面。

6.根据权利要求1所述的光罩舱，其中所述一或多个光罩保持器中的每一者进一步包括弹性部件，其中所述弹性部件使所述光罩接触部件偏置在非接触位置中。

7.根据权利要求6所述的光罩舱，其中所述一或多个弹性部件中的每一者包含弹性圆盘，其包围所述向下延伸的支腿。

8.根据权利要求1所述的光罩舱，其中所述一或多个光罩保持器中的每一者包含紧固到所述盖的盖子。

9.根据权利要求1所述的光罩舱，其中所述向外延伸的臂至少部分地在所述盖的顶部表面上方延伸。

10.根据权利要求1所述的光罩舱，其中所述向外延伸的臂包括至少一个向下延伸的部件。

11.根据权利要求10所述的光罩舱，其中所述盖进一步包括凹进部分，其经配置以在所述向外延伸的臂致动后，即刻接纳所述至少一个向下延伸的部件。

12.根据权利要求10所述的光罩舱，其中所述光罩接触部件进一步包含横向部件，其与所述向外延伸的臂形成T形，所述横向部件具有至少一个向下延伸的部件。

13.根据权利要求1所述的光罩舱，其中所述向下延伸的支腿包含至少一第一凹进部分，以及接纳在所述第一凹进部分中的第一接触部件。

14.根据权利要求13所述的光罩舱，其中所述向下延伸的支腿包含第二凹进部分和接纳在所述第二凹进部分中的第二接触部件，其中所述第一接触部件相对于所述第一凹进部分成角度定位。

15.根据权利要求1所述的光罩舱，其中所述光罩舱包含在具有外舱底座和经配置以与所述外舱底座配对的外舱盖的外舱内，所述外舱盖具有内表面和从所述内表面延伸的至少一个接触垫，使得其接触并致动所述光罩舱的所述向外延伸的臂，从而致使所述向下延伸的支腿在朝所述光罩的所述侧壁的方向上移动。

16.一种保持光罩的方法，其包括：

将光罩接纳在底座上，所述底座具有经配置以支撑其上的所述光罩的特征；

将盖放置在包含所述光罩的所述底座上以限定内舱，所述盖包含一或多个光罩保持器，其各自包含光罩接触部件，每一光罩接触部件包含：向外延伸的臂，其至少部分地在所述盖的所述顶部表面上方延伸；以及向下延伸的支腿，其延伸穿过所述盖；以及

限制所述光罩的移动。

17.根据权利要求16所述的方法，其中限制所述光罩的移动包括致动所述一或多个光罩保持器接触所述光罩的侧壁，以限制所述光罩在水平方向上的移动。

18.根据权利要求16所述的方法，其中限制所述光罩的移动进一步包括致动所述一或多个光罩保持来接触所述光罩的顶部表面，以限制所述光罩在垂直方向上的移动。

19.根据权利要求16所述的方法，其进一步包括将所述内舱包封在包含外舱盖和外舱底座的外舱内，所述外盖包含内表面上所提供的一或多个接触部件，其中当所述内舱包封在所述外舱内，每一接触部件接触所述一或多个光罩保持器的对应光罩保持器，并向其施加向下力。