JP2006184442A - レチクル保護装置および露光装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 本発明は、レチクルを保護するレチクル保護装置およびこのレチクル保護装置を用いた露光装置に関し、レチクルあるいはＣＦＰ等のインナーカバーをアウターケース内に確実に固定することを目的とする。
【解決手段】 レチクルを覆うインナーカバーを、蓋部材とベース部材とを備えたアウターケース内に収納してなるレチクル保護装置において、前記アウターケースの前記蓋部材の内側に、前記蓋部材に固定されるバネ部材を介して前記インナーカバーを押圧するパッド部材を配置し、前記パッド部材の前記インナーカバーのエッジ部に対向する位置に、前記インナーカバーのエッジ部を押圧する傾斜面を形成してなることを特徴とする。
【選択図】 図１

Description

本発明は、レチクルを保護するレチクル保護装置およびこのレチクル保護装置を用いた露光装置に関する。

従来、レチクルを保護するレチクル保護装置として、レチクルをクリーンフィルタポッド(以下ＣＦＰという)内に収納し、さらに、ＣＦＰをアウターケース(レチクルケース)内に収納したものが知られている。
そして、このようなレチクル保護装置では、レチクルおよびＣＦＰは、ＣＦＰおよびアウターケース内に機械的にガタ(緩み)のある状態で保持されている。
特許３４５５０７２号公報

しかしながら、従来のレチクル保護装置では、レチクルおよびＣＦＰを、ＣＦＰおよびアウターケース内に機械的にガタのある状態で保持しているため、ガタのある部分が擦れて微細なゴミ(汚染物)が発生し易く、レチクルのパターン面にゴミが付着し、露光工程での欠陥を生み易いという問題があった。特にペリクルを使用できないＥＵＶＬ露光用レチクルでは、パターン面にゴミが付着し易いため大きな問題となる。

本発明は、かかる従来の問題を解決するためになされたもので、レチクルあるいはＣＦＰ等のインナーカバーをアウターケース内に、より確実に保持することができるレチクル保護装置を提供することを目的とする。また、このレチクル保護装置を用いた露光装置を提供することを目的とする。

請求項１のレチクル保護装置は、レチクルを覆うインナーカバーを、蓋部材とベース部材とを備えたアウターケース内に収納してなるレチクル保護装置において、前記アウターケースの前記蓋部材の内側に、前記インナーカバーのエッジ部を押圧するパッド部材を配置してなることを特徴とする。
請求項２のレチクル保護装置は、請求項１記載のレチクル保護装置において、前記パッド部材の前記インナーカバーのエッジ部に対向する位置に、前記インナーカバーのエッジ部を押圧する傾斜面を形成してなることを特徴とする。

請求項３のレチクル保護装置は、請求項１または請求項２記載のレチクル保護装置において、前記インナーカバーの前記エッジ部は、前記インナーカバーの頂部であることを特徴とする。
請求項４のレチクル保護装置は、レチクルを覆うインナーカバーを、蓋部材とベース部材とを備えたアウターケース内に収納してなるレチクル保護装置において、前記アウターケースの前記蓋部材の内側に、前記レチクルのエッジ部を押圧するパッド部材を配置してなることを特徴とする。

請求項５のレチクル保護装置は、請求項４記載のレチクル保護装置において、前記パッド部材の前記レチクルのエッジ部に対向する位置に、前記レチクルのエッジ部を押圧する傾斜面を形成してなることを特徴とする。
請求項６のレチクル保護装置は、請求項４または請求項５記載のレチクル保護装置において、前記レチクルの前記エッジ部は、前記レチクルの頂部であることを特徴とする。

請求項７のレチクル保護装置は、レチクルを覆うインナーカバーを、蓋部材とベース部材とを備えたアウターケース内に収納してなるレチクル保護装置において、前記インナーカバーを前記ベース部材に前記レチクル面に対して水平方向に保持するクランプ手段を有していることを特徴とする。
請求項８のレチクル保護装置は、請求項７記載のレチクル保護装置において、前記クランプ手段は、前記アウターケースの蓋部材に固定されるバネ部材と、前記バネ部材より回転され前記インナーカバーの側面を保持する回転レバーとを有していることを特徴とする。

請求項９のレチクル保護装置は、レチクルを覆うインナーカバーを、蓋部材とベース部材とを備えたアウターケース内に収納してなるレチクル保護装置において、前記アウターケースに、前記アウターケース内に収納される前記インナーカバーを保持するインナーカバー保持手段を設けるとともに、前記ベース部材の内側に、前記インナーカバーを載置する載置部を設け、前記インナーカバーの前記載置部に対応する位置を前記インナーカバー保持手段により押圧してなることを特徴とする。

請求項１０のレチクル保護装置は、レチクルを覆うインナーカバーを、蓋部材とベース部材とを備えたアウターケース内に収納してなるレチクル保護装置において、前記アウターケースに、前記インナーカバーにより覆われるレチクルを保持するレチクル保持手段を設けるとともに、前記インナーカバーに、前記レチクルを載置する載置部を設け、前記レチクルの前記載置部に対応する位置を前記レチクル保持手段により押圧してなることを特徴とする。

