CN108287454A - 掩膜板装载系统 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种掩膜板装载系统，该方法包括：存放架、多个存放盒、扫描模块和控制模块；各所述存放盒分别活动设置于所述存放架上，各所述扫描模块分别设置于所述存放架上，且每一所述扫描模块与一所述存放盒对应；每一所述存放盒用于容置一掩膜板，每一所述存放盒分别开设有一识别窗口，每一所述识别窗口用于与一所述掩膜板的识别部对齐，每一所述扫描模块与一所述识别窗口对齐；各所述扫描模块与所述控制模块电连接。扫描模块透过存放盒的识别窗口，对掩膜板上识别部进行扫描，获得掩膜板上的识别码，进而反馈至控制模块，使得曝光机能够准确获取对应型号的掩膜板，使得曝光显影效率更高，且能够有效避免曝光错误，提高产品良率。

Description

掩膜板装载系统

技术领域

本发明涉及有机发光显示制造技术领域，特别是涉及掩膜板装载系统。

背景技术

集成电路自诞生以来，就以十分突飞猛进的速度在蓬勃的发展。现在，人们的工作和生活与集成电路器件密切相关，作为集成电路器件的半导体制作工艺是十分关键和重要的，其中微光刻技术又是精密半导体工艺的核心工序，其经过几十年的发展和创新，使得半导体工艺线宽越来越精细，远远超出人们的预期。在精密微光刻加工技术下，大尺寸、细线宽、高精度、高效率以及低成本的集成电路器件才得以实现。

微光刻技术就是把掩膜板上的图形转移到需要加工的基板上，一般需要先在基板上涂覆光刻胶，然后曝光和显影，必要时还需要刻蚀，最后固化干燥，从而完成一道微光刻技术工序，也即是黄光制程。这里曝光是决定性的工序，它是半导体工艺精细线宽制作的关键。曝光工序需要更换掩膜板，尤其是不同的产品型号的图形结构不同，就要求对应的掩膜板不同，这样在曝光机台附近会存放许多不同型号的掩膜板，不同型号的掩膜板存放在不相同的存放盒子里，在产品更换型号时需要人工确认所需型号的掩膜板所在的盒子，随后控制曝光机对掩膜板进行更换。在掩膜板的型号切换较为频繁的时候，人工确认掩膜板的位置并进行操作的方式较为耗时，且消耗较多的劳动力，严重影响生产的效率；并且可能存在掩膜板存放的盒子错误，导致曝光时采用了错误型号的掩膜板，使得产品曝光错误，进而影响了产品良率。

发明内容

基于此，有必要提供一种掩膜板装载系统。

一种掩膜板装载系统，包括：存放架、多个存放盒、扫描模块和控制模块；

各所述存放盒分别活动设置于所述存放架上，各所述扫描模块分别设置于所述存放架上，且每一所述扫描模块与一所述存放盒对应；

每一所述存放盒用于容置一掩膜板，每一所述存放盒分别开设有一识别窗口，每一所述识别窗口用于与一所述掩膜板的识别部对齐，每一所述扫描模块与一所述识别窗口对齐；

各所述扫描模块与所述控制模块电连接。

在其中一个实施例中，所述扫描模块包括扫描仪。

在其中一个实施例中，每一所述存放盒上设置有一鉴别部。

在其中一个实施例中，还包括多个读取模块，每一所述读取模块与一所述存放盒的所述鉴别部对齐。

在其中一个实施例中，所述识别窗口具有矩形截面。

在其中一个实施例中，所述识别窗口设置有玻璃层。

在其中一个实施例中，所述存放盒具有矩形截面。

在其中一个实施例中，所述存放架上设置有多个支撑导轨，每一所述存放盒设置于至少两个支撑导轨上。

在其中一个实施例中，还包括多个掩膜板，每一所述掩膜板设置于一所述存放盒内，每一所述掩膜板上设置有识别部，每一所述识别窗口与一所述识别部对齐。

在其中一个实施例中，所述识别窗口的宽度大于所述识别部的宽度。

上述掩膜板装载系统，扫描模块透过存放盒的识别窗口，对掩膜板上识别部进行扫描，获得掩膜板上的识别码，进而反馈至控制模块，使得曝光机能够准确获取对应型号的掩膜板，使得曝光显影效率更高，且能够有效避免曝光错误，提高产品良率。

