CN102789132B - 具有固定结构的极紫外光光罩储存传送盒 - Google Patents

Abstract

一种具有固定结构的极紫外光光罩储存传送盒，其中在内盒上盖上具有复数个固持件，利用光罩盒外盒上的支撑件，去按压内盒的固持件，间接固定内部的光罩，使内部光罩更安全稳固，不止可降低因搬运时，光罩盒摇晃所可能造成内部光罩碰撞的风险，更大幅减少光罩破损所造成的成本损失。

Description

具有固定结构的极紫外光光罩储存传送盒

技术领域

本发明是有关于一种光罩盒，特别是有关于一种具有固定结构的极紫外光光罩储存传送盒。

背景技术

近代半导体科技发展迅速，其中光学微影技术(Optical Lithography)扮演重要的角色，只要是关于图形(Pattern)定义，皆需仰赖光学微影技术。光学微影技术在半导体的应用上，是将设计好的线路制作成具有特定形状可透光的光罩(Photo Mask or Reticle)。利用曝光原理，则光源通过光罩投影至硅圆片(Silicon Wafer)可曝光显示特定图案。由于任何附着于光罩上的尘埃颗粒(如微粒、粉尘或有机物)都会造成投影成像的质量劣化，用于产生图形的光罩必须保持绝对洁净，因此在一般的圆片工艺中，都提供无尘室(Clean Room)的环境以避免空气中的颗粒污染。

而近年来为了生产更小的芯片，微影设备已开始使用波长为157nm的极紫外光(Extreme Ultraviolet Light，EUV)，以便使光罩上的图形(Pattern)复制于圆片表面时能达到更小的分辨率。然而，使用深紫外光时，相对地，对于光罩盒的洁净要求更加提高。以往光罩盒内的微粒(Particle)若小于30微米是可接受的，但用于极紫外光的光罩盒则必须要将微粒(Particle)大小控制在30～50纳米以下。

因此，现代的半导体工艺皆利用抗污染的光罩存放装置进行光罩的保存与运输，以使光罩保持洁净；也利用抗污染的半导体组件存放装置进行半导体组件的保存与运输，以使半导体组件保持洁净。光罩存放装置是在半导体工艺中用于存放光罩，以利光罩在机台之间的搬运与传送，并隔绝光罩与大气的接触，避免光罩被粒子与化学气体污染而产生光罩表面雾化；。因此，在先进的半导体厂中，通常会要求该种用以存放半导体组件或光罩的存放装置的洁净度要符合机械标准接口(Standard MechanicalInterface；SMIF)，也就是说保持洁净度在Class 1以下。

为了减少光罩于储存、制造、运输期间被污染，公知技术已发展出一种以双层容器来将光罩隔绝的技术，是以一内部容器来承载光罩，并再以一外部容器将内部容器固定于其中的光罩盒。如图8所示，由一内部容器的下盖c与内部容器的上盖d将光罩e盖合并固定于其中，之后再以一外部容器的下盖a与外部容器的上盖b将内部容器盖合并固定于其中。在双层容器的光罩盒结构中，一般都是以一外部容器内的支撑件来固定内部容器，但是，在此种双层容器的光罩盒结构中，使用者无法判断内部容器是否已经被稳定卡固于外部容器的支撑件中；再者，亦无法确定位于内部容器中的光罩的位置状态。