請求項１１のレチクル保護装置は、レチクルを覆うインナーカバーを、蓋部材とベース部材とを備えたアウターケース内に収納してなるレチクル保護装置において、前記アウターケースに、前記アウターケース内に収納されるインナーカバーを保持するインナーカバー保持手段と、前記インナーカバーを前記ベース部材に前記レチクル面に対して水平方向に保持するクランプ手段とを設け、前記インナーカバー保持手段により前記インナーカバーを保持した後、前記クランプ手段により前記インナーカバーを前記ベース部材に保持することを特徴とする。

請求項１２のレチクル保護装置は、レチクルを覆うインナーカバーを、蓋部材とベース部材とを備えたアウターケース内に収納してなるレチクル保護装置において、前記アウターケースに、前記アウターケース内に収納されるインナーカバーを保持するインナーカバー保持手段と、前記インナーカバーを前記アウターケース内の位置決め部に押圧して保持するクランプ手段とを設け、前記クランプ手段により前記インナーカバーを前記位置決め部に押圧して保持した後、前記インナーカバー保持手段により前記インナーカバーを保持することを特徴とする。

請求項１３のレチクル保護装置は、請求項１ないし請求項１２のいずれか１項記載のレチクル保護装置において、前記インナーカバーは、前記レチクルを収納する上カバー部材と下カバー部材とを有していることを特徴とする。
請求項１４のレチクル保護装置は、請求項１ないし請求項１２のいずれか１項記載のレチクル保護装置において、前記インナーカバーは、前記レチクルの下面を覆うカバー部材を有していることを特徴とする。

請求項１５の露光装置は、請求項１ないし請求項１４のいずれか１項記載のレチクル保護装置を用いることを特徴とする。

本発明のレチクル保護装置では、パッド部材によりインナーカバーのエッジ部を押圧するようにしたので、エッジ部の狭い面積にパッド部材の力が集中するとともに、斜め方向の押さえによる分力の関係からレチクル面に対して水平方向への成分が発生するため、インナーカバーの上面部を押圧する場合に比較してパッド部材がずれ難くなり、インナーカバーをアウターケース内に確実に保持することができる。

本発明のレチクル保護装置では、パッド部材によりレチクルのエッジ部を押圧するようにしたので、エッジ部の狭い面積にパッド部材の力が集中するとともに、斜め方向の押さえによる分力の関係からレチクル面に対して水平方向への成分が発生するため、レチクルの上面部を押圧する場合に比較してパッド部材がずれ難くなり、レチクルをアウターケース内に確実に保持することができる。

本発明のレチクル保護装置では、クランプ手段によりインナーカバーをレチクル面に対して水平方向からベース部材に保持するようにしたので、水平方向のズレが防止可能となりインナーカバーをアウターケース内により確実に保持することができる。
本発明のレチクル保護装置では、インナーカバーの載置部に対応する位置をインナーカバー保持手段により押圧するようにしたので、インナーカバーの載置部のほぼ真上に近い位置を押圧可能であり、インナーカバーに対する曲げモーメント荷重を極力小さくすることが可能であり、インナーカバーを載置部に向かって大きい力で押圧することが可能になり、インナーカバーをアウターケース内により確実に保持することができる。また、インナーカバーに生じる歪みを小さくすることができる。

本発明のレチクル保護装置では、レチクルの載置部に対応する位置をレチクル保持手段により押圧するようにしたので、レチクルの載置部のほぼ真上に近い位置を押圧可能であり、レチクルに対する曲げモーメント荷重を極力小さくすることが可能であり、レチクルを載置部に向かって大きい力で押圧することが可能になり、レチクルをアウターケース内により確実に保持することができる。また、レチクルに生じる歪みを小さくすることができる。

本発明のレチクル保護装置では、インナーカバー保持手段によりインナーカバーを保持した後、クランプ手段によりインナーカバーをベース部材にレチクル面に対して水平方向に保持するようにしたので、クランプ手段による保持時にインナーカバーが水平方向に大きく移動することがなくなり、インナーカバーをアウターケース内に確実に保持することができる。そのため、運搬中の振動等による擦れを防止可能であり、ゴミの発生を抑制することができる。

本発明のレチクル保護装置では、クランプ手段によりインナーカバーを位置決め部に押圧して保持した後、インナーカバー保持手段によりインナーカバーを保持するようにしたので、インナーカバーを高い精度でアウターケース内により確実に保持することができる。
本発明の露光装置では、本発明のレチクル保護装置を用いてレチクルを保護するようにしたので、汚染の少ないレチクルを使用して歩留まりの高い製品を得ることができる。

以下、本発明の実施形態を図面を用いて詳細に説明する。
(第１の実施形態)
図１および図２は、本発明のレチクル保護装置の第１の実施形態を示している。
この実施形態のレチクル保護装置は、ＥＵＶＬ露光用のレチクル１１を収納するインナーケース１３と、インナーケース１３を収納するアウターケース１５とを備えている。レチクル１１、インナーケース１３およびアウターケース１５は、図２に示すように、上方から見て正方形形状とされている。

インナーケース１３は、下カバー部材１７と上カバー部材１９とを有している。上カバー部材１９は上面部１９ａと側面部１９ｂを有する断面コ字状とされている。上カバー部材１９の側面部１９ｂの下端は、下カバー部材１７の外周部の上面に載置されている。これによりインナーケース１３内にゴミが入り込みにくくなる。この実施形態では、インナーケース１３には、クリーンフィルタポッド(ＣＦＰ)が使用されている。

