CN201117643Y - 半导体元件存放装置及光罩存放装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种具有过滤装置的光罩存放装置与半导体元件存放装置。光罩存放装置或半导体元件存放装置是由第一盖体与第二盖体组合而成，形成一内部空间可容纳光罩或半导体元件，此光罩存放装置或半导体元件存放装置的第二盖体设有至少一孔，用以连通光罩存放装置或半导体元件存放装置的内部空间以及外部空间，以及一过滤装置覆盖该孔。

Description

半导体元件存放装置及光罩存放装置

技术领域

本实用新型涉及一种光罩存放装置与半导体元件存放装置，特别是有关于一种具有过滤装置的光罩存放装置与半导体元件存放装置。

背景技术

近代半导体科技发展迅速，其中光学微影技术(Optical Lithography)扮演重要的角色，只要是关于图形(pattern)定义，皆需依赖光学微影技术。光学微影技术在半导体的应用上，将设计好的线路制作成具有特定形状可透光的光罩(photo mask)。利用曝光原理，则光源通过光罩投影至硅晶圆(silicon wafer)可曝光显示特定图案。由于任何附着于光罩上的尘埃颗粒如微粒、粉尘或有机物都会造成投影成像的质量劣化，用于产生图形的光罩必须保持绝对洁净，而被投射的硅晶圆或者其它半导体投射体亦必须保持绝对清静，因此在一般的晶圆制程中，都提供无尘室(clean room)的环境以避免空气中的颗粒污染。然而，目前的无尘室也无法达到绝对无尘状态。

因此，现代的半导体制程皆利用抗污染的光罩存放装置进行光罩的保存与运输，以使光罩保持洁净；也利用抗污染的半导体元件存放装置进行半导体元件的保存与运输，以使半导体元件保持洁净。光罩存放装置是在半导体制程中用于存放光罩，以利光罩在机台之间的搬运与传送，并隔绝光罩与大气的接触，避免光罩被杂质污染而产生变化；而半导体元件存放装置是在半导体制程中用于存放半导体元件，以利半导体元件在机台之间的搬运与传送，并隔绝半导体元件与大气的接触，避免半导体元件被杂质污染而产生变化。因此，在先进的半导体元件厂中，通常会要求光罩存放装置与半导体元件存放装置的洁净度要符合机械标准接口(StandardMechanical Interface；SMIF)，也就是说保持洁净度在Class 1以下。因此，在光罩存放装置与半导体元件存放装置中充入气体便是目前解决的手段之一。

然而，为了进一步提升产品的良率及降低制造的成本，除了达到洁净度的标准要求之外，还要克服因为外来气体对于光罩的污染。这样的外来气体除了大气以外，还有两个来源，其一是源自于高分子材料所制成的光罩存放装置与半导体元件存放装置本身所释出的气体(outgasing)，其二是源自于残留在光罩或半导体元件表面的微量化学溶液所产生的挥发气体。这些非期望气体会对光罩或半导体元件的表面产生雾化作用，使得光罩或半导体元件无法再使用而必须报废的窘境，使得制造成本增加。在光罩存放装置与半导体元件存放装置中充入气体是目前解决光罩或半导体元件雾化的手段之一，其中如何保持充入气体的洁净度，是一个重要的议题。

有鉴于此，本实用新型所提供的具有过滤装置的光罩存放装置与半导体元件存放装置，乃针对现有技术加以改良。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种具有过滤装置的光罩存放装置与半导体元件存放装置。

为解决现有技术的问题，本实用新型的光罩存放装置与半导体元件存放装置是由第一盖体与第二盖体组合而成，形成一内部空间可容纳光罩或半导体元件，此光罩存放装置与半导体元件存放装置的第二盖体设有至少一孔，用以连通光罩存放装置与半导体元件存放装置的内部空间以及外部空间，以及一过滤装置置于该孔。该过滤装置是由过滤件以及第一部分所构成，其中该第一部分具有通孔与卡制机构，与第二盖体的啮合机构卡固，过滤件置于第一部分上，用以过滤空气中的微尘与杂质，而过滤装置可再增设固定件用以固定过滤件。

