CN202443245U

CN202443245U - 一种掩模板及其检测系统

Info

Publication number: CN202443245U
Application number: CN2011205647147U
Authority: CN
Inventors: 董云; 彭志龙
Original assignee: Beijing BOE Optoelectronics Technology Co Ltd
Current assignee: BOE Technology Group Co Ltd
Priority date: 2011-12-29
Filing date: 2011-12-29
Publication date: 2012-09-19
Anticipated expiration: 2021-12-29

Abstract

本实用新型公开了一种掩模板及其检测系统，用以有效避免掩模板切换过程中出现的切换了错误的掩模板的问题。本实用新型公开的掩模板，在该掩模板的两个长边和/或短边，分别设置有卡扣槽。本实用新型还提供了与该掩模板相对应的检测系统，用以检测掩模板切换过程中是否切换了错误的掩模板。

Description

一种掩模板及其检测系统

技术领域

本实用新型涉及掩模板技术领域，尤其涉及一种掩模板及其检测系统。

背景技术

在薄膜晶体管液晶显示器件（Thin Film Transistor Liquid Crystal Display，TFT LCD）和有机电致发光器件（Organic Light Emitting Device，OLED）阵列工艺生产过程中，光刻技术扮演了重要的角色。光刻技术，是将设置好的图案制作成具有特定形状可透光的掩模，利用曝光原理，使光源通过掩模投影至显示器件上，可曝光显示特定的图案。

在阵列工艺过程中，通常一种型号的产品（显示器）需要至少4次以上的成膜、光刻、刻蚀、剥离的循环过程。对单个型号产品而言，每次光刻工艺都需要一个唯一的掩模板存放在曝光设备上。当生产一种型号产品时，曝光设备上一般需储存不止一个掩模板的位置信息；当同时生产多个型号的产品时，曝光设备需储存较多的掩模板的位置信息。在一次阵列工艺过程中存在不同掩模板之间的切换，如果在某一次光刻工艺过程中放错了掩模板，后续受损的产品将是批量性的，造成的损失巨大且无法挽回。

现有的掩模板的光刻工艺的曝光过程如下：

人工确认曝光设备设定位置处存放的掩模板是否正确；

搬送装置将掩模板搬送到用于承载掩模板的设备基台上；

主设备对掩模板实施对位补正；

主设备对掩模板实施曝光作业。

在人工确认掩模板是否正确时，存在主观判断因素，差错不可避免，一旦造成差错，后续工艺受损的产品将是批量性的，将造成巨大损失。

实用新型内容

本实用新型实施例提供了一种掩模板及其检测系统，用以有效避免掩模板切换过程中出现的切换错误的掩模板的问题。

本实用新型实施例提供的一种掩模板，在该掩模板的两个长边和/或短边，分别设置有卡扣槽。

本实用新型实施例提供的一种掩模板的检测系统，用于检测权利要求1至3任一权项所述的掩模板，包括：用于支撑所述掩模板的设备基台、卡件、卡件带动装置、活动装设于卡件上的卡头部、卡头部驱动装置、控制单元，以及第一报警单元；

所述卡件带动装置，用于根据所述控制单元的控制，带动所述卡件从卡件初始纵向位置移动到所述控制单元中预设的掩模板的卡扣槽的纵向位置；

所述卡头部驱动装置，用于根据所述控制单元的控制，带动所述卡头部从卡头部初始横向位置移动到所述控制单元中预设的掩模板的横向位置；

所述第一报警单元，用于当卡头部的抵顶到掩模板边缘时，发出调整掩模板提示信息。

本实用新型实施例提供的一种掩模板，在该掩模板的两个长边和/或短边，分别设置有卡扣槽。本实用新型还提供了与该掩模板相对应的检测系统，当掩模板放置于支撑该掩模板的设备基台上时，所述掩模板检测系统检测所述设备基台上放置的掩模板是否正确，如果放置错误则发出请求调整掩模板的报警，避免人工检测存在的误检，提高检测效率及准确率。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的一种掩模板结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的一种掩模板结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的卡件和卡头部与掩模板位置关系结构示意图；

图4为本实用新型实施例提供的卡件和卡头部与掩模板位置关系结构示意图；

图5为本实用新型实施例提供的卡件和卡头部与掩模板位置关系结构示意图；

图6为本实用新型实施例提供的卡件和卡头部与掩模板位置关系结构示意图。

具体实施方式

本实用新型实施例提供了一种掩模板及其检测系统，用以有效避免掩模板切换过程中出现的切换了错误的掩模板的问题。

本实用新型实施例提供的掩模板及其检测系统可以适用于TFT LCD或OLED。

本实用新型实施例提供的掩模板，在该掩模板的两个长边和/或短边，分别设置有卡扣槽。

较佳地，所述掩模板相对的两个边上的卡扣槽镜像对称。

参见图1，为在两个长边分别设置有一个卡扣槽11的掩模板1。

较佳地，两个卡扣槽11镜像对称。

较佳地，参见图2，卡扣槽11位于掩模板1的外围非像素区域13，图2中阴影部分为掩模板的像素区域。

相应地，本实用新型实施例提供的一种上述掩模板的检测系统，包括：用于支撑所述掩模板的设备基台、卡件带动装置、卡件、活动装设于卡件上的卡头部、卡头部驱动装置、控制单元，以及报警单元，该报警单元为第一报警单元；

