CN110348549A - 掩膜板存储装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种掩膜板存储装置，掩膜板存储装置包括存储腔、扫描组件以及处理器，存储腔包括多个存储腔位，用于存放掩膜板；扫描组件用于以预设周期对存储腔进行扫描，识别每个存储腔位中存放掩膜板的情况；处理器用于将扫描结果与本地存储的掩膜板在位列表进行对比，并提示对比结果。通过在掩膜板存储装置内设置扫描组件，可以以预设周期对存储腔内掩膜板的情况进行扫描，处理器将扫描结果与系统存储结果对比后给出相应的提示，减小了因为操作人员未及时检测存储腔内掩膜板状态，未及时处理带来的设备和实验故障风险。
Description
技术领域
本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种掩膜板存储装置。
背景技术
蒸镀或者曝光设备中往往需要多个掩模板同时存在于暂存舱里面备用，在有需求时换上对应的掩模板。暂存舱内有掩模板位扫描装置，用以标明对应位置是否有掩模板存在，但扫描装置需要操作人员发出扫描检测指令，才能启动检测。同时，掩模板在未经系统正常传送流程被取走或者放入之后，需手动删除或者添加，才能在设备系统中标识掩模板的存在与否。人工操作次数会逐渐增加，误操作的风险逐渐增高，给设备和实验带来越来越高的风险。
因此，现有的掩膜板存储装置存在人工操作风险较高的技术问题，需要改进。
发明内容
本发明提供一种掩膜板存储装置，以缓解现有的掩膜板存储装置人工操作风险较高的技术问题。
为解决上述问题，本发明提供的技术方案如下：
本发明提供一种掩膜板存储装置，包括：
存储腔，包括多个存储腔位，用于存放掩膜板；
扫描组件，用于以预设周期对所述存储腔进行扫描，识别每个所述存储腔位中存放所述掩膜板的情况；
处理器，用于将扫描结果与本地存储的掩膜板在位列表进行对比，并提示对比结果。
在本发明的掩膜板存储装置中，所述掩膜板存储装置还包括监测构件，用于监测所述掩膜板存储装置是否处于非操作状态，并在监测到所述掩膜板存储装置处于非操作状态时，触发所述扫描组件以预设周期对所述存储腔进行扫描。
在本发明的掩膜板存储装置中，所述扫描组件设置在所述存储腔的腔门处。
在本发明的掩膜板存储装置中，所述扫描组件包括光学传感器。
在本发明的掩膜板存储装置中，所述扫描组件包括声波传感器。
在本发明的掩膜板存储装置中，所述扫描组件设置在所述多个存储腔位上。
在本发明的掩膜板存储装置中，所述扫描组件包括压力传感器。
在本发明的掩膜板存储装置中，所述掩膜板存储装置还包括显示屏，所述显示屏用于显示所述对比结果。
在本发明的掩膜板存储装置中，所述掩膜板存储装置还包括扬声器，所述扬声器用于播报所述对比结果。
在本发明的掩膜板存储装置中，所述扫描组件与所述处理器无线连接。
本发明的有益效果为：本发明提供一种掩膜板存储装置，掩膜板存储装置包括存储腔、扫描组件以及处理器，存储腔包括多个存储腔位，用于存放掩膜板；扫描组件用于以预设周期对所述存储腔进行扫描，识别每个所述存储腔位中存放所述掩膜板的情况；处理器用于将所述扫描结果与本地存储的掩膜板在位列表进行对比，并提示对比结果。通过在掩膜板存储装置内设置扫描组件，可以以预设周期对存储腔内掩膜板的情况进行扫描，处理器将扫描结果与系统存储结果对比后给出相应的提示，减小了因为操作人员未及时检测存储腔内掩膜板状态、未及时处理带来的设备和实验故障风险。
附图说明
为了更清楚地说明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例提供的掩膜板存储装置的第一种结构示意图；
图2为本发明实施例提供的掩膜板存储装置的第二种结构示意图；
