JP2017175029A - ウエハ搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】クランプ部がウエハを把持した状態において、識別装置による識別コードの識別を可能とするウエハ搬送装置を提供する。【解決手段】ウエハ搬送装置は、ウエハの周縁部を把持するクランプ部４１と、クランプ部をウエハの搬送方向に移動させる駆動装置と、当該ウエハの識別コード９４で反射された反射光を受光することにより当該識別コードを識別する識別装置とを備える。ウエハ搬送装置のクランプ部は、識別コードで反射された反射光を透過する材料により形成され、ウエハ９０のうち識別コードが付された周縁部９３ａを把持した状態で識別装置による識別コードの識別を可能とする。【選択図】図４

Description

本発明は、複数のウエハを積層させた状態で収容するマガジンから所定のウエハを取り出して搬送するウエハ搬送装置に関する。

ウエハ搬送装置は、特許文献１に示されるように、例えば部品実装機の部品供給装置の一種としてウエハを供給する装置に適用される。ウエハ搬送装置は、部品供給装置に対して所定のウエハを供給するように要求があった場合に、当該ウエハをマガジンから引き出して、部品実装機がウエハのカット部品（チップ）をピックアップ可能な部品供給位置まで搬送する。

部品供給装置は、マガジンの各スロットにどのウエハが収容されているかについて、例えばマガジン用の設定ファイルに基づいて把握する。部品供給装置は、供給要求により指定されたウエハが対応するスロットから引き出されるようにウエハ搬送装置を制御する。また、ウエハ搬送装置においてマガジンから特定のウエハを引き出す方式としては、例えば特許文献２に示されるように、クランプ部によりウエハの周縁部を把持して移動させる方式が知られている。

特開２０１２−２２２０１０号公報 特開２００５−３１０９７６号公報

ところで、上記のマガジン用の設定ファイルに記録された情報と、実際にマガジンの各スロットに収容されているウエハとが一致しない場合には、供給要求により指定されたウエハと異なるウエハが供給される。そこで、ウエハ搬送装置は、搬送処理において、各ウエハに付された固有の識別コードを識別装置により識別して、識別コードに含まれる識別情報に基づいて、搬送中のウエハが指定されたウエハか否かを判定する。

ここで、クランプ部によりウエハを把持してマガジンから引き出す方式では、ウエハの識別コードがウエハの周縁部に付されていると、当該クランプ部により識別コードが覆われて識別装置が識別コードを識別できない。このような場合には、例えば識別コードを付されたウエハの周縁部がマガジンの外部に出された状態で、クランプ部は、ウエハから一旦退避される。これにより、識別コードが露出され、識別装置は、識別コードを識別可能となる。しかしながら、このような制御を行う場合には、搬送処理における動作の増加に伴うサイクルタイムの延長が懸念される。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、クランプ部がウエハを把持した状態において、識別装置による識別コードの識別を可能とするウエハ搬送装置を提供することを目的とする。

請求項１に係るウエハ搬送装置は、複数のウエハを積層させた状態で収容するマガジンから所定の前記ウエハを取り出して搬送する。前記ウエハの周縁部には、当該ウエハの特定に用いられる識別情報を含む識別コードが付される。前記ウエハ搬送装置は、前記ウエハの前記周縁部を把持するクランプ部と、前記クランプ部を前記ウエハの搬送方向に移動させる駆動装置と、前記マガジンから少なくとも一部が取り出された状態にある前記ウエハを対象として、当該ウエハの前記識別コードで反射された反射光を受光することにより当該識別コードを識別する識別装置と、を備える。前記クランプ部は、前記識別コードで反射された前記反射光を透過する材料により形成され、前記ウエハのうち前記識別コードが付された前記周縁部を把持した状態で前記識別装置による前記識別コードの識別を可能とする。

このような構成によると、クランプ部がウエハの周縁部に付された識別コードを覆うようにウエハを把持した場合に、当該クランプ部を識別コードで反射された反射光が透過する。よって、識別コードがクランプ部に覆われた状態において、クランプ部を一旦開放して退避させることなく、識別装置は、識別コードを識別可能となる。

実施形態における部品実装機の全体を示す斜視図である。 図１の部品実装機の部品供給装置を示す側面図である。 図２のクランプ部およびウエハを示す上面図である。 図３におけるクランプ部および識別コードを示す拡大図である。 ウエハ搬送装置を示すブロック図である。 ウエハ搬送装置によるウエハの搬送処理を示すフロー図である。

以下、本発明のウエハ搬送装置を具体化した実施形態について図面を参照して説明する。実施形態において、部品供給装置の一種としてウエハを供給するウエハ供給装置に、ウエハ搬送装置が適用された構成を例示する。部品供給装置は、回路基板に電子部品を実装する部品実装機の要求に応じて、部品実装機が所定の電子部品をピックアップ可能に供給する。

