JP6539558B2 - 処理装置 - Google Patents

Description

本発明は、処理装置に関する。

従来、被着体の一方の面に第１接着シートが貼付された一次加工品に第２接着シートを貼付し、所定の加工品を形成する処理装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０００−６８２９３号公報

しかしながら、特許文献１に記載されたような従来の処理装置は、当該処理装置の外部に設けられた一次加工品搬送装置が１つの特定の位置に一次加工品をセットするものにしか対応できないという不都合がある。

本発明の目的は、当該処理装置の外部に設けられた一次加工品搬送装置が複数の特定の位置に一次加工品をセットしても対応することができる処理装置を提供することにある。

本発明の処理装置は、被着体の一方の面に第１接着シートが貼付された一次加工品に第２接着シートを貼付する処理装置であって、当該処理装置の外部に設けられた第１の一次加工品搬送装置から、第１の受け取り位置で前記一次加工品を受け取り、当該一次加工品をシート貼付台上に載置する第１搬送手段と、前記シート貼付台上に載置された前記一次加工品に前記第２接着シートを貼付して二次加工品を形成するシート貼付手段とを備え、前記第１搬送手段は、当該処理装置の外部に設けられた第２の一次加工品搬送装置から、前記第１の受け取り位置とは異なる第２の受け取り位置で当該一次加工品を受け取り、当該一次加工品をシート貼付台上に載置可能に設けられていることを特徴とする。

本発明の処理装置は、前記二次加工品をシート剥離台上に載置する第２搬送手段と、前記シート剥離台上に載置された二次加工品における前記第１接着シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープを介して前記被着体から当該第１接着シートを剥離して三次加工品を形成するシート剥離手段と、前記三次加工品を前記シート剥離手段から搬出し、当該処理装置の外部に設けられた第１の三次加工品搬送装置に、第１の受け渡し位置で当該三次加工品を受け渡す第３搬送手段とを備え、前記第３搬送手段は、当該処理装置の外部に設けられた第２の三次加工品搬送装置に、前記第１の受け渡し位置とは異なる第２の受け渡し位置で当該三次加工品を受け渡すことが可能に設けられていることが好ましい。
また、本発明の処理装置は、前記二次加工品を前記シート貼付手段から搬出し、当該処理装置の外部に設けられた第１の二次加工品搬送装置に、第３の受け渡し位置で当該二次加工品を受け渡す第４搬送手段を備え、前記第４搬送手段は、当該処理装置の外部に設けられた第２の二次加工品搬送装置に、前記第３の受け渡し位置とは異なる第４の受け渡し位置で当該二次加工品を受け渡すことが可能に設けられていることが好ましい。

本発明によれば、第１搬送手段が第１の一次加工品搬送装置および第２の一次加工品搬送装置から、第１の受け取り位置および第２の受け取り位置で一次加工品を受け取ることが可能なので、当該処理装置の外部に設けられた一次加工品搬送装置が複数の特定の位置に一次加工品をセットしても対応することができる。

また、第３搬送手段が第１の三次加工品搬送装置および第２の三次加工品搬送装置に、第１の受け渡し位置および第２の受け渡し位置で三次加工品を受け渡すことが可能な構成とすれば、当該処理装置の外部に設けられた三次加工品搬送装置が複数であっても対応することができる。
さらに、第４搬送手段が第１の二次加工品搬送装置および第２の二次加工品搬送装置に、第３の受け渡し位置および第４の受け渡し位置で二次加工品を受け渡すことが可能な構成とすれば、当該処理装置の外部に設けられた二次加工品搬送装置が複数であっても対応することができる。

本発明の一実施形態に係る処理装置の側面図。 処理装置の動作説明図。 処理装置の動作説明図。

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な矢印ＡＲ方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸と平行な図１中手前方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。