因此，本实用新型的主要目的在于提供一种具有过滤装置的光罩存放装置与半导体元件存放装置，可用来过滤空气中的微尘，以避免光罩或半导体元件受到污染。

本实用新型的再一目的在于提供一种具有过滤装置的光罩存放装置与半导体元件存放装置，可用来过滤空气中的微尘，以保持光罩存放装置或半导体元件存放装置内的洁净度。

本实用新型一种光罩存放装置，包含有：

一第一盖体；一第二盖体，用以与该第一盖体组合，形成一内部空间可容纳光罩，其中该第二盖体包含有一本体，该本体具有至少一孔及一啮合机构；以及，一过滤装置，设置于该本体，与该本体的孔结合，该过滤装置包含有：一第一部分，包含有：一通孔对应该本体的孔，以及，一卡制机构与该本体的啮合机构相结合；以及，一过滤件，覆盖于该第一部分的通孔。

本实用新型一种半导体元件存放装置，包含有：一第一盖体；一第二盖体，用以与该第一盖体组合，形成一内部空间可容纳半导体元件，其中该第二盖体包含有一本体，该本体具有至少一孔及一啮合机构；以及，一过滤装置，设置于该本体，与该本体的孔结合，该过滤装置包含有：一第一部分，包含有：一通孔对应该本体的孔，以及，一卡制机构与该本体的啮合机构相结合；以及，一过滤件，覆盖于该第一部分的通孔。

本实用新型的有益效果是，提供的一种具有过滤装置的光罩存放装置与半导体元件存放装置，可用来过滤空气中的微尘，以避免光罩或半导体元件受到污染，以保持光罩存放装置或半导体元件存放装置内的洁净度。

附图说明

图1：本实用新型光罩存放装置或半导体元件存放装置的示意图；

图2：本实用新型光罩存放装置或半导体元件存放装置结合过滤装置的示意图；

图3A至图3F：本实用新型光罩存放装置或半导体元件存放装置中第一部分与本体的孔卡固的示意图；

图4：本实用新型光罩存放装置或半导体元件存放装置结合过滤装置的示意图；

图5A至图5C：本实用新型光罩存放装置或半导体元件存放装置第一部分、过滤件与固定件的示意图；

图6A与图6B：本本实用新型光罩存放装置或半导体元件存放装置结合过滤装置的示意图；

图7A至图7C：本实用新型光罩存放装置或半导体元件存放装置中板件及对应部分的示意图。

【主要元件符号说明】

1过滤装置

2第一部分

21卡制机构

4过滤件

5固定件

51孔隙

6第一盖体

7第二盖体

71本体

711内部

712外部

72板件

721第一平面

73对应部分

74缝隙

79啮合机构

A孔

H通孔

具体实施方式

由于本实用新型揭露一种具有过滤装置的光罩存放装置与半导体元件存放装置的结构，其中所利用到的一些光罩或半导体元件或光罩存放装置与半导体元件存放装置的详细制造或处理过程，是利用现有技术来达成，故在下述说明中，并不作完整描述。而且下述内文中的图式，亦并未依据实际的相关尺寸完整绘制，其作用仅在表达与本实用新型特征有关的示意图。

请先参阅图1，此是本实用新型的光罩存放装置或半导体元件存放装置的示意图，光罩存放装置或半导体元件存放装置是由第一盖体6与第二盖体7组合而成，形成可容纳光罩或半导体元件的内部空间；而在第二盖体7有一本体71，本体71上包含有至少一个孔A，用以连通光罩存放装置或半导体元件存放装置的内部空间以及外部空间，孔A设置有啮合机构79，用以与以下所陈述的过滤装置1卡固。

接着，请参阅图2，过滤装置1设置于光罩存放装置或半导体元件存放装置的第二盖体7，与第二盖体7的本体71的孔A结合；过滤装置1是由第一部分2与过滤件4组合而成，第一部分2具有一个对应于本体71的孔A的通孔H，以及一个与本体7啮合机构79卡固的卡制机构21；过滤件4覆盖于第一部分2的通孔H上，当空气流通过该通孔H时，可由过滤件4过滤空气中的微尘与杂质。

其中，第一部分2的卡制机构21，与本体71的啮合机构79相卡固，其型态如图3A至图3F所示；卡制机构21可以是至少一对卡勾，如图3A所示，或者如图3B所示，是环状卡勾；啮合机构79可以如图3C所示，为至少一对槽体，或如图3D所示，为环状的槽体；不论卡制机构21为一对卡勾或环状卡勾，啮合机构79为至少一对槽体或环状槽体，卡制机构21与啮合机构79均得互相卡固；又其卡固的方式亦有不同实施方式，当第一部分2是自本体71面对内部空间的内部711向相对于内部之外部712穿设，与本体71的孔A结合时，卡制机构21与啮合机构79卡固的方式如图3E所示；或者第一部分2是自本体的外部712向内部711穿设，与本体71的孔A结合时，卡制机构21与啮合机构79的卡固即如图3F所示。卡制机构21与啮合机构79卡固的方向不同，端视使用者的需求。