＜実施形態＞（部品実装機１の全体構成）部品実装機１の構成について、図１および図３を参照して説明する。部品実装機１は、図１に示すように、基板搬送装置２と、部品供給装置３と、部品移載装置４とを備える。以下の説明において、部品実装機１の水平幅方向（図１の左上から右下に向かう方向）をＸ軸方向とし、部品実装機１の水平長手方向（図１の右上から左下に向かう方向）をＹ軸方向とし、Ｘ軸およびＹ軸に垂直な鉛直方向（図１の上下方向）をＺ軸方向とする。

基板搬送装置２は、ベルトコンベアなどにより構成され、回路基板Ｂｄを搬送方向（Ｘ軸方向）へと順次搬送する。基板搬送装置２は、部品実装機１の機内における所定の位置に回路基板Ｂｄを位置決めする。そして、基板搬送装置２は、部品実装機１による実装処理が実行された後に、回路基板Ｂｄを部品実装機１の機外に搬出する。

部品供給装置３は、回路基板Ｂｄに装着される電子部品を供給する。本実施形態において、上記の電子部品には、キャリアテープに所定ピッチで収容された電子部品と、ウエハ９０を部品単位でカットしたチップ９１とが含まれる。キャリアテープは、部品供給装置３の複数のスロットに着脱可能にセットされたフィーダにより送り移動される。これにより、部品供給装置３は、フィーダの先端側の取出し部において電子部品を供給する。また、部品実装機１は、部品供給装置３の一種としてウエハ９０のチップ９１を供給するウエハ供給装置２０を備える。ウエハ供給装置２０の詳細構成については後述する。

ここで、上記のウエハ９０は、図３に示すように、複数のチップ９１と、粘着シート９２と、リングフレーム９３と、バーコード９４（本発明の「識別コード」に相当する）とを有する。複数のチップ９１は、例えばウエハ本体において格子状に多数形成され、粘着シート９２に貼着された状態でレーザーカッタなどにより部品単位にカットされて形成される。

リングフレーム９３は、環状に形成されたプレート部材である。リングフレーム９３は、放射方向に拡大された状態の粘着シート９２を保持する。これにより、複数のチップ９１は、リングフレーム９３の開口部において互いに分離した状態となる。このような構成により、ウエハ９０は、全体形状としてはプレート状からなり、外枠として機能するリングフレーム９３により全体形状が保持されている。

また、ウエハ９０の周縁部（本実施形態においては、リングフレーム９３）には、当該ウエハ９０の特定に用いられる識別コードが付される。識別コードとしては、バーコードや二次元コード、文字列、模様、色彩またはこれらの結合体の何れでも採用し得る。本実施形態において、識別コードは、図３に示すように、線幅および線同士の間隔が異なる複数の棒線を平行に配置して構成されるバーコード９４を採用する。

部品移載装置４は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動可能に構成される。部品移載装置４は、部品実装機１の長手方向の後部側（図１の右上側）から前部側の部品供給装置３の上方にかけて配置されている。部品移載装置４は、ヘッド駆動装置１１および実装ヘッド１２を備える。ヘッド駆動装置１１は、直動機構により移動台をＸＹ軸方向に移動可能に構成されている。実装ヘッド１２は、ヘッド駆動装置１１の移動台に着脱可能に設けられている。

また、実装ヘッド１２には、複数の吸着ノズル１３が着脱可能に設けられる。実装ヘッド１２は、Ｚ軸と平行なＲ軸回りに回転可能に、且つ昇降可能に各吸着ノズル１３を支持する。各吸着ノズル１３は、実装ヘッド１２に対する昇降位置や角度、負圧の供給状態を制御される。各吸着ノズル１３は、負圧を供給されることにより、フィーダの取出し部において供給される電子部品、およびウエハ供給装置２０により供給されたウエハ９０のチップ９１を吸着して保持する。

（ウエハ供給装置２０の詳細構成）ウエハ供給装置２０は、図２および図５に示すように、記憶装置２１と、マガジン３０と、ウエハ搬送装置４０と、突き上げ装置８０とを備える。記憶装置２１は、マガジン３０の各スロットにどのウエハ９０が収容されているかが記録されたマガジン用の設定ファイルなどを記憶する。

マガジン３０は、ハウジング３１と、ウエハストッカ３２と、ストッカ昇降装置３３とを備える。ハウジング３１は、直方体状に形成される。ハウジング３１は、外周面のうち部品移載装置４が電子部品をピックアップする部品供給位置Ｐｓに面する部位に、ウエハ９０を搬入および搬出可能なスリット３１ａが形成される。

ウエハストッカ３２は、ハウジング３１の内部に昇降可能に設けられる。ウエハストッカ３２は、複数のウエハ９０を積層させた状態で収容する。より詳細には、ウエハストッカ３２は、Ｚ軸方向に等間隔に配置された複数のスロットが形成されており、各スロットにウエハ９０がＹ軸方向に摺動可能に収容される。