図１〜３において、処理装置１０は、被着体としての半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という場合がある）ＷＦの一方の面に第１接着シートＡＳ１が貼付された一次加工品ＷＫ１に第２接着シートＡＳ２を貼付する装置であって、当該処理装置１０の外部に設けられた第１の一次加工品搬送装置ＣＡ１から、第１の受け取り位置ＰＡ１で当該一次加工品ＷＫ１を受け取り、当該一次加工品ＷＫ１をシート貼付台４７上に載置する第１搬送手段２０と、開口部ＲＦ１を有するフレーム部材としてのリングフレームＲＦの当該開口部ＲＦ１内に一次加工品ＷＫ１を位置させて当該リングフレームＲＦをシート貼付台４７上に載置するフレーム搬送手段３０と、シート貼付台４７上に載置された一次加工品ＷＫ１およびリングフレームＲＦに第２接着シートＡＳ２を貼付して二次加工品ＷＫ２を形成するシート貼付手段４０と、二次加工品ＷＫ２をシート剥離台６８上に載置する第２搬送手段５０と、シート剥離台６８上に載置された二次加工品ＷＫ２における第１接着シートＡＳ１に剥離用テープＰＴ（図３）を貼付し、当該剥離用テープＰＴを介してウエハＷＦから当該第１接着シートＡＳ１を剥離して三次加工品ＷＫ３を形成するシート剥離手段６０と、三次加工品ＷＫ３をシート剥離手段６０から搬出し、当該処理装置１０の外部に設けられた第１の三次加工品搬送装置ＣＢ１に、第１の受け渡し位置ＰＢ１で当該三次加工品ＷＫ３を受け渡す第３搬送手段７０とを備えている。

第１搬送手段２０は、先端アーム（作業アーム）２１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持可能な保持部材２１Ｂを有する駆動機器としての多関節ロボット２１と、多関節ロボット２１をそのスライダ２２Ａで支持する駆動機器としてのリニアモータ２２と、一次加工品ＷＫ１の位置決めを行うアライメント装置２３とを備えている。なお、第１搬送手段２０は、当該処理装置１０の外部に設けられた第２の一次加工品搬送装置ＣＡ２から、第１の受け取り位置ＰＡ１とは異なる第２の受け取り位置ＰＡ２で当該一次加工品ＷＫ１を受け取り、当該一次加工品ＷＫ１をシート貼付台４７上に載置可能に設けられている。第１の受け取り位置ＰＡ１は、当該処理装置１０の後側に設けられ、一次加工品ＷＫ１を一旦載置する受け取り台Ｔ１の上面であり、第２の受け取り位置ＰＡ２は、当該処理装置１０の前側に設けられ、一次加工品ＷＫ１を一旦載置する受け取り台Ｔ２の上面である。
本実施形態の場合、第１搬送手段２０は、第３搬送手段７０としても機能し、当該第３搬送手段７０（第１搬送手段２０）は、当該処理装置１０の外部に設けられた第２の三次加工品搬送装置ＣＢ２に、第１の受け渡し位置ＰＢ１とは異なる第２の受け渡し位置ＰＢ２で当該三次加工品ＷＫ３を受け渡すことが可能に設けられている。なお、第１の受け渡し位置ＰＢ１は、当該処理装置１０の後側に設けられ、三次加工品ＷＫ３を一旦載置する受け渡し台Ｔ３の上面であり、第２の受け渡し位置ＰＢ２は、当該処理装置１０の前側に設けられ、三次加工品ＷＫ３を一旦載置する受け渡し台Ｔ４の上面である。

フレーム搬送手段３０は、先端アーム（作業アーム）３１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段に連通された吸着パッド３１Ｂよって吸着保持可能な保持部材３１Ｃを有する駆動機器としての多関節ロボット３１と、リングフレームＲＦを収容可能なフレーム収容手段３２とを備えている。本実施形態の場合、フレーム搬送手段３０は、第２搬送手段５０としても機能する。なお、多関節ロボット２１、３１は、その作業範囲内において保持部材２１Ｂ、３１Ｃで保持したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な所謂６軸ロボットである。

シート貼付手段４０は、剥離シートＲＬの一方の面に第２接着シートＡＳ２が仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ４１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ４２と、剥離シートＲＬを折り曲げて当該剥離シートＲＬから第２接着シートＡＳ２を剥離する剥離部材としての剥離板４３と、駆動機器としての回動モータ４４Ａによって駆動され、ピンチローラ４４Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ４４と、剥離シートＲＬを回収する回収ローラ４５と、剥離板４３で剥離された第２接着シートＡＳ２をリングフレームＲＦおよびウエハＷＦに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ４６と、駆動機器としてのリニアモータ４７Ａのスライダ４７Ｂに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持可能な支持面４７Ｃを備えたシート貼付台４７とを備えている。