发明内容

本发明的目的在于提供一种具有固定结构的极紫外光光罩储存传送盒，以外部容器的支撑件去按压内部容器的固持件，间接固定内部的光罩，以使内部光罩更安全稳固。

为实现上述目的，本发明提供的光罩盒，是将一光罩固定于一内盒中且该内盒容置于一外盒中，该外盒包括：一外盒下盖，具有一第一内表面，且该第一内表面上形成有复数个第一支撑件；一外盒上盖，具有一第二内表面，且该第二内表面上形成有复数个第二支撑件，且于该外盒下盖与该外盒上盖盖合时，该第一内表面与该第二内表面形成一第一容置空间以容置该内盒；及该内盒包括：一内盒下盖，配置于该第一容置空间内并与该复数个第一支撑件接触，且该内盒下盖具有一内盒第一内表面；及一内盒上盖，位于该第一容置空间内，其具有一内盒第二内表面及相对于该第二内表面另一侧的一内盒上盖外表面，且于该内盒下盖与该内盒上盖盖合时，该内盒第一内表面与该内盒第二内表面形成一第二容置空间以容置该光罩，其中，该内盒上盖的特征在于：复数个贯穿孔形成在该内盒上盖的该第二内表面及该外表面之间，且于每一该贯穿孔周围形成一O型凹槽以围绕该贯穿孔，并于该O型凹槽中配置一弹性组件；复数个固持件，配置于每一该贯穿孔中，其位置是与该外盒上盖的每一该第二支撑件相对应，该固持件由一支撑凸柱与一个相应配置于该O型凹槽中的O型凸部所形成，而该支撑凸柱的长度是大于该O型凸部且该支撑凸柱与该O型凸部为一体成型的结构，其中，该O型凸部位于该O型凹槽中且该O型凸部与该弹性组件接触。

所述的光罩盒，其中，于每一该固持件位于该内盒上盖的该内盒上盖外表面的一侧上，各配置一第一固定件，用以固定该固持件。

所述的光罩盒，其中，该固持件其材质为一耐磨的高分子材料。

所述的光罩盒，其中，该内盒上盖上方配置复数个过滤装置，其中每一该过滤装置包括：一复数个过滤孔，形成于该内盒上盖上；一过滤材质，置于该复数个过滤孔上；及一第二固定件，配置于该复数个过滤孔与该过滤材质之上，用以固定该过滤装置；该过滤材质为一多孔性过滤膜。

所述的光罩盒，其中，该内盒上盖周边所形成的在四角落上形成一体成型的防呆结构结构，该防呆结构的部分结构会凸出于该内盒上盖周边，当该内盒上盖与该内盒下盖盖合时，该防呆结构凸出的部分结构会卡固于该内盒下盖周边上。

所述的光罩盒，其中，该内盒下盖配置复数个窗孔，其中每一该窗孔中包括：一透明基板，由相对于该内盒第一内表面另一侧的一内盒下盖外表面安装于该窗孔上；一第三固定件，由该内盒下盖外表面配置于该窗孔与该透明基板上，用以固定该透明基板；及一环状垫片，配置于该透明基板与该第三固定件之间。

所述的光罩盒，其中，该第一固定件、该第二固定件及该第三固定件，是以螺丝锁固于光罩盒上。

本发明还提供一种光罩盒，是将一光罩固定于一内盒中且该内盒容置于一外盒中，该外盒包括：一外盒下盖，具有一第一内表面，且该第一内表面上形成有复数个第一支撑件；一外盒上盖，具有一第二内表面，且该第二内表面上形成有复数个第二支撑件，且于该外盒下盖与该外盒上盖盖合时，该第一内表面与该第二内表面形成一第一容置空间以容置该内盒；及该内盒包括：一内盒下盖，配置于该第一容置空间内并与该复数个第一支撑件接触，且该内盒下盖具有一内盒第一内表面；及一内盒上盖，位于该第一容置空间内，其具有一内盒第二内表面及相对于该第二内表面另一侧的一内盒上盖外表面，且于该内盒下盖与该内盒上盖盖合时，该内盒第一内表面与该内盒第二内表面形成一第二容置空间以容置该光罩；复数个限制件，配置于该内盒第一内表面的四角落上，其中，该内盒下盖的特征在于：复数个贯穿孔形成在该内盒上盖的该第二内表面及该外表面之间，且于每一该贯穿孔周围形成一O型凹槽以围绕该贯穿孔，并于该O型凹槽中配置一弹性组件；复数个固持件，配置于每一该贯穿孔中，其位置是与该外盒上盖的每一该第二支撑件相对应，该固持件是由一支撑凸柱与一个相应配置于该O型凹槽中的O型凸部所形成，而该支撑凸柱的长度是大于该O型凸部且该支撑凸柱与该O型凸部为一体成型的结构，其中，该O型凸部位于该O型凹槽中且该O型凸部与该弹性组件接触。