ストッカ昇降装置３３は、ハウジング３１の内部においてウエハストッカ３２を昇降可能に配置される。ストッカ昇降装置３３は、ハウジング３１に対して昇降可能に設けられたウエハストッカ３２を支持する。ストッカ昇降装置３３は、例えばモータとボールねじ機構により構成され、ハウジング３１に対してウエハストッカ３２を所定の上下方向位置に昇降させる。

このような構成により、マガジン３０は、制御指令に基づいてウエハストッカ３２を昇降させ、所定のウエハ９０をハウジング３１のスリット３１ａから搬出可能とする。同様に、マガジン３０は、ウエハストッカ３２の空きスロットをハウジング３１のスリット３１ａに対応する上下方向位置に位置決めすることにより、当該空きスロットにウエハ９０を搬入可能とする。

ウエハ搬送装置４０は、マガジン３０から所定のウエハ９０を取り出して搬送する。ウエハ搬送装置４０は、図２、図３、および図５に示すように、クランプ部４１と、アーム４２と、ウエハテーブル４３と、駆動装置５０と、識別装置６０と、制御装置７０とを備える。クランプ部４１は、ウエハストッカ３２に収容された複数のウエハ９０のうち、ハウジング３１のスリット３１ａに対応する上下方向位置にあるウエハ９０の前側周縁部９３ａを把持可能に構成される。クランプ部４１の詳細構成については後述する。

アーム４２の基端部は、駆動装置５０に固定される。アーム４２の先端部は、クランプ部４１を支持する。ウエハテーブル４３は、部品移載装置４が電子部品（チップ９１）をピックアップ可能な部品供給位置Ｐｓに配置される。ウエハテーブル４３は、上方に搬送されたウエハ９０のリングフレーム９３を保持可能に構成される。

駆動装置５０は、アーム４２を介してクランプ部４１を搬送方向（図２の左右方向）に移動させるローダである。また、駆動装置５０は、クランプ部４１に設けられたアクチュエータ（図示しない）を作動させて、クランプ部４１の把持状態と開放状態を切り換える。駆動装置５０は、スライド本体５１と、ガイドレール５２と、無端ベルト５３と、サーボモータ５４とを有する。

駆動装置５０のスライド本体５１は、アーム４２の基端部を支持する。スライド本体５１は、Ｙ軸方向に延びるガイドレール５２によって、搬送方向に沿って移動可能に案内される。また、スライド本体５１は、無端ベルト５３の一部に固定される。無端ベルト５３は、一対のプーリ（図示しない）に懸架され、一方のプーリの回転軸に連結されたサーボモータ５４の駆動により回転する。

このような構成により、駆動装置５０は、制御指令に基づいてサーボモータ５４を駆動させて、無端ベルト５３、スライド本体５１、およびアーム４２を介してクランプ部４１を搬送方向に往復移動させる。駆動装置５０は、上記の搬送動作に加えて、クランプ部４１の把持状態と開放状態を切り換える把持動作を同期させて、マガジン３０から引き出したウエハ９０をウエハテーブル４３まで搬出し、またウエハテーブル４３からマガジン３０にウエハ９０を搬入する。

識別装置６０は、マガジン３０から少なくとも一部が取り出された状態にあるウエハ９０を対象として、当該ウエハ９０のバーコード９４で反射された反射光を受光することによりバーコード９４を識別して、バーコード９４に含まれる識別情報を読み取る。識別装置６０は、図２に示すように、ハウジング３１の外周面のうちスリット３１ａが形成された外周面の上部に設けられる。

識別装置６０は、バーコード９４で反射された反射光を受光するセンサ部６１を備える。このような構成により、識別装置６０は、図３に示すように、ハウジング３１のスリット３１ａに隣接する識別領域Ｒｓにおいて、バーコード９４を識別可能としている。つまり、識別装置６０は、マガジン３０から一部が引き出された状態にあるウエハ９０を対象として、当該ウエハ９０に付されたバーコード９４の識別情報を読み取る。

制御装置７０は、主として、ＣＰＵや各種メモリ、制御回路により構成される。制御装置７０は、インターフェース回路を介して駆動装置５０および識別装置６０と接続され、ウエハ搬送装置４０によるウエハ９０の搬送処理を制御する。制御装置７０は、図５に示すように、搬送制御部７１と、コード有無判定部７２とを備える。搬送制御部７１は、ウエハ供給装置２０の制御指令に基づいて、ウエハ搬送装置４０によるウエハ９０の搬送処理を実行する。

具体的には、搬送制御部７１は、駆動装置５０の動作を制御して、クランプ部４１によるウエハ９０の把持および開放を切り換えるとともに、クランプ部４１に把持されたウエハ９０をマガジン３０とウエハテーブル４３との間で移動させる。また、搬送制御部７１は、識別装置６０の動作を制御して、マガジン３０から引き出したウエハ９０を特定し、このウエハ９０と供給要求により指定されたウエハとを照合する。当該照合処理を含むウエハ搬送装置４０による搬送処理の詳細については後述する。