アウターケース１５は、蓋部材２１とベース部材２３とを有している。蓋部材２１は上面部２１ａと側面部２１ｂを有する断面コ字状とされている。側面部２１ｂの下部には嵌合部２１ｃが形成され、この嵌合部２１ｃが平板状のベース部材２３の側面に嵌合されている。この実施形態では、アウターケース１５には、スミフ(ＳＭＩＦ)ポッドが使用されている。

図３および図４は、インナーケース１３の下カバー部材１７を示している。下カバー部材１７の上面の四隅には、インナーケース１３内に収容されるレチクル１１が大きく移動することを防止するズレ防止ピン２５がそれぞれ１対ずつ配置されている。また、レチクル１１を載置する載置部２７が３箇所配置されている。この載置部２７はズレ防止ピン２５より高さを低くされている。載置部２７は、下カバー部材１７の図の右側の隅部のズレ防止ピン２５の内側となる位置に２箇所配置されている。また、下カバー部材１７の図の左側の中央に１箇所配置されている。そして、載置部２７が配置されない下カバー部材１７の図の左側の隅部の２箇所には、ズレ防止ピン２５の内側となる位置にレチクル１１の倒れを防止する倒れ防止部２９が配置されている。この倒れ防止部２９は載置部２７の高さより若干低くされている。これにより、レチクル１１は３箇所の載置部２７にのみ載置される。

図５および図６は、アウターケース１５のベース部材２３を示している。ベース部材２３の上面の四隅には、アウターケース１５内に収容されるインナーケース１３の下カバー部材１７が大きく移動することを防止するズレ防止ピン３１がそれぞれ１対ずつ配置されている。また、下カバー部材１７を載置する載置部３３が３箇所配置されている。この載置部３３はズレ防止ピン３１より高さを低くされている。載置部３３は、ベース部材２３の図の右側の隅部のズレ防止ピン３１の内側となる位置に２箇所配置されている。また、ベース部材２３の図の左側の中央に１箇所配置されている。そして、載置部３３が配置されないベース部材２３の図の左側の隅部の２箇所には、ズレ防止ピン３１の内側となる位置に下カバー部材１７の倒れを防止する倒れ防止部３５が配置されている。この倒れ防止部３５は載置部３３の高さより若干低くされている。これにより、下カバー部材１７は３箇所の載置部３３にのみ載置される。

そして、図１および図２に示すように、アウターケース１５には、インナーケース１３内に収納されるレチクル１１を保持するレチクル保持手段３７が配置されている。また、アウターケース１５内に収納されるインナーケース１３を保持するインナーケース保持手段３９が配置されている。さらに、インナーケース１３をベース部材２３に保持するクランプ手段４１が配置されている。

レチクル保持手段３７は、図２に示すように、図４に示したインナーケース１３の下カバー部材１７に形成される載置部２７および倒れ防止部２９に対応する位置(載置部２７および倒れ防止部２９の上方または略上方となる位置)に５箇所配置されている。ここで載置部２７に対応する位置とは、必ずしも載置部２７の真上である必要はなく、レチクル１１に許容量以上の歪みを生じさせない位置をいう。

インナーケース保持手段３９は、図２に示すように、図６に示したアウターケース１５のベース部材２３に形成される載置部３３および倒れ防止部３５に対応する位置(載置部３３および倒れ防止部３５の上方または略上方となる位置)に５箇所配置されている。ここで載置部３３に対応する位置とは、必ずしも載置部３３の真上である必要はなく、インナーケース１３に許容量以上の歪みを生じさせない位置をいう。なお、保持手段３７の発生力は載置部２７の上では強く、倒れ防止部２９の上では弱く設定している。

クランプ手段４１は、図２に示すように、インナーケース１３の４辺にそれぞれ間隔を置いて２箇所ずつ配置されている。各辺に配置されるクランプ手段４１はインナーケース１３の隅部側に偏って配置されている。そして、対向する辺に配置される１対のクランプ手段４１は相互に対向する位置に配置されている。
図７および図８は、レチクル保持手段３７、インナーケース保持手段３９およびクランプ手段４１の詳細を示している。

レチクル保持手段３７は、板バネからなるバネ部材４３を有している。バネ部材４３の一端はアウターケース１５の蓋部材２１の上面部２１ａに支持部材４４を介して固定されている。バネ部材４３の他端には、押圧ピン４５の上端が固定されている。一方、インナーケース１３の上カバー部材１９には、押圧ピン４５に対応する位置に貫通穴１９ｃが形成されている。この貫通穴１９ｃには円筒状のベローズ４６が配置されている。

ベローズ４６の上端は、図９に示すように、上カバー部材１９の貫通穴１９ｃの上端開口を塞いで上カバー部材１９に固定されている。ベローズ４６の下端にはパッド部材４７が配置されている。このパッド部材４７は、ベローズ４６の下端開口を塞いでベローズ４６の下端に固定されている。そして、パッド部材４７の上面には押圧ピン４５により押圧される受け部４８が形成されている。この受け部４８はベローズ４６内に配置されている。なお、受け部４８を省略してパッド部材４７で直接押圧ピン４５の力を受けても良い。