附图说明

图1为一个实施例的掩膜板装载系统的结构示意图；

图2为一个实施例的存放盒的透视结构示意图；

图3为一个实施例的掩膜板的一方向结构示意图；

图4为一个实施例的掩膜框架的局部剖面结构示意图；

图5为另一个实施例的掩膜框架的局部剖面结构示意图；

图6为又一个实施例的掩膜框架的局部剖面结构示意图。

具体实施方式

为了便于理解本发明，下面将参照相关附图对本发明进行更全面的描述。附图中给出了本发明的较佳实施方式。但是，本发明可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施方式。相反地，提供这些实施方式的目的是使对本发明的公开内容理解的更加透彻全面。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

例如，一种掩膜板装载系统，包括：存放架、多个存放盒、扫描模块和控制模块；各所述存放盒分别活动设置于所述存放架上，各所述扫描模块分别设置于所述存放架上，且每一所述扫描模块与一所述存放盒对应；每一所述存放盒用于容置一掩膜板，每一所述存放盒分别开设有一识别窗口，每一所述识别窗口用于与一所述掩膜板的识别部对齐，每一所述扫描模块与一所述识别窗口对齐；各所述扫描模块与所述控制模块电连接。

本实施例中，扫描模块透过存放盒的识别窗口，对掩膜板上识别部进行扫描，获得掩膜板上的识别码，进而反馈至控制模块，使得曝光机能够准确获取对应型号的掩膜板，使得曝光显影效率更高，且能够有效避免曝光错误，提高产品良率。

在一个实施例中，如图1和图2所示，提供一种掩膜板装载系统10，包括：存放架300、多个存放盒400、扫描模块500和控制模块600；各所述存放盒400分别活动设置于所述存放架300上，各所述扫描模块500分别设置于所述存放架300上，且每一所述扫描模块500与一所述存放盒400对应；每一所述存放盒400用于容置一掩膜板20，每一所述存放盒400分别开设有一识别窗口410，每一所述识别窗口410用于与一所述掩膜板20的识别部110对齐，每一所述扫描模块500与一所述识别窗口410对齐；各所述扫描模块500与所述控制模块600电连接。

例如，该存放架300用于放置存放盒400，例如，该存放架300上设置有多个存放位310，每一所述存放位310活动设置一存放盒400。本实施例中，存放盒400可以放置在存放架300上，也可以从存放架300上取出，当需要曝光时，曝光机通过输送装置在存放架300上取出对应的存放盒400，使得存放盒400内的掩膜板20能够被取出进行曝光显影，当完成曝光显影后，将装载有掩膜板20的存放盒400放置在存放架300上进行存放。

具体地，每一掩膜板20上分别设置有一识别部110，识别部110上设置有识别码，该识别码记录了掩膜板20的型号信息，例如，该识别码记录了掩膜板20的ID(identification)信息。例如，该识别码记录了掩膜板20的识别信息，各所述识别码记录的识别信息相异设置，该识别信息为该识别码的唯一识别信息，用于区分不同型号的掩膜板20。例如，该识别码为二维码，例如，该识别码为条码。

例如，该存放盒400用于放置掩膜板20，每一存放盒400存放一掩膜板20，例如，该存放盒400的截面为矩形，例如，所述存放盒400为矩形体，例如，该识别窗口410开设于存放盒400的侧面，例如，识别窗口410开设于存放盒400的长度较长的侧面。