コード有無判定部７２は、クランプ部４１が把持したウエハ９０の周縁部にバーコード９４が付されているか否かを判定する。より具体的には、識別装置６０は、制御装置７０による制御指令に基づいて、識別領域Ｒｓに光を照射し、センサ部６１により反射光を受光して識別を行う。コード有無判定部７２は、この識別の結果に基づいて、識別情報が読み取られた場合にはバーコード９４が付されていたものと判定し、それ以外の場合にはバーコード９４が付されていなかったものと判定する。

突き上げ装置８０は、図２に示すように、部品供給位置Ｐｓにおいて、ウエハ搬送装置４０の下方の基台に設けられる。突き上げ装置８０は、ピン昇降装置８１と、ピン部材８２とを備える。ピン昇降装置８１は、ＸＹロボットに支持され、部品供給位置ＰｓにおいてＸ軸方向（図２の前後方向）およびＹ軸方向（図２の左右方向）に移動可能に設けられる。また、ピン昇降装置８１は、Ｚ軸方向に延びるピン部材８２を支持する。

突き上げ装置８０は、ウエハテーブル４３に保持されたウエハ９０における所定のＸＹ位置にある部位を下方から突き上げる。ウエハ９０のうち当該所定のＸＹ位置にあるチップ９１は、ピン部材８２の突き上げによって粘着シート９２から剥離される。そして、チップ９１は、負圧を供給された状態にある吸着ノズル１３によりピックアップされる。

このような構成からなるウエハ供給装置２０は、制御指令に基づいてウエハ９０の供給処理を実行する。ウエハ９０の供給処理には、マガジン３０によるウエハストッカ３２の昇降処理、ウエハ搬送装置４０によるウエハ９０の搬送処理、突き上げ装置８０による所定のチップ９１の剥離処理などが含まれる。

（クランプ部４１の詳細構成）クランプ部４１は、図２に示すように、ウエハ９０の周縁部（リングフレーム９３）を上下方向から挟み込むことにより、ウエハ９０を把持する。クランプ部４１は、識別装置６０により照射した光のうちウエハ９０のバーコード９４で反射した反射光を透過する材料により形成される。

つまり、クランプ部４１は、識別装置６０が識別のために可視光を照射する場合には、当該可視光を透過可能な透明の材料により形成される。透明の材料としてはアクリル樹脂やガラスなど種々のものが適用可能である。本実施形態においては、クランプ部４１は、アクリル樹脂により形成される。このような構成により、クランプ部４１は、ウエハ９０のうちバーコード９４が付された周縁部を把持した状態で識別装置６０によるバーコード９４の識別を可能とする。

また、図４に示すように、クランプ部４１のうちウエハ９０の周縁部と対向する把持面４１ａの面積Ｓｐは、バーコード９４の面積Ｓｃよりも大きく設定される。これにより、ウエハ９０のうちバーコード９４が付された周縁部をクランプ部４１が把持した場合に、バーコード９４の全体がクランプ部４１に覆われた状態となる。このような状態では、バーコード９４で反射された反射光は、全てクランプ部４１を透過する。

ここで、上記のようにバーコード９４が透明のクランプ部４１に把持されると、透過光により視認されるバーコード９４の見かけの形状は、クランプ部４１の形状や屈折率などに応じて歪む。そこで、クランプ部４１は、図３に示すように、識別装置６０がバーコード９４を識別可能な領域（識別領域Ｒｓ）に対して、幅方向の中央に配置される。上記の「幅方向」は、ウエハ９０の周縁部を含む平面（即ちリングフレーム９３の上面）においてウエハ９０の搬送方向に直交する方向（図３の左右方向）と定義される。以下では、識別装置６０がバーコード９４を走査する識別領域Ｒｓにおける上記の幅方向を「走査幅方向」と称する。

このような構成により、バーコード９４で反射された反射光のうちクランプ部４１の走査幅方向の両端部を透過した反射光は、センサ部６１までの光路長さが同程度となる。これにより、識別装置６０がバーコード９４を識別する際に、バーコード９４の両端部では同程度の歪み量となり、その歪み量は、識別領域Ｒｓに対してクランプ部４１が走査幅方向に偏って配置された場合の最大歪み量と比較して小さくなる。

（ウエハ搬送装置４０によるウエハの搬送処理）部品実装機１は、電子部品の実装処理の実行において、所定のチップ９１の装着が必要となった場合に、部品供給装置３であるウエハ供給装置２０に対して、対応するチップ９１の供給を要求する。ウエハ供給装置２０は、先ず、供給要求により指定されたウエハ９０をマガジン３０から部品供給位置Ｐｓまで搬送する。次に、ウエハ供給装置２０は、突き上げ装置８０により所定のチップ９１を下方から突き上げて、当該チップ９１をピックアップ可能な状態とする。