图3为本发明实施例提供的掩膜板存储装置中扫描结果与系统存储结果对比的第一种示意图；
图4为本发明实施例提供的掩膜板存储装置中扫描结果与系统存储结果对比的第二种示意图；
图5为本发明实施例提供的掩膜板存储装置中扫描结果与系统存储结果对比的第三种示意图；
图6为本发明实施例提供的掩膜板存储装置中扫描结果与系统存储结果对比的第四种示意图；
图7为本发明实施例提供的掩膜板存储装置中扫描结果与系统存储结果对比的第五种示意图；
图8为本发明实施例提供的掩膜板存储管理方法的流程图。
具体实施方式
以下各实施例的说明是参考附加的图示，用以例示本发明可用以实施的特定实施例。本发明所提到的方向用语，例如[上]、[下]、[前]、[后]、[左]、[右]、[内]、[外]、[侧面]等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本发明，而非用以限制本发明。在图中，结构相似的单元是用以相同标号表示。
本发明提供一种掩膜板存储装置和掩膜板存储管理方法，以缓解现有的掩膜板存储装置人工操作风险较高的技术问题。
如图1所示，为本发明实施例提供的掩膜板存储装置的第一种结构示意图。掩膜板存储装置包括存储腔10、扫描组件20以及处理器(图未示出)。
存储腔10包括多个存储腔位，在图1中，存储腔包括第一存储腔位11、第二存储腔位12、第三存储腔位13、第四存储腔位14以及第五存储腔位15，存储腔位内放置有备用的掩膜板。
在显示面板的生产工艺过程中，需要采用掩膜板对面板进行蒸镀或者曝光作业，在不同的工艺流程中，或者在显示面板不同的区域内，所使用的掩膜板型号不同，因此往往需要多个掩模板同时存在于掩膜板存储装置里面备用，在有需求时换上对应型号的掩膜板。
扫描组件20用于以预设周期T对存储腔10进行扫描，识别每个存储腔位中存放掩膜板的情况。
在显示面板的生产工艺流程中，在存储腔10内放置的掩膜板会被取走，而上道工序用完的掩膜板也会被放入存储腔10内。在正常情况下，掩膜板的取走或放入处于系统的正常传送流程中，即掩膜板取走或放入的位置及型号在系统中有记录。然而，在某些情况下，例如手动取走或放入部分掩膜板，或在掩膜板存储装置进行维护时移动了掩膜板的位置，则系统中对这部分掩膜板取走或放入的位置及型号没有记录，需要手动在系统中添加掩膜板取走或放入的信息。如果未及时添加相关信息，在后续使用过程中，掩膜板的取走或放入会受到影响，误操作的风险逐渐增高，给设备和实验带来越来越高的风险。
在本实施例中，扫描组件20以预设周期T对存储腔10进行扫描，识别每个存储腔位中存放掩膜板的情况。如图1所示，为某个预设周期T内的扫描结果，扫描组件20识别到第一存储腔位11内放置有第一掩膜板31，第二存储腔位12内放置有第二掩膜板32，第三存储腔位13内放置有第三掩膜板33，第五存储腔位15内放置有第五掩膜板35。
在扫描组件20的扫描结果出来后，处理器将扫描结果与本地存储的掩膜板在位列表进行对比，并提示对比结果。
在显示面板的生产过程中，每道工序所需用的掩膜板的型号是提前设计好的，因此在掩膜板存储装置中，每个存储腔门中是否放置掩膜板、以及放置的掩膜板的型号也有对应的标准，只有在正确的位置放置对应型号的掩膜板，才能保证取放的掩膜板型号满足生产要求。将这种预先设计好掩膜板的位置及型号的信息存储起来，即本地存储的掩膜板在位列表。
在系统开始对掩膜板存储装置中的掩膜板进行正常取放操作时，每取出或放入一次，系统都会对该次取出或放入的操作记录，删除或加入对应掩膜板在存储腔门中的位置和型号的标记，并将此时的记录结果存储起来，作为新的本地存储的掩膜板在位列表。
需要说明的是，本地存储的掩膜板在位列表可以是掩膜板存储装置即将工作时，预先设计好掩膜板的位置及型号的情况下存储的结果，也可以是掩膜板存储装置已经处于工作状态时，上一次系统正常取出或放入掩膜板后记录的结果。
