CN104139893B - 一种超洁净真空部件包装储存方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种超洁净真空部件包装储存方法，对超洁净真空系统内部的真空部件在清洗后，采用金属转移工具进行空间转移，采用金属盒盒体作为真空部件储存的容器，戴手套用金属箔隔离情况取出和安装真空部件减少超洁净真空部件在清洗、包装、储存和运输过程中接触有机污染物，避免有机污染物对超洁净真空的污染。

Description

一种超洁净真空部件包装储存方法

技术领域

本发明涉及真空洁净度有要求的系统中污染物的控制技术，尤其涉及一种超洁净真空部件包装储存方法。

背景技术

在大功率激光泵浦光源及应用光学系统、极紫外光源光学系统、超洁净分析仪器中，由于挥发性有机污染物在光学表面的沉积，将直接影响光学元件的性能和寿命，特别是在强激光作用下使有机污染物形成气溶胶颗粒污染物，这些颗粒污染物在光学表面沉积还会带来光学元件的损伤，因此在这些系统中对污染物的控制要求是非常高的。在对一些光学系统的污染物分析结果中，发现增塑剂是一种非常常见的污染物，它的来源，在很大程度上取决于系统中一般存在的有绝缘包皮的导线、塑料制品等包含有增塑剂的有机材料，由于这些材料的存在，使增塑剂通过真空挥发、强光照射、粒子碰撞等形式从材料中释放出来，成为系统中的污染源。从这些材料中释放出的增塑剂等污染物，可以通过密封包覆等方式，使污染物控制在包覆材料内部，减少增塑剂对超洁净真空系统的污染。

尽管通过一些措施能够对系统内部的污染物进行部分控制，但是在系统内部使用的一些真空部件，由于清洗过后的储存中采用的塑料外包装、密封部件用的橡胶圈、搬运安装时使用的橡胶手套接触等环节，仍会在真空部件表面形成二次污染，并将增塑剂等污染物带入系统内部。针对由此带来的二次污染问题，本发明对包装储存方法进行改进，尽量避免真空部件二次污染。

发明内容

发明目的：为了克服现有技术中存在的不足，本发明提供一种超洁净真空部件包装储存方法，减少超洁净真空部件在清洗、包装、储存和运输过程中接触有机污染物，避免有机污染物对超洁净真空的污染。

技术方案：为实现上述目的，本发明的技术方案如下：

一种超洁净真空部件包装储存方法，对超洁净真空系统内部的真空部件在清洗后，采用金属转移工具进行空间转移，采用金属盒盒体作为真空部件储存的容器，戴手套用金属箔隔离情况取出和安装真空部件。

具体步骤如下：

a、对超洁净真空系统内部的真空部件在清洗后，采用金属转移工具将真空部件转移到金属盒盒体内，盖上盒盖并用锁扣锁紧；

b、对金属盒盒体通过带有阀门的真空管道及其阀门采用真空机组抽空后，将阀门关闭，使金属盒盒体内保持真空；

c、在使用真空部件时，带有阀门的真空管道及其阀门连通洁净干燥的保护气体，打开阀门使金属盒盒体内冲入保护气体，松开锁扣，打开盒盖；

d、戴手套用金属箔隔离的情况下取出和安装真空部件。

进一步的，所述的保护气体为干燥空气、氮气、氦或氩气。

进一步的，所述的真空部件存放在金属篮筐内清洗时，采用金属转移工具连同金属篮筐一起转移至金属盒盒体内储存。

进一步的，所述的真空部件为真空管时，在真空管的端口及外部表面用金属箔包裹后，用金属转移工具将其转移到金属盒盒体内。

进一步的，所述的真空部件为光学部件，在所述光学部件的外部制作金属框架，所述金属框架设置有卡扣，用金属转移工具将其转移到金属盒盒体内，通过卡扣将光学部件固定在金属盒盒体内的悬挂装置上。

进一步的，所述的储存容器包括金属盒盒体、盒盖、金属密封圈和带有阀门的真空管道及其阀门，所述盒盖固定安装在所述金属盒盒体上部，所述盒盖与金属盒盒体之间通过金属密封圈密封，在所述金属盒盒体设有带有阀门的真空管道及其阀门。所述盒盖通过锁扣或法兰螺栓固定在金属盒盒体上。所述的金属密封圈的材质为铝、锡、铅、银、金、铟软性金属或其合金。

有益效果：本发明的一种超洁净真空部件包装储存方法，将清洗过后的真空部件与传统的包装所用的塑料薄膜、有机材料制成的包装盒等进行分离，避免了有机污染物蒸汽对真空部件的二次污染，有效减少超洁净真空系统中的污染源。

附图说明

附图1为本发明真空部件储存容器结构示意图。

附图2为本发明真空部件在金属篮筐后在金属盒内悬挂示意图。

附图3为本发明真空管的存储与转移示意图。

附图4为本发明光学部件框架及固定结构示意图。

附图5为本发明光学部件在金属盒盒体内悬挂示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作更进一步的说明。