シート剥離手段６０は、剥離用テープＰＴを支持する支持ローラ６１と、駆動機器としての回動モータ６２Ａによって駆動され、ピンチローラ６２Ｂとで剥離用テープＰＴを挟み込む駆動ローラ６２と、駆動機器としての直動モータ６３Ａの出力軸６３Ｂに支持された収容手段６３と、収容手段６３内に収容され、収容手段６３の底面である吸着面６３Ｃに形成された吸引孔６３Ｄを介して剥離用テープＰＴを吸着保持する減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸引手段６４と、収容手段６３内に収容された駆動機器としてのリニアモータ６５Ａのスライダ６５Ｂに支持され、収容手段６３の底面から突没可能に設けられた押圧部材６５と、収容手段６３内に収容された駆動機器としてのリニアモータ６６Ａのスライダ６６Ｂに支持され、収容手段６３の底面から突没可能に設けられた切断刃６６と、駆動機器としての直動モータ６７Ａの出力軸６７Ｂに支持され、剥離用テープＰＴを吸着面６３Ｃに当接させる補助ローラ６７と、駆動機器としてのリニアモータ６８Ａのスライダ６８Ｂに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持可能な支持面６８Ｃを備えたシート剥離台６８とを備えている。

第１、第２の一次加工品搬送装置ＣＡ１、ＣＡ２は、多関節ロボット２１と同様の構成であり、第１、第２の三次加工品搬送装置ＣＢ１、ＣＢ２は、多関節ロボット３１と同様の構成なので、詳細な説明は省略する。

以上の処理装置１０において、一次加工品ＷＫ１から三次加工品ＷＫ３を形成する手順を説明する。
先ず、各部材が初期位置に配置された図１中実線で示す処理装置１０に対し、作業者が原反ＲＳおよび剥離用テープＰＴを図２、３に示すようにセットする。次いで、処理装置１０に対し、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段を介して自動運転開始の信号を入力すると、シート剥離手段６０が吸引手段６４を駆動し、吸着面６３Ｃで剥離用テープＰＴを吸着保持した後、処理装置１０がスタンバイ状態となる。

そして、第１の一次加工品搬送装置ＣＡ１が、図１中二点鎖線で示すように、一次加工品ＷＫ１を第１の受け取り位置ＰＡ１に載置すると、第１搬送手段２０が多関節ロボット２１および図示しない減圧手段を駆動し、保持部材２１Ｂで一次加工品ＷＫ１を吸着保持し、同図中二点鎖線で示すように、当該一次加工品ＷＫ１を第１の受け取り位置ＰＡ１からアライメント装置２３上に載置する。ここで、第２の一次加工品搬送装置ＣＡ２が、図１中二点鎖線で示すように、一次加工品ＷＫ１を第２の受け取り位置ＰＡ２に載置した場合、第１搬送手段２０が多関節ロボット２１および図示しない減圧手段を駆動し、保持部材２１Ｂで一次加工品ＷＫ１を吸着保持し、当該一次加工品ＷＫ１を第２の受け取り位置ＰＡ２からアライメント装置２３上に載置する。このように、第１搬送手段２０は、第１の受け取り位置ＰＡ１からでも、第２の受け取り位置ＰＡ２からでも一次加工品ＷＫ１をアライメント装置２３上に載置することができる。なお、第１搬送手段２０は、第１の受け取り位置ＰＡ１と第２の受け取り位置ＰＡ２との両方に一次加工品ＷＫ１が載置されている場合、第１、第２の受け取り位置ＰＡ１、ＰＡ２に先に載置された一次加工品ＷＫ１を先にアライメント装置２３上に載置するようになっており、第１、第２の受け取り位置ＰＡ１、ＰＡ２に同時に一次加工品ＷＫ１が載置された場合、何れか一方の一次加工品ＷＫ１を先にアライメント装置２３上に載置するようになっている。そして、一次加工品ＷＫ１がアライメント装置２３で位置決めされると、第１搬送手段２０が多関節ロボット２１および図示しない減圧手段を駆動し、図２中実線で示すように、一次加工品ＷＫ１をウエハＷＦが上方となる状態でシート貼付台４７上に載置する。その後、シート貼付手段４０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面４７Ｃで一次加工品ＷＫ１を吸着保持する。次に、フレーム搬送手段３０が多関節ロボット３１および図示しない減圧手段を駆動し、保持部材３１Ｃでフレーム収容手段３２内のリングフレームＲＦを吸着保持し、図２中実線で示すように、リングフレームＲＦの開口部ＲＦ１内に一次加工品ＷＫ１を位置させて当該リングフレームＲＦをシート貼付台４７上に載置する。その後、シート貼付手段４０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面４７ＣでリングフレームＲＦを吸着保持する。