如果扫描结果与存储结果有异，处理器给出明显的系统提示，使设备操作人员能及时对可能的误操作进行修正。
在下一个预设周期T内，扫描组件20再一次对存储腔10进行扫描，处理器将新的扫描结果新的扫描结果进行对比。
若操作人员已经对上述结果进行修正，且中间未进行掩膜板的误取或误放，则新的扫描结果与本地存储的掩膜板在位列表一致，处理器不发出提示，或者提示扫描结果与本地存储的掩膜板在位列表一致，此时表明掩膜板存储装置中的掩膜板都处于正确的位置。
若操作人员在上一次提示后，未对上述结果进行修正，或者修正后，又对掩膜板的取放进行了误操作，则新的扫描结果与本地存储的掩膜板在位列表又不一致，处理器根据相应的差异，再一次给出明显的系统提示，使设备操作人员能及时对可能的误操作进行修正。
在一种实施例中，掩膜板存储装置还包括显示屏(图未示出)，显示屏用于显示对比结果。
当扫描结果与本地存储的掩膜板在位列表相同时，显示屏不显示内容，或者显示“正常”，此时表示掩膜板存储装置中的掩膜板没有被进行误操作。
当扫描结果与本地存储的掩膜板在位列表不相同时，显示屏显示“错误”，并对错误的具体情况进行说明，此时表示掩膜板存储装置中的掩膜板被误操作，例如放置的位置与型号不正确等，提醒操作人员进行相应的处理。
在一种实施例中，掩膜板存储装置还包括扬声器(图未示出)，扬声器用于播报对比结果。
当扫描结果与本地存储的掩膜板在位列表相同时，扬声器不播报内容，或者播报“正常”，此时表示掩膜板存储装置中的掩膜板没有被进行误操作。
当扫描结果与本地存储的掩膜板在位列表不相同时，扬声器播报“错误”，并对错误的具体情况进行播报，此时表示掩膜板存储装置中的掩膜板被误操作，例如放置的位置与型号不正确等，提醒操作人员进行相应的处理。
在一种实施例中，掩膜板存储装置还包括监测构件(图未示出)，用于监测掩膜板存储装置是否处于非操作状态，并在监测到掩膜板存储装置处于非操作状态时，触发扫描组件20以预设周期T对存储腔10进行扫描。
在掩膜板存储装置处于操作状态时，掩膜板处于频繁的取出或放入操作中，扫描组件20的扫描结果不够准确，且在操作状态时，对掩膜板人工误取或误放的概率较小，因此在掩膜板存储装置处于非操作状态时，扫描结果较准确。
监测掩膜板存储装置是否处于非操作状态，可以在系统中预设一时间，当监测构件在预设时间内，监测到存储腔10中的掩膜板位置未发生变化时，判定掩膜板存储装置已处于非操作状态，此时触发扫描组件20以预设周期T对存储腔10进行扫描。
在一种实施例中，预设周期T为五分钟。即每间隔五分钟，扫描组件20对存储腔10进行扫描一次，处理器将扫描结果与本地存储的掩膜板在位列表进行对比，并提示对比结果。
在一种实施例中，扫描组件20与处理器无线连接。
在一种实施例中，扫描组件20与处理器电连接。
在图1中，扫描组件20设置在存储腔10的腔门(图未示出)处。在一种实施例中，扫描组件20包括光学传感器，系统中预先存储各存储腔门中掩膜板的图像，扫描组件20对存储腔10进行扫描，识别每个存储腔位中存放掩膜板的情况，根据光学传感器接收到的信号，得到扫描的图像。当存储腔10中的掩膜板的位置未发生变化时，扫描组件20扫描得到的图像与系统中存储的图像一致，处理器不进行提示或提示二者一致。当存储腔10中的掩膜板的位置发生变化时，光学传感器接收到的信号会发生变化，扫描组件20扫描得到的图像与系统中存储的图像不一致，处理器根据对比结果进行相应的提示。