一种超洁净真空部件包装储存方法，是对超洁净真空系统内部的真空部件1在清洗后，采用金属转移工具进行空间转移，采用金属盒盒体4作为真空部件1储存的容器，戴手套用金属箔3隔离情况取出和安装真空部件1。

如附图1所示，本发明的储存容器包括金属盒盒体4、盒盖42、金属密封圈43和带有阀门的真空管道44，所述盒盖42固定安装在所述金属盒盒体4上，所述盒盖42通过锁扣45或法兰螺栓固定在金属盒盒体4上，所述盒盖42与金属盒盒体4之间通过金属密封圈43密封，所述的金属密封圈43的材质为铝、锡、铅、银、金、铟软性金属或其合金，在所述金属盒盒体4设有带有阀门的真空管道44。

超洁净真空部件包装储存方法的具体步骤如下：

a、对超洁净真空系统内部的真空部件1在清洗后，采用金属转移工具将真空部件1转移到金属盒盒体4内，盖上盒盖42并用锁扣45锁紧；

b、对金属盒盒体4通过带有阀门的真空管道44采用真空机组抽空后，将阀门关闭，使金属盒盒体4内保持真空；

c、在使用真空部件1时，带有阀门的真空管道44连通洁净干燥的保护气体，所述的保护气体为干燥空气、氮气、氦或氩气等惰性气体，打开阀门使金属盒盒体4内冲入保护气体，松开锁扣45，打开盒盖42；

d、戴手套用金属箔3隔离的情况下取出真空部件安装使用。

具体的清洗、包装、存储的真空部件1分为三种类型，分别是：真空部件1存放在金属篮筐时、真空部件1为真空管时和真空部件1为光学部件时。下面为三种具体的实施例：

第一种：真空部件1存放在金属篮筐时；

如附图2所示，所述的真空部件1存放在金属篮筐7内清洗时，采用金属转移工具连同金属篮筐7一起转移至金属盒盒体4内储存。

具体的，对于一批超洁净真空内部真空部件1进行清洗、储存时，将真空部件1放入金属篮筐内7内，连同金属篮筐7一起在清洗装置内清洗、烘干后，利用金属转移工具将真空部件1连同金属篮筐7一起取出，转移到金属盒盒体4内，并固定在盒内的悬挂装置41上。此时盖上金属盒盖42，并用锁扣45将金属盒盖42锁紧，使金属盒盖42与金属盒盒体4之间通过采用铟锡合金制作的金属密封圈43密封，对金属盒盒体4通过带阀门的真空管道44采用干泵和磁悬浮分子泵组成的真空机组抽真空后，将阀门关闭，使金属盒盒体4内部保持真空，使真空部件保持储存在洁净真空状态。在使用真空部件1时，在真空管道及其阀门44上连通洁净干燥的保护气体，打开阀门使金属盒盒体4冲入保护气体，松开锁扣45，打开金属盒盖42，戴手套在用金属箔3隔离的情况下从金属篮筐7内取出真空部件1。在安装过程中，可戴手套用金属箔3对真空部件1进行包覆后操作将其在超洁净真空系统内部固定，操作过程中仅接触包覆在真空部件1外的金属箔3，在安装结束后可将包覆的金属箔3取下，保持真空部件1不与手套等可能带来污染物的材料接触。所述的金属箔3可以是金属铝箔或金属锡箔。

第二种：真空部件1为真空管时；

如附图3所示，所述的真空部件1为真空管11时，采用的金属转移工具为钳夹21，在真空管11的端口及外部表面用金属箔3包裹后，用钳夹21将其转移到金属盒盒体4内。

具体的，对于一段超洁净真空内部真空部件1的真空管11，对其在清洗装置内清洗、烘干后，利用金属转移工具钳夹21将其取出，在其端口6及外部表面用金属箔3包裹后，用钳夹21将其放置到清洗干净的金属盒盒体4内，盖上金属盒盖42，并用锁扣45将金属盒盖42锁紧，使金属盒盖42与金属盒盒体4之间通过采用铟锡合金制作的金属密封圈43密封，对金属盒盒体4通过带阀门的真空管道及其阀门44采用干泵和磁悬浮分子泵组成的真空机组抽真空后，将阀门关闭，使金属盒盒体4内部保持真空，使真空管11保持储存在洁净真空状态。在使用真空管11时，在真空管道及其阀门44上连通洁净干燥的保护气体，打开阀门使金属盒盒体4内冲入保护气体，松开锁扣45，打开金属盒盖42，通过钳夹21取出真空管11。在安装过程中，可戴手套接触取下包括在端口的金属箔3以便来安装真空管11，操作过程中仅接触包覆在真空管11外的金属箔3，在安装结束后可将包覆的金属箔3取下，保持真空管11不与手套等可能带来污染物的材料接触。所述的金属箔3可以是金属铝箔或金属锡箔。