次いで、シート貼付手段４０がリニアモータ４７Ａを駆動し、シート貼付台４７を左方向に移動させ、リングフレームＲＦが所定位置に到達したことが光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段に検知されると、回動モータ４４Ａを駆動し、シート貼付台４７の移動速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。これにより、第２接着シートＡＳ２が剥離板４３で剥離シートＲＬから剥離され、押圧ローラ４６によってリングフレームＲＦおよびウエハＷＦに貼付されて二次加工品ＷＫ２が形成される。二次加工品ＷＫ２が図１中二点鎖線で示す所定の位置に到達すると、シート貼付手段４０がリニアモータ４７Ａの駆動を停止するとともに、図示しない減圧手段の駆動を停止する。次いで、第２搬送手段５０（フレーム搬送手段３０）が多関節ロボット３１および図示しない減圧手段を駆動し、保持部材３１Ｃで二次加工品ＷＫ２を吸着保持し、図３中実線で示すように、第１接着シートＡＳ１が上方となる状態で当該二次加工品ＷＫ２をシート剥離台６８上に載置する。その後、シート剥離手段６０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面６８Ｃで二次加工品ＷＫ２を吸着保持する一方、シート貼付手段４０がリニアモータ４７Ａを駆動し、シート貼付台４７を初期位置に復帰させる。

そして、シート剥離手段６０がリニアモータ６８Ａを駆動し、シート剥離台６８を左方向に移動させ、図３中二点鎖線で示すように、第１接着シートＡＳ１の左端部を押圧部材６５の直下に位置させる。次いで、シート剥離手段６０が直動モータ６７Ａを駆動し、図３中二点鎖線で示すように補助ローラ６７を収容手段６３の下方から退避させた後、回動モータ６２Ａおよび直動モータ６３Ａを駆動し、同図中二点鎖線で示すように、剥離用テープＰＴを繰り出しながら収容手段６３を第１接着シートＡＳ１の直上所定位置まで下降させる。その後、シート剥離手段６０がリニアモータ６５Ａを駆動し、押圧部材６５を下降させ、剥離用テープＰＴを第１接着シートＡＳ１の左端部に押圧して貼付する。このとき、シート剥離手段６０がコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段６５Ｃを駆動し、剥離用テープＰＴを加熱してもよい。次に、シート剥離手段６０が吸引手段６４の駆動を停止するとともに、リニアモータ６５Ａおよび直動モータ６３Ａを駆動し、押圧部材６５および収容手段６３を初期位置に復帰させる。

