JP7475454B2 - レチクル仕切壁を通る保持を有するレチクルポッド - Google Patents
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Description
本出願は、すべての目的のためにその全体が参照により本明細書に組み込まれる、2019年12月31日に出願された米国仮出願第62/955,619号の利益および優先権を主張する。
カバーおよびベースプレートを含む内側部分であって、カバーおよびベースプレートのうちの一方が、カバーおよびベースプレートのうちのその一方から延びるレチクル仕切壁を含み、レチクル仕切壁が、1つまたは複数の保持特徴を含む、内側部分と、
ポッドドームおよびポッドドアを含む外側部分であって、ポッドドームおよびポッドドアのうちの一方が、カバーがベースプレートに接合されたときに1つまたは複数の保持特徴のうちの少なくとも1つに接触するように構成された、1つまたは複数の作動表面を含み、ポッドドームが、ポッドドアに接合され、接合されたカバーおよびベースプレートが、接合されたポッドドームおよびポッドドア内にある、外側部分と
を備え、
1つまたは複数の作動表面が1つまたは複数の保持特徴に接触したとき、保持特徴が、レチクルが接合されたカバーおよびベースプレート内に位置決めされたときに、保持特徴がレチクルに接触することが可能であるように配置されるように構成された、
レチクルポッド。
1つまたは複数の保持特徴の各々が、レチクル仕切壁の平面に対して0度から90度の範囲内の角度をもつ成分を有する方向に直線的に移動可能である、態様1に記載のレチクルポッド。
1つまたは複数の保持特徴の各々が、ばねを含む、態様2に記載のレチクルポッド。
ばねが静止位置にあるとき、保持特徴が、保持特徴が1つまたは複数の作動表面のうちの1つと接触するときよりも、ベースプレートの中心から遠い位置にある、態様3に記載のレチクルポッド。
1つまたは複数の保持特徴の各々が、レチクル仕切壁の平面に対して0度から90度の範囲内の角度を有する方向に直線的に移動可能である、態様2から4のいずれか1つに記載のレチクルポッド。
1つまたは複数の保持特徴の各々が、湾曲縁部または傾斜縁部に係合するように構成された接触表面を含む、態様2から5のいずれか1つに記載のレチクルポッド。
1つまたは複数の作動表面の各々が、1つまたは複数の保持特徴のうちの少なくとも1つの保持特徴の端部に対して摺動するように構成された表面である、態様2から6のいずれか1つに記載のレチクルポッド。
1つまたは複数の作動表面の各々が、ポッドドームから延びる、態様7に記載のレチクルポッド。
1つまたは複数の保持特徴の各々が、レチクル仕切壁の第1の側に位置決めされた第1の端部と、レチクル仕切壁の第2の側の第2の端部とを含み、レチクル仕切壁の第2の側が、レチクル仕切壁の第1の側の反対側にあり、1つまたは複数の保持特徴が、各々、レチクル仕切壁の平面と同一面にある軸を中心として回転可能である、態様1に記載のレチクルポッド。
1つまたは複数の作動表面の各々が、ポッドドアから延びる突起である、態様9に記載のレチクルポッド。
1つまたは複数の作動表面の各々が、1つまたは複数の保持特徴のうちの少なくとも1つと第2の端部において接触したとき、1つまたは複数の保持特徴の各々の第1の端部が、レチクルに接触する、態様10に記載のレチクルポッド。
1つまたは複数の保持特徴の各々が、熱可塑性材料を含む、態様1から11のいずれか1つに記載のレチクルポッド。
レチクル仕切壁が、ベースプレートから延びる、態様1から12のいずれか1つに記載のレチクルポッド。
レチクル仕切壁が、カバーから延びる、態様1から12のいずれか1つに記載のレチクルポッド。
1つまたは複数の保持特徴を操作する方法であって、
ベースプレートにカバーを接合することであって、カバーおよびベースプレートのうちの一方が、カバーおよびベースプレートのうちのその一方から延びるレチクル仕切壁を含む、ベースプレートにカバーを接合することと、
ポッドドーム中に接合されたカバーおよびベースプレートを置くことと、