パッド部材４７には、レチクル１１のエッジ部１１ａに対向する位置に傾斜面４７ａが形成されている。この傾斜面４７ａは、図面左下側から右上側に向けて傾斜されている。そして、この傾斜面４７ａによりレチクル１１のエッジ部１１ａが押圧されている。これにより、エッジ部１１ｄの狭い面積にパッド部材４７の力が集中すると共に、斜め方向の抑えによる分力の関係から水平方向への成分が発生するために、レチクル１１の水平面内のずれを、回転方向も含めてより確実に抑えることができる。特に、この実施形態では、図２に示すように、エッジ部（辺）の中でもレチクル１１の四隅である頂部１１ｔをパッド部材４７により押圧している。そのため、パッド部材４７の弾性力によって頂部１１ｔがパッド部材４７に食い込み、横方向へ滑りにくくなるためより確実に保持することが可能となる。パッド部材に予め凹部を設けておき、そこに頂部１１ｔが入り込む構成にすることもできる。この場合はパッド部材は硬質なものでも効果がある。

インナーケース保持手段３９は、図７に示すように、板バネからなるバネ部材５１を有している。バネ部材５１の一端はアウターケース１５の蓋部材２１の上面部２１ａに支持部材５２を介して固定されている。バネ部材５１の他端には、支持部５３を介してパッド部材５４が固定されている。
このパッド部材５４には、上カバー部材１９のエッジ部１９ｄに対向する位置に傾斜面５４ａが形成されている。この傾斜面５４ａは、図面左下側から右上側に向けて傾斜されている。そして、この傾斜面５４ａにより上カバー部材１９のエッジ部１９ｄが押圧されている。これにより、エッジ部１９ｄの狭い面積にパッド部材５４の力が集中すると共に、斜め方向の抑えによる分力の関係から水平方向への成分が発生するために、上カバー部材１９の水平面内のずれを、回転方向も含めてより確実に抑えることができる。特に、この実施形態では、図２に示すように、エッジ部（辺）の中でも上カパー部材１９の四隅である頂部１９ｔをパッド部材５４により押圧している。そのため、パッド部材５４の弾性力によって頂部１９ｔがパッド部材５４に食い込み、横方向へ滑りにくくなるためより確実に保持することが可能となる。パッド部材に予め凹部を設けておき、そこに頂部１９ｔが入り込む構成にすることもできる。この場合はパッド部材は硬質なものでも効果がある。

クランプ手段４１は、板バネからなるバネ部材５７を有している。バネ部材５７の一端はアウターケース１５の蓋部材２１の側面部２１ｂに支持部材５８を介して固定されている。バネ部材５７の他端には、押圧部５９が固定されている。一方、アウターケース１５のベース部材２３には、押圧部５９に対応する位置に回転レバー６１が回転可能に配置されている。回転レバー６１は、受け部６１ａと保持部６１ｂとを有している。

回転レバー６１は、図８に示すように、ベース部材２３の上面に固定される一対の支持柱６３の間に配置されている。そして、支持柱６３にピン部材６４を介して回転可能に配置されている。従って、回転レバー６１の受け部６１ａを、バネ部材５７の押圧部５９により押圧すると回転レバー６１が回転し、インナーケース１３の下カバー部材１７の側面が保持される。

上述したレチクル保護装置では、図１０および図１１に示すように、インナーケース１３の下カバー部材１７の載置部２７にレチクル１１を載置し、上カバー部材１９の側面部１９ｂの下端を下カバー部材１７の上面に載置することによりインナーケース１３内にレチクル１１が収納される。
そして、レチクル１１を収納したインナーケース１３の下カバー部材１７が、図１２に示すように、ベース部材２３の載置部３３に載置される。この状態では、レチクル保持手段３７のバネ部材４３、インナーケース保持手段３９のバネ部材５１、およびクランプ手段４１のバネ部材５７は水平に保たれている。また、レチクル保持手段３７のパッド部材４７はベローズ４６によりレチクル１１より上方に位置している。さらに、クランプ手段４１の回転レバー６１は自重により回転して保持部６１ｂが下方に位置している。

そして、アウターケース１５のベース部材２３に、蓋部材２１の側面に形成される嵌合部２１ｃを嵌合すると、嵌合に連動して、図７に示したように、レチクル保持手段３７によるレチクル１１の保持、インナーケース保持手段３９によるインナーケース１３の保持、およびクランプ手段４１によるインナーケース１３の保持が行われる。
この実施形態では、インナーケース保持手段３９によるインナーケース１３の保持、クランプ手段４１によるインナーケース１３の保持、レチクル保持手段３７によるレチクル１１の保持が順番に行われるように、インナーケース保持手段３９のパッド部材５４、クランプ手段４１の回転レバー６１、レチクル保持手段３７のパッド部材４７の位置が設定されている。