その後、シート剥離手段６０が回動モータ６２Ａの駆動をロックさせた状態で、リニアモータ６８Ａを駆動し、シート剥離台６８を左方向に移動させてウエハＷＦから第１接着シートＡＳ１を剥離し、三次加工品ＷＫ３を形成する。そして、三次加工品ＷＫ３を支持したシート剥離台６８が図１中二点鎖線で示す所定の位置に到達すると、シート剥離手段６０がリニアモータ６８Ａの駆動を停止するとともに、図示しない減圧手段の駆動を停止する。その後、第３搬送手段７０（第１搬送手段２０）が多関節ロボット２１および図示しない減圧手段を駆動し、保持部材２１Ｂで三次加工品ＷＫ３を吸着保持した後、当該三次加工品ＷＫ３を第１の受け渡し位置ＰＢ１に搬送する。そして、当該第１の受け渡し位置ＰＢ１で第１の三次加工品搬送装置ＣＢ１が三次加工品ＷＫ３を受け取り、当該三次加工品ＷＫ３を次工程に搬送する。ここで、第３搬送手段７０（第１搬送手段２０）が上記と同様にして三次加工品ＷＫ３を第２の受け渡し位置ＰＢ２に搬送し、当該第２の受け渡し位置ＰＢ２で第２の三次加工品搬送装置ＣＢ２が三次加工品ＷＫ３を受け取り、当該三次加工品ＷＫ３を次工程に搬送するようにしてもよい。このように、第３搬送手段７０（第１搬送手段２０）は、第１の受け渡し位置ＰＢ１にでも、第２の受け渡し位置ＰＢ２にでも三次加工品ＷＫ３を搬送し、第１の三次加工品搬送装置ＣＢ１へも、第２の三次加工品搬送装置ＣＢ２へも三次加工品ＷＫ３を受け渡すことができる。

一方、三次加工品ＷＫ３が形成されると、シート剥離手段６０が直動モータ６７Ａおよび吸引手段６４を駆動し、補助ローラ６７を初期位置に復帰させ、吸着面６３Ｃで剥離用テープＰＴを吸着保持した後、リニアモータ６６Ａを駆動し、切断刃６６を下降させて剥離用テープＰＴを切断し、人手または図示しない移送手段が第１接着シートＡＳ１を回収する。そして、シート剥離手段６０がリニアモータ６８Ａを駆動し、シート剥離台６８を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。

以上のような実施形態によれば、第１搬送手段２０が第１の一次加工品搬送装置ＣＡ１および第２の一次加工品搬送装置ＣＡ２から、第１の受け取り位置ＰＡ１および第２の受け取り位置ＰＡ２で一次加工品ＷＫ１を受け取ることが可能なので、当該処理装置１０の外部に設けられた一次加工品搬送装置が複数の特定の位置に一次加工品ＷＫ１をセットしても対応することができる。

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。

例えば、第１搬送手段２０は、一次加工品ＷＫ１を第１接着シートＡＳ１が上方となる状態でシート貼付台４７上に載置してもよい。
第１搬送手段２０は、アライメント装置２３がなくてもよく、アライメント装置２３がない場合、第１の受け取り位置ＰＡ１または第２の受け取り位置ＰＡ２で受け取った一次加工品ＷＫ１を直接シート貼付台４７上に載置してもよい。
第１搬送手段２０は、多関節ロボット２１に加え、当該多関節ロボット２１と同等の駆動機器としての他の多関節ロボットを採用してもよい。この場合、例えば、前記実施形態と同様にしてアライメント装置２３で一次加工品ＷＫ１の位置決めを行った後、第１搬送手段２０が他の多関節ロボットおよび図示しない減圧手段を駆動し、一次加工品ＷＫ１をシート貼付台４７上に載置するようにしてもよい。
第１搬送手段２０は、一次加工品ＷＫ１に貼付されている第１接着シートＡＳ１の接着力を低下させる紫外線照射装置や赤外線照射装置等の接着力低下手段を含んでいてもよい。この場合、第１搬送手段２０は、一次加工品ＷＫ１の位置決めと、第１接着シートＡＳ１の接着力の低下とのどちらを先に行ってもよい。また、アライメント装置２３、接着力低下手段およびシート貼付台４７間の一次加工品ＷＫ１の移動は、多関節ロボット２１と前述の他の多関節ロボットとのどちらが行ってもよい。
第１搬送手段２０は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で一次加工品ＷＫ１（被搬送物）を保持する構成としてもよく、フレーム搬送手段３０、第２搬送手段５０、第１、第２の一次加工品搬送装置ＣＡ１、ＣＡ２および、第１、第２の三次加工品搬送装置ＣＢ１、ＣＢ２等も同様の構成で、被搬送物を保持する構成としてもよい。
第１搬送手段２０は、当該処理装置１０の外部に設けられた図示しないフレーム部材搬送装置から、所定のフレーム受け取り位置でリングフレームＲＦを複数または１体ずつ受け取って、当該リングフレームＲＦをフレーム搬送手段３０に受け渡してもよいし、直接シート貼付台４７上に載置してもよい。このようなフレーム部材搬送装置は、第１、第２の三次加工品搬送装置ＣＢ１、ＣＢ２と同様の構成とすることができる。
第１搬送手段２０は、フレーム搬送手段３０、第２搬送手段５０および第３搬送手段７０の少なくとも１つとして機能してもよい。
多関節ロボット２１は、リニアモータ２２に支持されていなくてもよい。
第１搬送手段２０は、当該処理装置１０の外部に設けられた３体以上の一次加工品搬送装置から、３箇所以上の受け取り位置で一次加工品ＷＫ１を受け取り、当該一次加工品ＷＫ１をシート貼付台４７上に載置するように構成してもよい。