本实施例中，每一扫描模块500设置于一存放位310上，使得每一扫描模块500与一存放盒400对应，并且对齐该存放盒400的识别窗口410。该扫描模块500用于扫描读取掩膜板20上的识别码，并将识别码发送至控制模块600。具体地，由于存放盒400上开设有识别窗口410，使得掩膜板20上的识别部110能够被扫描模块500扫描，进而使得识别部110上的识别码能够被扫描模块500扫描读取，扫描模块500读取了识别码后，将识别码反馈至控制模块600。例如，所述扫描模块500包括扫描仪，例如，所述扫描模块500为扫描仪，例如，所述扫描模块500为二维码扫描仪，例如，所述扫描模块500为条码扫描仪，例如，所述扫描模块500为摄像头。

该控制模块600为曝光机的控制模块，例如，该控制模块为曝光机控制模块600。例如，该控制模块600用于获取识别码，并用于根据扫描模块500的位置信息获取到与识别码对应的掩膜板20的位置信息。例如，所述控制模块600包括控制单元和存储单元，存储单元用于获取识别码并存储，还用于根据扫描模块500的位置信息获取到与识别码对应的掩膜板20的位置信息，控制单元用于根据识别码和位置信息控制输送装置取出存放盒400。具体地，控制模块600获取到扫描模块500读取的识别码后，可以精准控制曝光机的输送装置将对应的掩膜板20取出，使得掩膜板20的获取精度提高，并且使得曝光机能够准确进行曝光，有效提高曝光效率。

上述实施例中，扫描模块透过存放盒的识别窗口，对掩膜板上识别部进行扫描，获得掩膜板上的识别码，进而反馈至控制模块，使得曝光机能够准确获取对应型号的掩膜板，使得曝光显影效率更高，且能够有效避免曝光错误，提高产品良率。并且，由于实现了自动对掩膜板的识别码获取，并且获取掩膜板的位置，无需人工确认，避免了人员进入净房内操作，有效避免对净房的污染，使得电子产品在进行曝光显影的环境更为洁净，使得曝光显影的效果更佳。

为了取出存放盒，例如，掩膜板装载系统还包括输送装置，该输送装置与控制模块电连接，该输送装置包括机械手和多个输送带，例如，多个输送带活动设置于所述存放架上，每一输送带与一所述存放盒对应，每一所述存放盒设置于一所述输送带上，例如，每一所述存放位上活动设置有一所述输送带，例如，还包括多个驱动电机，每一所述驱动电机与一所述输送带驱动连接。机械手与各所述驱动电机分别与所述控制模块电连接，这样，控制模块通过控制输送带工作，使得对应的存放盒在输送带上输送，并使得存放盒凸出至存放架外侧，机械手运动至该存放盒对应的位置，对存放盒进行夹取，进而将存放盒取出，这样，控制模块通过获取到识别码，即可获取到扫描仪的位置，也就获取到对应的存放盒的位置，进而控制相应的驱动电机工作，并控制机械手运动至对应位置，从而将掩膜板准确地取出。同理，在放入存放盒时，通过机械手夹取存放盒至空闲的存放位上的输送带上，通过控制该输送带对应的驱动电机工作，从而使得输送带将存放盒放置在存放位上，并且，该存放盒内的掩膜板的识别码被扫描模块扫描，从而使得该掩膜板的位置得到控制模块的获取并记录。

值得一提的是，驱动电机与输送带的驱动结构以及机械手的机械机构均可以采用现有技术实现，本实施例中不累赘描述。

为了使得存放盒内的掩膜板能够被及时识别，例如，各所述存放盒分别活动设置于所述存放架上，各所述扫描模块分别固定设置于所述存放架上，例如，所述扫描模块用于在对应的所述存放盒放入存放架上时，对所述存放盒内的掩膜板的识别部进行扫描。具体地，本实施例中，存放盒被放入存放架上时，扫描模块即透过识别窗口对识别码进行扫描读取，使得每当产生存放盒被取出后被放入时，扫描模块都能够对识别码进行扫描读取，也就是说，存放架上任一存放位上的存放盒进行了更换，控制模块都能够及时获取到更换后的存放盒内的掩膜板的识别码，进而精确地获取存放架上各存放盒内的掩膜版的识别码。