所述的光罩盒，其中，每一该限制件包括：一水平长条基板；二凸出柱状体，配置于该水平长条基板两侧；及一支撑凸点，配置于该水平长条基板的二柱状体中间。

所述的光罩盒，其中，该限制件其材质为一耐磨的高分子材料。

所述的光罩盒，其中，该限制件的该凸出柱状体的开放端处形成一斜面。

本发明的效果是：

1)利用光罩盒的外盒上的支撑件，去按压内盒的固持件，间接固定内部的光罩，使内部光罩更安全稳固。

2)利用光罩盒的外盒上的支撑件，去按压内盒的固持件，可防止内盒的位移，使位于内盒的光罩更加安全。

附图说明

图1为本发明的光罩盒爆炸示意图；

图2为本发明的内盒上盖的固持件示意图；

图3为本发明的内盒上盖的过滤装置示意图；

图4为本发明的内盒上盖的防呆结构示意图；

图5为本发明的内盒下盖的限制件示意图；

图6为本发明的内盒下盖的窗孔示意图；

图7为本发明的光罩盒剖面示意图；

图8为公知光罩存放盒示意图。

附图中主要组件符号说明：

a外部容器的下盖(公知技术)；b外部容器的上盖(公知技术)；c内部容器的下盖(公知技术)；d内部容器的上盖(公知技术)；e光罩(公知技术)；1外盒；100第一容置空间；10外盒下盖；101第一内表面；12外盒上盖；121第二内表面；2内盒；200第二容置空间；20内盒下盖；201内盒第一内表面；202周边；203内盒下盖外表面；204凹槽；205窗孔；207定位槽；22内盒上盖；221内盒第二内表面；222周边；223内盒上盖外表面；225贯穿孔；2251 O型凹槽；227过滤孔；30第一支撑件；32第二支撑件；40固持件；401支撑凸柱；403 O型凸部；4031凸部；42 O型弹性组件；44第一固定件；441孔洞；50过滤材质；52第二固持件；60防呆结构；70限制件；701水平长条基板；703二柱状体；704斜面；705支撑凸点；80透明基板；82第三固定件；84环状垫片；9光罩；91下表面；93上表面；95周边。

具体实施方式

本发明提供的光罩盒，是将一光罩固定于一内盒中且内盒容置于一外盒中，外盒包括：一外盒下盖，具有一第一内表面，且第一内表面上形成有复数个第一支撑件；一外盒上盖，具有一第二内表面，且第二内表面上形成有复数个第二支撑件，且于外盒下盖与外盒上盖盖合时，第一内表面与第二内表面形成一第一容置空间以容置内盒；内盒包括：一内盒下盖，配置于第一容置空间内并与复数个第一支撑件接触，且内盒下盖具有一内盒第一内表面；一内盒上盖，位于第一容置空间内，其具有一内盒第二内表面及相对于第二内表面另一侧的一内盒上盖外表面，且于内盒下盖与内盒上盖盖合时，内盒第一内表面与内盒第二内表面形成一第二容置空间以容置光罩；其中，内盒上盖的特征在于：复数个贯穿孔形成在内盒上盖的第二内表面及外表面之间，且于每一贯穿孔周围形成一O型凹槽以围绕贯穿孔，并于O型凹槽中配置一弹性组件；复数个固持件，配置于每一贯穿孔中，其位置是与外盒上盖的每一第二支撑件相对应，固持件是由一支撑凸柱与一个相应配置于O型凹槽中的O型凸部所形成，而支撑凸柱的长度是大于O型凸部且支撑凸柱与O型凸部为一体成型的结构，其中，O型凸部位于O型凹槽中且O型凸部与弹性组件接触。

经由本发明所提供的设计，可将光罩稳固的固定于光罩盒的内盒中，还可将内盒固定，达成对光罩与内盒双重固定的功效，不止可降低因搬运时，光罩盒摇晃所可能造成内部光罩碰撞的风险，更大幅减少因光罩破损所造成的成本损失。