部品実装機１の部品移載装置４は、部品供給位置Ｐｓにおいて供給されたチップ９１の座標位置に係る情報をウエハ供給装置２０から入力し、当該情報に基づいて吸着ノズル１３を移動させてチップ９１を吸着する。このようなウエハ供給装置２０によるウエハ９０の供給処理において、ウエハ搬送装置４０は、図６に示すように、ウエハ９０の搬送処理を実行する。

ここで、ウエハ９０のリングフレーム９３は、ウエハ９０の周縁部に相当する。また、ウエハ９０の特定に用いられる識別情報を含む識別コード（バーコード９４）は、ウエハ９０の周縁部（リングフレーム９３）のうち搬送方向（図３の上下方向）の前側周縁部９３ａまたは後側周縁部９３ｂの少なくとも一方に付されるものとする。

ウエハ９０の搬送処理において、先ず、搬送制御部７１は、マガジン３０のスリット３１ａに対応する上下方向位置に移動されたウエハ９０を所定量だけ引き出す（ステップ１１（以下、「ステップ」を「Ｓ」と表記する））。これにより、ウエハ９０の前側周縁部９３ａは、クランプ部４１に把持された状態で識別装置６０の識別領域Ｒｓの内部に収まるように位置決めされる（図３を参照）。このとき、クランプ部４１は、上記のようにウエハ９０がマガジン３０から取り出された場合に、ウエハ９０の前側周縁部９３ａを把持した状態を維持する。

次に、識別装置６０は、ウエハ９０に付されたバーコード９４の識別処理を実行する（Ｓ１２）。詳細には、識別装置６０は、照明用のＬＥＤにより光をバーコード９４に対して照射する。照射された光は、クランプ部４１を透過してバーコード９４で反射され、再びクランプ部を透過する。識別装置６０は、センサ部６１により反射光を受光してバーコード９４を走査する。

バーコード９４の走査によりウエハ９０のリングフレーム９３にバーコード９４が正常に付されている場合には、当該バーコード９４は、識別装置６０により識別されて、識別情報を読み取られる。続いて、コード有無判定部７２は、クランプ部４１が把持したウエハ９０の前側周縁部９３ａにバーコード９４が付されているか否かを、識別装置６０による識別の結果に基づいて判定する（Ｓ１３）。

コード有無判定部７２は、識別処理（Ｓ１２）において、バーコード９４に含まれる識別情報が読み取られた場合には、ウエハ９０の前側周縁部９３ａにバーコード９４が付されていると判定する（Ｓ１３：Ｙｅｓ）。一方で、コード有無判定部７２は、識別処理（Ｓ１２）において、識別情報が読み取られなかった場合には、ウエハ９０の前側周縁部９３ａにバーコード９４が付されていないと判定する（Ｓ１３：Ｎｏ）。

搬送制御部７１は、クランプ部４１を搬送方向に移動させて、クランプ部４１が把持しているウエハ９０をさらに引き出す（Ｓ１４）。これにより、ウエハ９０の後側周縁部９３ｂは、識別装置６０の識別領域Ｒｓの内部に収まるように位置決めされる。識別装置６０は、後側周縁部９３ｂに付されたバーコード９４の識別処理を実行する（Ｓ１５）。続いて、コード有無判定部７２は、ウエハ９０の後側周縁部９３ｂにバーコード９４が付されているか否かを、識別処理（Ｓ１５）の結果に基づいて判定する（Ｓ１６）。

後側周縁部９３ｂに対する識別処理（Ｓ１５）およびバーコード９４の有無の判定（Ｓ１６）は、前側周縁部９３ａに対する識別処理（Ｓ１２）およびバーコード９４の有無の判定（Ｓ１３）と実質的に同一であるため、詳細な説明を省略する。ここで、後側周縁部９３ｂにバーコード９４が付されていないと判定された場合には（Ｓ１６：Ｎｏ）、ウエハ９０は、前側周縁部９３ａにも後側周縁部９３ｂにもバーコード９４が正常に付されていないなどの状態にある。

そのため、ウエハ搬送装置４０は、エラー処理（Ｓ１７）を実行して、搬送処理を終了する。上記のエラー処理（Ｓ１７）としては、引き出したウエハ９０と、供給要求により指定されたウエハとが一致するか否かが不明である旨をウエハ供給装置２０に対して通知することが含まれる。当該通知を入力したウエハ供給装置２０は、例えばウエハストッカ３２に同種のウエハ９０が収容されている場合には、当該ウエハ９０で代替してもよい。また、ウエハ供給装置２０は、他のウエハで代替できない場合には、指定のチップ９１を供給できない旨を部品実装機１に通知する。