为了使得存放位上的存放盒内产生变更时，掩膜板能够被及时识别，例如，所述扫描模块用于在与该扫描模块对应的所述存放盒产生位移时，对所述存放盒内的掩膜板的识别部进行扫描。本实施例中，当存放盒产生位移时，表明存放盒的位置发生变动，存放盒被取出，或者存放盒被放入，当存放盒被放入时，扫描模块及时对存放盒内的掩膜板的识别部进行扫描，能够及时获取到掩膜板的识别码，并将识别码发送至控制模块，使得控制模块对该识别码进行记录，并记录识别码对应的掩膜板的位置信息。

为了及时获取存放位上的掩膜板的变更，例如，掩膜板装载系统还包括多个位移检测模块，各所述位移检测模块分别设置于所述存放架上，每一位移检测模块与一所述存放盒对应，所述位移检测模块用于检测与该位移检测模块对应的存放盒的位移，在检测到对应的存放盒的位移时，向所述控制模块发送位移信号，所述控制模块用于接收到位移信号后，控制扫描模块对所述存放盒内的掩膜板的识别部进行扫描。例如，所述位移检测模块为红外检测模块，所述红外检测模块用于检测与该红外检测模块对应的存放盒的位移，在检测到对应的存放盒的位移时，向所述控制模块发送位移信号。这样，通过位移检测模块对存放盒的位移的检测，能够精确对每一个存放位上的存放盒的位移或者变更进行检测，进而精确获取每一掩膜板的识别码和位置信息。

为了使得每一掩膜板能够准确放置在存放盒，并且在掩膜板放置错误时能够被及时检测，在一个实施例中，每一所述存放盒上设置有一鉴别部，例如，该鉴别部上设置有鉴别码，该鉴别码记录了掩膜板的型号信息或者ID信息或者识别信息。例如，该鉴别码为二维码，例如，该鉴别码为条码。该鉴别码用于与识别码进行对比，具体地，鉴别部上是鉴别码记录了对应的掩膜板的识别信息，也就是说，存放盒的鉴别码与掩膜板的识别码对应，每一个存放盒的鉴别码与一个掩膜板的识别码对应，两者记录的信息相同，这样，使得每一掩膜板能够准确放置在与其对应的存放盒内，使得存放盒的鉴别码与存放在在该存放盒内的掩膜板的识别码对应，使得每一掩膜板能够准确放置在存放盒，并且使得该掩膜板和存放盒的放置是否错误能够被检测到。

为了使得掩膜板放置错误时能够被及时检测，例如，掩膜板装载系统还包括多个读取模块，每一所述读取模块与一所述存放盒的所述鉴别部对齐。例如，每一读取模块设置于一存放位上，例如，每一读取模块与存放盒的鉴别部对齐，也就是说，当存放盒放置在存放位上时，读取模块与存放盒的鉴别部对齐，使得读取模块能够读取鉴别部上的鉴别码，从而使得掩膜板放置错误时能够被及时检测，使得错误放置的掩膜板能够被及时检测到，进而进行更正。值得一提的，该读取模块可采用与扫描模块相同的技术实现，也可以采用不同的技术实现。例如，读取模块包括扫描仪，例如，所述读取模块为扫描仪，例如，所述读取模块为二维码扫描仪，例如，读取模块为二维码读头，例如，所述读取模块为条码扫描仪，例如，读取模块为条码读头，例如，所述读取模块为摄像头。通过对比同一存放位上的读取模块读取到的鉴别码和扫描模块读取的识别码，能够及时检测存放盒内的掩膜板放置错误，从而有效避免曝光工序中存在的错误使用掩膜板。