本发明还提供了一种光罩盒，利用配置于光罩盒的内盒上的窗孔，可监测到内盒中内部的状态。

本发明提供的光罩盒，是将一光罩固定于一内盒中且内盒容置于一外盒中，外盒包括：一外盒下盖，具有一第一内表面，且第一内表面上形成有复数个第一支撑件；一外盒上盖，具有一第二内表面，且第二内表面上形成有复数个第二支撑件，且于外盒下盖与外盒上盖盖合时，第一内表面与第二内表面形成一第一容置空间以容置内盒；内盒包括：一内盒下盖，配置于第一容置空间内并与复数个第一支撑件接触，且内盒下盖具有一内盒第一内表面；一内盒上盖，位于第一容置空间内，其具有一内盒第二内表面及相对于第二内表面另一侧的一内盒上盖外表面，且于内盒下盖与内盒上盖盖合时，内盒第一内表面与内盒第二内表面形成一第二容置空间以容置光罩；其中内盒下盖进一步配置复数个窗孔，其中每一窗孔中包括：一透明基板，是由内盒第一内表面安装于窗孔上；及一第三固定件，其大小为一与窗孔吻合的框状型体，是由内盒第一内表面配置于窗孔与透明基板上，用以固定透明基板。

经由本发明所提供的设计，可于当光罩内盒在进入工艺中时，其机台可经由窗孔来监测其位于内部的光罩是否正确定位，减少光罩在传送过程中光罩破片的发生。

由于本发明提供一种光罩盒，特别是具有一顶持结构的光罩盒；其中所利用到的一些关于光罩盒的内盒、外盒、过滤材质，利用现有技术来实现，故在下述说明中，并不作完整描述。此外，于下述内文中的附图，亦并未依据实际的相关尺寸完整绘制，其作用仅在表达与本发明特征有关的示意图。

首先，请参阅图1，为本发明的光罩盒爆炸示意图。如图1所示，光罩盒包括：包括一外盒1及一内盒2，其中，外盒1包括：一外盒下盖10，具有一第一内表面101，且第一内表面101上形成有复数个第一支撑件30；一外盒上盖12，具有一第二内表面121，且第二内表面121上形成有复数个凸出的第二支撑件32，而于外盒下盖10与外盒上12盖盖合时，第一内表面101与第二内表面121之间形成一第一容置空间100，此一容置空间100用以容纳并固定内盒2。内盒2包括：一内盒下盖20，位于第一容置空间100内并与复数个第一支撑件30接触，且内盒下盖20具有一内盒第一内表面201；一内盒上盖22，位于第一容置空间100中，其具有一内盒第二内表面221及相对于第二内表面221另一侧的一内盒上盖外表面223，而于内盒下盖20与内盒上盖22盖合时，内盒第一内表面201与内盒第二内表面221之间形成一第二容置空间200，此一容置空间200用以容置一光罩9。

接着，请参阅图2，为本发明的内盒上盖的固持件示意图。如图2所示，在光罩盒的内盒上盖22的第二内表面221及盖外表面223之间，配置复数个贯穿孔225；同时，在每一个贯穿孔225的周围形成一O型凹槽2251围绕贯穿孔225，并于O型凹槽2251中配置一弹性组件42。此外，在每一贯穿孔225中，配置一固持件40，此固持件40是由一个与贯穿孔225大小相近似的支撑凸柱401与一个相应配置于O型凹槽2251中的O型凸部403所形成，而支撑凸柱401与O型凸部403为一体成型的结构；其中，支撑凸柱401伸入至贯穿孔225中，而O型凸部403则位于O型凹槽2251中且O型凸部403的凸部4031与弹性组件42接触；很明显地，固持件40的支撑凸柱401的长度是大于O型凸部403的凸部4031。另外，每一固持件40配置的位置是与外盒上盖12的每一第二支撑件32相对应的。此外，在每一固持件40位于内盒上盖22的内盒上盖外表面223的一侧上，各配置一个能够固定固持件40的第一固定件44，此第一固定件44具有一孔洞441，孔洞441的尺寸是小于固持件40，因此可以曝露出固持件40的部份表面，因此，由O型凹槽2251与第一固定件44的接合可将固持件40固定住而不会掉落。再者，本发明的第一固定件44是以螺丝锁固于光罩内盒2上，但亦可以卡扣、黏置等方式安装于光罩内盒2上，本发明并不对此加以限制。而固持件40的材质为一耐磨的高分子材料，以防止因摩擦所产生的颗粒及微尘污染内盒2里面的光罩9。