搬送制御部７１は、ウエハ９０の前側周縁部９３ａまたは後側周縁部９３ｂの何れかに付されたバーコード９４の識別処理（Ｓ１２，Ｓ１５）によって、識別情報を読み取れた場合には（Ｓ１３：Ｙｅｓ，Ｓ１６：Ｙｅｓ）、ウエハ９０の照合処理を実行する（Ｓ２１）。具体的には、搬送制御部７１は、読み取りにより取得した識別情報に基づいて、マガジン３０から引き出されたウエハ９０と、ウエハ供給装置２０が供給要求により指定されたウエハとを照合する。

続いて、マガジン３０から引き出されたウエハ９０が供給要求により指定されたウエハと相違する場合には（Ｓ２２：Ｎｏ）、ウエハ搬送装置４０は、エラー処理（Ｓ１７）を実行して、搬送処理を終了する。上記のエラー処理（Ｓ１７）としては、引き出したウエハ９０と、供給要求により指定されたウエハとが不一致である旨をウエハ供給装置２０に対して通知することが含まれる。当該通知を入力したウエハ供給装置２０の動作については、バーコード９４が付されていないと判定された場合（Ｓ１６：Ｎｏ）におけるウエハ供給装置２０の動作と同様である。

一方で、マガジン３０から引き出されたウエハ９０が供給要求により指定されたウエハと一致する場合には（Ｓ２２：Ｙｅｓ）、搬送制御部７１は、駆動装置５０の動作を制御して、クランプ部４１が把持しているウエハ９０を部品供給位置Ｐｓまで搬送する（Ｓ２３）。以上により、ウエハ搬送装置４０は、ウエハ９０の搬送処理を終了する。

（実施形態の構成による効果）本実施形態のウエハ搬送装置４０は、複数のウエハ９０を積層させた状態で収容するマガジン３０から所定のウエハ９０を取り出して搬送する。ウエハ９０の周縁部には、当該ウエハ９０の特定に用いられる識別情報を含む識別コード（バーコード９４）が付される。ウエハ搬送装置４０は、ウエハ９０の周縁部を把持するクランプ部４１と、クランプ部４１をウエハ９０の搬送方向に移動させる駆動装置５０と、マガジン３０から少なくとも一部が取り出された状態にあるウエハ９０を対象として、当該ウエハ９０の識別コードで反射された反射光を受光することにより当該識別コードを識別する識別装置６０と、を備える。クランプ部４１は、識別コードで反射された反射光を透過する材料により形成され、ウエハ９０のうち識別コードが付された周縁部を把持した状態で識別装置６０による識別コードの識別を可能とする。

このような構成によると、クランプ部４１がウエハ９０の周縁部に付されたバーコード９４を覆うようにウエハ９０を把持した場合に、当該クランプ部４１をバーコード９４で反射された反射光が透過する。よって、バーコード９４がクランプ部４１に覆われた状態において、クランプ部４１を一旦開放して退避させることなく、識別装置６０は、バーコード９４を識別可能となる。

従って、ウエハ９０の搬送処理において、マガジン３０から引き出されたウエハ９０が、供給要求により指定されたウエハ９０か否かを判定する場合に（Ｓ２１，Ｓ２２）、クランプ部４１による把持状態を維持して当該判定をすることができる。これにより、サイクルタイムの延長が抑制される。

また、クランプ部４１のうちウエハ９０の周縁部と対向する把持面４１ａの面積Ｓｐは、識別コード（バーコード９４）の面積Ｓｃよりも大きく設定される（図４を参照）。ウエハ９０のうち識別コードが付された周縁部をクランプ部４１が把持した場合に、識別コードの全体がクランプ部４１に覆われた状態とされる。

このような構成によると、クランプ部４１がウエハ９０を把持した状態において、バーコード９４がクランプ部４１の端部により区切られない。これにより、バーコード９４で反射した反射光は、クランプ部４１の屈折率に応じた光路でクランプ部４１を透過する。よって、バーコード９４の見かけの形状は、全体として歪みが抑制された状態で視認可能となる。従って、識別装置６０によるバーコード９４の識別精度が向上する。

また、クランプ部４１は、識別装置６０が識別コード（バーコード９４）を識別可能な領域（識別領域Ｒｓ）に対して、ウエハ９０の周縁部を含む平面においてウエハ９０の搬送方向に直交する幅方向（本実施形態の走査幅方向）の中央に配置される。このような構成によると、走査幅方向において、バーコード９４で反射した反射光がクランプ部４１を透過することによるバーコード９４の最大歪み量が小さくなる。これにより、バーコード９４の識別精度が向上する。