フレーム搬送手段３０は、一次加工品ＷＫ１がシート貼付台４７上に載置される前に、当該シート貼付台４７上の所定位置にリングフレームＲＦを載置してもよい。
フレーム搬送手段３０は、当該処理装置１０の外部に設けられた上述の図示しないフレーム部材搬送装置から、所定のフレーム受け取り位置でリングフレームＲＦを複数または１体ずつ受け取ってもよい。
フレーム搬送手段３０はなくてもよく、この場合、二次加工品は、シート貼付台４７上に載置された一次加工品ＷＫ１におけるウエハＷＦ側または、第１接着シート側にシート貼付手段４０によって第２接着シートＡＳ２が貼付されたものとなる。

シート貼付手段４０は、シート貼付台４７の位置を固定しておきその他の部材を移動させたり、シート貼付台４７およびその他の部材の両方を移動させたりして第２接着シートＡＳ２を貼付してもよい。
シート貼付台４７は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等でフレーム部材や被着体（被搬送物）を支持する構成でもよく、シート剥離台６８も同様の構成で被搬送物を支持する構成としてもよい。
シート貼付手段４０は、帯状の剥離シートＲＬに仮着された帯状の接着シート基材に閉ループ状の切込が形成されることで、当該切込の内側が第２接着シートＡＳ２、外側が不要シートとされた原反を繰り出してもよい。
シート貼付手段４０は、帯状の接着シート基材が帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反が採用された場合、切断刃、レーザカッタ、熱カッタ、エアカッタ、圧縮水カッタ等の切断手段により、接着シート基材に閉ループ状の切込を形成し、当該切込の内側が第２接着シートＡＳ２となるように当該原反を加工してもよい。
シート貼付手段４０は、帯状の接着シート基材をリングフレームＲＦおよびウエハＷＦに貼付した後、当該接着シート基材を上記と同様の切断手段で所定形状に切断してもよい。
剥離部材は、丸棒やローラ等で構成してもよい。
押圧手段は、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用してもよいし、エア噴き付けにより第２接着シートＡＳ２を押圧する構成としてもよい。

第２搬送手段５０は、フレーム搬送手段３０と別体のもので構成してもよい。

シート剥離手段６０は、シート貼付手段４０で第１接着シートＡＳ１側に第２接着シートＡＳ２を貼付して二次加工品を形成した場合、動作をキャンセルしてもよい。この場合、第２搬送手段５０（フレーム搬送手段３０）が二次加工品をシート剥離台６８上に載置すると、第３搬送手段７０（第１搬送手段２０）が二次加工品を吸着保持し、当該二次加工品を第１、第２の受け渡し位置ＰＢ１、ＰＢ２に搬送してもよいし、第２搬送手段５０（フレーム搬送手段３０）が吸着保持した二次加工品を直接第１、第２の受け渡し位置ＰＢ１、ＰＢ２に搬送してもよい。
シート剥離手段６０は、吸引手段６４に代えてまたは併用して、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で剥離用テープＰＴを保持する構成を採用することができる。
シート剥離手段６０は、押圧部材６５に代えてまたは併用して、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ、エアの吹き付け等による押圧部材を採用することができ、剥離用テープＰＴが感圧接着性のものの場合、加熱手段６５Ｃはあってもよいし、なくてもよい。
シート剥離手段６０は、シート剥離台６８を固定しておきその他の部材を移動させたり、シート剥離台６８とその他の部材との両方を移動させたりして第１接着シートＡＳ１を剥離してもよい。
シート剥離手段６０は、切断刃６６に代えてまたは併用して、レーザカッタ、熱カッタ、エアカッタ、圧縮水カッタ等の他の構成のものを採用してもよい。
シート剥離手段６０は、剥離用テープＰＴとして感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものを採用してもよく、感圧接着性のものが採用された場合には、加熱手段６５Ｃはあってもよいし、なくてもよい。