ポッドドームにポッドドアを接合することであって、1つまたは複数の作動表面を、レチクル仕切壁上に位置決めされた1つまたは複数の保持特徴と接触させること、および、1つまたは複数の作動表面との接触を介して1つまたは複数の保持特徴を移動させることを含む、ポッドドームにポッドドアを接合することと
を含む、方法。
1つまたは複数の保持特徴を移動させることが、レチクル仕切壁によって画定された空間の内側への1つまたは複数の保持特徴の直線移動を含む、態様15に記載の方法。
1つまたは複数の作動表面が、カバー上に位置決めされ、1つまたは複数の保持特徴のうちの少なくとも1つの保持特徴の端部に対して摺動するように構成された、態様16に記載の方法。
1つまたは複数の保持特徴を移動させることが、レチクル仕切壁の平面と同一面にある軸を中心とした1つまたは複数の保持特徴の回転移動を含む、態様15から17のいずれか1つに記載の方法。
1つまたは複数の作動表面が、ポッドドアから延びる突起である、態様18に記載の方法。
レチクル仕切壁が、カバーから延びる、態様15から19のいずれか1つに記載の方法。
Claims (5)
- レチクルポッドであって、
カバーおよびベースプレートを含む内側部分であって、前記カバーから前記レチクルポッドの下方に延びる、又は前記ベースプレートから前記カバーに向かって延びるレチクル仕切壁を含み、前記レチクル仕切壁が、1つまたは複数の保持特徴を含む、内側部分と、
ポッドドームおよびポッドドアを含む外側部分であって、前記ポッドドームおよび前記ポッドドアのうちの一方が、前記カバーが前記ベースプレートに接合されたときに前記1つまたは複数の保持特徴のうちの少なくとも1つに接触するように構成された、1つまたは複数の作動表面を含み、前記ポッドドームが、前記ポッドドアに接合され、前記接合されたカバーおよびベースプレートが、前記接合されたポッドドームおよびポッドドア内にある、外側部分と
を備え、
前記1つまたは複数の作動表面が前記1つまたは複数の保持特徴に接触したとき、前記保持特徴が前記1つまたは複数の作動表面との接触を介して、レチクルが配置された方向に直線移動又は回転移動し、
前記保持特徴の一部分は、前記レチクルが前記接合されたカバーおよびベースプレート内に位置決めされたときに当該保持特徴の一部分が前記レチクルの横方向から前記レチクルの上面に接触することが可能であるように配置されるように構成された、
レチクルポッド。 - 前記1つまたは複数の保持特徴の各々が、前記レチクル仕切壁の平面に対して0度から90度の範囲内の角度をもつ成分を有する方向に直線的に移動可能である、請求項1に記載のレチクルポッド。
- 前記1つまたは複数の保持特徴の各々が、前記レチクル仕切壁の第1の側に位置決めされた第1の端部と、前記レチクル仕切壁の第2の側の第2の端部とを含み、前記レチクル仕切壁の前記第2の側が、前記レチクル仕切壁の前記第1の側の反対側にあり、前記1つまたは複数の保持特徴が、各々、前記レチクル仕切壁の平面と同一面にある軸を中心として回転可能である、請求項1に記載のレチクルポッド。
- 前記1つまたは複数の作動表面の各々が、前記ポッドドアから延びる突起である、請求項3に記載のレチクルポッド。
- レチクルポッド内にレチクルを固定するための1つまたは複数の保持特徴を操作する方法であって、
ベースプレートにカバーを接合することであって、前記カバーおよび前記ベースプレートを含む内側部分が、前記カバーから前記レチクルポッドの下方に延びる、又は前記ベースプレートから前記カバーに向かって延びるレチクル仕切壁を含む、ベースプレートにカバーを接合することと、
ポッドドーム中に接合された前記カバーおよび前記ベースプレートを置くことと、
1つまたは複数の作動表面を、前記レチクル仕切壁上に位置決めされた1つまたは複数の保持特徴と接触させることと、
前記1つまたは複数の保持特徴を、前記1つまたは複数の作動表面との前記接触を介して、前記レチクルが配置された方向に直線移動又は回転移動させることと、
前記レチクルが前記接合されたカバーおよびベースプレート内に位置決めされたときに、前記保持特徴の一部分が前記レチクルの横方向から前記レチクルの上面に接触することが可能であるように、当該保持特徴の一部分を配置すること、
を含む、方法。
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