第三种：真空部件1为光学部件时；

如附图4和5所示，所述的真空部件1为光学部件12，在所述光学部件12的外部制作金属框架，所述金属框架设置有卡扣51，所述的金属转移工具为挂钩22，用挂钩22将光学部件12转移到金属盒盒体4内，通过卡扣51将光学部件12固定在盒内的悬挂装置41上。

具体的，对于超洁净真空内部真空部件1的光学部件12，在其未镀光学膜前，在其外部制作金属框架5，并在金属框架的四个顶角制作用于固定卡扣51。制作好金属框架5的光学部件12，将其连同金属框架5一起在清洗装置内清洗、烘干后，利用挂钩22钩在卡扣51上将其取出，转移到镀膜装置中制作光学膜后，因光学膜容易受伤，因此不能用金属箔进行包覆。用挂钩22将光学部件12转移到金属盒盒体4内，将卡扣51固定在金属盒盒体4内的悬挂装置41上。盖上金属盒盖42，并用锁扣45将金属盒盖42锁紧，使金属盒盖42与金属盒盒体4之间通过采用铟锡合金制作的金属密封圈43密封，对金属盒盒体4通过带阀门的真空管道及其阀门44采用干泵和磁悬浮分子泵组成的真空机组抽真空后，将阀门关闭，使金属盒盒体4内部保持真空，使光学部件12保持储存在洁净真空状态。在使用光学部件12时，在真空管道及其阀门44上连通洁净干燥的保护气体，打开阀门使金属盒盒体4内冲入保护气体，松开锁扣45，打开金属盒盖42，通过挂钩22取出光学部件12。在安装过程中，可带手套用金属箔3对卡扣51部分进行包覆后操作将光学部件12固定，操作过程中仅接触包覆在光学部件12外的金属箔3，在安装结束后可将包覆的金属箔3取下，保持光学部件12不与手套等可能带来污染物的材料接触。所述的金属箔3可以是金属铝箔或金属锡箔。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出：对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (8)

1.一种超洁净真空部件包装储存方法，其特征在于，对超洁净真空系统内部的真空部件(1)在清洗后，采用金属转移工具(2)进行空间转移，采用金属盒盒体(4)作为真空部件(1)储存容器，戴手套用金属箔(3)隔离情况取出和安装真空部件(1)；

具体步骤如下：

a、对超洁净真空系统内部的真空部件(1)在清洗后，采用金属转移工具(2)将真空部件(1)转移到金属盒盒体(4)内，盖上盒盖(42)并用锁扣(45)锁紧；

b、对金属盒盒体(4)通过带有阀门的真空管道及其阀门(44)采用真空机组抽空后，将阀门关闭，使金属盒盒体(4)内保持真空；

c、在使用真空部件(1)时，带有阀门的真空管道及其阀门(44)连通洁净干燥的保护气体，打开阀门使金属盒盒体(4)内冲入保护气体，松开锁扣(45)，打开盒盖(42)；

d、戴手套用金属箔(3)隔离的情况下取出和安装真空部件。

2.根据权利要求1所述一种超洁净真空部件包装储存方法，其特征在于：所述的保护气体为干燥空气、氮气、氦或氩气。

3.根据权利要求1所述一种超洁净真空部件包装储存方法，其特征在于：所述的真空部件(1)存放在金属篮筐(7)内清洗时，采用金属转移工具(2)连同金属篮筐(7)一起转移至金属盒盒体(4)内储存。

4.根据权利要求1所述一种超洁净真空部件包装储存方法，其特征在于：所述的真空部件(1)为真空管(11)时，在真空管(11)的端口及外部表面用金属箔(3)包裹后，用金属转移工具(2)将其转移到金属盒盒体(4)内。

5.根据权利要求1所述一种超洁净真空部件包装储存方法，其特征在于：所述的真空部件(1)为光学部件(12)，在所述光学部件(12)的外部制作金属框架，所述金属框架设置有卡扣(51)，用金属转移工具(2)将其转移到金属盒盒体(4)内，通过卡扣(51)将光学部件(12)固定在金属盒盒体(4)内的悬挂装置(41)上。

6.根据权利要求1所述的一种超洁净真空部件包装储存方法，其特征在于：所述的储存容器包括金属盒盒体(4)、盒盖(42)、金属密封圈(43)和带有阀门的真空管道及其阀门(44)，所述盒盖(42)固定安装在所述金属盒盒体(4)上部，所述盒盖(42)与金属盒盒体(4)之间通过金属密封圈(43)密封，在所述金属盒盒体(4)设有带有阀门的真空管道及其阀门(44)。

7.根据权利要求6所述一种超洁净真空部件包装储存方法，其特征在于：所述盒盖(42)通过法兰螺栓固定在金属盒盒体(4)上替换锁扣(45)的锁紧固定方式。

8.根据权利要求6所述一种超洁净真空部件包装储存方法，其特征在于：所述的金属密封圈(43)的材质为铝、锡、铅、银、金、铟软性金属或铝、锡、铅、银、金、铟软性金属中任意两种或两种以上组成的合金。