再接着，请参阅图3，为本发明的内盒上盖的过滤装置示意图。如图3所示，在光罩盒的内盒上盖22的上，配置复数个贯穿内盒上盖22的过滤孔227，并在每一过滤孔227上，配置一过滤材质50。本发明的过滤材质50可以使用一种多孔性过滤膜，例如：玻璃纤维滤网，带静电滤网，可导电滤膜，铁氟龙滤网与多孔性的陶瓷材料；但本发明并不对此加以限定。此外，本发明还可以在过滤孔227上，再以一第二固持件52加以固定，其固定方式是以螺丝锁固于光罩内盒2上，但本发明不对此加以限制其锁固方式。在本发明一较佳实施例中，过滤孔227是以两个为一组，并在内盒上盖22上配置两组，然而其实际的配置数本发明不加以限制。

再接着，请参阅图4，为本发明的内盒上盖的防呆结构示意图。如图4所示，在内盒上盖22的周边222所形成的在四角落上，各形成一体成型的防呆结构60。特别的是，本发明的防呆结构60的部分结构会凸出于内盒上盖22周边222，因此，当内盒上盖22与内盒下盖20盖合时，防呆结构60凸出的部分结构会卡固于内盒下盖20周边202上；由于防呆结构60是形成于四角落，因此当内盒2盖合时，需吻合其四角才可盖合，以达成防呆的效果。另外，由于内盒2长宽比不相同，在盖合时，亦可由长宽比的判别，来判断是否盖盒在正确的方向。

请参阅图5，为本发明的内盒下盖的限制件示意图。如图5所示，在内盒下盖20的内盒第一内表面201的四角落上，各具有一个凹槽204，并在每一凹槽204中配置一限制件70；限制件70为一水平长条基板701并具有二个凸出柱状体703配置于水平长条基板701两侧，且于每一个凸出柱状体703的开放端处形成一斜面704；而于水平长条基板701的二凸出柱状体703中间再配置一支撑凸点705，此支撑凸点705与二个凸出柱状体703呈一直线配置。当限制件70配置于内盒第一内表面201的凹槽204时，限制件70的水平长条基板701的上部水平面的高度会与内盒第一内表面201的水平高度一致。当光罩9放入至内盒第一内表面201时，若光罩3稍微有偏移位置时，凸出柱状体703的斜面704可以将光罩9导入至定位并且光罩9的四个角落与水平长条基板701上的支撑凸点705接触；因此，光罩9即可放至内盒第一内表面201上。

接着，请参阅图6，为本发明的内盒下盖的窗孔示意图。如图6所示，在内盒下盖20的相对于内盒第一内表面201另一侧的内盒下盖外表面203上，配置复数个窗孔205，而于每一窗孔205中再配置一透明基板80，如：透明玻璃、透明塑料材质等；在透明基板80上，再以一第三固定件82将透明基板80卡固定于窗孔205而不至掉落。第三固定件82其大小为一与窗孔吻合的框状型体，故可由内盒下盖20外部由窗孔205侦测到里面的光罩，在工艺中，机台会有讯号经由此窗孔205判读光罩的工艺与用途。此外，在透明基板80与第三固定件82中间，配置一环状垫片84，其材质为高分子材料，例如：铁氟龙等；其主要目的为隔离透明基板80与第三固定件82之间的接触，给予适当的弹性以防止透明基板80的破损。另外，第三固定件82安装于内盒下盖20后，其水平高度与内盒下盖外表面203的水平高度一致，才不至于会阻碍内盒2于外盒1的放置。本发明的第三固定件82是以螺丝锁固于内盒下盖20的内盒下盖外表面203上，但本发明不对此加以限制其锁固方式。