在一种实施例中，扫描组件20包括声波传感器，系统中预先存储各存储腔门中掩膜板的波形图案，扫描组件20对存储腔10进行扫描，识别每个存储腔位中存放掩膜板的情况，根据声波传感器接收到的信号，得到扫描的波形图案。当存储腔10中的掩膜板的位置未发生变化时，扫描组件20扫描得到的波形图案与系统中存储的波形图案一致，处理器不进行提示或提示二者一致。当存储腔10中的掩膜板的位置发生变化时，声波传感器接收到的信号会发生变化，扫描组件20扫描得到的波形图案与系统中存储的波形图案不一致，处理器根据对比结果进行相应的提示。
如图2所示，为本发明实施例提供的掩膜板存储装置的第二种结构示意图。掩膜板存储装置包括存储腔10、扫描组件20以及处理器(图未示出)。
与图1中的结构不同之处在于，本实施例中扫描组件20设置在存储腔位上。每个存储腔位都包括放置掩膜板的支撑板(图未示出)，扫描组件20可以设置在支撑板的整面，即放置掩膜板的一侧，也可以设置在支撑板的反面。
在一种实施例中，扫描组件20包括压力传感器，系统中预先存储各存储腔门中掩膜板的压力值，扫描组件20对存储腔10进行扫描，识别每个存储腔位中存放掩膜板的情况，根据压力传感器接收到的信号，得到扫描的压力值。当存储腔10中的掩膜板的位置未发生变化时，扫描组件20扫描得到的压力值与系统中存储的压力值一致，处理器不进行提示或提示二者一致。当存储腔10中的掩膜板的位置发生变化时，压力传感器接收到的信号会发生变化，扫描组件20扫描得到的压力值与系统中存储的压力值不一致，处理器根据对比结果进行相应的提示。
掩膜板存储装置中扫描结果与本地存储的掩膜板在位列表结果对比，有多种不同的情况，下面结合图3至图7进行具体说明。
如图3所示，为本发明实施例提供的掩膜板存储装置中扫描结果与系统存储结果对比的第一种示意图。掩膜板存储装置包括存储腔10、扫描组件20以及处理器(图未示出)。
存储腔10包括多个存储腔位，在图3中，存储腔包括第一存储腔位11、第二存储腔位12、第三存储腔位13、第四存储腔位14以及第五存储腔位15，存储腔位内放置有备用的掩膜板。
扫描组件20以预设周期T对存储腔10进行扫描，识别每个存储腔位中存放掩膜板的情况。如图3中的1所示，为某个预设周期T内的扫描结果，扫描组件20识别到第一存储腔位11内放置有第一掩膜板31，第二存储腔位12内放置有第二掩膜板32，第三存储腔位13内放置有第三掩膜板33，第五存储腔位15内放置有第五掩膜板35。
如图3中的2所示，为本地存储的掩膜板在位列表，在扫描组件20的扫描结果出来后，处理器将扫描结果1与本地存储的掩膜板在位列表2进行对比，并提示对比结果。
本地存储的掩膜板在位列表2显示第一存储腔位11内放置有第一掩膜板31，第二存储腔位12内放置有第二掩膜板32，第三存储腔位13内放置有第三掩膜板33，第四存储腔位14内放置有第四掩膜板34，第五存储腔位15内放置有第五掩膜板35。
扫描结果1与本地存储的掩膜板在位列表2有异，本地存储的掩膜板在位列表2中，第四存储腔位14内放置有掩膜板，而扫描结果1中，第四存储腔位14内未放置掩膜板，即掩膜板存储装置实际存储的掩膜板数量比本地存储的掩膜板在位列表少。此时，处理器给出明显的系统提示，提示第四存储腔位14内未放置掩膜板，需要将对应型号的掩膜板34放置到第四存储腔位14内，以防对设备带来风险。
如图4所示，为本发明实施例提供的掩膜板存储装置中扫描结果与系统存储结果对比的第二种示意图。掩膜板存储装置包括存储腔10、扫描组件20以及处理器(图未示出)。
存储腔10包括多个存储腔位，在图4中，存储腔包括第一存储腔位11、第二存储腔位12、第三存储腔位13、第四存储腔位14以及第五存储腔位15，存储腔位内放置有备用的掩膜板。
扫描组件20以预设周期T对存储腔10进行扫描，识别每个存储腔位中存放掩膜板的情况。如图4中的1所示，为某个预设周期T内的扫描结果，扫描组件20识别到第一存储腔位11内放置有第一掩膜板31，第二存储腔位12内放置有第二掩膜板32，第三存储腔位13内放置有第三掩膜板33，第四存储腔位14内放置有第四掩膜板34，第五存储腔位15内放置有第五掩膜板35。