また、識別コード（バーコード９４）は、ウエハ９０の前側周縁部９３ａのうち搬送方向の前側周縁部９３ａおよび搬送方向の後側周縁部９３ｂの少なくとも一方に付される。クランプ部４１は、ウエハ９０がマガジン３０から取り出される場合に当該ウエハ９０の前側周縁部９３ａを把持する。ウエハ搬送装置４０は、クランプ部４１が把持した前側周縁部９３ａに識別コードが付されているか否かを、識別装置６０による識別の結果に基づいて判定する判定部（コード有無判定部７２）をさらに備える。識別装置６０は、判定部により前側周縁部９３ａに識別コードが付されていないと判定された場合に、後側周縁部９３ｂに付された識別コードを識別する。

このような構成によると、クランプ部４１がウエハ９０の前側周縁部９３ａを把持した状態でバーコード９４の有無を判定することが可能となる（Ｓ１３）。そして、前側周縁部９３ａにバーコード９４が付されていない場合にのみ後側周縁部９３ｂを識別領域Ｒｓまで移動させるようにウエハ９０を搬送するので、搬送処理におけるウエハ９０の照合処理などの効率を向上できる。

また、クランプ部４１の材料は、アクリル樹脂またはガラスである。このような構成によると、クランプ部４１は、確実に可視光を透過させる。また、クランプ部４１を安価に形成することが可能であり、製造コストを低減できる。また、均一な密度での形成が容易であり、歪みの小さなクランプ部４１を形成することができる。

＜実施形態の変形態様＞（ウエハについて）実施形態において、ウエハ９０は、複数のチップ９１が貼着された粘着シート９２を、リングフレーム９３が保持して構成される。これに対して、ウエハは、マガジン３０に積層された状態で複数収容されるものであれば、ウエハ搬送装置４０の搬送対象となる。よって、ウエハは、例えば粘着シート９２やリングフレーム９３を有しない構成としてもよい。当該構成において、識別コードは、ウエハ本体の周縁部に付される。

また、実施形態において、ウエハ９０に付される識別コードは、バーコード９４を採用する。これに対して、識別コードとしては、二次元コード、文字列、模様、色彩またはこれらの結合体の何れでも採用し得る。例えば、二次元コードを採用する識別コードは、複数の単位セルをマトリックス形状に配列されて構成され、ウエハの特定に用いられる識別情報を含む。

（クランプ部について）実施形態において、クランプ部４１の各部位における把持方向（図２の上下方向）の厚みは、走査幅方向の全域に亘って一定となるように設定される。これに対して、クランプ部４１の各部位における把持方向の厚みは、各部位から識別装置６０のセンサ部６１までの距離に応じて設定される構成としてもよい。

具体的には、クランプ部４１は、例えば、中央部から両端部側に向かうに従って、徐々に厚みが増すように設定される。このとき、クランプ部４１の上面は、平面状または曲面状をなすように形成される。また、識別装置６０のセンサ部６１に対してクランプ部４１が走査幅方向の中央に配置されていない場合には、クランプ部４１は、例えば、センサ部６１に近接する側の端部から他方側の端部に向かうに従って、徐々に厚みが増すように設定される。このような構成によると、例えば歪み量を補正するようにクランプ部４１の把持方向の厚みが設定されることにより、視認される識別コードの歪み量が調整される。これにより、識別装置６０は、好適に識別コードを識別可能となり、確実に識別情報を読み取ることができる。

また、実施形態において、ウエハ９０の周縁部に相当するリングフレーム９３は、例えば金属の材料により形成される。これに対して、ウエハ９０は、上述したようにリングフレーム９３を有しない構成、またはリングフレーム９３が可撓性を有する硬度の低い材料（例えば樹脂材料）により形成される構成を採用し得る。このような場合には、ウエハ９０の収容状態において、識別コードが付されるウエハ９０の周縁部が撓んでいることがある。

そこで、以下のような構成を採用してもよい。即ち、クランプ部４１の硬度は、ウエハ９０の前側周縁部９３ａの硬度よりも高く設定される。さらに、クランプ部４１の把持面４１ａは、平面状に形成される。このような構成によると、ウエハ９０の周縁部は、クランプ部４１に把持されることによって、平面状に伸ばされた状態となる。これにより、識別コードの歪みが小さくなり、識別装置６０による識別コードの識別精度が向上する。

（制御装置７０について）上述したように、識別コードとしては、例えば二次元コードなどを採用し得る。このような場合には、識別装置６０は、識別コードを識別し識別情報を読み取る際に、画像処理を必要とする。そこで、このような識別コードがウエハ９０に付される場合に、識別装置６０は、図５に示すように、画像変換部６５と、画像処理部６６と、情報取得部６７とを備える構成としてもよい。

画像変換部６５は、識別コードで反射された反射光を画像に変換する。画像処理部６６は、クランプ部４１の形状および屈折率に基づいて予め設定されている補正値を用いて画像の歪みを補正する。情報取得部６７は、補正後の画像に基づいて識別情報を読み取る。このような構成によると、画像処理部６６は、クランプ部４１の屈折率に応じて歪む識別コードについて補正処理を実行する。これにより、予め想定される歪み量を画像に反映させることができるので、識別装置６０による識別コードの識別精度が向上する。