请参阅图7，为本发明的光罩盒剖面示意图。如图7所示，首先，光罩9会先放置于内盒2的内盒下盖20上，如前所述，光罩9的下表面91的四角，会先放置于内盒第一内表面201上的配置于四角的限制件70的支撑凸点705上，且位于每一支撑凸点705两侧的二柱状体703，会刚好位于光罩9的周边95(即直角状角落的两边)，因此光罩9的四角会被每一凸出柱状体703将每个直角两边给夹住，以防止光罩9滑动。之后，经由内盒上盖22的防呆结构60的导引，将内盒上盖22依指定方位盖合，即形成一保护光罩9的内盒2。

接着，将内盒2放置于外盒1的外盒下盖10的复数个第一支撑件30上；其中，第一支撑件30是与内盒下盖20的内盒下盖外表面203的定位槽207(请参考图6)相对应，因此放置内盒2时，由定位槽207的导引，使内盒2置于正确的位置。然后将外盒上盖12盖上；其中，外盒上盖12要盖上时，其位于外盒上盖12上的每一第二支撑件32会对齐内盒上盖22的每一贯穿孔225中的固持件40。在外盒上盖12盖合时，其盖合动作会使第二支撑件32向下施力，并压迫到位于贯穿孔225中固持件40的曝露的部份，而固持件40受到压迫后，其O型凸部403会压迫到位于O型凹槽2251中的O型弹性组件42，因此，固持件40会再往下压入(即O型弹性组件42在受压时，有弹性空间使固持件40压入，反之，在不受压时，其弹性可将固持件40恢复为原来的方位)，而与O型凸部403一体的支撑凸柱401亦会被向下压入并与光罩9的上表面93的四角接触，亦即当外盒上盖12盖合时，其位于光罩9的四角落的固持件40的支撑凸柱401会压住光罩9的上表面93四角落，配合原本位于光罩9的下表面91四角落的支撑凸点705，可将光罩9稳定的固定于内盒2中，且因外盒上盖12的第二支撑件32压入的关系，亦可稳固内盒2，进而保护整个光罩9的存放及搬运。

虽然本发明以前述的较佳实施例描述如上，然其并非用以限定本发明，本领域技术人员在不脱离本发明的精神和范围内，当可作些许的更动与润饰，因此本发明的保护范围须视申请的权利要求范围所界定的内容为准。

Claims (11)

1.一种光罩盒，是将一光罩固定于一内盒中且该内盒容置于一外盒中，该外盒包括：

一外盒下盖，具有一第一内表面，且该第一内表面上形成有复数个第一支撑件；

一外盒上盖，具有一第二内表面，且该第二内表面上形成有复数个第二支撑件，且于该外盒下盖与该外盒上盖盖合时，该第一内表面与该第二内表面形成一第一容置空间以容置该内盒；及

该内盒包括：

一内盒下盖，配置于该第一容置空间内并与该复数个第一支撑件接触，且该内盒下盖具有一内盒第一内表面；及

一内盒上盖，位于该第一容置空间内，其具有一内盒第二内表面及相对于该第二内表面另一侧的一内盒上盖外表面，且于该内盒下盖与该内盒上盖盖合时，该内盒第一内表面与该内盒第二内表面形成一第二容置空间以容置该光罩，其中，该内盒上盖的特征在于：

复数个贯穿孔形成在该内盒上盖的该第二内表面及该外表面之间，且于每一该贯穿孔周围形成一O型凹槽以围绕该贯穿孔，并于该O型凹槽中配置一弹性组件；

复数个固持件，配置于每一该贯穿孔中，其位置是与该外盒上盖的每一该第二支撑件相对应，该固持件由一支撑凸柱与一个相应配置于该O型凹槽中的O型凸部所形成，而该支撑凸柱的长度是大于该O型凸部且该支撑凸柱与该O型凸部为一体成型的结构，其中，该O型凸部位于该O型凹槽中且该O型凸部的凸部与该弹性组件接触。