如图4中的2所示，为本地存储的掩膜板在位列表，在扫描组件20的扫描结果出来后，处理器将扫描结果1与本地存储的掩膜板在位列表2进行对比，并提示对比结果。
本地存储的掩膜板在位列表2显示第一存储腔位11内放置有第一掩膜板31，第二存储腔位12内放置有第二掩膜板32，第三存储腔位13内放置有第三掩膜板33，第五存储腔位15内放置有第五掩膜板35。
扫描结果1与本地存储的掩膜板在位列表2有异，本地存储的掩膜板在位列表2中，第四存储腔位14内未放置掩膜板，而扫描结果1中，第四存储腔位14内放置有掩膜板，即掩膜板存储装置实际存储的掩膜板数量比本地存储的掩膜板在位列表多。此时，处理器给出明显的系统提示，提示第四存储腔位14内放置的掩膜板是多余的，需要及时拿走，以防对设备带来风险。
如图5所示，为本发明实施例提供的掩膜板存储装置中扫描结果与系统存储结果对比的第三种示意图。掩膜板存储装置包括存储腔10、扫描组件20以及处理器(图未示出)。
存储腔10包括多个存储腔位，在图5中，存储腔包括第一存储腔位11、第二存储腔位12、第三存储腔位13、第四存储腔位14以及第五存储腔位15，存储腔位内放置有备用的掩膜板。
扫描组件20以预设周期T对存储腔10进行扫描，识别每个存储腔位中存放掩膜板的情况。如图5中的1所示，为某个预设周期T内的扫描结果，扫描组件20识别到第一存储腔位11内放置有第一掩膜板31，第二存储腔位12内放置有第六掩膜板36，第三存储腔位13内放置有第三掩膜板33，第四存储腔位14内放置有第四掩膜板34，第五存储腔位15内放置有第五掩膜板35。
如图5中的2所示，为本地存储的掩膜板在位列表，在扫描组件20的扫描结果出来后，处理器将扫描结果1与本地存储的掩膜板在位列表2进行对比，并提示对比结果。
本地存储的掩膜板在位列表2显示第一存储腔位11内放置有第一掩膜板31，第二存储腔位12内放置有第二掩膜板32，第三存储腔位13内放置有第三掩膜板33，第四存储腔位14内放置有第四掩膜板34，第五存储腔位15内放置有第五掩膜板35。
扫描结果1与本地存储的掩膜板在位列表2有异，本地存储的掩膜板在位列表2中，第二存储腔位12内放置的是第二掩膜板32，而扫描结果1中，第二存储腔位12内放置的是第六掩膜板36，即掩膜板存储装置实际存储的掩膜板型号与本地存储的掩膜板在位列表不一致。此时，处理器给出明显的系统提示，提示第二存储腔位12内放置的掩膜板型号错误，需要及时更换，以防对设备带来风险。
如图6所示，为本发明实施例提供的掩膜板存储装置中扫描结果与系统存储结果对比的第四种示意图。掩膜板存储装置包括存储腔10、扫描组件20以及处理器(图未示出)。
存储腔10包括多个存储腔位，在图6中，存储腔包括第一存储腔位11、第二存储腔位12、第三存储腔位13、第四存储腔位14以及第五存储腔位15，存储腔位内放置有备用的掩膜板。
扫描组件20以预设周期T对存储腔10进行扫描，识别每个存储腔位中存放掩膜板的情况。如图6中的1所示，为某个预设周期T内的扫描结果，扫描组件20识别到第一存储腔位11内放置有第一掩膜板31，第二存储腔位12内放置有第六掩膜板36，第三存储腔位13内放置有第三掩膜板33，第五存储腔位15内放置有第五掩膜板35。
如图6中的2所示，为本地存储的掩膜板在位列表，在扫描组件20的扫描结果出来后，处理器将扫描结果1与本地存储的掩膜板在位列表2进行对比，并提示对比结果。
本地存储的掩膜板在位列表2显示第一存储腔位11内放置有第一掩膜板31，第二存储腔位12内放置有第二掩膜板32，第三存储腔位13内放置有第三掩膜板33，第四存储腔位14内放置有第四掩膜板34，第五存储腔位15内放置有第五掩膜板35。