すなわち、アウターケース１５のベース部材２３に、蓋部材２１の側面に形成される嵌合部２１ｃを嵌合すると、先ず、インナーケース保持手段３９のパッド部材５４がインナーケース１３の上カバー部材１９のエッジ部１９ｄを押圧しインナーケース１３が保持される。次に、クランプ手段４１の回転レバー６１の保持部６１ｂがインナーケース１３の下カバー部材１７の側面を押圧して下カバー部材１７が保持される。このように、インナーケース保持手段３９によりインナーケース１３の上カバー部材１９を保持した後、クランプ手段４１によりインナーケース１３の下カバー部材１７の側面を四方から保持することにより、アウターケース１５内でインナーケース１３を大きく移動することなくインナーケース１３をアウターケース１５内に確実に保持することができる。そして、最後に、レチクル保持手段３７のパッド部材４７がレチクル１１のエッジ部１１ａを押圧し、レチクル１１がインナーケース１３内で保持される。

上述したレチクル保護装置では、インナーケース保持手段３９のパッド部材５４によりインナーケース１３のエッジ部１９ｄを押圧するようにしたので、エッジ部１９ｄの狭い面積にパッド部材５４の力が集中し、インナーケース１３の上面部を押圧する場合に比較してパッド部材５４がずれ難くなり、インナーケース１３をアウターケース１５内に確実に保持することができる。

また、レチクル保持手段３７のパッド部材４７によりレチクル１１のエッジ部１１ａを押圧するようにしたので、エッジ部１１ａの狭い面積にパッド部材４７の力が集中し、レチクル１１の上面部を押圧する場合に比較してパッド部材４７がずれ難くなり、レチクル１１をアウターケース１５内に確実に保持することができる。
さらに、クランプ手段４１によりインナーケース１３を、アウターケース１５の蓋部材２１より剛性の高いベース部材２３に保持するようにしたので、インナーケース１３をアウターケース１５内に確実に保持することができる。

そして、上述したレチクル保護装置では、インナーケース１３の載置部３３に対応する位置をインナーケース保持手段３９により押圧するようにしたので、インナーケース１３を載置部３３に大きい力で押圧することが可能になり、インナーケース１３をアウターケース１５内に確実に保持することができる。また、インナーケース１３に生じる歪みを小さくすることができる。

また、レチクル１１の載置部２７に対応する位置をレチクル保持手段３７により押圧するようにしたので、レチクル１１を載置部２７に大きい力で押圧することが可能になり、レチクル１１をアウターケース１５内に確実に保持することができる。また、レチクル１１に生じる歪みを小さくすることができる。
さらに、上述したレチクル保護装置では、インナーケース保持手段３９によりインナーケース１３を保持した後、クランプ手段４１によりインナーケース１３をベース部材２３に四方から保持するようにしたので、クランプ手段４１による保持時にインナーケース１３が大きく移動することがなくなり、インナーケース１３をアウターケース１５内により確実に保持することができる。そのため、摺動によるゴミの発生を少なくすることができる。

そして、インナーケース１３内のレチクル１１およびインナーケース１３がアウターケース１５内に確実に固定されるため、インナーケース１３とレチクル１１およびインナーケース１３とアウターケース１５とが擦れてゴミが発生することを確実に防止することができる。これにより、露光工程での欠陥を減らすことができる。
なお、この実施形態では、アウターケース１５内にレチクル保持手段３７、インナーケース保持手段３９およびクランプ手段４１を設けた例について説明したが、必ずしもアウターケース１５内に全ての手段３７，３９，４１を設ける必要はなく、装置側の要望により１つ以上の手段を設けるようにしても良い。
(第２の実施形態)
図１３は、本発明のレチクル保護装置の第２の実施形態の要部を示している。

なお、この実施形態において第１の実施形態と同一の部材には、同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
この実施形態では、インナーケース１３の上カバー部材１９の側面部１９ｂの下面に、断面三角形状の凹溝１９ａが側面部１９ｂの下面に沿って環状に形成されている。そして、この凹溝１９ａにパッキン６７が配置されている。また、インナーケース１３の上カバー部材１９の側面部１９ｂに貫通穴１９ｆが形成され、この貫通穴１９ｆにフィルタ６９が配置されている。さらに、インナーケース１３の上面部１９ａに貫通穴１９ｈが形成され、この貫通穴１９ｈが薄膜７１により覆われている。

この実施形態では、インナーケース１３の上カバー部材１９の側面部１９ｂの下面にパッキン６７を配置したので、インナーケース１３内の気密性をより向上することができる。なお、この実施形態では、上カバー部材１９側にパッキン６７を配置したが、下カバー部材１７側に凹溝を形成してパッキンを配置するようにしても良い。また、パッキンを使用することなく、例えば上カバー部材１９の側面部１９ｂの下面にゴム引き等の表面処理を行いシール機能を形成しても良い。

また、この実施形態では、インナーケース１３の上カバー部材１９の側面部１９ｂにフィルタ６９を配置したので、インナーケース１３内を汚染することなく、インナーケース１３内の気圧を外部雰囲気の気圧にすることができる。なお、フィルタ６９を上カバー部材１９の上面部１９ａに配置しても良い。
さらに、この実施形態では、インナーケース１３の上面部１９ａに貫通穴１９ｈを形成し、貫通穴１９ｈを薄膜７１により覆ったので、外部雰囲気の気圧が急激に変化した時に、薄膜７１が破れインナーケース１３内の気圧を外部雰囲気の気圧にすることができる。なお、薄膜７１の代わりにチェック弁、破裂弁等の安全弁を配置するようにしても良い。
(第３の実施形態)
図１４は、本発明のレチクル保護装置の第３の実施形態の要部を示している。

