JP2020119914A

JP2020119914A - 搬送装置および搬送方法

Info

Publication number: JP2020119914A
Application number: JP2019006934A
Authority: JP
Inventors: 祐太黒澤; Yuta Kurosawa
Original assignee: Lintec Corp
Current assignee: Lintec Corp
Priority date: 2019-01-18
Filing date: 2019-01-18
Publication date: 2020-08-06

Abstract

【課題】保持部材で被搬送体の被照射面を保持して搬送する場合でも、被照射面にエネルギー線を照射することができる搬送装置および搬送方法を提供すること。【解決手段】搬送装置ＥＡは、第１支持手段３０に支持された被搬送体ＷＫを第２支持手段４０に搬送する搬送手段１０を備え、搬送手段１０は、エネルギー線を透過する保持部材１３を備え、保持部材１３で被搬送体ＷＫを保持して搬送する。【選択図】図１

Description

本発明は、搬送装置および搬送方法に関する。

従来、保持部材で被搬送体を保持して搬送する搬送装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００９−２９７６３６号公報

しかしながら、特許文献１に記載された多関節ロボット１２（搬送装置）は、接着シートＳが貼付された半導体ウエハＷ（被搬送体）における接着シート面（被照射面）の反対側の面を吸着アーム１５（保持部材）で保持する構成のため、保持部材で被搬送体の被照射面を保持して搬送する場合、保持部材が邪魔して被照射面にエネルギー線を照射することができないという不都合がある。

本発明の目的は、保持部材で被搬送体の被照射面を保持して搬送する場合でも、被照射面にエネルギー線を照射することができる搬送装置および搬送方法を提供することにある。

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

本発明によれば、エネルギー線を透過する保持部材で被搬送体を保持するため、保持部材で被搬送体の被照射面を保持して搬送する場合でも、被照射面にエネルギー線を照射することができる。

（Ａ）、（Ｂ）は、本発明の一実施形態に係る搬送装置の説明図。

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。

図１において、搬送装置ＥＡは、第１支持手段３０に支持された被搬送体ＷＫを第２支持手段４０に搬送する搬送手段１０を備え、搬送手段１０で搬送される被搬送体ＷＫの被照射面ＷＫ１にエネルギー線としての紫外線を照射するエネルギー線照射手段２０の近傍に配置され、当該エネルギー線照射手段２０とで照射装置ＥＡ１を構成している。
なお、被搬送体ＷＫは、被着体ＷＦの一方の面に接着シートＡＳが貼付されたもので、接着シートＡＳ面が被照射面ＷＫ１となっている。

搬送手段１０は、駆動機器としてのリニアモータ１１と、そのスライダ１１Ａに支持された駆動機器としての直動モータ１２と、その出力軸１２Ａにブラケット１２Ｂを介して支持され、紫外線を透過する保持部材１３とを備え、保持部材１３で被搬送体ＷＫを保持して搬送する。
保持部材１３は、ガラスや樹脂等の光を透過する透明または半透明な部材で形成され、その下面が減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段１３Ａによって吸着保持が可能な保持面１３Ｂとされている。

エネルギー線照射手段２０は、紫外線を発光可能な高圧水銀ランプやＬＥＤ（発光ダイオード、Light Emitting Diode）ランプ等の発光手段２１と、発光手段２１が発した紫外線を集光する反射板やレンズ等の集光手段２２と、発光手段２１および集光手段２２を覆うカバー２３とを備え、保持部材１３に紫外線を透過させて被照射面ＷＫ１に照射する。

第１支持手段３０は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な支持面３１Ａを有するテーブル３１を備えている。

第２支持手段４０は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な支持面４１Ａを有するテーブル４１を備えている。

以上の搬送装置ＥＡを備えた照射装置ＥＡ１の動作を説明する。
先ず、図１中実線で示す初期位置に各部材が配置された照射装置ＥＡ１において、当該照射装置ＥＡ１の使用者（以下、単に「使用者」という）または、多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない移送手段が、被照射面ＷＫ１を上にして被搬送体ＷＫを支持面３１Ａ上の所定の位置に載置する。すると、第１支持手段３０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面３１Ａでの被搬送体ＷＫの吸着保持を開始する。

次いで、搬送手段１０が直動モータ１２を駆動し、図１（Ａ）中左側の二点鎖線で示すように、保持部材１３を下降させて保持面１３Ｂを被照射面ＷＫ１に当接させた後、減圧手段１３Ａを駆動し、保持面１３Ｂでの被搬送体ＷＫの吸着保持を開始する。その後、第１支持手段３０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面３１Ａでの被搬送体ＷＫの吸着保持を解除する。次に、搬送手段１０が直動モータ１２およびリニアモータ１１を駆動し、図１（Ａ）中右側の二点鎖線で示すように、被搬送体ＷＫを第１支持手段３０から第２支持手段４０に向けて搬送する。そして、エネルギー線照射手段２０が発光手段２１を駆動し、搬送手段１０で搬送される被搬送体ＷＫの被照射面ＷＫ１に紫外線を照射する。この際、保持部材１３が紫外線を透過するため、当該紫外線が保持部材１３によって遮られずに被照射面ＷＫ１に照射される。