为了使得该识别码能够被充分扫描读取，在一个实施例中，所述识别窗口具有矩形截面，例如，所述识别窗口的横截面为矩形。例如，该识别窗口的形状与识别部的形状相似，值得一提的时，识别码为二维码或者为条码时，其形状为矩形，这样，该识别部为矩形，而识别窗口的形状为与识别部形状匹配的矩形，能够充分外露该识别部，使得识别部上的识别码能够被扫描模块充分、完全地扫描，并读取。

为了使得该识别码能够被完全扫描并读取，在一个实施例中，所述识别窗口的宽度大于所述识别部的宽度。例如，所述识别窗口的面积大于所述识别部的面积。例如，所述识别窗口的长度大于所述识别部的长度。这样，扫描模块能够透过识别窗口充分对识别码继续扫描，进而避免识别码被存放盒的侧壁遮挡而无法完全被完全扫描，使得对识别码的扫描读取效率更高，精度更高。

为了更好地存放掩膜板，避免掩膜板受到外部影响，在一个实施例中，所述识别窗口设置有玻璃层。例如，所述识别窗口的侧壁连接一玻璃层，通过该玻璃层使得存放盒整体能够密封，使得掩膜板能够更好地存放在存放盒内，避免了掩膜板通过识别窗口而直接暴露，避免掩膜板受到外部影响。

为了使得掩膜板能够放置在存放盒内，在一个实施例中，所述存放盒具有矩形截面。例如，所述存放盒为矩形体，这样，存放盒的形状与掩膜板的形状匹配，能够更好地存放掩膜板。

为了使得存放盒能够稳固地放置在存放架上，并且便于存放盒快速地取出，在一个实施例中，所述存放架上设置有多个支撑导轨，每一所述存放盒设置于至少两个支撑导轨上。例如，每一存放位上设置有至少两个支撑导轨，且每一存放位上的各支撑导轨相互平行，例如，各支撑导轨水平设置，所述存放盒滑动设置于支撑导轨上，这样，通过该支撑导轨对存放盒的支撑，使得存放盒能够稳固地放置在存放架上，而当存放盒受力时，比如受到拉力或者受到输送带的摩擦力，存放盒在支撑导轨上滑动，使得存放盒能够便捷地从存放位上取出。

例如，每一存放位上设置两个支撑导轨，两个支撑导轨分别设置于存放位的两侧，并且相互平行，这样，通过两侧的支撑导轨对存放盒的支撑，使得存放盒放置更为平稳，并且运动更为平稳。

在一个实施例中，请结合图1和图2提供一种掩膜板装载系统10，包括：存放架300、多个存放盒400、多个掩膜板20、扫描模块500和控制模块600；各所述存放盒400分别活动设置于所述存放架300上，各所述扫描模块500分别设置于所述存放架300上，且每一所述扫描模块500与一所述存放盒400对应；每一所述掩膜板20设置于一所述存放盒400内，每一所述掩膜板20上设置有识别部110，每一所述存放盒400分别开设有一识别窗口410，每一所述识别窗口410与一所述识别部110对齐，每一所述扫描模块500与一所述识别窗口410对齐；各所述扫描模块500与所述控制模块600电连接。

本实施例中，掩膜板装载系统包括多个掩膜板，通过在掩膜板上设置识别部，在识别部上设置识别码，使得每一个存放盒内的掩膜板能够被扫描模块精准扫描识别。

为了使得掩膜板上的识别码能够被精确扫描读取，例如，如图3所示，掩膜板20包括掩膜框架100和掩膜基板200，所述掩膜基板200与所述掩膜框架100连接；所述掩膜框架100设置有识别部110，所述识别部110的表面设置有磨砂层111，所述磨砂层111上设置有识别码(图未示)。例如，在该识别部110上进行打磨处理，使得识别部110表面形成磨砂层111，例如，在该识别部110上进行喷砂处理，使得识别部110表面形成磨砂层111，通过形成磨砂层111，使得识别部110表面的粗糙度增大，有利于形成的识别码更容易识别。