所述卡件带动装置，用于根据所述控制单元的控制，带动所述卡件移动到所述控制单元中预设的掩模板的卡扣槽的纵向位置；

所述卡头部驱动装置，用于根据所述控制单元的控制，带动所述卡头部移动到所述控制单元中预设的掩模板的横向位置；

如图3所示，位于掩模板1长边两侧的卡件2为L形空心管，L形卡件2的长边和掩模板1的长边平行，图3中卡件2所处的位置为卡件2相对于设备基台上的掩模板1的初始位置，所示初始位置如图3中所示的a和b处。该卡件2由卡件带动装置（图3中未示出）带动并沿掩模板1的长边方向移动。卡头部3活动装设于卡件2上，卡头部3的一端伸入到L形卡件2的短边，另一端和掩模板1的侧边接触，当卡件2从初始位置沿着掩模板1的侧边移动时，带动卡头部3一起移动。当卡件2按照控制单元中预设参数到达掩模板1侧边某一位置时停止移动，控制单元控制卡头部驱动装置（图3中未示出）驱动卡头部3，按照控制单元中预设的掩模板卡扣槽11所在的位置沿着与卡件2移动方向垂直的方向移动，当控制单元在Δt时间内检测到卡头部3有一定的位移值时，可以确定卡头部3正确伸入掩模板1的卡扣槽11中。当控制单元在Δt时间内检测到卡头部3位移值没有任何变化时，确定设备基台上放置了错误的掩模板，并实施报警，发出调整掩模板1的提示信息。

较佳地，如图4所示，所述掩模板检测系统还包括：装设于掩模板1卡扣槽11中的传感器12，该传感器12为第一传感器，用于感受卡头部3的抵压，并将该感受到的压力信号反馈给控制单元。该传感器12可以为压力传感器，并且该传感器12属于控制单元。

较佳地，所述掩模板检测系统还包括：第二报警单元，当控制单元接收到传感器12反馈的压力信号时，发出无需调整掩模板的提示信息。

需要说明的是，所述第一报警单元和第二报警单元可以为同一报警单元。

较佳地，卡头部驱动装置通过气压或液压的方式，带动卡头部移动。

较佳地，如图5所示，卡头部3上装设有与控制单元（图5中未示出）相连并可抵顶到掩模板边缘的第二压力传感器14。

较佳地，如图6所示，卡头部3与卡件2之间设有与第一报警单元（图6中未示出）电连接以控制第一报警单元发出调整掩模板的行程开关15。

下面通过具体的实施例来说明上述掩模板检测系统是如何检测掩模板是否放置正确的。

实施例一：

本实用新型实施例提供的一种掩模板，如图1所示，在掩模板的两个长边分别设置有一个卡扣槽11。

首先，人工确认本次曝光过程中将要使用的掩模板1，然后，控制单元控制掩模板搬送装置搬送掩模板1，将掩模板1搬送到用于实施曝光的设备基台上，接着，掩模板检测系统开始对掩模板1进行检测。

如图3所示，掩模板检测系统在启动之前，卡件2位于设备基台的初始位置，该初始位置预先设置在控制单元中，所述初始位置位于掩模板1的两长边的最底端或者最顶端，如图3所示的a、b处，初始位置位于掩模板1的两长边的最底端。在掩模板1所处的平面内建立直角坐标系，设卡件2所处的a点为坐标原点，即（0，0）点，则b点为（d，0）点，其中d为掩模板短边的长度。在放置掩模板时，也会按照该初始位置将掩模板放置在设备基台上。

掩模板检测系统启动之后，控制单元先后控制卡件带动装置和卡头部驱动装置，最终将卡头部3移动到控制单元中预设的掩模板卡扣槽所在的位置，具体在坐标系中为（X₀，Y₀）（掩模板1左侧卡扣槽）和（X₁，Y₁）（掩模板1右侧卡扣槽）。如果掩模板相对的两个边上的卡扣槽镜像对称，则（X₀，Y₀）与（X₁，Y₁）的坐标关系为：X₁=X₀+b，Y₀=Y₁。

具体地，如图3所示，掩模板检测系统启动之后，首先，控制单元控制设备基台上的卡件带动装置带动卡件2移动，所述卡件带动装置带动卡件2沿掩模板两个长边方向移动，即沿坐标系的纵向移动，将卡件2由初始位置（0，0）和（b，0）移动到（0，Y₀）和（b，Y₁）点。然后，控制单元控制设备基台上的卡头部驱动装置驱动卡头部3按照控制单元中预设的卡扣槽的位置（X₀，Y₀）和（X₁，Y₁）移动。若掩模板1为放置正确的掩模板时，则卡头部3可以伸入到各自对应的卡扣槽11内，即可以移动到预设的掩模板所在的位置（X₀，Y₀）和（X₁，Y₁）。如果控制单元在Δt时间内检测到卡头部的位移值发生了X₀的变化量时，确定掩模板1为放置正确的掩模板，然后进行后续作业。若掩模板1为放置错误的掩模板时，则卡头部3无法伸入到各自对应的卡扣槽11内，卡头部在（0，Y₀）和（b，Y₁）点不动。控制单元在Δt时间内检测到卡头部3的位移值未发生变化，确定掩模板1为放置错误的掩模板，控制第一报警单元实施报警，发出需要调整掩模板的提示信息。