次いで、紫外線が照射された被搬送体ＷＫが搬送手段１０によって支持面４１Ａ上に載置されると、第２支持手段４０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面４１Ａでの被搬送体ＷＫの吸着保持を開始する。その後、搬送手段１０が減圧手段１３Ａの駆動を停止し、保持面１３Ｂでの被搬送体ＷＫの吸着保持を解除した後、直動モータ１２およびリニアモータ１１を駆動し、保持部材１３を初期位置に復帰させる。次に、第２支持手段４０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面４１Ａでの被搬送体ＷＫの吸着保持を解除した後、使用者または図示しない移送手段が被搬送体ＷＫを次工程に搬送し、以降上記同様の動作が繰り返される。

以上のような実施形態によれば、保持部材１３に紫外線を透過させて被照射面ＷＫ１に照射するため、保持部材１３で被照射面ＷＫ１を保持する場合でも、被照射面ＷＫ１に紫外線を照射することができる。

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。

例えば、搬送手段１０は、保持部材１３に接続され、当該保持部材１３から被搬送体ＷＫに窒素やアルゴンガス等の不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段を備えていてもよいし、接着シートＡＳの一部に紫外線が照射されることを抑制するシールや印刷等の照射抑制手段を保持面１３Ｂに設けてもよいし、リニアモータ１１および直動モータ１２に代えてまたは併用して、多関節ロボット等の他の駆動機器で保持部材１３を移動可能に支持してもよい。
搬送手段１０は、被照射面ＷＫ１を下にして被搬送体ＷＫにおける被照射面ＷＫ１の反対側の面を保持して搬送してもよく、この場合、エネルギー線照射手段２０は、下方から被照射面ＷＫ１に紫外線を照射すればよい。

エネルギー線照射手段２０が発するエネルギー線は、被搬送体ＷＫが反応する光であれば、Ｘ線、ガンマ線、紫外線、可視光線、赤外線等どんな波長の光でもよいし、単波長でもよいし複波長でもよく、被搬送体ＷＫの性質、材質、素質、組成等や被搬送体ＷＫに施す処理等に応じて適宜なエネルギー線を照射する構成を採用することができる。
エネルギー線照射手段２０は、被搬送体ＷＫにエネルギーを照射しない場合、なくてもよい。
発光手段２１は、ＬＥＤ（Light Emitting Diode、発光ダイオード）ランプ、高圧水銀ランプ、低圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、キセノンランプ、ハロゲンランプ等何を採用してもよいし、それらを適宜に組み合わせたものを採用してもよい。
集光手段２２は、発光手段２１に対して下方、上方、前方、後方、右方、左方および、それら方向の合成方向等何れの方向に配置されてもよいし、発光手段２１が発する光を集光する位置も、発光手段２１に対して下方、上方、前方、後方、右方、左方および、それら方向の合成方向等何れの位置でもよい。
第１、第２支持手段３０、４０は、被搬送体ＷＫを吸着保持しないものであってもよいし、被搬送体ＷＫを収容する収容手段であってもよく、この場合、搬送手段１０は、収容手段から被搬送体ＷＫを搬出したり、収容手段に被搬送体ＷＫを搬入したりするものであってもよいし、保護対象物を研磨する研磨装置や研削する研削装置、保護対象物に接着シートを貼付するシート貼付装置、保持対象物に貼付された接着シートを保持対象物から剥離するシート剥離装置または保持対象物を位置決めする位置決め装置のテーブルであってもよい。

照射装置ＥＡ１は、搬送手段１０による被搬送体ＷＫの搬送経路を挟んでエネルギー線照射手段２０の反対側に設けられた他のエネルギー線照射手段２０を備え、被搬送体ＷＫにおける接着シートＡＳの反対側の面に貼付されたシート部材に紫外線を照射してもよい。

被搬送体ＷＫは、シート部材を介してフレーム部材と一体化されていてもよく、この場合、保持部材１３は、シート部材やフレーム部材を保持してもよい。
フレーム部材は、環状のものであってもよいし、環状でない（外周が繋がっていない）ものや、円形、楕円形、三角形以上の多角形、その他の形状であってもよい。

本発明における接着シートＡＳ、シート部材、被着体ＷＦおよび被搬送体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳまたはシート部材は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよい。また、接着シートＡＳまたはシート部材は、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体ＷＦとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳやシート部材を機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体ＷＦに貼付することができる。

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、第１支持手段に支持された被搬送体を第２支持手段に搬送するものであって、エネルギー線を透過する保持部材を備えたものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
前記実施形態において、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよい。

ＥＡ…搬送装置
１０…搬送手段
１３…保持部材
３０…第１支持手段
４０…第２支持手段
ＷＫ…被搬送体
ＷＫ１…被照射面

Claims

第１支持手段に支持された被搬送体を第２支持手段に搬送する搬送手段を備え、
前記搬送手段は、エネルギー線を透過する保持部材を備え、前記保持部材で前記被搬送体を保持して搬送することを特徴とする搬送装置。
第１支持手段に支持された被搬送体を第２支持手段に搬送する搬送工程を実施し、
前記搬送工程では、エネルギー線を透過する保持部材で前記被搬送体を保持して搬送することを特徴とする搬送方法。