例如，在磨砂层111上进行激光刻蚀处理，在磨砂层111上形成识别码，例如，在磨砂层111上进行激光刻蚀处理，在磨砂层111上形成二维码。

磨砂层111在摩擦力作用下不易磨损，从而提高了掩膜板10的使用寿命，并且使得识别码能够长时间使用而清晰可见，有效提高了掩膜板10的识别效率，避免影响生产效率。

为了进一步提高识别码的识别率，提高识别效率，在一个实施例中，如图4所示，所述掩膜框架100凹陷设置有识别槽120，所述识别部110设置于所述识别槽120内。具体地，掩膜框架100的侧面凹陷设置识别槽120，该识别部110设置于识别槽120的底部，这样，通过识别槽120的侧壁遮挡部分外部光线，避免光线过于集中，进而使得识别槽120内的识别码更容易识别，进一步提高识别码的识别率，提高识别效率。此外，凹陷设置的识别槽120使得识别码具有较大的深度，能够有效减小识别码受到摩擦作用的几率，使得识别码随着掩膜框架100的长时间使用而不会磨损，有效提高了掩膜板10的使用寿命。

值得一提的是，该识别部可以是与掩膜框架的表面平齐，也可以是凹陷设置，也可以是凸起设置。在上述实施例中，识别部110设置于凹陷的识别槽120内。

为了进一步提高识别码的识别率，在一个实施例中，如图5和图6所示，所述掩膜框架100还设置有挡光部130，所述挡光部130绕设于所述识别部110的外侧。

例如，该识别部与掩膜框架的表面平齐，且外侧设置有挡光部，该挡光部环绕识别部设置，这样，通过挡光部将识别部的外侧的光线遮挡，避免光线的干扰，使得识别部上的识别码易于识别。

例如，如图5所示，该识别部110设置于识别槽120内，识别槽120的外侧设置有挡光部130，该识别槽120凹陷设置于掩膜框架100的表面，该挡光部130凸起设置于掩膜框架100的表面，通过识别槽120对外侧的部分光线进行阻隔，并且通过凸起的挡光部130对部分的光线的遮挡，使得识别码能够进一步减小对光线的集中反射，使得识别码的识别率更高，有效提高识别效率。

值得一体的是，该识别部110也可以是凸起设置于掩膜框架100的表面，例如，如图6所示，所述识别部110凸起设置于掩膜框架100的表面，通过凸起设置的识别部110，磨砂层111可以具有更大的颗粒度，从而使得磨砂层111的粗糙度更大，有利于进一步减小光线的集中反射，使得识别码在光纤照射下，更易产生漫反射，从而提高了识别码的识别效率以及识别率。

为了使得凸起设置的挡光部130上的识别码易于识别，例如，请再次参见图6，所述挡光部130凸起于所述掩膜框架100表面的厚度大于所述识别部110凸起于所述掩膜框架100的表面的厚度。通过挡光部130对识别部110的外侧的光线的遮挡，从而进一步减小光线的干扰，使得凸起设置的挡光部130上的识别码易于识别，提高了识别码的识别率和识别效率。

上述实施例中的挡光部130不仅可以对光线起到遮挡作用，此外，还能够阻挡部分对识别码的摩擦作用，能够有效减小识别码受到摩擦作用的几率，使得识别码随着掩膜框架100的长时间使用而不会磨损，有效提高了掩膜板10的使用寿命。

例如，如图3所示，所述识别部110具有矩形截面，例如，所述识别部110的形状为矩形，例如，所述挡光部130具有矩形截面，例如，所述挡光部130的形状为矩形。这样，挡光部130的形状与识别部110的形状匹配，能够更好地对识别部110进行挡光，此外，识别部110的形状为矩形，能够更好地刻蚀形状为矩形或者方形的识别码。