扫描结果1与本地存储的掩膜板在位列表2有异，本地存储的掩膜板在位列表2中，第二存储腔位12内放置的是第二掩膜板32，第四存储腔位14内放置的是第四掩膜板34，而扫描结果1中，第二存储腔位12内放置的是第六掩膜板36，第四存储腔位14内未放置掩膜板，即掩膜板存储装置实际存储的掩膜板型号和位置与本地存储的掩膜板在位列表均不一致。此时，处理器给出明显的系统提示，提示第二存储腔位12内放置的掩膜板型号错误，需要及时更换，且提示第四存储腔位14内未放置掩膜板，需要及时补上，以防对设备带来风险。
如图7所示，为本发明实施例提供的掩膜板存储装置中扫描结果与系统存储结果对比的第五种示意图。掩膜板存储装置包括存储腔10、扫描组件20以及处理器(图未示出)。
存储腔10包括多个存储腔位，在图7中，存储腔包括第一存储腔位11、第二存储腔位12、第三存储腔位13、第四存储腔位14以及第五存储腔位15，存储腔位内放置有备用的掩膜板。
扫描组件20以预设周期T对存储腔10进行扫描，识别每个存储腔位中存放掩膜板的情况。如图7中的1所示，为某个预设周期T内的扫描结果，扫描组件20识别到第一存储腔位11内放置有第一掩膜板31，第二存储腔位12内放置有第二掩膜板36，第三存储腔位13内放置有第三掩膜板33，第四存储腔位14内放置有第四掩膜板34，第五存储腔位15内放置有第五掩膜板35。
如图7中的2所示，为本地存储的掩膜板在位列表，在扫描组件20的扫描结果出来后，处理器将扫描结果1与本地存储的掩膜板在位列表2进行对比，并提示对比结果。
本地存储的掩膜板在位列表2显示第一存储腔位11内放置有第一掩膜板31，第二存储腔位12内放置有第二掩膜板32，第三存储腔位13内放置有第三掩膜板33，第四存储腔位14内放置有第四掩膜板34，第五存储腔位15内放置有第五掩膜板35。
扫描结果1与本地存储的掩膜板在位列表2一致，即掩膜板存储装置实际存储的掩膜板型号和位置与本地存储的掩膜板在位列表均相同。此时，处理器无需给出系统提示，或者提示两者对比结果一致，掩膜板存储装置处于正常运行状态。
如图8所示，本发明实施例还提供一种掩膜板存储管理方法，用于上述任一实施例所述的掩膜板存储装置，该方法包括：
S 10：将掩膜板放入掩膜板存储装置的存储腔中对应的存储腔位中；
S20：用扫描组件以预设周期对存储腔进行扫描，识别每个存储腔位存放掩膜板的情况；
S30：处理器将扫描结果与本地存储的掩膜板在位列表进行对比，并提示对比结果。
下面结合图1至图7对该方法进行具体说明。
在S 10中，将掩膜板放入掩膜板存储装置的存储腔中对应的存储腔位中。在显示面板的生产工艺过程中，需要采用掩膜板对面板进行蒸镀或者曝光作业，在不同的工艺流程中，或者在显示面板不同的区域内，所使用的掩膜板型号不同，因此往往需要多个掩模板同时存在于掩膜板存储装置里面备用，在有需求时换上对应型号的掩膜板。
在显示面板的生产过程中，每道工序所需用的掩膜板的型号是提前设计好的，因此在掩膜板存储装置中，每个存储腔门中是否放置掩膜板、以及放置的掩膜板的型号也有对应的标准，只有在正确的位置放置对应型号的掩膜板，才能保证取放的掩膜板型号满足生产要求。
在S20中，用扫描组件以预设周期对存储腔进行扫描，识别每个存储腔位存放掩膜板的情况。
在显示面板的生产工艺流程中，在存储腔10内放置的掩膜板会被取走，而上道工序用完的掩膜板也会被放入存储腔10内。在正常情况下，掩膜板的取走或放入处于系统的正常传送流程中，即掩膜板取走或放入的位置及型号在系统中有记录。然而，在某些情况下，例如手动取走或放入部分掩膜板，或在掩膜板存储装置进行维护时移动了掩膜板的位置，则系统中对这部分掩膜板取走或放入的位置及型号没有记录，需要手动在系统中添加掩膜板取走或放入的信息。如果未及时添加相关信息，在后续使用过程中，掩膜板的取走或放入会受到影响，误操作的风险逐渐增高，给设备和实验带来越来越高的风险。