实施例二：

与实施例一中掩模板检测系统结构相同，并且该掩模板检测系统进一步还包括第二报警单元和装设于掩模板卡扣槽中的第一传感器。

如图4所示，掩模板1的卡扣槽11中各装设有一传感器12，该传感器为第一传感器，当卡头部3伸入到各自对应的卡扣槽11内时，第一传感器12感受到卡头部3的压力信号，并将该压力信号发送给控制单元，控制单元控制第二报警单元发出掩模板放置正确的提示信息。

控制单元在Δt时间内未接收到传感器12的反馈信号时，第二报警单元实施报警，发出需要调整掩模板的提示信息。

实施例三：

与实施例一掩模板检测系统结构相同，并且该掩模板检测系统进一步还包括装设于卡头部与控制单元相连并可抵顶到掩模板边缘的第二压力传感器。当卡头部在卡头部驱动装置的驱动下向控制单元中预设的掩模板卡扣槽中移动时，如果放置了错误的掩模板，则第二压力传感器感受到掩模板边缘的抵压时，向控制单元反馈感受到的压力信号，控制单元根据所述压力信号控制第一报警单元发出无需调整掩模板的提示信息。

实施例四：

与实施例一掩模板检测系统结构相同，并且该掩模板检测系统进一步还包括卡头部与卡件之间设置的与第一报警单元电连接以控制报警单元发出调整掩模板的行程开关。

当卡头部在卡头部驱动装置的驱动下向控制单元中预设的掩模板卡扣槽中移动时，如果放置了错误的掩模板，则第二压力传感器感受到掩模板边缘的抵压时，向控制单元反馈感受到的压力信号，控制单元根据所述压力信号控制卡头部驱动装置驱动卡头部向X轴的负方向移动，与设置于卡头部与卡件之间的行程开关接触，行程开关将结束整个掩模板检测系统。

实施例二中，当掩模板放置正确或放置错误时，控制单元同时根据卡头部位移值的变化量和传感器的反馈信号确定掩模板是否放置正确，减小了掩模板切换过程中出现的切换了错误的掩模板的可能。

需要说明的是，上述实施例一和实施例二中，掩模板的卡扣槽也可以设置在掩模板的短边，或者同时设置在掩模板的长边和短边。

本实用新型实施例提供的一种掩模板，在该掩模板的两个长边和/或短边，分别设置有卡扣槽。本实用新型还提供了与该掩模板相对应的检测系统，包括用于支撑该掩模板的设备基台，该检测系统还包括：用于支撑所述掩模板的设备基台、卡件带动装置、卡件、活动装设于卡件上的卡头部、卡头部驱动装置、控制单元，以及第一报警单元；其中，卡件带动装置通过控制单元的控制，带动卡件移动到控制单元中预设的掩模板的卡扣槽的纵向位置；卡头部驱动装置根据控制单元的控制驱动卡头部，使卡头部移动到控制单元中预设的掩模板的卡扣槽的横向位置，确定掩模板放置正确，或者移动到控制单元中的开关单元的位置，实施请求调整掩模板报警。从而实现检测掩模板切换过程中是否切换了错误的掩模板，避免人工检测存在的误检，提高检测效率及准确率。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims

1.一种掩模板，其特征在于：

在该掩模板的两个长边和/或短边，分别设置有卡扣槽。

2.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述掩模板上的相对的两个边上的卡扣槽镜像对称。

3.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述卡扣槽位于所述掩模板的外围非像素区域。

4.一种掩模板的检测系统，其特征在于，用于检测权利要求1至3任一权项所述的掩模板，所述检测系统包括：用于支撑所述掩模板的设备基台、卡件、卡件带动装置、活动装设于卡件上的卡头部、卡头部驱动装置、控制单元，以及第一报警单元；

5.根据权利要求4所述的检测系统，其特征在于，所述控制单元还包括装设于掩模板卡扣槽中的第一传感器，该第一传感器感受到所述卡头部的抵压时，向控制单元反馈压力信号，控制单元根据所述压力信号控制第一报警单元发出无需调整掩模板的提示信息。

6.根据权利要求5所述的检测系统，其特征在于，所述传感器为压力传感器。

7.根据权利要求4所述的检测系统，其特征在于，所述卡头部驱动装置通过气压或液压的方式带动卡头部移动。

8.根据权利要求4所述的检测系统，其特征在于，所述卡头部上装设有与控制单元相连并可抵顶到掩模板边缘的第二压力传感器。

9.根据权利要求4所述的检测系统，其特征在于，所述卡头部与卡件之间设有与第一报警单元电连接以控制第一报警单元发出调整掩模板的行程开关。