（その他）実施形態において、ウエハ搬送装置４０は、部品実装機１の部品供給装置３の一種であるウエハ供給装置２０に適用される。これに対して、ウエハ搬送装置は、複数のウエハを積層させた状態で収容するマガジンから所定のウエハを取り出して搬送し、当該搬送の途中で識別コードの識別を必要とする装置に適用することができる。

また、実施形態において、識別コードで反射されクランプ部４１を透過する反射光は、可視光である。これに対して、反射光は、識別装置６０のセンサ部６１が受光可能であれば可視光以外の例えば赤外線としてもよい。このような構成において、クランプ部４１は、実施形態と同様に、反射光を透過する材料により形成される。

１：部品実装機、 ３：部品供給装置２０：ウエハ供給装置３０：マガジン４０：ウエハ搬送装置、 ４１：クランプ部、 ４１ａ：把持面５０：駆動装置６０：識別装置、 ６１：センサ部６５：画像変換部、 ６６：画像処理部、 ６７：情報取得部７０：制御装置、 ７２：コード有無判定部（判定部）９０：ウエハ９３：リングフレーム、 ９３ａ：前側周縁部、 ９３ｂ：後側周縁部９４：バーコード（識別コード）Ｒｓ：識別領域、 Ｂｄ：回路基板、 Ｐｓ：部品供給位置

Claims (8)

1. 複数のウエハを積層させた状態で収容するマガジンから所定の前記ウエハを取り出して搬送するウエハ搬送装置であって、前記ウエハの周縁部には、当該ウエハの特定に用いられる識別情報を含む識別コードが付され、前記ウエハ搬送装置は、前記ウエハの前記周縁部を把持するクランプ部と、前記クランプ部を前記ウエハの搬送方向に移動させる駆動装置と、前記マガジンから少なくとも一部が取り出された状態にある前記ウエハを対象として、当該ウエハの前記識別コードで反射された反射光を受光することにより当該識別コードを識別する識別装置と、を備え、前記クランプ部は、前記識別コードで反射された前記反射光を透過する材料により形成され、前記ウエハのうち前記識別コードが付された前記周縁部を把持した状態で前記識別装置による前記識別コードの識別を可能とするウエハ搬送装置。
2. 前記クランプ部のうち前記ウエハの前記周縁部と対向する把持面の面積は、前記識別コードの面積よりも大きく設定され、前記ウエハのうち前記識別コードが付された前記周縁部を前記クランプ部が把持した場合に、前記識別コードの全体が前記クランプ部に覆われた状態とされる、請求項１に記載のウエハ搬送装置。
3. 前記クランプ部は、前記識別装置が前記識別コードを識別可能な領域に対して、前記ウエハの前記周縁部を含む平面において前記ウエハの搬送方向に直交する幅方向の中央に配置される、請求項１または２に記載のウエハ搬送装置。
4. 前記識別装置は、前記識別コードで反射された前記反射光を受光するセンサ部を有し、前記クランプ部の各部位における把持方向の厚みは、前記各部位から前記識別装置の前記センサ部までの距離に応じて設定される、請求項１〜３の何れか一項に記載のウエハ搬送装置。
5. 前記識別コードは、前記ウエハの前記周縁部のうち搬送方向の前側周縁部および搬送方向の後側周縁部の少なくとも一方に付され、前記クランプ部は、前記ウエハが前記マガジンから取り出される場合に当該ウエハの前記前側周縁部を把持し、前記ウエハ搬送装置は、前記クランプ部が把持した前記前側周縁部に前記識別コードが付されているか否かを、前記識別装置による識別の結果に基づいて判定する判定部をさらに備え、前記識別装置は、前記判定部により前記前側周縁部に前記識別コードが付されていないと判定された場合に、前記後側周縁部に付された前記識別コードを識別する、請求項１〜４の何れか一項に記載のウエハ搬送装置。
6. 前記識別装置は、前記識別コードで反射された前記反射光を画像に変換する画像変換部と、前記クランプ部の形状および屈折率に基づいて予め設定されている補正値を用いて前記画像の歪みを補正する画像処理部と、補正後の前記画像に基づいて前記識別情報を取得する情報取得部と、を有する請求項１〜５の何れか一項に記載のウエハ搬送装置。
7. 前記クランプ部の硬度は、前記ウエハの前記周縁部の硬度よりも高く設定され、前記クランプ部のうち前記ウエハの前記周縁部と対向する把持面は、平面状に形成される、請求項１〜６の何れか一項に記載のウエハ搬送装置。
8. 前記クランプ部の前記材料は、アクリル樹脂またはガラスである、請求項１〜７の何れか一項に記載のウエハ搬送装置。