此时，需要扫描组件20已预设周期T对存储腔10进行扫描，获取存储腔10内实际放置掩膜板的情况。
在一种实施例中，掩膜板存储装置还包括监测构件(图未示出)，用于监测掩膜板存储装置是否处于非操作状态，并在监测到掩膜板存储装置处于非操作状态时，触发扫描组件20以预设周期T对存储腔10进行扫描。
在掩膜板存储装置处于操作状态时，掩膜板处于频繁的取出或放入操作中，扫描组件20的扫描结果不够准确，且在操作状态时，对掩膜板人工误取或误放的概率较小，因此在掩膜板存储装置处于非操作状态时，扫描结果较准确。
监测掩膜板存储装置是否处于非操作状态，可以在系统中预设一时间，当监测构件在预设时间内，监测到存储腔10中的掩膜板位置未发生变化时，判定掩膜板存储装置已处于非操作状态，此时触发扫描组件20以预设周期T对存储腔10进行扫描。
在一种实施例中，预设周期T为五分钟。即每间隔五分钟，扫描组件20对存储腔10进行扫描一次。
在一种实施例中，扫描组件20设置在存储腔10的腔门上，扫描组件20包括光学传感器或声波传感器中的一种，根据传感器接收到的信号，得到扫描的结果。
在一种实施例中，扫描组件20设置在存储腔位上，扫描组件20包括压力传感器，根据压力传感器接收到的压力信号，得到扫描的结果。
在S30中，处理器将扫描结果与本地存储的掩膜板在位列表进行对比，并提示对比结果。对比结果如图3至图7，有五种情况。
在图3中，经过对比，掩膜板存储装置实际存储的掩膜板数量比本地存储的掩膜板在位列表少，此时处理器给出相应的提示，提醒操作人员将缺少的掩膜板放至对应的位置。
在图4中，经过对比，掩膜板存储装置实际存储的掩膜板数量比本地存储的掩膜板在位列表多，此时处理器给出相应的提示，提醒操作人员将多余的掩膜板移走。
在图5中，经过对比，掩膜板存储装置实际存储的掩膜板型号与本地存储的掩膜板在位列表不一致，此时处理器给出相应的提示，提醒操作人员将相应位置的掩膜板换成正确的型号。
在图6中，经过对比，掩膜板存储装置实际存储的掩膜板型号和位置与本地存储的掩膜板在位列表均不一致，此时处理器给出相应的提示，提醒操作人员将缺少的掩膜板放至对应的位置，将多余的掩膜板移走，将相应位置的掩膜板换成正确的型号。
在一种实施例中，掩膜板存储装置还包括显示屏(图未示出)，显示屏用于显示对比结果。
当扫描结果与本地存储的掩膜板在位列表相同时，显示屏不显示内容，或者显示“正常”，此时表示掩膜板存储装置中的掩膜板没有被进行误操作。
当扫描结果与本地存储的掩膜板在位列表不相同时，显示屏显示“错误”，并对错误的具体情况进行说明，此时表示掩膜板存储装置中的掩膜板被误操作，例如放置的位置与型号不正确等，提醒操作人员进行相应的处理。
在一种实施例中，掩膜板存储装置还包括扬声器(图未示出)，扬声器用于播报对比结果。
当扫描结果与本地存储的掩膜板在位列表相同时，扬声器不播报内容，或者播报“正常”，此时表示掩膜板存储装置中的掩膜板没有被进行误操作。
当扫描结果与本地存储的掩膜板在位列表不相同时，扬声器播报“错误”，并对错误的具体情况进行播报，此时表示掩膜板存储装置中的掩膜板被误操作，例如放置的位置与型号不正确等，提醒操作人员进行相应的处理。
在一种实施例中，扫描组件20与处理器无线连接。
在一种实施例中，扫描组件20与处理器电连接。
根据上述实施例可知：
本发明提供一种掩膜板存储装置和掩膜板存储管理方法，掩膜板存储装置包括存储腔、扫描组件以及处理器，存储腔包括多个存储腔位，用于存放掩膜板；扫描组件用于以预设周期对存储腔进行扫描，识别每个存储腔位中存放掩膜板的情况；处理器用于将扫描结果与本地存储的掩膜板在位列表进行对比，并提示对比结果。通过在掩膜板存储装置内设置扫描组件，可以以预设周期对存储腔内掩膜板的情况进行扫描，处理器将扫描结果与系统存储结果对比后给出相应的提示，减小了因为操作人员未及时检测存储腔内掩膜板状态、未及时处理带来的设备和实验故障风险。