なお、この実施形態において第１の実施形態と同一の部材には、同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
この実施形態では、インナーケース１３の上カバー部材１９に配置されるベローズ４６が、板バネからなるバネ部材７３により支持されている。バネ部材７３の一端は、上カバー部材１９の貫通穴１９ｃの近傍にビス７５により固定されている。また、バネ部材７３の他端は、ベローズ４６の下端とパッド部材４７の間に固定されている。

この実施形態では、ベローズ４６およびパッド部材４７をバネ部材７３により支持するようにしたので、ベローズ４６およびパッド部材４７が水平方向に移動することがなくなり、パッド部材４７の位置決め精度を向上することができる。
(第４の実施形態)
図１５および図１６は、本発明のレチクル保護装置の第４の実施形態を示している。

なお、この実施形態において第１の実施形態と同一の部材には、同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
この実施形態では、レチクル１１はインナーケース１３に収納されることなく、レチクル１１の下面のみがインナーカバー部材７７により保護される。そして、レチクル１１がインナーカバー部材７７とともにアウターケース１５内に収納される。

インナーカバー部材７７の外周には上方に向けて側面部７７ｂが形成されている。そして、この側面部７７ｂの上端がインナーカバー保持手段７９のパッド部材５４により保持される。また、レチクル１１のエッジ部１１ａがレチクル保持手段８１のパッド部材４７により保持される。
なお、側面部７７ｂを無くし、図１に示した下カバー部材１７をそのままインナーカバー部材７７としても良い。また、インナーカバー保持手段７９とクランプ手段４１のどちらか一方でも良い。さらに、レチクル保持手段８１のみにすることも可能である。
(第１の実施形態の変形例)
図１７および図１８は本発明の第１の実施形態の変形例を示している。

なお、この実施形態において第１の実施形態と同一の部材には、同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
この変形例では、クランプ手段４１が下カバー部材１７の２辺(図１８の上辺および左辺)となる位置にのみ配置されている。そして、下カバー部材１７の他の２辺(図１８の右辺および下辺)となる位置には、位置決め用のブロック部材８３が配置されている。このブロック部材８３は、図１７に示すように、アウターケース１５のベース部材２３の上面に固定されている。

この変形例では、クランプ手段４１による下カバー部材１７の保持、インナーケース保持手段３９による上カバー部材１９の保持、レチクル保持手段３７によるレチクル１１の保持が順番に行われるように、インナーケース保持手段３９のパッド部材５４、クランプ手段４１の回転レバー６１、レチクル保持手段３７のパッド部材４７の位置が設定されている。

すなわち、アウターケース１５のベース部材２３に、蓋部材２１の側面に形成される嵌合部２１ｃを嵌合すると、嵌合に連動して、先ず、クランプ手段４１の回転レバー６１の保持部６１ｂが下カバー部材１７の側面を押圧する。これにより、下カバー部材１７がブロック部材８３に押圧され下カバー部材１７が所定の位置に位置決めされ、同時に保持される。次に、インナーケース保持手段３９のパッド部材５４が上カバー部材１９の側面部１９ｂの上面のエッジ部１９ｄを押圧し上カバー部材１９が保持される。そして、最後に、レチクル保持手段３７のパッド部材４７がレチクル１１のエッジ部１１ａを押圧し、レチクル１１が下カバー部材１７に保持される。

この第１の実施形態の変形例では、インナーケース保持手段３９により上カバー部材１９を保持する前に、クランプ手段４１により下カバー部材１７をブロック部材８３に押圧し、下カバー部材１７の保持と同時に、下カバー部材１７の位置決めを行うようにしたので、下カバー部材１７をアウターケース１５内に高い精度で保持することができる。
(露光装置の実施形態)
図１９は、ＥＵＶ光リソグラフィシステムを模式化して示している。なお、この実施形態において第１の実施形態と同一の部材には、同一の符号を付している。この実施形態では、露光の照明光としてＥＵＶ光が用いられる。ＥＵＶ光は０．１〜４００ｎｍの間の波長を持つもので、この実施形態では特に１〜５０ｎｍ程度の波長が好ましい。投影像は像光学系システム１０１を用いたもので、ウエハ１０３上にレチクル１１によるパターンの縮小像を形成するものである。

ウエハ１０３上に照射されるパターンは、レチクルステージ１０２の下側に静電チャック１０４を介して配置されている反射型のレチクル１１により決められる。この反射型のレチクル１１は、上述した実施形態のレチクル保護装置により保護された状態で真空ロボットによって搬入および搬出される（真空ロボットの図示は省略する）。また、ウエハ１０３はウエハステージ１０５の上に載せられている。典型的には、露光はステップ・スキャンによりなされる。

露光時の照明光として使用するＥＵＶ光は大気に対する透過性が低いので、ＥＵＶ光が通過する光経路は、適当な真空ポンプ１０７を用いて真空に保たれた真空チャンバ１０６に囲まれている。またＥＵＶ光はレーザプラズマＸ線源によって生成される。レーザプラズマＸ線源はレーザ源１０８（励起光源として作用）とキセノンガス供給装置１０９からなっている。レーザプラズマＸ線源は真空チャンバ１１０によって取り囲まれている。レーザプラズマＸ線源によって生成されたＥＵＶ光は真空チャンバ１１０の窓１１１を通過する。