第３搬送手段７０は、第１搬送手段２０と別体のもので構成してもよい。
第３搬送手段７０は、当該処理装置１０の外部に設けられた３体以上の三次加工品搬送装置に、３箇所以上の受け渡し位置で三次加工品ＷＫ３を受け渡すように構成してもよい。

処理装置１０は、第２搬送手段５０、シート剥離手段６０および第３搬送手段７０がなくてもよい。この場合、処理装置１０は、二次加工品ＷＫ２をシート貼付手段４０から搬出し、当該処理装置１０の外部に設けられた第１の二次加工品搬送装置ＣＣ１に、第３の受け渡し位置ＰＢ３で当該二次加工品ＷＫ２を受け渡す第４搬送手段８０を備えればよい。このような第４搬送手段８０は、前記実施形態のフレーム搬送手段３０で兼用できる。また、第４搬送手段８０は、当該処理装置１０の外部に設けられた第２の二次加工品搬送装置ＣＣ２に、第３の受け渡し位置ＰＢ３とは異なる第４の受け渡し位置ＰＢ４で当該二次加工品ＷＫ２を受け渡すように構成することができる。なお、第３の受け渡し位置ＰＢ３は、二次加工品ＷＫ２を一旦載置する受け渡し台Ｔ５の上面であり、第４の受け渡し位置ＰＢ４は、二次加工品ＷＫ２を一旦載置する受け渡し台Ｔ６の上面である。
第４搬送手段８０は、当該処理装置１０の外部に設けられた３体以上の二次加工品搬送装置に、３箇所以上の受け渡し位置で二次加工品ＷＫ２を受け渡すように構成してもよい。
第１、第２、第３および第４搬送手段２０、５０、７０、８０およびフレーム搬送手段３０は、同じ構成の複数の装置で構成してもよいし、異なる構成の複数の装置で構成してもよいし、１体の装置で構成してもよく、同じ構成または異なる構成の複数の装置で構成する場合、それら装置は、何れか複数を１体の装置で構成してもよい。
第１、第２の一次加工品搬送装置ＣＡ１、ＣＡ２や、第１、第２の三次加工品搬送装置ＣＢ１、ＣＢ２や、図示しないフレーム部材搬送装置や、第１、第２の二次加工品搬送装置ＣＣ１、ＣＣ２は、同じ構成の複数の装置で構成してもよいし、異なる構成の複数の装置で構成してもよいし、１体の装置で構成してもよく、同じ構成または異なる構成の複数の装置で構成する場合、それら装置は、何れか複数を１体の装置で構成してもよい。
第１、第２の一次加工品搬送装置ＣＡ１、ＣＡ２や、第１、第２の三次加工品搬送装置ＣＢ１、ＣＢ２や、図示しないフレーム部材搬送装置や、第１、第２の二次加工品搬送装置ＣＣ１、ＣＣ２は、例えば、ベルトコンベア、ローラコンベア、駆動機器の他、ウエハＷＦを加工するグラインダ、ダイサ、研磨装置であってもよいし、塗装装置、印刷装置、検査装置、表面処理装置、露光装置、撮像装置、化学処理装置等であってもよいし、それらの装置を構成する部材等であってもよく、何ら限定されることはない。