综上所述，虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。
Claims (10)
1.一种掩膜板存储装置，其特征在于，包括：
存储腔，包括多个存储腔位，用于存放掩膜板；
扫描组件，用于以预设周期对所述存储腔进行扫描，识别每个所述存储腔位中存放所述掩膜板的情况；
处理器，用于将扫描结果与本地存储的掩膜板在位列表进行对比，并提示对比结果。
2.如权利要求1所述的掩膜板存储装置，其特征在于，所述掩膜板存储装置还包括监测构件，用于监测所述掩膜板存储装置是否处于非操作状态，并在监测到所述掩膜板存储装置处于非操作状态时，触发所述扫描组件以预设周期对所述存储腔进行扫描。
3.如权利要求1所述的掩膜板存储装置，其特征在于，所述扫描组件设置在所述存储腔的腔门处。
4.如权利要求3所述的掩膜板存储装置，其特征在于，所述扫描组件包括光学传感器。
5.如权利要求3所述的掩膜板存储装置，其特征在于，所述扫描组件包括声波传感器。
6.如权利要求1所述的掩膜板存储装置，其特征在于，所述扫描组件设置在所述多个存储腔位上。
7.如权利要求6所述的掩膜板存储装置，其特征在于，所述扫描组件包括压力传感器。
8.如权利要求1所述的掩膜板存储装置，其特征在于，所述掩膜板存储装置还包括显示屏，所述显示屏用于显示所述对比结果。
9.如权利要求1所述的掩膜板存储装置，其特征在于，所述掩膜板存储装置还包括扬声器，所述扬声器用于播报所述对比结果。
10.如权利要求1所述的掩膜板存储装置，其特征在于，所述扫描组件与所述处理器无线连接。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201910563530.XA CN110348549A (zh) | 2019-06-26 | 2019-06-26 | 掩膜板存储装置 |
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Publications (1)
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ID=68183245
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| CN201910563530.XA Pending CN110348549A (zh) | 2019-06-26 | 2019-06-26 | 掩膜板存储装置 |
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| CN (1) | CN110348549A (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2022028123A1 (zh) * | 2020-08-05 | 2022-02-10 | 长鑫存储技术有限公司 | 掩膜版的存储系统、查询系统、存储方法及计算机设备 |
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2019
- 2019-06-26 CN CN201910563530.XA patent/CN110348549A/zh active Pending
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