接着，过滤装置1可再增设固定件5以固定过滤件4，如图4所示，固定件5具有至少一个孔隙51可供空气流通。而固定件5设置的方式，可包覆于第一部分2上，如图5A与图5C所示；或卡设于第一部分2上，如图5B所示；而固定件5可大致覆盖该过滤件4，如图5B与图5C所示；或者亦可仅框住该过滤件4，如图5A所示，端视使用的需要。

再者，如图6A与图6B所示，光罩存放装置或半导体元件存放装置的第二盖体7可再设置板件72于本体71的上，而为使本体71的孔A保持连通光罩存放装置或半导体元件存放装置的内部空间以及外部空间的功能，在板件72相对应于本体71的孔A处设置一个具有至少一个缝隙74的对应部分73。板件72具有大致平坦的第一表面721，对应部分73可凸设于第一表面721，如图7A所示；或凹设于第一表面721，如图7B所示；亦可与第一表面721共平面，如图7C所示。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用以限定本实用新型的申请专利权利；同时以上的描述，对于熟知本技术领域的专门人士应可明了及实施，因此其它未脱离本发明所揭示的精神下所完成的等效改变或修饰，均应包含在下述的申请专利范围中。

Claims (16)

1.一种光罩存放装置，其特征在于包含有：

一第一盖体；

一第二盖体，用以与该第一盖体组合，形成一内部空间可容纳光罩，其中该第二盖体包含有一本体，该本体具有至少一孔及一啮合机构；以及

一过滤装置，设置于该本体，与该本体的孔结合，该过滤装置包含有：

一第一部分，包含有：

一通孔对应该本体的孔，以及

一卡制机构与该本体的啮合机构相结合；以及

一过滤件，覆盖于该第一部分的通孔。

2.如权利要求1所述的光罩存放装置，其特征在于，还包含有一固定件，用以固定该过滤件。

3.如权利要求2所述的光罩存放装置，其特征在于，该固定件具有至少一孔隙供空气流通。

4.如权利要求2所述的光罩存放装置，其特征在于，该固定件覆盖该过滤件。

5.如权利要求2所述的光罩存放装置，其特征在于，该固定件框住该过滤件。

6.如权利要求2所述的光罩存放装置，其特征在于，该固定件包覆该第一部分。

7.如权利要求2所述的光罩存放装置，其特征在于，该固定件卡设于该第一部分。

8.如权利要求1所述的光罩存放装置，其特征在于，该第一部分的卡制机构为至少一卡勾。

9.如权利要求8所述的光罩存放装置，其特征在于，该本体的啮合部分为至少一对槽体与该卡勾结合，使该本体与该第一部分卡固。

10.如权利要求8所述的光罩存放装置，其特征在于，该本体的啮合部分为一环状槽体与该卡勾结合，使该本体与该第一部分卡固。

11.如权利要求8所述的光罩存放装置，其特征在于，该卡勾为至少一对。

12.如权利要求8所述的光罩存放装置，其特征在于，该卡勾为环状。

13.如权利要求1所述的光罩存放装置，其特征在于，该第二盖体另包含有一板件，设于该本体上面对该内部空间，该板件具有一对应部分对应于该本体的孔。

14.如权利要求13所述的光罩存放装置，其特征在于，该板件的对应部分具有至少一缝隙。

15.如权利要求13所述的光罩存放装置，其特征在于，该板件具有一平坦的第一表面，该板件的对应部分凸设或凹设于该第一表面或与该第一表面共平面。

16.一种半导体元件存放装置，其特征在于，包含有：

一第一盖体；

一第二盖体，用以与该第一盖体组合，形成一内部空间可容纳半导体元件，其中该第二盖体包含有一本体，该本体具有至少一孔及一啮合机构；以及

一过滤装置，设置于该本体，与该本体的孔结合，该过滤装置包含有：

一第一部分，包含有：

一通孔对应该本体的孔，以及

一卡制机构与该本体的啮合机构相结合；以及

一过滤件，覆盖于该第一部分的通孔。

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