放物面ミラー１１３は、キセノンガス放出部の近傍に配置されている。放物面ミラー１１３はプラズマによって生成されたＥＵＶ光を集光する。放物面ミラー１１３は集光光学系を構成し、ノズル１１２からのキセノンガスが放出される位置の近傍に焦点位置がくるように配置されている。ＥＵＶ光は放物面ミラー１１３の多層膜で反射し、真空チャンバ１１０の窓１１１を通じて集光ミラー１１４へと達する。集光ミラー１１４は反射型のレチクル１１へとＥＵＶ光を集光、反射させる。ＥＵＶ光は集光ミラー１１４で反射され、レチクル１１の所定の部分を照明する。すなわち、放物面ミラー１１３と集光ミラー１１４はこの装置の照明システムを構成する。

レチクル１１は、ＥＵＶ光を反射する多層膜とパターンを形成するための吸収体パターン層を持っている。レチクル１１でＥＵＶ光が反射されることによりＥＵＶ光は「パターン化」される。パターン化されたＥＵＶ光は投影システム１０１を通じてウエハ１０３に達する。
この実施形態の像光学システム１０１は、凹面第１ミラー１１５ａ、凸面第２ミラー１１５ｂ、凸面第３ミラー１１５ｃ、凹面第４ミラー１１５ｄの４つの反射ミラーからなっている。各ミラー１１５ａ〜１１５ｄにはＥＵＶ光を反射する多層膜が備えられている。

レチクル１１により反射されたＥＵＶ光は第１ミラー１１５ａから第４ミラー１１５ｄまで順次反射されて、レチクル１１パターンの縮小（例えば、１／４、１／５、１／６）された像を形成する。像光学系システム１０１は、像の側（ウエハ１０３の側）でテレセントリックになるようになっている。
レチクル１１は可動のレチクルステージ１０２によって少なくともＸ−Ｙ平面内で支持されている。ウエハ１０３は、好ましくはＸ，Ｙ，Ｚ方向に可動なウエハステージ１０５によって支持されている。ウエハ１０３上のダイを露光するときには、ＥＵＶ光が照明システムによりレチクル１１の所定の領域に照射され、レチクル１１とウエハ１０３は像光学系システム１０１に対して像光学システム１０１の縮小率に従った所定の速度で動く。このようにして、レチクルパターンはウエハ１０３上の所定の露光範囲（ダイに対して）に露光される。

露光の際には、ウエハ１０３上のレジストから生じるガスが像光学システム１０１のミラー１１５ａ〜１１５ｄに影響を与えないように、ウエハ１０３はパーティション１１６の後ろに配置されることが望ましい。パーティション１１６は開口１１６ａを持っており、それを通じてＥＵＶ光がミラー１１５ｄからウエハ１０３へと照射される。パーティション１１６内の空間は真空ポンプ１１７により真空排気されている。このように、レジストに照射することにより生じるガス状のゴミがミラー１１５ａ〜１１５ｄあるいはレチクル１１に付着するのを防ぐ。それゆえ、これらの光学性能の悪化を防いでいる。

この実施形態の露光装置では、上述したレチクル保護装置によりレチクル１１を保護した状態で搬送を行うようにしたので、汚染の少ないレチクル１１を使用して歩留まりの高い製品を得ることができる。
(実施形態の補足事項)
以上、本発明を上述した実施形態によって説明してきたが、本発明の技術的範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、例えば、以下のような形態でも良い。

(１)上述した実施形態では、レチクル１１、上カバー部材１９および下カバー部材１７の四隅をパッド部材４７，５４により押圧した例について説明したが、例えば、レチクル１１、上カバー部材１９または下カバー部材１７の四隅に面取り部を形成し、この面取り部をパッド部材４７，５４により押圧するようにしても良い。
(２)上述した実施形態では、レチクル１１、下カバー部材１７および下カバー部材１７を３箇所の載置部２７，３３に載置して支持した例について説明したが、例えば、載置部を３箇所以上設け、３箇所以上で支持するようにしても良い。

(３)上述した実施形態では、ＥＵＶ光を用いた露光装置の例を説明したが、その他、荷電粒子線、ｉ線、ｇ線、ＫｒＦ、ＡｒＦ、Ｆ２等を用いた露光装置にも広く適用することができる。

本発明のレチクル保護装置の第１の実施形態を示す縦断面図である。 図１のII-II線に沿う横断面図である。 図１のインナーケースの下カバー部材を示す側面図である。 図３の上面図である。 図１のアウターケースのベース部材を示す側面図である。 図５の上面図である。 図１の要部を拡大して示す説明図である。 図８の上面図である。 図１のベローズおよびこの近傍を示す説明図である。 図１のインナーケースを示す断面図である。 図１０の上面図である。 図１のアウターケースを開いた状態を示す説明図である。 本発明のレチクル保護装置の第２の実施形態のインナーケースを示す縦断面図である。 本発明のレチクル保護装置の第３の実施形態のベローズおよびこの近傍を示す説明図である。 本発明のレチクル保護装置の第４の実施形態を示す縦断面図である。 図１５の横断面図である。 本発明のレチクル保護装置の第１の実施形態の変形例を示す縦断面図である。 図１７の横断面図である。 本発明の露光装置の一実施形態を示す説明図である。

