CN201503858U - 掩模板更换装置 - Google Patents
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN2009202231147U CN201503858U (zh) | 2009-09-25 | 2009-09-25 | 掩模板更换装置 |
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CN2009202231147U CN201503858U (zh) | 2009-09-25 | 2009-09-25 | 掩模板更换装置 |
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---|---|
CN201503858U true CN201503858U (zh) | 2010-06-09 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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CN2009202231147U Expired - Lifetime CN201503858U (zh) | 2009-09-25 | 2009-09-25 | 掩模板更换装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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CN (1) | CN201503858U (zh) |
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Legal Events
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C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
ASS | Succession or assignment of patent right |
Owner name: JINGDONGFANG SCIENCE AND TECHNOLOGY GROUP CO., LTD Free format text: FORMER OWNER: BEIJING BOE PHOTOELECTRICITY SCIENCE + TECHNOLOGY CO., LTD. Effective date: 20150617 Owner name: BEIJING BOE PHOTOELECTRICITY SCIENCE + TECHNOLOGY Effective date: 20150617 |
|
C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20150617 Address after: 100015 Jiuxianqiao Road, Beijing, No. 10, No. Patentee after: BOE Technology Group Co., Ltd. Patentee after: Beijing BOE Photoelectricity Science & Technology Co., Ltd. Address before: 100176 Beijing economic and Technological Development Zone, West Central Road, No. 8 Patentee before: Beijing BOE Photoelectricity Science & Technology Co., Ltd. |
|
CX01 | Expiry of patent term |
Granted publication date: 20100609 |
|
CX01 | Expiry of patent term |