受け取り台Ｔ１、Ｔ２は、台以外に他の装置等であってもよいし、なくてもよい。受け取り台Ｔ１、Ｔ２がない場合、第１搬送手段２０は、第１、第２の一次加工品搬送装置ＣＡ１、ＣＡ２から所定の受け取り位置で一次加工品ＷＫ１を直接受け取ってもよい。
受け渡し台Ｔ３、Ｔ４、Ｔ５、Ｔ６は台以外に他の装置等であってもよいし、なくてもよく、受け渡し台Ｔ３、Ｔ４、Ｔ５、Ｔ６がない場合、第３、第４搬送手段７０、８０は、所定の受け渡し位置で三次加工品ＷＫ３や二次加工品ＷＫ２を第１、第２の三次加工品搬送装置ＣＢ１、ＣＢ２や、第１、第２の二次加工品搬送装置ＣＣ１、ＣＣ２に受け渡してもよい。
フレーム部材は、リングフレームＲＦ以外に、円形、楕円形、三角形以上の多角形のものや、環状でないもの等、その他の形状であってもよい。
また、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２および被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２が採用された場合は、当該第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２を加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２は、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、第１、第２接着シートＡＳ１、ＡＳ２を機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、シート貼付手段は、シート貼付台上に載置された一次加工品に第２接着シートを貼付して二次加工品を形成可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。

１０ 処理装置
２０ 第１搬送手段
４０ シート貼付手段
４７ シート貼付台
５０ 第２搬送手段
６０ シート剥離手段
６８ シート剥離台
７０ 第３搬送手段
ＡＳ１ 第１接着シート
ＡＳ２ 第２接着シート
ＣＡ１ 第１の一次加工品搬送装置
ＣＡ２ 第２の一次加工品搬送装置
ＣＢ１ 第１の三次加工品搬送装置
ＣＢ２ 第２の三次加工品搬送装置
ＣＣ１ 第１の二次加工品搬送装置
ＣＣ２ 第２の二次加工品搬送装置
ＰＡ１ 第１の受け取り位置
ＰＡ２ 第２の受け取り位置
ＰＢ１ 第１の受け渡し位置
ＰＢ２ 第２の受け渡し位置
ＰＢ３ 第３の受け渡し位置
ＰＢ４ 第４の受け渡し位置
ＰＴ 剥離用テープ
ＷＦ ウエハ（被着体）
ＷＫ１ 一次加工品
ＷＫ２ 二次加工品
ＷＫ３ 三次加工品

Claims (3)

1. 被着体の一方の面に第１接着シートが貼付された一次加工品に第２接着シートを貼付する処理装置であって、
   当該処理装置の外部に設けられた第１の一次加工品搬送装置から、第１の受け取り位置で前記一次加工品を受け取り、当該一次加工品をシート貼付台上に載置する第１搬送手段と、
   前記シート貼付台上に載置された前記一次加工品に前記第２接着シートを貼付して二次加工品を形成するシート貼付手段とを備え、
   前記第１搬送手段は、当該処理装置の外部に設けられた第２の一次加工品搬送装置から、前記第１の受け取り位置とは異なる第２の受け取り位置で当該一次加工品を受け取り、当該一次加工品をシート貼付台上に載置可能に設けられていることを特徴とする処理装置。
2. 前記二次加工品をシート剥離台上に載置する第２搬送手段と、
   前記シート剥離台上に載置された二次加工品における前記第１接着シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープを介して前記被着体から当該第１接着シートを剥離して三次加工品を形成するシート剥離手段と、
   前記三次加工品を前記シート剥離手段から搬出し、当該処理装置の外部に設けられた第１の三次加工品搬送装置に、第１の受け渡し位置で当該三次加工品を受け渡す第３搬送手段とを備え、
   前記第３搬送手段は、当該処理装置の外部に設けられた第２の三次加工品搬送装置に、前記第１の受け渡し位置とは異なる第２の受け渡し位置で当該三次加工品を受け渡すことが可能に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の処理装置。
3. 前記二次加工品を前記シート貼付手段から搬出し、当該処理装置の外部に設けられた第１の二次加工品搬送装置に、第３の受け渡し位置で当該二次加工品を受け渡す第４搬送手段を備え、
   前記第４搬送手段は、当該処理装置の外部に設けられた第２の二次加工品搬送装置に、前記第３の受け渡し位置とは異なる第４の受け渡し位置で当該二次加工品を受け渡すことが可能に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の処理装置。

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