例如，所述识别部具有方形截面，例如，所述识别部的形状为方形，例如，所述挡光部具有方形截面，例如，所述挡光部的形状为方形，这样，挡光部的形状与识别部的形状匹配，能够更好地对识别部进行挡光，此外，识别部的形状为方形，能够更好地刻蚀形状为方形的识别码。

例如，所述识别部具有圆形截面。例如，所述挡光部具有圆环形截面。这样，挡光部的形状与识别部的形状匹配，能够更好地对识别部进行挡光。

为了进一步避免光线的集中反射，例如，所述挡光部130的内侧设置有挫纹，挫纹使得挡光部130的内侧表面更为粗糙，易于形成漫反射，使得挡光部130不仅能够实现挡光，还能够进一步避免的光线的集中反射，使得识别码更易识别。

为了使得磨砂层111具有更好的漫反射效果，并且能够使得识别码清晰可见，例如，该磨砂层111的目数为170目～270目，应该理解的是，磨砂层111的目数太大，颗粒度太小，容易使得漫反射效果较差，磨砂层111的目数太小，颗粒度太大，则使得识别码不清楚，因此，本实施例中，磨砂层111的目数为170目～270目，能够使得磨砂层111具有更好的漫反射效果，并且能够使得识别码清晰，例如，磨砂层111的目数为200目～230目，能够进一步使得漫反射效果更佳，并且使得识别码更为清晰，易于识别。

下面是一个具体的实施例：

本实施例中，通过在曝光机台存放掩膜板的台架上安装自动扫描仪并与曝光控制程序软件连接，这样当放置掩膜板时，自动扫描仪会自动扫描掩膜板上的型号ID，传输给控制软件，这样在生产中更换型号时，调取此型号的信息就会准确快速地读取，节省了时间也避免了生产的意外情况的发生。

本实施例中，在装载掩膜板的盒子的上部、沿长边的边缘位置处设计为透明窗口，位置与装载的掩膜板边缘的ID位置对应。把装好掩膜板的盒子放到曝光机附近的掩膜板存放区，在存放的过程中，掩膜板的盒子是从外向里推进，通过在其上部安装扫描仪，扫描仪可以把扫描的结果发送给曝光机控制程序，使得不同型号的掩膜板的数据清楚地显示在程序里。

这样在生产过程中，如果更换型号，则可以通过曝光机控制软件轻易地调出其此型号的数据，尤其是掩膜板是关键的生产工具，它决定着产品的型号；通过上述扫描掩膜板数据，就不用再人工确认，节省了人力和生产时间，而且净房内也减少了人员的走动，进而减少了人员流动造成的粉尘和灰尘，改善了生产Particle造成的缺陷问题。同时，由于在安装掩膜时扫描仪对其ID的扫描，如果有型号错误的掩膜板也可以及时的发现，避免了在生产过中才发现，浪费时间，进而影响生产效率的问题。

基本原理：

在黄光制程中，掩膜板的型号是不同的，而且一般在其长边方向有型号ID标记，当然由于其对曝光的重要性，所以一般是存放在特定的盒子里，此盒子的长边方向上部留有透明的窗口，本专利通过把盒子上的窗口位置与存放掩膜板的型号ID标记对应，这样就可以通过灯光或光源查看其型号ID。

此外，在黄光制程中的曝光机区域有存放掩膜板的架子，掩膜板的存放是连带存放盒一起放置在存放区，考虑到生产中需要更换不同型号的产品，所以在生产开始前首先要把装有不同型号掩膜板的存放盒放到存放区的架子上，通过在每层架子顶部安装扫描仪并与曝光机控制软件通信，这样在存放盒存放到架子上的时候，因为是从外向里平推进去，所以，当扫描仪通过掩膜板存放盒上的透明窗口扫描到掩膜板的型号ID反馈给曝光机的控制程序，哪个型号的掩膜板在架子上的哪一格就会一目了然。