符号の説明

１１ レチクル
１１ａ エッジ部
１３ インナーケース
１５ アウターケース
１７ 下カバー部材
１９ 上カバー部材
２１ 蓋部材
２１ｃ 嵌合部
２３ ベース部材
２７，３３ 載置部
３７，８１ レチクル保持手段
３９ インナーケース保持手段
４１ クランプ手段
４７，５４ パッド部材
４７ａ，５４ａ 傾斜面
６１ 回転レバー
７７ カバー部材
７９ インナーカバー保持手段

Claims (15)

1. レチクルを覆うインナーカバーを、蓋部材とベース部材とを備えたアウターケース内に収納してなるレチクル保護装置において、
   前記アウターケースの前記蓋部材の内側に、前記インナーカバーのエッジ部を押圧するパッド部材を配置してなることを特徴とするレチクル保護装置。
2. 請求項１記載のレチクル保護装置において、
   前記パッド部材の前記インナーカバーのエッジ部に対向する位置に、前記インナーカバーのエッジ部を押圧する傾斜面を形成してなることを特徴とするレチクル保護装置。
3. 請求項１または請求項２記載のレチクル保護装置において、
   前記インナーカバーの前記エッジ部は、前記インナーカバーの頂部であることを特徴とするレチクル保護装置。
4. レチクルを覆うインナーカバーを、蓋部材とベース部材とを備えたアウターケース内に収納してなるレチクル保護装置において、
   前記アウターケースの前記蓋部材の内側に、前記レチクルのエッジ部を押圧するパッド部材を配置してなることを特徴とするレチクル保護装置。
5. 請求項４記載のレチクル保護装置において、
   前記パッド部材の前記レチクルのエッジ部に対向する位置に、前記レチクルのエッジ部を押圧する傾斜面を形成してなることを特徴とするレチクル保護装置。
6. 請求項４または請求項５記載のレチクル保護装置において、
   前記レチクルの前記エッジ部は、前記レチクルの頂部であることを特徴とするレチクル保護装置。
7. レチクルを覆うインナーカバーを、蓋部材とベース部材とを備えたアウターケース内に収納してなるレチクル保護装置において、
   前記インナーカバーを前記ベース部材に前記レチクル面に対して水平方向に保持するクランプ手段を有していることを特徴とするレチクル保護装置。
8. 請求項７記載のレチクル保護装置において、
   前記クランプ手段は、前記アウターケースの蓋部材に固定されるバネ部材と、前記バネ部材より回転され前記インナーカバーの側面を保持する回転レバーとを有していることを特徴とするレチクル保護装置。
9. レチクルを覆うインナーカバーを、蓋部材とベース部材とを備えたアウターケース内に収納してなるレチクル保護装置において、
   前記アウターケースに、前記アウターケース内に収納される前記インナーカバーを保持するインナーカバー保持手段を設けるとともに、前記ベース部材の内側に、前記インナーカバーを載置する載置部を設け、前記インナーカバーの前記載置部に対応する位置を前記インナーカバー保持手段により押圧してなることを特徴とするレチクル保護装置。
10. レチクルを覆うインナーカバーを、蓋部材とベース部材とを備えたアウターケース内に収納してなるレチクル保護装置において、
    前記アウターケースに、前記インナーカバーにより覆われるレチクルを保持するレチクル保持手段を設けるとともに、前記インナーカバーに、前記レチクルを載置する載置部を設け、前記レチクルの前記載置部に対応する位置を前記レチクル保持手段により押圧してなることを特徴とするレチクル保護装置。
11. レチクルを覆うインナーカバーを、蓋部材とベース部材とを備えたアウターケース内に収納してなるレチクル保護装置において、
    前記アウターケースに、前記アウターケース内に収納されるインナーカバーを保持するインナーカバー保持手段と、前記インナーカバーを前記ベース部材に前記レチクル面に対して水平方向に保持するクランプ手段とを設け、前記インナーカバー保持手段により前記インナーカバーを保持した後、前記クランプ手段により前記インナーカバーを前記ベース部材に保持することを特徴とするレチクル保護装置。
12. レチクルを覆うインナーカバーを、蓋部材とベース部材とを備えたアウターケース内に収納してなるレチクル保護装置において、
    前記アウターケースに、前記アウターケース内に収納されるインナーカバーを保持するインナーカバー保持手段と、前記インナーカバーを前記アウターケース内の位置決め部に押圧して保持するクランプ手段とを設け、前記クランプ手段により前記インナーカバーを前記位置決め部に押圧して保持した後、前記インナーカバー保持手段により前記インナーカバーを保持することを特徴とするレチクル保護装置。
13. 請求項１ないし請求項１２のいずれか１項記載のレチクル保護装置において、
    前記インナーカバーは、前記レチクルを収納する上カバー部材と下カバー部材とを有していることを特徴とするレチクル保護装置。
14. 請求項１ないし請求項１２のいずれか１項記載のレチクル保護装置において、
    前記インナーカバーは、前記レチクルの下面を覆うカバー部材を有していることを特徴とするレチクル保護装置。
15. 請求項１ないし請求項１４のいずれか１項記載のレチクル保護装置を用いることを特徴とする露光装置。
    

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