2.根据权利要求1所述的光罩盒，其中，于每一该固持件位于该内盒上盖的该内盒上盖外表面的一侧上，各配置一第一固定件，用以固定该固持件。

3.根据权利要求1所述的光罩盒，其中，该固持件其材质为一耐磨的高分子材料。

4.根据权利要求1所述的光罩盒，其中，该内盒上盖上方配置复数个过滤装置，其中每一该过滤装置包括：

一复数个过滤孔，形成于该内盒上盖上；

一过滤材质，置于该复数个过滤孔上；及

一第二固定件，配置于该复数个过滤孔与该过滤材质之上，用以固定该过滤装置；该过滤材质为一多孔性过滤膜。

5.根据权利要求1所述的光罩盒，其中，该内盒上盖周边所形成的在四角落上形成一体成型的防呆结构结构，其特征在于：

该防呆结构的部分结构会凸出于该内盒上盖周边，当该内盒上盖与该内盒下盖盖合时，该防呆结构凸出的部分结构会卡固于该内盒下盖周边上。

6.根据权利要求1所述的光罩盒，其中，该内盒下盖配置复数个窗孔，其中每一该窗孔中包括：

一透明基板，由相对于该内盒第一内表面另一侧的一内盒下盖外表面安装于该窗孔上；

一第三固定件，由该内盒下盖外表面配置于该窗孔与该透明基板上，用以固定该透明基板；及

一环状垫片，配置于该透明基板与该第三固定件之间。

7.根据权利要求1、2或4所述的光罩盒，其中，该第一固定件、该第二固定件及该第三固定件，是以螺丝锁固于光罩盒上。

8.一种光罩盒，是将一光罩固定于一内盒中且该内盒容置于一外盒中，该外盒包括：

一外盒下盖，具有一第一内表面，且该第一内表面上形成有复数个第一支撑件；

一外盒上盖，具有一第二内表面，且该第二内表面上形成有复数个第二支撑件，且于该外盒下盖与该外盒上盖盖合时，该第一内表面与该第二内表面形成一第一容置空间以容置该内盒；及

该内盒包括：

一内盒下盖，配置于该第一容置空间内并与该复数个第一支撑件接触，且该内盒下盖具有一内盒第一内表面，复数个限制件，配置于该内盒第一内表面的四角落上；及

一内盒上盖，位于该第一容置空间内，其具有一内盒第二内表面及相对于该第二内表面另一侧的一内盒上盖外表面，且于该内盒下盖与该内盒上盖盖合时，该内盒第一内表面与该内盒第二内表面形成一第二容置空间以容置该光罩，其中，该内盒上盖的特征在于：

复数个贯穿孔形成在该内盒上盖的该第二内表面及该外表面之间，且于每一该贯穿孔周围形成一O型凹槽以围绕该贯穿孔，并于该O型凹槽中配置一弹性组件；

复数个固持件，配置于每一该贯穿孔中，其位置是与该外盒上盖的每一该第二支撑件相对应，该固持件是由一支撑凸柱与一个相应配置于该O型凹槽中的O型凸部所形成，而该支撑凸柱的长度是大于该O型凸部且该支撑凸柱与该O型凸部为一体成型的结构，其中，该O型凸部位于该O型凹槽中且该O型凸部的凸部与该弹性组件接触。

9.根据权利要求8所述的光罩盒，其中，每一该限制件包括：

一水平长条基板；

二凸出柱状体，配置于该水平长条基板两侧；及

一支撑凸点，配置于该水平长条基板的二柱状体中间。

10.根据权利要求8或9所述的光罩盒，其中，该限制件其材质为一耐磨的高分子材料。

11.根据权利要求9所述的光罩盒，其中，该限制件的该凸出柱状体的开放端处形成一斜面。