本实施例中，确保掩膜板存放盒存放时把型号ID准确无误地扫描出来并反馈给曝光机的控制软件，使得在产品型号更换时确保了掩膜板数据的准确，也避免了人工再去确认，节省了人力也提高了生产效率；一般地黄光制程都是在千级或百级的净房内完成，净房对空气中的细微颗粒控制十分严格，人员的流动就会带起粉尘和异物，进而产生细微颗粒，给产品造成缺陷，进而影响产品的性能，通过此方法的扫描仪对掩膜板ID型号自动扫描，就避免了人员的走动，减少了净房的细微颗粒的产生。同时，通过扫描仪把数据显示出来，如果和存放盒型号不一致才可以第一时间确认更换，防止了人为操作错误把掩膜板和存放盒安装不一致，给生产带来不必要浪费和损失，减少了生产错误，提高了生产效率。

本实施例中，通过在掩膜板存放架上安装扫描仪，在掩膜板存放时就可以清楚地把掩膜板ID型号数据读取出来并传输给曝光机的控制程序，这样不同型号掩膜板数据清楚的显示在控制软件中，如果生产中需要更换型号就可以方便准确的调取相应的掩膜板。此方法设置扫描仪并与曝光机的控制程序连接，方法简单，可行性比较高；同时，使用于黄光制程中的曝光工序，尤其是在生产节奏比较快生产型号较多的大工业生产中，此种方法能更好地应用与使用，可以有效提升生产的效率。

本实施例中，通过在曝光机台存放掩膜板的台架上安装自动扫描仪并与曝光控制程序软件连接，这样当放置掩膜板时，自动扫描仪会自动扫描掩膜板上的型号ID，传输给曝光机控制软件，这样在生产过程中更换型号时，调取此型号的信息就会准确快速地读取掩膜板位置，不用人工再去确认，节省了人力和生产时间，同时也避免了因为人为错误装错掩膜板而造成的生产意外情况的发生。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种掩膜板装载系统，其特征在于，包括：存放架、多个存放盒、扫描模块和控制模块；

各所述存放盒分别活动设置于所述存放架上，各所述扫描模块分别设置于所述存放架上，且每一所述扫描模块与一所述存放盒对应；

每一所述存放盒用于容置一掩膜板，每一所述存放盒分别开设有一识别窗口，每一所述识别窗口用于与一所述掩膜板的识别部对齐，每一所述扫描模块与一所述识别窗口对齐；

各所述扫描模块与所述控制模块电连接。

2.根据权利要求1所述的掩膜板装载系统，其特征在于，所述扫描模块包括扫描仪。

3.根据权利要求1所述的掩膜板装载系统，其特征在于，每一所述存放盒上设置有一鉴别部。

4.根据权利要求3所述的掩膜板装载系统，其特征在于，还包括多个读取模块，每一所述读取模块与一所述存放盒的所述鉴别部对齐。

5.根据权利要求1所述的掩膜板装载系统，其特征在于，所述识别窗口具有矩形截面。

6.根据权利要求1所述的掩膜板装载系统，其特征在于，所述识别窗口设置有玻璃层。

7.根据权利要求1所述的掩膜板装载系统，其特征在于，所述存放盒具有矩形截面。

8.根据权利要求1所述的掩膜板装载系统，其特征在于，所述存放架上设置有多个支撑导轨，每一所述存放盒设置于至少两个支撑导轨上。

9.根据权利要求1所述的掩膜板装载系统，其特征在于，还包括多个掩膜板，每一所述掩膜板设置于一所述存放盒内，每一所述掩膜板上设置有识别部，每一所述识别窗口与一所述识别部对齐。

10.根据权利要求9所述的掩膜板装载系统，其特征在于，所述识别窗口的宽度大于所述识别部的宽度。